JP7312401B2 - ガスセンサ及びアルカリ土類フェライトの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ガスセンサ及びガスセンサのガス検出部に適用されるアルカリ土類フェライトの製造方法に関する。

近年、オフィス内又は家庭内等の住環境、または、農業・バイオ関連分野等において、一酸化炭素、二酸化炭素又はＮＯ_x等の特定ガスを監視する需要が高まっている。これに伴い、これらの特定ガスを検出するガスセンサが提案されている（特許文献１参照）。

特許文献１に記載されたようなガスセンサでは、ガスを検出するガス検出部として、酸化スズの微粒子を主成分とする半導体が用いられることが多い。

特開２０１７－１０６８５７号公報

しかしながら、酸化スズが単独で用いられたガスセンサでは、ガス検出感度が頭打ちになるため、例えば、ＣＯ₂ガスを検出する場合には、酸化スズ微粒子の表面をＣＯ₂ガスとの反応性が高いとされるランタン（Ｌａ）の酸化物（Ｌａ₂Ｏ₃）で被覆するなどの処理を行って、所望のガスに対する検出感度を確保する必要があった。このように、特定ガスに対するガス検出能を発現し得る材料の模索が続けられている。

そこで、本発明は、ガス検出材料の表面への処理などを行うことなく、所望のガスに対するガス検出能を発現し得る材料を用いたガスセンサの提供を目的とする。

本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、ガスセンサのガス検出部を構成する半導体材料の粒子形状が、粒子自身のバルク抵抗と粒子間の粒界抵抗との間の抵抗変化に影響を与えることに着目し、これに基づいて本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明の一態様としてのガスセンサは、基材と、前記基材上に配置された第１電極及び第２電極と、前記第１電極と前記第２電極とに接続されたガス検出部と、を備え、前記ガス検出部は、アルカリ土類フェライトの薄片状粒子を含む。

本発明に係るガスセンサによれば、ガス検出部に、アルカリ土類フェライトの薄片状粒子を用いることにより、隣接するアルカリ土類フェライトの薄片状粒子間における粒界抵抗が抑えられる。それゆえ、ガス検出部に薄片状粒子を用いた場合は、ガス検出部に微粒子を用いた場合に比べて、ガス検出部の内部抵抗が相対的に大きくなるので、ガスの吸着に伴う内部抵抗の変化が検出されやすくなる。したがって、ガス検出部に薄片状粒子を用いたガスセンサは、所望のガスに対するガス検出能を発現することができる。

本発明の実施形態に係る厚膜型のガスセンサのガス検出部の一部を切り欠いた平面図である。 本発明の実施形態に係る管型のガスセンサを説明するための模式図である。 図１に示す領域Ａの拡大を模式的に示した模式図である。 図１のＩＶ－ＩＶ線における断面図である。 一般的なガスセンサの要部を拡大して説明するための模式図である。 ガスセンサの抵抗成分を説明するための模式図である。 アルカリ土類フェライトにおいて、ＣＯ₂ガスが検出されるメカニズムを説明するための模式図である。 アルカリ土類フェライトにおいて、ＣＯガスが検出されるメカニズムを説明するための模式図である。 アルカリ土類フェライトにおいて、ＮＯ₂ガスが検出されるメカニズムを説明するための模式図である。 薄片状粒子を用いたセンサ素子のＣＯ₂ガス検出を説明するための模式図である。 本実施形態に係る薄片状素子を有するガス検知部の製造方法を説明するための図である。 ガスセンサの性能を評価するための評価回路を説明するための回路図である。 供試体４（ＣａＦｅ₂Ｏ₄）のＳＥＭ画像を示す図である。 供試体５（Ｓｉ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄）を５００００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。 供試体６（Ｔｉ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄）を５００００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。 供試体７（Ｚｒ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄）を５００００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。 供試体８（Ｈｆ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄）を５００００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。 供試体９（Ｚｒを３モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄）を２００００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。 供試体１０（Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄）を２００００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。 供試体１１（Ｚｒを７モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄）を２００００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。 供試体１２（Ｚｒを１０モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄）を２００００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。 供試体１０の（Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄）を１０００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。 供試体１０の（Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄）を２５００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。 供試体１１及び１２のＳＥＭ画像を示す図である。 第２仮焼処理に相当する加熱時間を１２時間とし、加熱温度を変化させたときに得られる供試体（１３－１６）の表面のＳＥＭ画像を示す図である。 供試体１～３のガス検出性能を示す図である。 供試体４～８のガス検出性能を示す図である。 供試体９～１２のガス検出性能を示す図である。 供試体９と１７のガス検出性能を示す図である。 管型ガスセンサ及び厚膜型ガスセンサにおけるＣＯ₂ガスの検出性能を示す図である。 ＣａＦｅ₂Ｏ₄のＣＯ₂、ＣＯ及びＮＯ₂に対する検出性能を示す図である。 ＣａＦｅ₂Ｏ₄のＣＯ₂、ＣＯ及びＮＯ₂に対する検出性能を示す図である。

［ガスセンサ］
＜ガスセンサの構成＞
本発明の実施形態に係るガスセンサ１０の一例について、図面を用いて詳細に説明する。

図１は、本発明の実施形態に係るガスセンサ１０のガス検出部１４の一部を切り欠いた平面図である。

図１に示すガスセンサ１０は、基材１１と、第１電極１２と、第２電極１３と、ガス検出部１４とを有し、これらが平板状の基材１１に形成された厚膜型センサである。

基材１１としては、絶縁性材料又は半絶縁性材料を用いることができる。絶縁性材料としては、アルミナ、二酸化ケイ素、ムライト、酸化マグネシウム或いはフォルステライト等の構造用セラミックス、又は、ガラス或いはサファイア等を用いることができる。また、半絶縁性材料としては、炭化ケイ素等を用いることができる。このほか、ガスセンサの基材として通常用いられる材料であれば、基材１１として用いることができる。

平板状の基材１１を使用する場合には、基材１１の厚さは、０．０５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下とすることができる。基材１１としての強度の観点から、基材１１の厚さは０．０９ｍｍ以上であることが好ましい。また、放熱性の観点から、基材１１の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましい。

第１電極１２及び第２電極１３は、通常、電極或いはリード線として用いられる材料であれば用いることができる。導電性材料として、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｃｒ又はＳｎ等を好適に用いることができる。

図１に示すような厚膜型に形成する場合には、第１電極１２及び第２電極１３は、それぞれ櫛歯状に形成することができる。そして、第１電極１２及び第２電極１３は、基材１１の表面において、第１電極１２を構成する櫛歯１２ａの各々の間に、第２電極１３を構成する櫛歯１３ａの各々が交互に入り込んで配置されている。

