JP7285360B1 - 熱処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】シートの処理効率向上。【解決手段】ここで開示される熱処理装置１０は、帯状のシート２０が搬送されつつ加熱処理される加熱処理部４０と、加熱処理部４０で加熱処理された帯状のシート２０が搬送されつつ冷却される冷却部５０とを備えている。冷却部５０は、内部に冷媒が流通する冷却ローラ５２と、冷却ローラ５２が配置された空間を囲う外壁５２ａとを有している。熱処理装置１０は、冷却部５０で冷却された帯状のシート２０が巻取られる巻取り部６０をさらに備えていてもよい。【選択図】図１

Description

本開示は、熱処理装置に関する。

国際公開第２０２１／１６６０４８号には、帯状の被処理物を加熱処理するための熱処理装置が開示されている。同公報に開示されている熱処理装置は、搬入口と搬出口との間に配置された処理室を備える炉体と、搬入口から搬出口まで架け渡される被処理物を搬入口から処理室を通って搬出口に搬送する搬送装置と、処理室内において被処理物を案内する複数の案内ローラと、処理室内において被処理物を加熱する加熱装置とを備えている。被処理物は、複数の案内ローラによって規定される搬送経路を通って搬入口から搬出口まで搬送される。加熱装置は、案内ローラの近傍に配置された第１のヒータと、被処理物の搬送方向に隣接する案内ローラの中間位置の近傍に配置された第２のヒータとを備えている。第２のヒータは、赤外領域の電磁波を放射するヒータである。かかる熱処理装置によると、被処理物を効率的に熱処理することができるとされている。

特開２０１２－１３２６６２号公報には、３．５μｍ以下の電磁波の吸収スペクトルを持ち水素結合を有する塗膜を、炉体内部で走行させつつ乾燥させる塗膜乾燥炉が開示されている。塗膜乾燥炉は、炉体の内部に赤外線ヒータを備えている。赤外線ヒータは、フィラメントの外周がローパスフィルターとして機能する管によって同心円状に覆われている。赤外線ヒータとしては、複数の管の間に流体の流路を形成した構造を有するヒータが用いられている。かかる塗膜乾燥炉によると、塗膜を効率的に連続して加熱乾燥することができるとされている。

国際公開第２０２１／１６６０４８号 特開２０１２－１３２６６２号公報

ところで、本発明者は、帯状のシートを搬送しつつ連続的に加熱処理する際の処理効率を向上させたいと考えている。

ここで開示される熱処理装置は、帯状のシートが搬送されつつ加熱処理される加熱処理部と、加熱処理部で加熱処理された帯状のシートが搬送されつつ冷却される冷却部とを備えている。冷却部は、内部に冷媒が流通する冷却ローラと、冷却ローラが配置された空間を囲う外壁とを有している。
かかる熱処理装置によると、加熱処理後の帯状のシートを効率よく冷却して巻取ることができる。このため、帯状のシートを搬送しつつ連続的に加熱処理する際の処理効率が向上する。
冷却ローラは単数でもよいが、複数であるほうがより好ましい。

図１は、熱処理装置１０を示す模式図である。 図２は、シート２０の駆動機構を示す模式図である。 図３は、冷却ローラ５２の断面図である。 図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。 図５は、図３のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。

以下、本開示における実施形態の１つについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の図面においては、同じ作用を奏する部材・部位には同じ符号を付して説明している。また、各図における寸法関係（長さ、幅、厚みなど）は実際の寸法関係を反映するものではない。上、下、左、右、前、後の向きは、図中、Ｕ、Ｄ、Ｌ、Ｒ、Ｆ、Ｒｒの矢印でそれぞれ表されている。ここで、上、下、左、右、前、後の向きは、説明の便宜上、定められているに過ぎず、特に言及されない限りにおいて本願発明を限定しない。

