JP7385621B2 - イオン-イオンプラズマ原子層エッチングプロセス及びリアクタ - Google Patents
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Description
本開示は、オーバーヘッド電子ビーム源を使用してワークピース(例えば、半導体ウェハ)を処理するためのプラズマリアクタに関する。
ワークピースを処理するためのプラズマ源は、プラズマリアクタの円筒対称軸に対して横方向にあるビーム経路を有する電子ビーム源を有することができる。そのような横方向配置は、処理に非対称性を導入する可能性があり、それに対して、そのような非対称性を避けるためには、特別な構成がリアクタ内で必要とされる可能性がある。
図1、図1A、又は図2のリアクタを使用して、原子層エッチングプロセスを実行することができる。一例では、ワークピース111は、半導体バルク層(例えば、単結晶シリコン)、上層(例えば、シリコンの酸化物)、及び表面層(例えば、多結晶シリコン)を含み、これらは部分的にマスクすることができる。このプロセスでは、ガス供給源138のうちの1つは、エッチング種(例えば、アルゴンガス)の前駆体を含み、一方、ガス供給源138のうちの別の1つは、パッシベーション種(例えば、塩素ガス)の前駆体を含む。パッシベーション種は、パッシベーション前駆体種(例えば、塩素ガス)の(プラズマ中での)解離によって生成される。パッシベーションは、ワークピース111をパッシベーション種に曝露することによって行われる。一般的に、ワークピース111の表面層は、選択されたエネルギーのエッチング種によって容易にエッチングされない(又はエッチングの影響を受けない)。パッシベーションは、ワークピースの表面層をエッチング種によってエッチングしやすいようにする。表面層のパッシベーションされた部分の深さは、パッシベーション種への曝露時間によって決定される。このプロセスでは、パッシベーション種への曝露の時間は、1原子層がパッシベーションされる期間に設定される。次に、ワークピース111をエッチング種に曝露させ、1原子層を除去する。その後、前述のシーケンスを繰り返して、次の原子層を除去する。このサイクルは、表面層の所望の部分(例えば、100%)が除去されるまで、一度に1原子層ずつ繰り返される。このように、プロセスはパッシベーションとエッチングの交互のフェーズからなる。
天井へのVHF及びRF電力の流れの円筒対称性及び円形ワークピース上の電子ビーム分布の円筒対称性は、加工における方位角方向の均一性を最適化する。RF又はVHF給電電極は、電子ビームを生成するためのプラズマ源を提供し、電極又はグランドリターンのための非絶縁面を必要としない。電極108は、特定のプラズマプロセスで消耗する可能性があり、こうして静電チャックを含むことができる支持構造は、プロセス安定性にとって重要な繰り返し可能な電気的及び熱的電極性能を確保しつつ、高速な電極交換及びチャンバのメンテナンス回復を可能にする。グリッドフィルタ104は、上側チャンバ100aのプラズマ源環境とは無関係に、下側チャンバ100b内でのワークピース処理環境の制御を可能にする、上側及び下側チャンバ100a、100b間の分離を提供する。上部及び下部ガスインジェクタ130及び134は、上側及び下側チャンバ100a、100bへの異なるガス又はガス種の独立した分配を可能にする。例えば、上側チャンバ100a内で所望の種を生成するのに特に有用な1つのガス(例えば、「ソース」ガス)が上側チャンバ100a内に注入され、一方、ワークピース111を処理するために必要な別のガス(例えば、「プロセス」ガス)が下側チャンバ100b内に注入される。グリッドフィルタ104のガス噴射口105bを介してガスを噴射してもよい。例えば、グリッドフィルタ104のガス噴射口105bから不活性ガスを噴射して、これによって下側チャンバ100b内のプロセスガスが、上側チャンバ100a内に対流又は拡散するのを実質的に防止することができる。分子ガスが上側チャンバ100aに供給される一実施形態では、上側チャンバ100a内での種の解離は、より高いVHF電力を電極108に印加することによって、又は誘導コイルアンテナ172にRF電力を印加することによって高めることができ、ワークピース111を高いイオン密度を有するプラズマに曝す必要はない。電子ビームエネルギー及び磁束は、相対的な解離及びイオン化プロセスを制御するように調整することができる。不活性ガスを上側チャンバ100a内に流し、分子ガスを下側チャンバ100b内に流す一実施形態では、電極108へのRF及び/又はVHF電力及び/又はコイルアンテナ172へのRF電力を調整して、下側チャンバ100b内での解離プロセス及びイオン化プロセスの相対的制御のために、下側チャンバ100bへの電子ビームエネルギー及び磁束を調整することができる。ラジカル又は解離した種の数(集団)は、リモートプラズマ源280によって増強することができる。低電子温度プラズマが連続的に生成されない(パルスDC又はRF CCP/ICP放電のオフ時間の間に断続的に生成される)可能性のある一般的に使用される直流放電、RF容量結合プラズマ、又は誘導結合プラズマとは異なり、上記の実施形態は、下側チャンバ100b内でワークピース111上に低電子温度プラズマを高い均一性で連続的に生成することができる。更に、電気陰性ガスを用いて、電子不足の高い電気陰性度の「イオン-イオン」プラズマをワークピース上に高い均一性で連続的に生成することができ、ワークピース支持台110に印加される低周波バイアス電圧又は低繰り返し周波数の任意の電圧波形の印加により、正及び/又は負イオンをプラズマから選択的に又は交互に抽出し、エッチング、洗浄、堆積、又は他の材料改質プロセスのためにワークピース表面内に所望のエネルギーレベルで加速させることができる。
Claims (7)
- 電子ビームプラズマリアクタであって、
側壁、上部、及び下部を有するプラズマチャンバと、
プラズマチャンバの上部にある上部電極と、
ワークピースを上部電極に向けて、プラズマチャンバの下部でワークピースを保持するためのワークピース支持台と、
上部電極に接続された第1RF電源と、
プラズマチャンバにガスを供給するガス供給源と、
チャンバに結合されて、チャンバを排気する真空ポンプと、
コントローラであって、
第1RF電源を動作させて、上部電極にRF電力を印加し、
真空ポンプと連携してガス供給源を動作させて、上部電極に衝突するイオンを生成する第1プラズマをチャンバの上部に発生させることで、
上部電極はワークピースに向かって電子ビームを放出し、