第１電極１２及び第２電極１３は、用いる金属元素に応じて、基材１１の表面にスパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法又はレーザアブレーション法を用いたパターン成膜等によって形成することができる。また、第１電極１２及び第２電極１３は、基材１１の表面に、電極用材料を印刷により形成することができる。また、このほか、ワイヤーボンディング等の接合方法を用いることもできる。

厚膜型に形成する場合には、第１電極１２及び第２電極１３の厚さは、０．０５μｍ以上２０μｍ以下とすることができる。検出ガスに対する検出性能の観点から、１μｍ以上、コストの観点から１０μｍ以下であることが好ましい。

第１電極１２の櫛歯１２ａと第２電極１３の櫛歯１３ａの電極間距離は、８０μｍ以上２００μｍ以下であり、第１電極１２の櫛歯１２ａと第２電極１３の櫛歯１３ａの電極ライン幅Ｌ０と第１電極１２の櫛歯１２ａと第２電極１３の櫛歯１３ａとの間隔Ｓの比率（Ｓ／Ｌ０）は、０．２７以上４．００以下とすることができる。センサ特性の観点から、０．８０以上２．００以下であることが好ましい。

ガス検出部１４は、第１電極１２と第２電極１３とを電気的に接続するように配置されている。ガス検出部１４は、検出対象のガス分子を電気的に吸着可能な材料から構成されており、ガス分子の存在を、ガス分子の吸着に伴う抵抗値の変化を利用して検出するものである。

本実施形態においては、ガス検出部１４を構成する材料として、アルカリ土類フェライトが用いられる。本実施形態においては、ガス検出部１４は、ガス検出部１４を構成するアルカリ土類フェライトをバインダを用いてペースト状にし、これをスクリーン印刷法等を用いて基材１１に塗布することで製造することができる。なお、ペーストには、ガラス等の絶縁性材料が混合されていてもよい。

図１に示すような厚膜型においては、ガス検出部１４は、第１電極１２及び第２電極１３の櫛歯間を覆うようにして、所定の長さＬ１及び幅Ｗ１の領域に塗布形成することができる。

厚膜型のガスセンサ１０において、センサ特性が最も良好となると考えられるのは、薄片状粒子の厚み方向の重なりが少ない状態であって、かつ、第１電極１２及び第２電極１３間の導通が確保できている状態である。この点を考慮すると、ガス検出部１４の厚さは、０．０５μｍ以上１０μｍ以下とすることができる。

ガス検出部１４は、図１に示すように、第１電極１２及び第２電極１３に跨がって所定領域に塗布されていてもよいし、第１電極１２と第２電極１３との間にのみ塗布されていてもよい。なお、図１には図示されていないが、基材１１の表面に絶縁層が配置され、その絶縁層の表面に、第１電極１２及び第２電極１３が配置されていてもよい。

ガスセンサ１０の全体の寸法、長さＬ２及び幅Ｗ２は、ガスセンサ１０の使用環境に応じたサイズに適宜設定することができる。

また、本実施形態に係るガスセンサは、管型に構成することもできる。

図２は、管型のガスセンサ５０を説明する模式図である。図２は、管型のガスセンサ５０の構造を分かりやすくするために、一部が切り欠かれて描かれている。

管型の場合には、基材５１を、所定径を有する管状に形成し、管状の基材５１に所定の間隔で電極５２，５３を接続し、さらに、その周囲にガス検出部を構成する材料層５４を形成する。

一例として、基材５１としてアルミナチューブを用い、電極５２，５３として白金ワイヤを用いることができる。アルミナチューブに白金ワイヤを接続し、さらに、アルミナチューブ及び白金ワイヤの周囲にアルカリ土類フェライトからなる材料層５４を塗布して、管型のガスセンサ５０を作製することができる。

なお、図１及び図２には示されていないが、ガスセンサ１０は、ガスセンサ１０を検出対象のガスの検出温度まで加熱するヒータとともに用いられる。このヒータは、ガスセンサ１０の基材１１に一体的に形成されてもよい。

＜ガス検出部の説明＞
図３は、図１に示す領域Ａを拡大して模式的に示した模式図である。また、図４は、図１のＩＶ－ＩＶ線における断面図である。

ガス検出部１４は、アルカリ土類フェライトの薄片状粒子から構成されている。本実施形態において、薄片状とは、広がりのある一面と、広がり方向に対して著しく小さい厚みを有する板状であることを表す。図３に示すように、ガス検出部１４は、アルカリ土類フェライトの薄片状粒子１４１が凝集したものである。薄片状粒子１４１の隙間には空隙部分１４２が形成されている。なお、図３では、図面をわかりやすくするために、櫛歯１２ａ及び櫛歯１３ａの上の薄片状粒子１４１の一部は省略されている。

薄片状粒子１４１は、基材１１の平面方向における薄片状粒子１４１の長さＭと厚さＤとの比率（Ｍ／Ｄ）は、１以上２０以下とすることができる。また、薄片状粒子１４１の長さＭは、Ｍ＜（２Ｌ＋２Ｓ）であることが好ましい。これは、一つの薄片状粒子１４１が３つ以上の櫛歯１２ａ（又は１３ａ）に跨がらないことを意味する。

また、図３及び図４には図示されていないが、薄片状粒子１４１のそれぞれは、微細孔による空隙部分と連続部分とが厚み方向にも連続する三次元多孔質構造を有する。薄片状粒子１４１における微細孔の全容量は、８０ｃｍ³／ｇ以上であって、微細孔の平均孔径が１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましい。

アルカリ土類金属のなかでは、調達コスト及び環境負荷が低いことなどから、Ｍｇ或いはＣａを用いることが好ましい。また、ガス検出感度を高める観点から、Ｃａを用いることがより好ましい。

また、ガス検出感度を向上させる観点から、アルカリ土類フェライトは、Ｌａ、Ｓｍ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｈｆ及びＺｒを含む群から選択される少なくとも一つの異種元素を含有することが好ましい。また、上述の異種元素のなかでは、所望とする微細孔を得やすいことから、Ｚｒを用いることが好ましい。

さらに、薄片状粒子１４１の微細孔の全容量を８０ｃｍ³／ｇ以上、微細孔の平均孔径を１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下にする観点から、異種元素の含有量は、０モル％超１０モル％以下とすることができ、３モル％以上７モル％以下であることが好ましい。異種元素の含有量が１０モル％を超えると、薄片状粒子１４１に微細孔が形成されにくくなる。

すなわち、本実施形態においては、アルカリ土類フェライトとして、Ｚｒを含有するカルシウムフェライト（ＣａＦｅ₂Ｏ₄）を用いることにより、ガス検出感度が良好なガス検出部１４を製造することができる。