《熱処理装置１０》
図１は、熱処理装置１０を示す模式図である。熱処理装置１０は、帯状の被処理物（以下、シートとも称する。）を加熱処理するための設備である。この実施形態では、熱処理装置１０は、いわゆるロールｔｏロール方式で帯状の被処理物を搬送しつつ連続的に乾燥させるための装置である。図１に示されているように、熱処理装置１０は、巻出し部３０と、加熱処理部４０と、冷却部５０と、巻取り部６０とを順に備えている。シート２０は、巻出し部３０に設けられる巻出しロール２２から巻出され、加熱処理部４０で加熱処理され、冷却部５０で冷却された後、巻取り部６０に設けられた巻取りロール２４に巻取られる。ここで、シート２０は、帯状のシート基材の両面（第１面２０ａと第２面２０ｂ）にそれぞれ電極材料が塗工された二次電池の電極シートなどでありうる。

この実施形態では、巻出し部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取り部６０の各部は、それぞれ外部空間と隔離された空間を有しており、各部にはそれぞれ真空ポンプ８０が接続されている。真空ポンプ８０は、巻出し部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取り部６０の内部を減圧する。ここでは、シート２０は、大気圧よりも低い予め定められた真空雰囲気下で処理される。なお、真空ポンプ８０の接続構成は、かかる形態に限定されない。例えば、巻出し部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取り部６０は、複数の真空ポンプ８０によって内部が減圧されるように構成されていてもよい。例えば、複数の真空ポンプ８０が、巻出し部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取り部６０の各部にそれぞれ接続されていてもよい。

真空ポンプ８０の配管には、各部の真空度を調整するための真空バルブ８１～８４が設けられている。真空バルブ８１～８４は、各部と真空ポンプ８０の接続および各部と真空ポンプ８０の切断を切り替え可能に構成されている。各部の真空度を調整しない場合は真空バルブ８１～８４の替わりに開閉バルブを使用することもある。

〈巻出し部３０〉
巻出し部３０は、加熱処理前の帯状のシート２０が巻付けられた状態の巻出しロール２２を収容している。巻出し部３０は、内部の設備や巻出しロール２２を囲う外壁３０ａを有している。巻出し部３０には、第１軸３２と、複数のローラ３４とが内部に設けられている。第１軸３２は、加熱処理前の帯状のシート２０が巻かれた巻出しロール２２が取り付けられる軸である。この実施形態では、第１軸３２が回転駆動されることによって、第１軸３２に取り付けられた巻出しロール２２から帯状のシート２０が巻出される。

巻出し部３０の外壁３０ａで囲まれた空間内には、シート２０の搬送経路を設定する複数のローラ３４が設けられている。第１軸３２に取り付けられた巻出しロール２２から巻出されたシート２０は、複数のローラ３４に予め定められた順番で掛け廻されて、加熱処理部４０に向けて搬送される。複数のローラ３４は、ガイドローラ３４ａと、張力検出ローラ３４ｂと、フィードローラ３４ｃと、ダンサーローラ３４ｄとを含んでいる。張力検出ローラ３４ｂは、シート２０にかかる張力を検出するためのローラである。張力検出ローラ３４ｂには、図示しない張力検出器が取り付けられている。ダンサーローラ３４ｄは、予め定められた範囲を移動可能に構成されている。ダンサーローラ３４ｄが移動することによって、シート２０の張力が調整される。フィードローラ３４ｃは、図示しない駆動装置によって回転駆動される。フィードローラ３４ｃの回転が制御されることによって、ダンサーローラ３４ｄの位置が調整される。

〈加熱処理部４０〉
加熱処理部４０は、帯状のシート２０が搬送されつつ加熱処理される部位である。加熱処理部４０では、第１軸３２に取り付けられた巻出しロール２２から巻出された帯状のシート２０が搬送されつつ加熱処理される。なお、この実施形態では、熱処理装置１０には、１つの加熱処理部４０が設けられているが、かかる形態に限定されず、熱処理装置１０には、複数の加熱処理部４０が設けられていてもよい。