電子ビームの一部がプラズマチャンバの下部においてガスに衝突して、第1プラズマよりも低い電子温度を有する下部に第2電気陰性イオン-イオンプラズマを発生させるように構成され、
第1RF電源及びガス供給源を動作させることで、電子ビームとチャンバの下部のガスとの間に非弾性電子衝突が提供され、電子ビームの一部がワークピースに衝突するように構成されたコントローラと、
プラズマチャンバの上部で第1プラズマの密度を調整し、プラズマチャンバ内の電子ビームを調整するコイルアンテナを備える電子ビームプラズマリアクタ。 - RFソース電力発生器は、
第1周波数を有する第1RF電力発生器と、
第2周波数を有する第2RF電力発生器とを備えている、請求項1に記載のプラズマリアクタ。 - チャンバの上部に第1ガスを供給する第1ガス供給源と、
チャンバの下部に第2ガスを供給する第2ガス供給源とを備える、請求項1に記載のプラズマリアクタ。 - 第1ガス供給源は、不活性ガスをチャンバに供給するように構成され、
第2ガス供給源は、プロセスガスをチャンバに供給するように構成されている、請求項3に記載のプラズマリアクタ。 - 電子ビームプラズマリアクタ内でワークピースを処理する方法であって、
ワークピースが上部電極を向くようにプラズマリアクタのチャンバ内でワークピースを支持する工程と、
チャンバの上部にガスを導入する工程と、
第1RF電力を上部電極に印加してチャンバの上部に第1プラズマを生成することで、プラズマのイオンが上部電極に衝突して、上部電極からワークピースへ向かう二次電子の電子ビームを発生させる工程であって、電子ビームの一部がプラズマチャンバの下部においてガスに衝突して、第1プラズマよりも低い電子温度を有する下部に第2電気陰性イオン-イオンプラズマを発生させており、電子ビームの電子がチャンバの下部においてガスと非弾性衝突しており、電子ビームの一部がワークピースに衝突している工程と、
コイルアンテナによりチャンバの上部で第1プラズマの密度を調整し、プラズマチャンバ内の電子ビームを調整する工程を含む方法。 - ガスを導入する工程は、
実質的に不活性なガスをチャンバの上部に供給する工程と、
分子プロセスガスをチャンバの下部に供給する工程とを含んでいる、請求項5に記載の方法。 - 第1RF電力を印加する工程は、
第1周波数のRF電力を印加する工程と、
第2周波数のRF電力を印加する工程とを含んでいる、請求項5に記載の方法。
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---|---|---|---|
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Families Citing this family (49)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8887683B2 (en) * | 2008-01-31 | 2014-11-18 | Plasma Igniter LLC | Compact electromagnetic plasma ignition device |
US8920597B2 (en) | 2010-08-20 | 2014-12-30 | Applied Materials, Inc. | Symmetric VHF source for a plasma reactor |
US10475626B2 (en) * | 2015-03-17 | 2019-11-12 | Applied Materials, Inc. | Ion-ion plasma atomic layer etch process and reactor |
US9734991B2 (en) * | 2015-07-28 | 2017-08-15 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Negative ribbon ion beams from pulsed plasmas |
JP6753678B2 (ja) * | 2016-03-25 | 2020-09-09 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 荷電粒子ビーム装置及びプラズマ点火方法 |
US10249495B2 (en) | 2016-06-28 | 2019-04-02 | Applied Materials, Inc. | Diamond like carbon layer formed by an electron beam plasma process |
US11694911B2 (en) * | 2016-12-20 | 2023-07-04 | Lam Research Corporation | Systems and methods for metastable activated radical selective strip and etch using dual plenum showerhead |
US11742187B2 (en) * | 2016-12-27 | 2023-08-29 | Evatec Ag | RF capacitive coupled etch reactor |
US20180274100A1 (en) | 2017-03-24 | 2018-09-27 | Applied Materials, Inc. | Alternating between deposition and treatment of diamond-like carbon |
US11222769B2 (en) | 2017-05-26 | 2022-01-11 | Applied Materials, Inc. | Monopole antenna array source with gas supply or grid filter for semiconductor process equipment |
WO2018218160A1 (en) * | 2017-05-26 | 2018-11-29 | Applied Materials, Inc. | Monopole antenna array source for semiconductor process equipment |
US11043375B2 (en) | 2017-08-16 | 2021-06-22 | Applied Materials, Inc. | Plasma deposition of carbon hardmask |