＜作用効果＞
本実施形態に係るガスセンサの検出性能について説明する。図５は、一般的なガスセンサ１００の要部を拡大して説明するための模式図である。また、図６は、ガスセンサの抵抗成分を説明するための模式図である。

図５には、基材１１０に、第１電極１１１及び第２電極１１２が配置され、第１電極１１１及び第２電極１１２に電気的に接続されたガス検出部１１３を備えたガスセンサ１００が示されている。なお、図５では、図面をわかりやすくするために、第１電極１１１及び第２電極１１２上の微細粒子１１４は省略されている。

ガスセンサのガス検出部を構成するアルカリ土類フェライトの内部で発生する抵抗成分には、図６に示す３つの成分がある。
（１）酸化物の微細粒子１１４の内部抵抗であるバルク抵抗：Ｒ_b、
（２）互いに接触する微細粒子１１４間における粒界抵抗Ｒ_gb、
（３）微細粒子１１４と第１電極１１１（又は第２電極１１２）との電極界面抵抗Ｒ_e
すなわち、ガス検出部の全抵抗（Ｒ_all）は、バルク抵抗（Ｒ_b）、粒界抵抗（Ｒ_gb）及び電極界面抵抗（Ｒ_e）の総和で表すことができる。

図７は、アルカリ土類フェライトにおいて、ＣＯ₂ガスが検出されるメカニズムを説明するための模式図である。本実施形態に係るガスセンサ１０において、例えば、検出対象のガスがＣＯ₂のような酸性ガスの場合について説明する。ＣＯ₂は、ルイス酸性を示すことから、アルカリ土類フェライトの表面と強く相互作用を起こすと考えられる。特に、アルカリ土類フェライトとして、ＣａＦｅ₂Ｏ₄を用いることにより、酸性ガスと強く相互作用を起こすガス検出部１４を形成することができる。

ＣＯ₂を検出する場合、ＣａＦｅ₂Ｏ₄の表面に負電荷吸着した酸素が関与していると考えられる。ＣａＦｅ₂Ｏ₄は、ｐ型半導体である。ＣＯ₂は、アルカリ土類フェライトの表面に負電荷吸着した酸素（Ｏ^-、Ｏ^2-）と反応し、ＣＯ₃ ^2-を形成する。これにより、ホール濃度が増加する。すなわち、電気抵抗が減少する。吸着酸素であるＯ^-又はＯ^2-とＣＯ₂との反応は、以下の式で表される。
Ｏ^-＋ＣＯ₂＋ｅ^-→ＣＯ₃ ^2-
Ｏ^2-＋ＣＯ₂→ＣＯ₃ ^2-

ＣａＦｅ₂Ｏ₄は、p型半導体であるため、ＣＯ₂に対しては、ホール濃度が増加する。このため、ＣＯ₂ガスが吸着することにより、電気抵抗は減少する。

ガス検出感度は、電気抵抗変化率（ΔＲ）あるいは電気抵抗比（Ｓ）で定義されるため、ガス吸着により電気抵抗が増大する場合よりも、電気抵抗が減少する方が電気信号として取り出し易い。したがって、ガスの検出感度を高めることができると考えられる。

図８は、アルカリ土類フェライトのＣＯガスへの応答性を説明するための模式図である。ＣＯに対しては、図８に示すように、ＣＯと負電荷吸着した酸素（Ｏ^-）との反応が、以下の式で表されるように、ホール濃度の減少をもたらすと考えられる。
Ｍ－Ｏ^- _ads＋ＣＯ→ＣＯ₂＋ｅ^-

ＣａＦｅ₂Ｏ₄は、ＣＯに対しては、ホール濃度が減少するため、ＣＯが検出された場合には、ガス検出部１４の抵抗値が増加する。

図９は、アルカリ土類フェライトのＮＯ₂ガスに対する応答性を説明するための模式図である。図９に示すように、ＮＯ₂に対する応答では、アルカリ土類フェライト表面における格子間酸素（Ｏ_o）が関与していると考えられる。

ＮＯ₂に対しては、ＮＯ₂と格子間酸素（Ｏ_o）とが反応し、以下の式で表されるように、ホール濃度が増加する。これにより、ＮＯ₂が検出された場合には、ガス検出部１４の抵抗値が低下する。
Ｏ_o＋ＮＯ₂＋ｅ^-→ＮＯ₃ ^-

ガスの吸着により、ＣａＦｅ₂Ｏ₄において、上述のような抵抗値変化が生じることにより、ＣＯ₂、ＣＯ及びＮＯ₂等のガスを検出することができる。

なお、電気抵抗変化率は、空気中における抵抗（Ｒ_air）に対する被検ガス中における抵抗（Ｒ_gas）の変化量が空気中における抵抗（Ｒ_air）に対してどの程度の比率になるかを表すものであり、ΔＲ＝（Ｒ_air－Ｒ_gas）／Ｒ_airにより算出される。

また、電気抵抗比（Ｓ）は、空気中における抵抗（Ｒ_air）に対する被検ガス中における抵抗（Ｒ_gas）の比を表すものであり、Ｓ＝Ｒ_air／Ｒ_gasにより算出される。

ガス検出感度を表すうえで、電気抵抗変化率（ΔＲ）及び電気抵抗比（Ｓ）は、互いに同等に扱うことができるが、通常、電気抵抗変化率（ΔＲ）が二桁以上になる場合には、電気抵抗比（Ｓ）を用いて表すことがある。本願の各図では電気抵抗比（Ｓ）を用いる。

また、図１０は、薄片状粒子を用いたセンサ素子のＣＯ₂ガス検出を説明するための模式図である。ＣＯ₂ガスにおける電気抵抗変化率（ΔＲ_CO2）は粒界抵抗Ｒ_gbとバルク抵抗（Ｒ_b)により算出できる。

本実施形態に係るガスセンサ１０では、図３及び図４に示すように、薄片状粒子１４１は、図５に示された微細粒子１１４よりも粗大であるため、ガス検出部１４では、薄片状粒子１４１同士の間の接触箇所は少ない。このため、薄片状粒子１４１からなるガス検出部１４では、ガス検出部１４の全抵抗Ｒ_all＝バルク抵抗（Ｒ_b）＋粒界抵抗（Ｒ_gb)、において、バルク抵抗（Ｒ_b）成分が支配的となる。

したがって、一般的なガスセンサ１００と本実施形態に係るガスセンサ１０において、電極材料、電極ライン幅、電極厚み及び電極間距離を同一条件で作製した場合には、ガスセンサ１０では、検出対象のガスの吸着時における抵抗変化に、アルカリ土類フェライトの電気抵抗変化（バルク抵抗）が現れやすくなると考えられる。