この実施形態では、加熱処理部４０は、ヒータ４２と、ガイドローラ４４ａ～４４ｄと、外壁４０ａとを備えている。外壁４０ａは、ヒータ４２と、ガイドローラ４４ａ～４４ｄとが配置された空間を囲っている。巻出し部３０の外壁３０ａと加熱処理部４０の外壁４０ａには、連結部７０が設けられている。連結部７０には、巻出し部３０の出口と、加熱処理部４０の入口とが設けられている。加熱処理部４０は、連結部７０を介して巻出し部３０と接続されている。連結部７０には、帯状のシート２０が通る通り道が形成されている。シート２０は、連結部７０を通って巻出し部３０から加熱処理部４０に搬送される。連結部７０に形成された、シート２０の通り道の寸法は、特に限定されない。この実施形態では、シート２０の通り道は、シート２０の幅と厚みよりもわずかに大きい寸法に設定されている。これによって、加熱処理部４０の雰囲気と巻出し部３０の雰囲気は、互いに干渉しにくくなっている。また、加熱処理部４０の入口（この実施形態では、連結部７０）には、扉７０ａが設けられている。扉７０ａは、巻出しロール２２を取り替える時などに閉じられる。例えば、巻出しロール２２を取り替える時などに、扉７０ａが閉じられていることによって、加熱処理部４０の雰囲気を保つことができ、巻出しロール２２を取り替えた際の装置の復旧が早くなる。扉７０ａは、巻出しロール２２を取り替える時など、シート２０が連結部７０を通っている時に閉じられることもある。巻出しロール２２に巻かれたシート２０の残りが少なくなってきたとき、巻出しロール２２を新しいものと交換する。交換後の巻出しロール２２のシート２０の端部と、交換前の巻出しロール２２のシート２０の端部をつなぎ合わせることで、加熱処理部４０の雰囲気を保つことができ、巻出しロール２２を取り替えた際の装置の復旧が早くなる。

〈ガイドローラ４４ａ～４４ｄ〉
ガイドローラ４４ａ～４４ｄは、加熱処理部４０においてシート２０が搬送される搬送経路を設定するためのローラである。この実施形態では、ガイドローラ４４ａ～４４ｄは、円柱状のローラである。ガイドローラ４４ａ～４４ｄの軸は、それぞれ左右方向に向けられている。ガイドローラ４４ａは、加熱処理部４０の入口（連結部７０）付近に設けられている。複数のガイドローラ４４ｂは、加熱処理部４０の下方において前後方向に順に予め定められたピッチで並べられている。複数のガイドローラ４４ｃは、加熱処理部４０の上方において、加熱処理部４０の入口から出口に向かって複数のガイドローラ４４ｂとは半ピッチずれて並べられている。ガイドローラ４４ｄは、加熱処理部４０の出口（連結部７２）付近に設けられている。シート２０は、加熱処理部４０の入口付近のガイドローラ４４ａに掛けられ下方に搬送される。その後、シート２０は、上下のガイドローラ４４ｂ，４４ｃに後方から前方に向けて順に交互に掛け廻される。これにより、加熱処理部４０でのシート２０は、入口から出口に向かって上下に行ったり来たりしつつ進む。そして、出口付近に設けられたガイドローラ４４ｄを通して、冷却部５０に向けて搬出される。

〈ヒータ４２〉
ヒータ４２は、シート２０を加熱するための設備である。この実施形態では、ヒータ４２は、ガイドローラ４４ａ～４４ｄに掛けられて、上下に行ったり来たりしつつ、入口から出口に向かって進むシート２０の周りに、シート２０に対向するように配置されている。ヒータ４２は、ガイドローラ４４ｂ，４４ｃに掛けられて、上下に行ったり来たりするシート２０の間隙や、搬送されるシート２０の周りに、シート２０に対向するように配置されている。ヒータ４２は、例えば、ヒータホルダーおよび支柱によって固定されてもよい。外壁４０ａの底壁からヒータホルダーを固定するための支柱を立て、当該支柱にヒータホルダーを固定し、ヒータホルダーにヒータ４２を固定してもよい。また、ヒータ４２は、例えば、外壁４０ａの側壁に支持されていてもよい。