US10395894B2 (en) * | 2017-08-31 | 2019-08-27 | Lam Research Corporation | Systems and methods for achieving peak ion energy enhancement with a low angular spread |
JP6937644B2 (ja) * | 2017-09-26 | 2021-09-22 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
US10269574B1 (en) * | 2017-10-03 | 2019-04-23 | Mattson Technology, Inc. | Surface treatment of carbon containing films using organic radicals |
KR102453450B1 (ko) * | 2017-10-23 | 2022-10-13 | 삼성전자주식회사 | 플라즈마 처리 장치, 반도체 소자의 제조설비 및 그의 제조방법 |
JP7002921B2 (ja) * | 2017-11-10 | 2022-01-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
US20190186369A1 (en) | 2017-12-20 | 2019-06-20 | Plasma Igniter, LLC | Jet Engine with Plasma-assisted Combustion |
WO2019143474A1 (en) * | 2018-01-18 | 2019-07-25 | Applied Materials, Inc. | Etching apparatus and methods |
US11469097B2 (en) | 2018-04-09 | 2022-10-11 | Applied Materials, Inc. | Carbon hard masks for patterning applications and methods related thereto |
WO2019199922A1 (en) * | 2018-04-13 | 2019-10-17 | Mattson Technology, Inc. | Processing of workpieces with reactive species generated using alkyl halide |
US11049697B2 (en) | 2018-06-20 | 2021-06-29 | Board Of Trustees Of Michigan State University | Single beam plasma source |
US10790153B2 (en) * | 2018-06-29 | 2020-09-29 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for electron beam etching process |
WO2020051064A1 (en) * | 2018-09-05 | 2020-03-12 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and process for electron beam mediated plasma etch and deposition processes |
WO2020081226A1 (en) | 2018-10-15 | 2020-04-23 | Mattson Technology, Inc. | Ozone for selective hydrophilic surface treatment |
CN112335017A (zh) | 2018-11-16 | 2021-02-05 | 玛特森技术公司 | 腔室上光以通过减少化学成分改善刻蚀均匀性 |
JP2020092195A (ja) * | 2018-12-06 | 2020-06-11 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
US10403492B1 (en) | 2018-12-11 | 2019-09-03 | Mattson Technology, Inc. | Integration of materials removal and surface treatment in semiconductor device fabrication |
CN113196442A (zh) * | 2018-12-17 | 2021-07-30 | 应用材料公司 | 用于光学设备制造的离子束源 |
WO2020131793A1 (en) * | 2018-12-20 | 2020-06-25 | Mattson Technology, Inc. | Silicon mandrel etch after native oxide punch-through |
JP7346269B2 (ja) * | 2019-01-17 | 2023-09-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 静電吸着部の制御方法、及びプラズマ処理装置 |
CN111446144B (zh) * | 2019-01-17 | 2024-04-19 | 东京毅力科创株式会社 | 静电吸附部的控制方法和等离子体处理装置 |
CN113474483A (zh) * | 2019-02-07 | 2021-10-01 | 朗姆研究公司 | 能时间和/或空间上调制一或更多等离子体的衬底处理 |
JP7282910B2 (ja) * | 2019-03-14 | 2023-05-29 | ラム リサーチ コーポレーション | 高アスペクト比エッチングのためのプラズマエッチングツール |
US11545343B2 (en) | 2019-04-22 | 2023-01-03 | Board Of Trustees Of Michigan State University | Rotary plasma reactor |
KR20220037456A (ko) | 2019-07-01 | 2022-03-24 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 플라즈마 결합 재료들을 최적화하는 것에 의한 막 특성들의 조절 |
US11195718B2 (en) * | 2019-07-03 | 2021-12-07 | Beijing E-town Semiconductor Technology Co., Ltd. | Spacer open process by dual plasma |