［アルカリ土類フェライトの製造方法］
続いて、本実施形態に係るガスセンサ１０のガス検出部１４を構成するアルカリ土類フェライトの製造方法について説明する。

本実施形態に係るアルカリ土類フェライトの製造方法は、出発原料である複数種の金属イオンの混合溶液を作製する工程と、得られた混合溶液に有機酸を添加し、金属－有機酸錯体を含む前駆体溶液を調製する工程と、前駆体溶液を蒸発乾固して前駆体を得る工程と、前駆体に第１仮焼処理を行う工程と、第１仮焼処理の後に、第２仮焼処理を行う工程とを有する。

本実施形態において、第１仮焼処理は、３００℃以上６００℃以下で、１０分以上１２０分以下で仮焼する処理であり、第２仮焼処理は、６００℃以上１４００℃以下で、１時間以上２４時間以下で仮焼する処理である。なお、第２仮焼処理においては、有効温度範囲のうち下限温度側においては、処理時間を上限側に設定することが好ましく、有効温度範囲のうち上限温度側においては、処理時間を下限側に設定することが好ましい。例えば、６００℃の場合には、処理時間は、２０時間以上にすることが好ましい。

アルカリ土類フェライトに異種元素を含有させる場合には、混合溶液に異種元素を金属塩又はアルコキシドの状態で添加する工程を有する。

具体的には、アルカリ土類フェライトとしては、アルカリ土類フェライト（ＡＦｅ₂Ｏ₄、Ａ＝Ｍｇ，Ｃａ）を用いることができる。出発原料は、金属イオンを溶解できるものであればよく、硝酸マグネシウム（ＩＩ）、硝酸カルシウム（ＩＩ）及び硝酸鉄（ＩＩＩ）等の硝酸塩のほか、炭酸塩、或いは金属酸化物であってもよい。

ＭｇＦｅ₂Ｏ₄を作製する場合には、後述する溶媒中に、硝酸マグネシウム（ＩＩ）と硝酸鉄（ＩＩＩ）とを溶解させて混合溶液を作製する。

一方、ＣａＦｅ₂Ｏ₄を作製する場合には、溶媒中に、硝酸カルシウム（ＩＩ）と硝酸鉄（ＩＩＩ）を溶解させて混合溶液を作製する。本実施形態においては、出発原料である複数種の金属イオンの混合溶液の溶媒として、脱イオン水、又は、メタノール、エタノール、アセチルアセトン或いはエチレングリコール等の有機溶媒を用いることができる。

最終的に得られるアルカリ土類フェライト粒子を薄片状かつ三次元多孔質構造とするには、エタノールを用いることが好ましい。

上記のように得られた混合溶液に、金属イオンの総モル数と等量の有機酸を加える。有機酸としては、複数種の金属イオンと安定なキレート錯体を形成可能であればよく、リンゴ酸，マロン酸等を好適に用いることができる。後の工程を経て得られるアルカリ土類フェライトの粒子を薄片状かつ粗大化させる観点から、リンゴ酸を用いることが好ましい。

アルカリ土類フェライトに異種元素を含有させる場合には、異種元素として、Ｓｍ，Ｌａ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｈｆ及びＺｒを含む群から少なくとも一つを選択することができる。

これらの異種元素は、金属硝酸塩或いはアルコキシドの形態で上記混合溶液に混ぜ合わせることでアルカリ土類フェライトに導入可能である。

Ｓｍ又はＬａを添加する場合には、Ｓｍ又はＬａの金属硝酸塩を用いることが好ましい。また、Ｓｉ，Ｔｉ，Ｈｆ又はＺｒを添加する場合には、これらのアルコキシドを用いることが好ましい。一例として、ケイ素（Ｓｉ）のアルコキシドとして、オルトケイ酸テトラエチル、チタン（Ｔｉ）のアルコキシドとして、チタンイソプロポキシド、ハフニウム（Ｈｆ）のアルコキシドとして、ハフニウムエトキシドを用いることができる。

本実施形態においては、異種元素の添加量は、アルカリ土類フェライトの全モル数に対するモル分率で、異種元素が１０モル％以下であることが好ましく、３モル％以上７モル％以下であることがより好ましい。

得られた前駆体に、第１仮焼処理を行う。この第１仮焼処理は、反応系中の炭酸、硝酸、リンゴ酸、エタノール等の残留有機物を除去するための処理であり、第１仮焼処理の温度は、有機酸の熱分解温度を上回る温度とすることができる。この点から、本実施形態において、第１仮焼処理の温度は、３００℃以上６００℃以下で、１０分以上１２０分以下とする。

また、第１仮焼処理に続いて、第２仮焼処理を行う。第２仮焼処理では、高純度のアルカリ土類フェライトを得ること、また、アルカリ土類フェライトの表面に多孔質を形成する観点から、６００℃以上１４００℃以下で、１時間以上２４時間以下で仮焼処理する。

図１１は、本実施形態に係るアルカリ土類フェライトの製造方法を説明するための図である。本実施形態においては、一例として、図１１に示すように、Ｃａ及びＦｅの各硝酸塩１－ａ，１－ｂとＺｒのアルコキシド１－ｃからなる出発原料を、エタノールに化学量論比で溶解した溶液を混合溶液２とし、この混合溶液２にリンゴ酸３を加えて、異種元素としてＺｒを添加することにより、金属－リンゴ酸錯体４を調製する。次いで、溶液４を蒸発乾固して前駆固体５を製造する。

本実施形態においては、金属－有機酸錯体を含む溶液４を８０℃～１２０℃の温度で１時間保持し、脱水又は脱エタノールを行う。次に、１８０℃～２２０℃の温度で３時間保持する条件で加熱する。これにより、硝酸塩の熱分解を促進する。続いて、大気中で３００℃～５００℃の温度で３０分間保持する条件で加熱処理し、残留有機物を除去する。さらに、得られた前駆固体５を粉末状に粉砕し、ＣａＦｅ₂Ｏ₄粉体６を得る。

以上の操作により、薄片状を呈し、１００ｎｍ以下の三次元多孔質構造を有するＣａＦｅ₂Ｏ₄粉体を得ることができる。

［その他の実施形態］
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

例えば、ガスセンサ１０の基材１１の形状は、図１又は図２に示すものに限定されない。また、櫛歯１２ａ及び１３ａの形状、及び櫛歯からのリード部分の形状も図１に示すものに限定されない。

本発明の実施形態に係るガスセンサを作製し、作製したガスセンサのガス検出性能等を測定した。以下、供試体の作製方法及びその評価について説明する。

［供試体の作製］
＜アルカリ土類フェライトの作製＞
（供試体１～８）
・供試体１：ＭｇＦｅ₂Ｏ₄の作製
出発原料として、硝酸マグネシウム（ＩＩＩ）及び硝酸鉄（ＩＩＩ）を用いた。脱イオン水に、これらの硝酸塩を溶解し、金属イオンの総モル数と等量のリンゴ酸を加え、金属－有機酸錯体溶液を準備した。この溶液を蒸発乾固することにより、前駆体粉体を得た。得られた前駆体粉体を空気中４００℃で２時間の第１仮焼処理を行った。続いて、８００℃で２時間の第２仮焼処理を行った。これにより、供試体のガス検出部に適用するＭｇＦｅ₂Ｏ₄を得た。