この実施形態では、ヒータ４２として、遠赤外線加熱式の板状のプレートヒータが用いられている。ヒータ４２としては、加熱温度や加熱雰囲気等に応じて種々のヒータが用いられうる。ヒータ４２としては、例えば、板状のプレートヒータの他に、例えば、筒状のヒータが用いされてもよい。ヒータ４２の材質は特に限定されず、金属シースヒータ、セラミックヒータ、ランプヒータ等が用いられてもよい。また、ヒータ４２は、遠赤外線加熱式のヒータに限られない。雰囲気炉の場合は、ヒータ４２としては、例えば、被処理物に熱風が吹き付けられる熱風加熱式のヒータや赤外線加熱式のランプヒータが用いられてもよい。

ガイドローラ４４ａ～４４ｄが上記のように配置されていることによって、加熱処理部４０においてシート２０が搬送される距離が長くなっている。このため、シート２０は、効率よく乾燥されうる。また、シート２０の第１面２０ａと第２面２０ｂに対して、それぞれヒータ４２からの熱が同じように当たる。このため、シート２０の第１面２０ａと第２面２０ｂの加熱条件が近くなりうる。これによって、シート２０の第１面２０ａと第２面２０ｂの熱履歴の差を小さくすることができる。熱履歴は、シート２０が加熱および冷却された履歴である。シート２０内で加熱条件と冷却条件を合わせることによって、シート２０内の熱履歴の差が小さくなりうる。

なお、ヒータ４２やガイドローラ４４ａ～４４ｄの配置は、かかる形態に限定されない。ヒータ４２やガイドローラ４４ａ～４４ｄの配置は、シート２０の種類や加熱処理の条件等に応じて適宜設定されるとよい。例えば、シート２０の第１面２０ａと第２面２０ｂで異なる材料が形成されている場合等、第１面２０ａと第２面２０ｂが異なる条件で加熱処理されるように、ヒータ４２の配置や出力等が設定されてもよい。

〈冷却部５０〉
冷却部５０は、加熱処理部４０で加熱処理された帯状のシート２０が搬送されつつ冷却される部位である。冷却部５０は、冷却ローラ５２と、複数のガイドローラ５８と、外壁５０ａとを有している。この実施形態では、冷却部５０には、複数の冷却ローラ５２が設けられている。外壁５０ａは、複数の冷却ローラ５２と、複数のガイドローラ５８とが配置された空間を囲っている。外壁５０ａには、シート２０が搬入される入口と、シート２０が搬出される出口とが形成されている。

複数の冷却ローラ５２と複数のガイドローラ５８は、冷却部５０においてシート２０が搬送される搬送経路を設定している。冷却部５０は、連結部７２を介して加熱処理部４０と接続されている。シート２０は、連結部７２を通って加熱処理部４０から冷却部５０に搬送される。特に限定されないが、連結部７２におけるシート２０の通り道の寸法は、連結部７０と同様、シート２０の幅と厚みよりもわずかに大きい寸法に設定されている。これによって、加熱処理部４０の雰囲気と冷却部５０の雰囲気は、互いに干渉しにくくなっている。冷却ローラ５２は単数でもよいが、複数であるほうがより好ましい。

〈冷却ローラ５２〉
冷却ローラ５２は、内部に冷媒が流通するように構成されたローラである。この実施形態では、冷却ローラ５２は、少なくとも１つの第１冷却ローラ５２ａと、少なくとも１つの第２冷却ローラ５２ｂとを有している。ここで、第１冷却ローラ５２ａは、帯状のシート２０の第１面２０ａが接するように掛け廻される冷却ローラ５２である。第２冷却ローラ５２ｂは、帯状のシート２０の第２面２０ｂが接するように掛け廻される冷却ローラ５２である。この実施形態では、冷却ローラ５２は、図示しない駆動装置が接続されている。冷却ローラ５２は、に搬送方向に沿って、設定された搬送速度に合わせて回転する。