US11043362B2 (en) * | 2019-09-17 | 2021-06-22 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatuses including multiple electron sources |
KR20210061846A (ko) * | 2019-11-20 | 2021-05-28 | 삼성전자주식회사 | 기판 처리 장치 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조 방법 |
US11721542B2 (en) | 2019-11-27 | 2023-08-08 | Applied Materials, Inc. | Dual plasma pre-clean for selective gap fill |
KR102362893B1 (ko) * | 2019-11-27 | 2022-02-11 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
US20210159052A1 (en) * | 2019-11-27 | 2021-05-27 | Applied Materials, Inc. | Processing Chamber With Multiple Plasma Units |
CN111463094B (zh) * | 2020-04-16 | 2023-08-18 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 原子层刻蚀设备和原子层刻蚀方法 |
CN113903644A (zh) * | 2020-06-22 | 2022-01-07 | 江苏鲁汶仪器有限公司 | 一种用于离子束刻蚀腔的挡件 |
US11664214B2 (en) | 2020-06-29 | 2023-05-30 | Applied Materials, Inc. | Methods for producing high-density, nitrogen-doped carbon films for hardmasks and other patterning applications |
US11664226B2 (en) | 2020-06-29 | 2023-05-30 | Applied Materials, Inc. | Methods for producing high-density carbon films for hardmasks and other patterning applications |
JP2022064042A (ja) * | 2020-10-13 | 2022-04-25 | 株式会社Kelk | 基板処理装置 |
US20230033058A1 (en) * | 2021-07-29 | 2023-02-02 | Applied Materials, Inc. | Reactor with inductively coupled plasma source |
JP2023161689A (ja) * | 2022-04-26 | 2023-11-08 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、およびリモートプラズマ源 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010512031A (ja) | 2006-12-05 | 2010-04-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | チャンバ中央のガス分配プレート、同調型プラズマ流制御グリッド及び電極 |
US20110174606A1 (en) | 2010-01-15 | 2011-07-21 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and Method for Improving Photoresist Properties Using a Quasi-Neutral Beam |
JP2012507143A (ja) | 2008-10-23 | 2012-03-22 | ラム リサーチ コーポレーション | フォトレジストを除去するための方法および装置 |
JP2014209622A (ja) | 2013-04-05 | 2014-11-06 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 半導体製造用の内部プラズマグリッドの適用 |
JP2014531753A (ja) | 2011-09-07 | 2014-11-27 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | デュアルチャンバ構成のパルスプラズマチャンバ |
JP2014513427A5 (ja) | 2012-04-10 | 2015-05-28 |
Family Cites Families (68)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8629634D0 (en) * | 1986-12-11 | 1987-01-21 | Dobson C D | Reactive ion & sputter etching |
US5225024A (en) | 1989-05-08 | 1993-07-06 | Applied Materials, Inc. | Magnetically enhanced plasma reactor system for semiconductor processing |
US6184150B1 (en) * | 1992-09-08 | 2001-02-06 | Applied Materials Inc. | Oxide etch process with high selectivity to nitride suitable for use on surfaces of uneven topography |
US5350480A (en) * | 1993-07-23 | 1994-09-27 | Aspect International, Inc. | Surface cleaning and conditioning using hot neutral gas beam array |