・供試体２：Ｌａ添加ＭｇＦｅ₂Ｏ₄の作製
添加する異種金属の金属源として、ランタン（Ｌａ）の硝酸塩を用いた。Ｌａの添加量がＭｇＦｅ₂Ｏ₄に対して５モル％になるように、硝酸ランタンを調製し、脱イオン水に、硝酸マグネシウム（ＩＩＩ）、硝酸鉄（ＩＩＩ）及び硝酸ランタンを溶解させた。ここに、金属イオンの総モル数と等量のリンゴ酸を加えて、金属－有機酸錯体溶液を作製した。供試体１と同じく溶液を蒸発乾固させて前駆体粉体を得た。また、供試体１と同じく仮焼処理を行って、Ｌａ添加ＭｇＦｅ₂Ｏ₄を得た。

・供試体３：Ｓｍ添加ＭｇＦｅ₂Ｏ₄の作製
添加する異種金属としてサマリウム（Ｓｍ）を用いた。Ｓｍの添加量がＭｇＦｅ₂Ｏ₄に対して５モル％になるように硝酸サマリウムを調製し、供試体２と同じように金属－有機酸錯体溶液を作製した。以下、供試体１と同様にして、Ｓｍ添加ＭｇＦｅ₂Ｏ₄を得た。

・供試体４：ＣａＦｅ₂Ｏ₄の作製
出発原料として、硝酸カルシウム（ＩＩＩ）及び硝酸鉄（ＩＩＩ）を用い、４００℃で２時間の第１仮焼処理し、続いて、７００℃で１２時間の第２仮焼処理を行ったこと以外は、供試体１と同様の操作により、供試体４のガス検出部に適用するＣａＦｅ₂Ｏ₄を得た。

・供試体５：Ｓｉ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄の作製
添加する異種金属としてケイ素（Ｓｉ）を用いた。Ｓｉの添加量がＣａＦｅ₂Ｏ₄に対して５モル％になるようにＳｉのアルコキシド（オルトケイ酸テトラエチル）を調製し、硝酸カルシウム（ＩＩＩ）及び硝酸鉄（ＩＩＩ）とともに混合した。第１仮焼処理及び第２仮焼処理の条件は、供試体４と同様にして、Ｓｉ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄を得た。

・供試体６：Ｔｉ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄の作製
添加する異種金属としてチタン（Ｔｉ）を用いた。Ｔｉの添加量がＣａＦｅ₂Ｏ₄に対して５モル％になるようにＴｉのアルコキシド（チタンイソプロポキシド）を調製し、硝酸カルシウム（ＩＩＩ）及び硝酸鉄（ＩＩＩ）とともに混合した。第１仮焼処理及び第２仮焼処理の条件は、供試体４と同様にして、Ｔｉ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄を得た。

・供試体７：Ｚｒ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄の作製
添加する異種金属としてジルコニウム（Ｚｒ）を用いた。Ｚｒの添加量がＣａＦｅ₂Ｏ₄に対して５モル％になるようにＺｒのアルコキシドを調製し、硝酸カルシウム（ＩＩＩ）及び硝酸鉄（ＩＩＩ）とともに混合した。第１仮焼処理及び第２仮焼処理の条件は、供試体４と同様にして、Ｚｒ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄を得た。

・供試体８：Ｈｆ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄の作製
添加する異種金属としてハフニウム（Ｈｆ）を用いた。Ｈｒの添加量がＣａＦｅ₂Ｏ₄に対して５モル％になるようにＨｆのアルコキシド（ハフニウムエトキシド）を調製し、硝酸カルシウム（ＩＩＩ）及び硝酸鉄（ＩＩＩ）とともに混合した。第１仮焼処理及び第2仮焼処理の条件は、供試体４と同様にして、Ｈｆ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄を得た。

（供試体９～１２）
続いて、Ｚｒの添加量を変更することによるガス検出部の性能を評価するためのセンサ検出材料を作製した。以下の供試体を作製するにあたり、センサ検出材料の組成がＣａＦｅ_2-xＺｒ_xＯ₄となるように、Ｃａ及びＦｅのそれぞれの硝酸塩と、Ｚｒアルコキシドとを調製した。

・供試体９：Ｚｒを３モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄
本例では、出発原料として、硝酸カルシウム（ＩＩ）四水和物（Ｃａ（ＮＯ₃）₂・４Ｈ₂Ｏ（純度９９％））、硝酸鉄（ＩＩＩ）九水和物（Ｆｅ（ＮＯ₃）₃・９Ｈ₂Ｏ（純度９９％））及びＺｒブトキシド（ジルコニウム（ＩＶ）ブトキシド（８５％１－ブタノール溶液））を用いた。
これらについて、硝酸カルシウム、硝酸鉄、Ｚｒアルコキシド及び有機酸（リンゴ酸）のモル比が１：２－０．０６：０．０６：３になるように各出発原料を調製し、それらを混合して金属－有機酸錯体溶液を得た。続いて、この溶液を蒸発乾固することにより、前駆体固体を得た。得られた前駆体固体を粉砕し、これを大気中において、７００℃で１２時間加熱処理することにより、組成式がＣａＦｅ_1.84Ｚｒ_0.06Ｏ₄を得た。

・供試体１０：Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄
硝酸カルシウム、硝酸鉄、Ｚｒアルコキシド及び有機酸（リンゴ酸）のモル比が１：２－０．１０：０．１０：３になるように各出発原料を調製したこと以外は、供試体９と同様の処理を行って、組成式がＣａＦｅ_1.90Ｚｒ_0.10Ｏ₄を得た。

・供試体１１：Ｚｒを７モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄
硝酸カルシウム、硝酸鉄、Ｚｒアルコキシド及び有機酸（リンゴ酸）のモル比が１：２－０．１４：０．１４：３になるように各出発原料を調製したこと以外は、供試体９と同様の処理を行って、組成式がＣａＦｅ_1.86Ｚｒ_0.14Ｏ₄を得た。

・供試体１２：Ｚｒを１０モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄
硝酸カルシウム、硝酸鉄、Ｚｒアルコキシド及び有機酸（リンゴ酸）のモル比が１：２－０．２０：０．２０：３になるように各出発原料を調製したこと以外は、供試体９と同様の処理を行って、組成式がＣａＦｅ_1.80Ｚｒ_0.20Ｏ₄を得た。