この実施形態では、第１冷却ローラ５２ａおよび第２冷却ローラ５２ｂは、それぞれ複数（この実施形態では、４つずつ）設けられている。冷却ローラ５２の数は特に限定されない。第１冷却ローラ５２ａおよび第２冷却ローラ５２ｂは、例えば、それぞれ１つずつ設けられていてもよい。

この実施形態では、複数の第１冷却ローラ５２ａは、冷却部５０の前方（出口側）に高さ方向に沿って予め定められたピッチで一列に並べられている。複数の第２冷却ローラ５２ｂは、冷却部５０の後方（入口側）において、高さ方向に沿って予め定められたピッチで一列に並べられている。隣り合う第１冷却ローラ５２ａの間隔および隣り合う第２冷却ローラ５２ｂの間隔はそれぞれ、冷却ローラ５２の外径よりも狭くなるように設定されている。なお、第１冷却ローラ５２ａおよび第２冷却ローラ５２ｂの配置は、特に限定されない。例えば、複数の第１冷却ローラ５２ａおよび複数の第２冷却ローラ５２ｂはそれぞれ、冷却部５０の入口側から出口側に向かって並べられていてもよい。複数の第１冷却ローラ５２ａは、冷却部５０の上方に予め定められたピッチで一列に並べられていてもよい。複数の第２冷却ローラ５２ｂは、冷却部５０の下方に予め定められたピッチで一列に並べられていてもよい。隣り合う第１冷却ローラ５２ａの間隔および隣り合う第２冷却ローラ５２ｂの間隔はそれぞれ、冷却ローラ５２の外径よりも広くなるように設定されていてもよい。

この実施形態では、第１冷却ローラ５２ａと第２冷却ローラ５２ｂは、同じピッチで並べられており、第２冷却ローラ５２ｂの高さは、下から順に、第１冷却ローラ５２ａよりも半ピッチ高い位置に配置されている。これにより、複数の第１冷却ローラ５２ａと複数の第２冷却ローラ５２ｂとは、冷却部５０の前後で順に高さがずれるように配置されている。換言すると、複数の第１冷却ローラ５２ａと複数の第２冷却ローラ５２ｂとが千鳥に配置されている。第１冷却ローラ５２ａと第２冷却ローラ５２ｂがこのように配置されていることによって、冷却部５０を高さ方向に長い構造とすることができる。他方で、冷却部５０の専有面積を小さくすることができ、設備の省スペース化が図られる。

〈ガイドローラ５８〉
複数のガイドローラ５８は、帯状のシート２０を案内するローラである。この実施形態では、ガイドローラ５８は、円柱状のローラである。ガイドローラ５８の軸は、冷却部５０において左右方向に向けられ冷却部５０に設けられている。冷却部５０には、複数のガイドローラ５８によって、入口（連結部７２）から複数の冷却ローラ５２を通り、複数の冷却ローラ５２から出口（連結部７４）に向かうように、帯状のシート２０の搬送経路が設定されている。なお、複数のガイドローラ５８は、シート２０にかかる張力を検出する張力検出ローラを含んでいる。

冷却部５０に設けられた複数のガイドローラ５８のうち、ガイドローラ５８ａは、冷却部５０の入口付近に設けられている。複数の冷却ローラ５２の上流側には、ガイドローラ５８ａから下方に向けて搬送経路が設定されるように複数のガイドローラ５８が配置されている。ガイドローラ５８ｂは、最下端に配置された第１冷却ローラ５２の上流側に配置されている。ガイドローラ５８ｃは、最上端に配置された第２冷却ローラ５２ｂの下流側に配置されている。ガイドローラ５８ｄは、冷却部５０の出口付近に設けられている。また、ガイドローラ５８ｃから冷却部５０の出口に設けられたガイドローラ５８ｄに向けて搬送経路が設定されるように複数のガイドローラ５８が配置されている。