US5561298A (en) * | 1994-02-09 | 1996-10-01 | Hughes Aircraft Company | Destruction of contaminants using a low-energy electron beam |
US5674321A (en) | 1995-04-28 | 1997-10-07 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for producing plasma uniformity in a magnetic field-enhanced plasma reactor |
US6083363A (en) * | 1997-07-02 | 2000-07-04 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and method for uniform, low-damage anisotropic plasma processing |
KR100297719B1 (ko) * | 1998-10-16 | 2001-08-07 | 윤종용 | 박막제조방법 |
KR100301066B1 (ko) * | 1999-08-16 | 2001-11-01 | 윤종용 | 비금속 도전물질로 구성된 음극판을 갖는 전자빔 조사장비 |
JP4414518B2 (ja) * | 1999-09-10 | 2010-02-10 | 株式会社日立製作所 | 表面処理装置 |
JP4323021B2 (ja) * | 1999-09-13 | 2009-09-02 | 株式会社エフオーアイ | プラズマ処理装置 |
US8617351B2 (en) | 2002-07-09 | 2013-12-31 | Applied Materials, Inc. | Plasma reactor with minimal D.C. coils for cusp, solenoid and mirror fields for plasma uniformity and device damage reduction |
US7030335B2 (en) * | 2000-03-17 | 2006-04-18 | Applied Materials, Inc. | Plasma reactor with overhead RF electrode tuned to the plasma with arcing suppression |
US20020185226A1 (en) * | 2000-08-10 | 2002-12-12 | Lea Leslie Michael | Plasma processing apparatus |
JP2002289585A (ja) | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Ebara Corp | 中性粒子ビーム処理装置 |
US6786175B2 (en) * | 2001-08-08 | 2004-09-07 | Lam Research Corporation | Showerhead electrode design for semiconductor processing reactor |
JP4073204B2 (ja) * | 2001-11-19 | 2008-04-09 | 株式会社荏原製作所 | エッチング方法 |
US6936551B2 (en) * | 2002-05-08 | 2005-08-30 | Applied Materials Inc. | Methods and apparatus for E-beam treatment used to fabricate integrated circuit devices |
JP2004281230A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Ebara Corp | ビーム源及びビーム処理装置 |
US7022611B1 (en) * | 2003-04-28 | 2006-04-04 | Lam Research Corporation | Plasma in-situ treatment of chemically amplified resist |
US6903511B2 (en) * | 2003-05-06 | 2005-06-07 | Zond, Inc. | Generation of uniformly-distributed plasma |
USH2212H1 (en) | 2003-09-26 | 2008-04-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method and apparatus for producing an ion-ion plasma continuous in time |
KR101001743B1 (ko) | 2003-11-17 | 2010-12-15 | 삼성전자주식회사 | 헬리컬 자기-공진 코일을 이용한 이온화 물리적 기상 증착장치 |
KR100555849B1 (ko) * | 2003-11-27 | 2006-03-03 | 주식회사 셈테크놀러지 | 중성입자빔 처리장치 |
US20050224722A1 (en) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for reducing charge density on a dielectric coated substrate after exposure to large area electron beam |
US20050281958A1 (en) * | 2004-06-22 | 2005-12-22 | Walton Scott G | Electron beam enhanced nitriding system (EBENS) |
CN101771613B (zh) * | 2004-06-30 | 2012-11-07 | 松下电器产业株式会社 | 通信装置以及通信方法 |
US7268084B2 (en) | 2004-09-30 | 2007-09-11 | Tokyo Electron Limited | Method for treating a substrate |
JP2006114614A (ja) * | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Canon Anelva Corp | プラズマ処理装置および方法 |