（供試体１３～１７）
・供試体１３：Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄
６００℃で１２時間加熱処理したとしたこと以外は、供試体１０と同様の処理を行った。

・供試体１４：Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄
７００℃で１２時間加熱処理したものである。すなわち、供試体１０と同一品である。

・供試体１５：Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄
８００℃で１２時間加熱処理したとしたこと以外は、供試体１０と同様の処理を行った。

・供試体１６：Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄
９００℃で１２時間加熱処理したとしたこと以外は、供試体１０と同様の処理を行った。

・供試体１７：固相反応法によるＣａＦｅ₂Ｏ₄
供試体１７は、固相反応法を用いてＣａＦｅ₂Ｏ₄を作製した。出発原料からなる複数種の原料粉体（ＣａＣＯ₃、α－Ｆｅ₂Ｏ₃）を所定量秤量し混合した。ＣａＣＯ₃として純度９９％のもの、また、α－Ｆｅ₂Ｏ₃として純度９９％のものを用いた。これらを機械的に粉砕混合した後、大気中において７００℃から９００℃で１２時間加熱処理して、ＣａＦｅ₂Ｏ₄の粉体を得た。

（供試体１８～２０）
・供試体１８：ＣａＦｅ₂Ｏ₄を用いた管型のガスセンサ
供試体４の材料を用いて、後述の管型のガスセンサを作製した。

・供試体１９：ＣａＦｅ₂Ｏ₄を用いた厚膜型のガスセンサ
供試体４の材料を用いて、後述の厚膜型のガスセンサを作製した。

・供試体２０：Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄を用いた厚膜型のガスセンサ
供試体１０の材料を用いて、後述の厚膜型のガスセンサを作製した。

＜ガスセンサの作製１＞
基材として、アルミナチューブを用い、電極材料として白金（Ｐｔ）を用いて、図２に示した管型のガスセンサを作製した。直径３．０ｍｍのアルミナチューブを用いて、電極５２，５３の間隔を１．０ｍｍに設定した。

また、５質量％エチルセルロース－α－テルピネオールをバインダとして、供試体１～８のＭｇＦｅ₂Ｏ₄又はＣａＦｅ₂Ｏ₄のペーストを作製し、得られたペーストをアルミナチューブに塗布し、６００℃で２時間乾燥させた。

＜ガスセンサの作製２＞
基材として、アルミナ基板を用い、電極材料として金（Ａｕ）を用いて、図１に示した厚膜型のガスセンサを作製した。

第１電極１２の櫛歯１２ａ及び第２電極１３の櫛歯１３ａの間隔Ｓを８０μｍに設定し、第１電極１２の櫛歯１２ａ及び第２電極１３の櫛歯１３ａの電極ライン幅Ｌ０を１００μｍに設定した。また、第１電極１２及び第２電極１３の櫛歯の数を、ともに１７本とした。すなわち、櫛歯の数は、合計３４本であり、櫛歯１２ａと櫛歯１３ａとの間の数は３３箇所であった。

塗布の後、１５０℃で１０分間乾燥させた後、６００℃で２時間の熱処理を行って、供試体としてのガスセンサを得た。

＜評価回路＞
図１２は、ガスセンサの検出性能を評価するための評価回路を説明するための回路図である。得られたガスセンサと外部抵抗とを直列接続した回路に対して、所定電圧を印加したときのガスセンサが有する抵抗値の変化を測定した。

［ガスセンサの評価］
＜ＣａＦｅ₂Ｏ₄の表面形態＞
得られた供試体１から１７の一部について、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）「ＪＥＯＬ社製、機種名：ＪＳＭ－６７００Ｆ」を用いて、表面形態を観察した。これらの結果を図１３から図２５に示す。

＜ガス検出性能評価＞
（ＣＯ₂）
検出対象のガスとして、合成乾燥空気或いは合成乾燥空気希釈のＣＯ₂（ガス濃度：５０００ｐｐｍ）を用いて、ガスセンサのＣＯ₂検出性能を評価した。供試体のガスセンサに、このＣＯ₂を０．１０ｄｍ³／ｍｉｎの流量にて流通させながら、それぞれの抵抗値の変化を測定した。なお、検出温度は、２５０℃～５００℃に設定した。合成乾燥空気中にあるときのガスセンサの電気抵抗（Ｒ_air）と、検出対象のガスであるＣＯ₂を含んだ合成乾燥空気中に曝されたときのガスセンサの電気抵抗（Ｒ_gas）とを測定し、これらの比（Ｒ_air／Ｒ_gas）である電気抵抗比（Ｓ）をガス検出感度とした。結果を図２６～図３０に示す。

（ＣＯ）
検出対象のガスとして、一酸化炭素ＣＯ（ガス濃度：５００ｐｐｍ）を用いたこと以外は、ＣＯ₂の評価と同様にして、ＣＯ検出性能を評価した。以上の結果を図３１～図３２に示す。

（ＮＯ₂）
検出対象のガスとして、二酸化窒素ＮＯ₂（ガス濃度：１０ｐｐｍ）を用いたこと以外は、ＣＯ₂の評価と同様にして、ＮＯ₂検出性能を評価した。

［評価結果］
＜ＣａＦｅ₂Ｏ₄の表面形態＞
図１３は、供試体４（ＣａＦｅ₂Ｏ₄）のＳＥＭ画像を示す図である。図１４は、供試体５（Ｓｉ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄）のＳＥＭ画像を示す図である。図１５は、供試体６（Ｔｉ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄）のＳＥＭ画像を示す図である。図１６は、供試体７（Ｚｒ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄）のＳＥＭ画像を示す図である。図１７は、供試体８（Ｈｆ添加ＣａＦｅ₂Ｏ₄）のＳＥＭ画像を示す図である。

図１３から図１７に示されるＳＥＭ画像から、ＣａＦｅ₂Ｏ₄が多孔質構造であることがわかった。また、ＣａＦｅ₂Ｏ₄に異種元素として、Ｓｉ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆを混合することにより表面構造が細やかになることがわかった。特に、Ｔｉ及びＨｆを添加した場合には、ＣａＦｅ２Ｏ４の表面を微細化することができ、Ｓｉ及びＺｒを添加した場合には、ＣａＦｅ₂Ｏ₄の表面において、三次元多孔質構造が進行することがわかった。

上記供試体のなかでも、Ｚｒを添加した場合に良好な三次元多孔質構造が確認できたことから、ＣａＦｅ₂Ｏ₄へのＺｒの添加量を変えて、表面形態を観察した。

図１８は、供試体９（Ｚｒを３モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄）を２００００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。図１９は、供試体１０（Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄）を２００００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。図２０は、供試体１１（Ｚｒを７モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄）を２００００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。図２１は、供試体１２（Ｚｒを１０モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄）を２００００倍に拡大したＳＥＭ画像を示す図である。