帯状のシート２０は、図１に示されているように、冷却部５０の入口から、ガイドローラ５８ａを通って冷却部５０に導入され、複数の冷却ローラ５２の上流側で下方に搬送される。帯状のシート２０は、ガイドローラ５８ｂを通して最下端に配置された第１冷却ローラ５２ａに搬送される。帯状のシート２０は、第１冷却ローラ５２ａと第２冷却ローラ５２ｂに下側から順に交互に掛け廻され、最上端の第２冷却ローラ５２ｂからガイドローラ５８ｃに向けて搬送される。帯状のシート２０は、ガイドローラ５８ｃを通して下方に搬送され、ガイドローラ５８ｄを通して冷却部５０の出口から巻取り部６０に搬送されている。この際、帯状のシート２０は、第１冷却ローラ５２ａに帯状のシート２０の第１面２０ａが接触し、第２冷却ローラ５２ｂに帯状のシート２０の第２面２０ｂが接触するように掛け廻される。このため、帯状のシート２０の第１面２０ａと第２面２０ｂとが順に冷却ローラ５２によって冷却される。これにより、帯状のシート２０の第１面２０ａと第２面２０ｂとの熱履歴の差が小さくなる。

さらに、この実施形態では、ガイドローラ５８ｂは、最も上流側の冷却ローラ５２に対して帯状のシート２０が接する角度を調整している。この実施形態では、ガイドローラ５８ｂの上端は、最下端に配置された第１冷却ローラ５２ａの下端よりも高い位置に配置されている。これによって、最下端に配置された第１冷却ローラ５２ａに対して帯状のシート２０が掛け廻される長さが長くなり、帯状のシート２０が冷却されやすくなっている。ガイドローラ５８ｃは、最も下流側の冷却ローラ５２に対して帯状のシート２０が接する角度を調整している。この実施形態では、ガイドローラ５８ｃの下端は、最上端に配置された第２冷却ローラ５２ｂの上端よりも低い位置に配置されている。これによって、最上端に配置された第２冷却ローラ５２ｂに対して帯状のシート２０が掛け廻される長さが長くなり、帯状のシート２０が冷却されやすくなっている。この実施形態では、シート２０は、周方向において１８０度以上の角度に亘って第１冷却ローラ５２ａと第２冷却ローラ５２ｂとにそれぞれ接している。

なお、この実施形態では、ガイドローラ５８ｂ，５８ｃの位置は、帯状のシート２０が最も上流側の冷却ローラ５２に接する角度と、帯状のシート２０が最も下流側の冷却ローラ５２に接する角度とが同じになるように設定されている。これによって、最下端に配置された第１冷却ローラ５２ａに対して帯状のシート２０が掛け廻される長さと、最上端に配置された第２冷却ローラ５２ｂに対して帯状のシート２０が掛け廻される長さが同じになっている。このため、帯状のシート２０の第１面２０ａと第２面２０ｂとの熱履歴の差が小さくなる。

冷却部５０で冷却されたシート２０は、巻取り部６０に向けて搬送される。この実施形態では、冷却部５０の出口（この実施形態では、連結部７４）には、扉７４ａが設けられている。扉７４ａは、扉７０ａと同様、巻取りロール２４を取り替える時など、シート２０が連結部７４を通っていない時に閉じられる。例えば、巻取りロール２４を取り替える時などに、扉７４ａが閉じられていることによって、冷却部５０の雰囲気を保つことができ、巻取りロール２４を取り替えた時の装置の復旧が早くなる。扉７４ａは、巻取りロール２４を取り替える時など、シート２０が連結部７４を通っている時に閉じられることもある。巻取りロール２４に巻かれたシート２０が多くなってきたとき、巻取りロール２４を新しいものと交換する。交換後の巻取りロール２４にシート２０の端部をつなぎ合わせることで、加熱処理部４０の雰囲気を保つことができ、巻取りロール２４を取り替えた際の装置の復旧が早くなる。