US7777197B2 (en) * | 2005-06-02 | 2010-08-17 | Applied Materials, Inc. | Vacuum reaction chamber with x-lamp heater |
AU2006259381B2 (en) | 2005-06-17 | 2012-01-19 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Boost devices and methods of using them |
US7351264B2 (en) * | 2005-07-27 | 2008-04-01 | Wilson Michael T | Liner for prosthesis |
US7358484B2 (en) * | 2005-09-29 | 2008-04-15 | Tokyo Electron Limited | Hyperthermal neutral beam source and method of operating |
US20070119375A1 (en) * | 2005-11-30 | 2007-05-31 | Darrin Leonhardt | Dual large area plasma processing system |
US7862683B2 (en) * | 2005-12-02 | 2011-01-04 | Tokyo Electron Limited | Chamber dry cleaning |
US7780864B2 (en) * | 2006-04-24 | 2010-08-24 | Applied Materials, Inc. | Process using combined capacitively and inductively coupled plasma sources for controlling plasma ion radial distribution |
KR100835355B1 (ko) | 2006-07-25 | 2008-06-04 | 삼성전자주식회사 | 플라즈마를 이용한 이온주입장치 |
US7829469B2 (en) * | 2006-12-11 | 2010-11-09 | Tokyo Electron Limited | Method and system for uniformity control in ballistic electron beam enhanced plasma processing system |
US20080178803A1 (en) * | 2007-01-30 | 2008-07-31 | Collins Kenneth S | Plasma reactor with ion distribution uniformity controller employing plural vhf sources |
US8080479B2 (en) | 2007-01-30 | 2011-12-20 | Applied Materials, Inc. | Plasma process uniformity across a wafer by controlling a variable frequency coupled to a harmonic resonator |
TW200845197A (en) | 2007-03-28 | 2008-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Plasma etching apparatus |
US20090084501A1 (en) * | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Tokyo Electron Limited | Processing system for producing a negative ion plasma |
US20090095714A1 (en) * | 2007-10-12 | 2009-04-16 | Tokyo Electron Limited | Method and system for low pressure plasma processing |
US20110024366A1 (en) * | 2007-10-15 | 2011-02-03 | M-I Swaco Norge As | Method of inhibiting salt precipitation from aqueous streams |
US9520275B2 (en) * | 2008-03-21 | 2016-12-13 | Tokyo Electron Limited | Mono-energetic neutral beam activated chemical processing system and method of using |
US8263499B2 (en) * | 2008-03-31 | 2012-09-11 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing method and computer readable storage medium |
US7732759B2 (en) * | 2008-05-23 | 2010-06-08 | Tokyo Electron Limited | Multi-plasma neutral beam source and method of operating |
JP2010116596A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Shinmaywa Industries Ltd | 基板支持装置およびこれを備えるプラズマ処理装置 |
US20100190098A1 (en) * | 2009-01-27 | 2010-07-29 | Applied Materials, Inc. | Infrared endpoint detection for photoresist strip processes |
KR101285265B1 (ko) * | 2009-02-06 | 2013-07-12 | 캐논 아네르바 가부시키가이샤 | 플라즈마 처리장치, 플라즈마 처리방법 및 피처리 기판을 포함한 소자 제조방법 |
KR101572100B1 (ko) * | 2009-05-31 | 2015-11-26 | 위순임 | 복합 주파수를 이용한 대면적 플라즈마 반응기 |