図１８に示すように、３モル％のＺｒを添加した場合には、表面に孔径１００ｎｍ以下の微細孔を確認することができた。また、図１９に示すように、５モル％のＺｒを添加した場合には、表面の微細孔が増加しており、比表面積が増大していることを確認することができた。

図２０及び図２１に示すように、７モル％のＺｒを添加した場合、さらには１０モル％のＺｒを添加した場合には、供試体１１及び１２の表面の三次元多孔質構造における開孔数が、５モル％のときと比べて減少する傾向にあることがわかった。このことから、Ｚｒの添加により、ＣａＦｅ₂Ｏ₄の表面の三次元多孔質構造を進行させることができるものの、添加量には適量があり、多すぎると三次元多孔質構造が退行することがわかった。

図２２は、供試体１０（Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄）の１０００倍ＳＥＭ画像を示す図である。また、図２３は、供試体１０の（Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄）の２５００倍ＳＥＭ画像を示す図である。

図２２及び図２３によれば、Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄では、ＣａＦｅ₂Ｏ₄の粒子は薄片状を呈し、全体の構造は、薄片状粒子間に空隙部分を有する構造となっており、さらに微視的には、薄片状粒子の各々が三次元多孔質構造を有することがわかった。

図２３からは、薄片状粒子の平面方向における長さが３９μｍ程度であることが実測できる。

図２４は、供試体１７のＳＥＭ画像を示す図である。固相反応法にて得られたＣａＦｅ₂Ｏ₄では、ＣａＦｅ₂Ｏ₄自体の微細化は進行していたものの、ＣａＦｅ₂Ｏ₄の表面に三次元多孔質構造を確認することはできなかった。

図２５（ａ）は、第２仮焼処理に相当する加熱時間を１２時間とし、加熱温度を６００℃として得られた供試体１３の表面のＳＥＭ画像であり、図２５（ｂ）は、第２仮焼処理に相当する加熱時間を１２時間とし、加熱温度を７００℃として得られた供試体１４の表面のＳＥＭ画像であり、図２５（ｃ）は、第２仮焼処理に相当する加熱時間を１２時間とし、加熱温度を８００℃として得られた供試体１５の表面のＳＥＭ画像であり、図２５（ｄ）は、第２仮焼処理に相当する加熱時間を１２時間とし、加熱温度を９００℃として得られた供試体１６の表面のＳＥＭ画像である。

これらの結果から、第２仮焼処理の加熱温度が６００℃の場合には、三次元多孔質構造が確認できなかったが、加熱温度が高められるに連れて、三次元多孔質構造が細密化する。このことから、第２仮焼処理の加熱温度は７００℃以上であることが好ましいことがわかった。

＜ガス検出性能評価の結果＞
供試体１～３のＭｇＦｅ₂Ｏ₄系センサと、供試体４～８のＣａＦｅ₂Ｏ₄系センサについて、ガス検出性能を評価した。図２６は、供試体１～３のガス検出性能を示す図である。ガス検出性能は、上述の電気抵抗比（Ｓ）により評価した。なお、評価試験には、厚膜型のガスセンサを使用した。

図２６は、異種元素が無添加（ＭｇＦｅ₂Ｏ₄）である供試体１、Ｌａを５モル％添加した供試体２、Ｓｍを５モル％添加した供試体３のそれぞれを用いて作製したガスセンサの、各温度におけるＣＯ₂ガス感度を示している。ｎ型半導体であるＭｇＦｅ₂Ｏ₄の場合、ＣＯ₂ガスが吸着すると、電子濃度が低下するため、ガス吸着後は抵抗が増大する。即ち、Ｓ＜１と算出される。

図２６に示されるように、Ｌａ及びＳｍを添加したＭｇＦｅ₂Ｏ₄センサは、無添加のものと比べて、より低温側でＣＯ₂を検出することができることがわかった。また、Ｌａを添加したＭｇＦｅ₂Ｏ₄が５００℃において最大感度を示した。ＭｇＦｅ₂Ｏ₄センサでは、異種元素を添加することによって、ＣＯ₂ガス感度を示すことが確認できた。

図２７は、供試体４～８のガス検出性能を示す図である。ガス検出性能は、電気抵抗比（Ｓ）により評価した。なお、評価試験には、管型のガスセンサを使用した。

図２７は、各金属元素を添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄の供試体のそれぞれを用いて作製したガスセンサの、各温度におけるＣＯ₂ガス感度を示している。ｐ型半導体であるＣａＦｅ₂Ｏ₄の場合、ＣＯ₂ガスが吸着すると、ホール濃度が増加するため、ガス吸着後は電気抵抗が減少する。即ち、Ｓ＞１として算出される。

図２７に示されるように、Ｈｆ，Ｚｒを添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄センサは、高いＣＯ₂感度を示し、特に、測定温度３００℃～３５０℃において、最大感度を示した。Ｚｒを添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄センサ素子では、概ね３５０℃において、迅速な応答性が得られることがわかった。

図２７に示した性能評価に基づいて、各金属元素のなかからＺｒを用いた場合について、Ｚｒの添加量を変更することによるガス検出部の性能を評価した。被検ガスとしては、ＣＯ₂を用いた。ガス検出性能は、電気抵抗比（Ｓ）により評価した。なお、評価試験には、管型のガスセンサを使用した。結果を図２８に示す。

図２８に示されるように、Ｚｒを添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄センサでは、Ｚｒの添加量が５モル％のときに、最も良好なＣＯ₂感度を示し、特に、測定温度３００℃～３５０℃において、最大感度を示した。

さらに、固相反応法によって作製された供試体１７と、Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄である供試体９とについて、ガス検出性能を評価した。被検ガスとしてＣＯ₂を用いて、ガス検出性能は、電気抵抗比（Ｓ）により評価した。なお、評価試験には、管型のガスセンサを使用した。結果を図２９に示す。

図２９は、供試体９と供試体１７のガス検出性能を示す図である。図２９に示されるように、Ｚｒを添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄センサは、ＣＯ₂に対して感度を示し、固相反応法によって作製された供試体１７を用いたＣａＦｅ₂Ｏ₄センサに比べて、ＣＯ₂感度が良好であることがわかった。

図２２、図２３及び図２４を用いて説明したように、Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄では、ＣａＦｅ₂Ｏ₄の粒子は薄片状を呈し、全体の構造は、薄片状粒子間に空隙部分を有する構造となっている。さらに、微視的には、ＣａＦｅ₂Ｏ₄の薄片状粒子の各々が三次元多孔質構造を有する。Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄は、このような構造を有することにより、ＣＯ₂に対して感度を示し、さらには、固相反応法によって作製された供試体１７を用いたＣａＦｅ₂Ｏ₄センサに比べて、ＣＯ₂感度が良好であることがわかった。