US20110139748A1 (en) * | 2009-12-15 | 2011-06-16 | University Of Houston | Atomic layer etching with pulsed plasmas |
US20110177694A1 (en) * | 2010-01-15 | 2011-07-21 | Tokyo Electron Limited | Switchable Neutral Beam Source |
KR101080604B1 (ko) * | 2010-02-09 | 2011-11-04 | 성균관대학교산학협력단 | 원자층 식각 장치 및 이를 이용한 식각 방법 |
US9190289B2 (en) * | 2010-02-26 | 2015-11-17 | Lam Research Corporation | System, method and apparatus for plasma etch having independent control of ion generation and dissociation of process gas |
US20120258607A1 (en) * | 2011-04-11 | 2012-10-11 | Lam Research Corporation | E-Beam Enhanced Decoupled Source for Semiconductor Processing |
KR101900527B1 (ko) * | 2011-04-11 | 2018-09-19 | 램 리써치 코포레이션 | 반도체 프로세싱을 위한 e-빔 강화된 디커플링 소스 |
JP6016339B2 (ja) * | 2011-08-12 | 2016-10-26 | 東京エレクトロン株式会社 | カーボンナノチューブの加工方法及び加工装置 |
US9129777B2 (en) * | 2011-10-20 | 2015-09-08 | Applied Materials, Inc. | Electron beam plasma source with arrayed plasma sources for uniform plasma generation |
US20130098873A1 (en) * | 2011-10-20 | 2013-04-25 | Applied Materials, Inc. | Overhead electron beam source for plasma ion generation in a workpiece processing region |
SG11201402447TA (en) * | 2011-11-24 | 2014-06-27 | Lam Res Corp | Plasma processing chamber with flexible symmetric rf return strap |
US9245761B2 (en) * | 2013-04-05 | 2016-01-26 | Lam Research Corporation | Internal plasma grid for semiconductor fabrication |
US20140360670A1 (en) * | 2013-06-05 | 2014-12-11 | Tokyo Electron Limited | Processing system for non-ambipolar electron plasma (nep) treatment of a substrate with sheath potential |
US9147581B2 (en) | 2013-07-11 | 2015-09-29 | Lam Research Corporation | Dual chamber plasma etcher with ion accelerator |
US9159606B1 (en) * | 2014-07-31 | 2015-10-13 | Applied Materials, Inc. | Metal air gap |
US9362131B2 (en) * | 2014-08-29 | 2016-06-07 | Applied Materials, Inc. | Fast atomic layer etch process using an electron beam |
US10475626B2 (en) * | 2015-03-17 | 2019-11-12 | Applied Materials, Inc. | Ion-ion plasma atomic layer etch process and reactor |
US20180277340A1 (en) * | 2017-03-24 | 2018-09-27 | Yang Yang | Plasma reactor with electron beam of secondary electrons |
-
2015
- 2015-03-17 US US14/660,531 patent/US10475626B2/en active Active
-
2016
- 2016-01-15 TW TW105101258A patent/TWI713076B/zh active
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- 2016-01-15 CN CN201680024807.6A patent/CN107636793B/zh active Active
-
2018
- 2018-05-15 US US15/980,621 patent/US20180261429A1/en not_active Abandoned
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JP2012507143A (ja) | 2008-10-23 | 2012-03-22 | ラム リサーチ コーポレーション | フォトレジストを除去するための方法および装置 |
US20110174606A1 (en) | 2010-01-15 | 2011-07-21 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and Method for Improving Photoresist Properties Using a Quasi-Neutral Beam |
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