続いて、管型のガスセンサと、厚膜型のガスセンサにおけるＣＯ₂ガスの検出性能の違いを評価した。図３０は、管型ガスセンサ及び厚膜型ガスセンサにおけるＣＯ₂ガスの検出性能を示す図である。

ＣａＦｅ₂Ｏ₄をガス検出部として用いた管型のガスセンサ（供試体１８）と、ＣａＦｅ₂Ｏ₄をガス検出部として用いた厚膜型のガスセンサ（供試体１９）と、Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄をガス検出部として用いた厚膜型のガスセンサ（供試体２０）のそれぞれについて、被検ガスとしてＣＯ₂を用いて、電気抵抗比（Ｓ）を評価した。

図３０には、管型のガスセンサに比べて、厚膜型のガスセンサの方が、ＣＯ₂ガスの検出感度が良好であることが示されている。したがって、ガスセンサを厚膜型に構成することにより、被検ガスの検出性能を、さらに向上させることができる。

以上によれば、薄片状粒子を含む抵抗体材料を用いて作製されたガス検出部を用いることにより、検出対象のガスの吸着時における抵抗変化に、アルカリ土類フェライトの電気抵抗変化（バルク抵抗）が現れやすくなるため、ガス検出感度が良好になると考えられる。

このことから、薄片状粒子と厚膜型のガスセンサと組み合わせることにより、薄片状粒子であることの優位性を高めることができるため、ガス検出感度を、さらに良好にすることができる。

続いて、ＣＯ₂以外のガスに対する検出性能を評価した結果について説明する。

供試体２０のガスセンサ、すなわち、Ｚｒを５モル％添加したＣａＦｅ₂Ｏ₄を含む抵抗体材料から作製したガス検出部を有する厚膜型のガスセンサを用いて、ＣＯ₂のほか、ＣＯ及びＮＯ₂に対する検出性能について評価した。

図３１及び図３２は、ＣＯ₂、ＣＯ及びＮＯ₂に対する検出性能を示す図である。図３１及び図３２によれば、ＣＯ₂に対しては、電気抵抗比（Ｓ）は、３５０℃近傍をピークとして、少なくとも２００℃～５００℃の温度範囲において、1よりも大きい値に増加するように変化している。これは、図７を用いて説明したように、ＣａＦｅ₂Ｏ₄がp型半導体であり、ＣＯ₂の吸着に対して、ホール濃度が増加するため、ＣＯ₂の吸着によってＣａＦｅ₂Ｏ₄の電気抵抗が減少するものである。

このことから、アルカリ土類フェライトとして、ＣａＦｅ₂Ｏ₄を用いた場合には、概ね２００℃～５００℃の温度範囲において、ＣＯ₂を検出可能であることが認められる。なお、ＣＯ₂検出性能を示すことは、既に、図２６～図３０を用いて説明したことからも明らかである。

また、ＣＯに対しては、電気抵抗比（Ｓ）は、２５０℃をピークとして、少なくとも２００℃以下～４００℃の温度範囲において、１よりも減少する方向に変化している。これは、図８を用いて説明したように、ＣＯの吸着に対して、ＣａＦｅ₂Ｏ₄のホール濃度が減少するため、ＣＯの吸着によってＣａＦｅ₂Ｏ₄の電気抵抗が増加するものである。

一方、ＮＯ₂に対しては、電気抵抗比（Ｓ）は、２００℃をピークとして、概ね４５０℃以下の温度範囲において、１よりも増加する方向に変化している。これは、図９を用いて説明したように、ＮＯ₂の吸着に対して、ＣａＦｅ₂Ｏ₄のホール濃度が増加するため、ＮＯ₂の吸着によってＣａＦｅ₂Ｏ₄の電気抵抗が減少するものである。

以上のことから、実施例として示すガスセンサによれば、ＣＯ₂のほか、ＣＯ、ＮＯ₂に対しても検出性能を有することがわかった。

１０，５０ ガスセンサ
１１，５１ 基材
１２，５２ 第１電極
１２ａ 櫛歯
１３，５３ 第２電極
１３ａ 櫛歯
１４ ガス検出部
５４ 材料層
１４１ 薄片状粒子
１４２ 空隙部分

Claims (10)

1. 基材と、
   前記基材上に配置された第１電極及び第２電極と、
   前記第１電極と前記第２電極とに接続されたガス検出部と、を備え、
   前記ガス検出部は、アルカリ土類フェライトの薄片状粒子を含む、ガスセンサ。
2. 請求項１に記載のガスセンサであって、
   前記ガス検出部は、前記薄片状粒子と、前記薄片状粒子間の隙間である空隙部分と、を有する、ガスセンサ。
3. 請求項１又は２に記載のガスセンサであって、
   前記薄片状粒子の各々が三次元多孔質構造を有する、ガスセンサ。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載のガスセンサであって、
   前記薄片状粒子の前記基材の平面方向における長さと厚さとの比率（長さ／厚さ）が１以上２０以下である、ガスセンサ。
5. 請求項４に記載のガスセンサであって、
   前記アルカリ土類フェライトがＬａ、Ｓｍ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｈｆ及びＺｒからなる群から選択される少なくとも一つの異種元素を含有する、ガスセンサ。
6. 請求項５に記載のガスセンサであって、
   前記異種元素の含有量が１０モル％以下である、ガスセンサ。
7. 請求項６に記載のガスセンサであって、
   前記異種元素の含有量が３モル％以上７モル％以下である、ガスセンサ。
8. 請求項４から７のいずれか１項に記載のガスセンサであって、
   前記アルカリ土類フェライトがＣａＦｅ_２Ｏ_４である、ガスセンサ。
9. 請求項５に記載のガスセンサであって、
   前記異種元素がＺｒである、ガスセンサ。
10. ガスセンサにおけるガス検出部を構成する薄片状粒子を含むアルカリ土類フェライトの製造方法であって、
    出発原料である複数種の金属イオンの混合溶液を作製する工程と、
    前記混合溶液に有機酸を添加し、金属－有機酸錯体を含む前駆体溶液を調製する工程と、
    前記前駆体溶液を蒸発乾固して前駆体を得る工程と、
    前記前駆体に第１仮焼処理を行う工程と、
    前記第１仮焼処理の後に、第２仮焼処理を行う工程と、
    を有し、
    前記第１仮焼処理は、３００℃以上６００℃以下で、１０分以上１２０分以下で仮焼する処理であり、
    前記第２仮焼処理は、６００℃以上１４００℃以下で、１時間以上２４時間以下で仮焼する処理である、
    アルカリ土類フェライトの製造方法。

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