〈巻取り部６０〉
巻取り部６０は、冷却ローラ５２を通じて冷却されたシート２０を巻取るための巻取りロール２４を収容している。巻取り部６０は、内部の設備を囲う外壁６０ａを有している。巻取り部６０の外壁６０ａと冷却部５０の外壁５０ａには、連結部７４が設けられている。巻取り部６０は、連結部７４を介して冷却部５０と接続されている。シート２０は、連結部７４を通って巻取り部６０に搬送される。特に限定されないが、連結部７４におけるシート２０の通り道の寸法は、連結部７０，７２と同様、冷却部５０と巻取り部６０の雰囲気が干渉しにくい寸法に設定されている。

巻取り部６０には、第２軸６２と、複数のローラ６４とが設けられている。第２軸６２には、加熱処理部４０で加熱処理され、冷却部５０で冷却された巻取りロール２４が取り付けられる。第２軸６２が回転駆動されることによって、巻取りロール２４にシート２０が巻取られる。

複数のローラ６４は、巻取り部６０においてシート２０が搬送される搬送経路を設定する。冷却部５０から搬送されたシート２０は、巻取り部６０の入口（連結部７４）付近のローラ６４に掛けられた後に、複数のローラ６４に予め定められた順番に掛け廻され、巻取りロール２４に巻取られる。複数のローラ６４は、ガイドローラ６４ａと、ローラ６４ｂと、張力検出ローラ６４ｃと、フィードローラ６４ｄとを含んでいる。ローラ６４ｂは、予め定められた範囲を移動可能に構成されている。ローラ６４ｂは、例えば、巻取りロール２４が交換される際に、シート２０の必要な余長を確保するために移動されうる。張力検出ローラ６４ｃには、図示しない張力検出器が取り付けられている。フィードローラ６４ｄは、巻取りロール２４を交換するときに交換後の巻取りロール２４にシート２０を貼り付ける際の、貼り付けに必要な余長を送り出す。

〈駆動装置３２ａ，６２ａ〉
駆動装置３２ａ，６２ａ（図２参照）は、巻出しロール２２が取り付けられている第１軸３２および巻取りロール２４が取り付けられている第２軸６２を回転駆動する。この実施形態では、駆動装置３２ａとしてモータが用いられている。図２は、シート２０の駆動機構を示す模式図である。図２では、巻出し部３０と巻取り部６０の間の加熱処理部４０と冷却部５０は省略されている。また、図２では、巻出し部３０の張力検出ローラ３４ｂと、フィードローラ３４ｃと、ダンサーローラ３４ｄ以外のローラ３４の図示は省略されている。図２では、巻取り部６０の張力検出ローラ６４ｃ以外のローラ６４の図示は省略されている。

図２に示されているように、駆動装置３２ａ，６２ａは、巻出し部３０の一方の外壁３０ａおよび巻取り部６０の一方の外壁６０ａにそれぞれ取り付けられている。第１軸３２は、駆動装置３２ａに接続されている。駆動装置３２ａによって第１軸３２が回転駆動され、巻出しロール２２からシート２０が巻出される。第２軸６２は、駆動装置６２ａに接続されている。駆動装置６２ａによって第２軸６２が回転駆動され、巻取りロール２４にシート２０が巻取られる。駆動装置３２ａ，６２ａは、外壁３０ａ及び外壁６０ａに囲まれた空間内に大気ボックスを設けて設置する場合もある。

〈制御装置１５〉
制御装置１５は、予め定められた処理条件に応じてシート２０が搬送されるように、シート２０の搬送速度やシート２０にかかる張力を制御する。この実施形態では、制御装置１５は、シート２０を巻出す時の巻出し張力と、処理されているシート２０にかかる炉内張力と、処理されたシート２０を巻取る時の巻取り張力とをそれぞれ制御する。制御装置１５は、駆動装置３２ａ，６２ａに接続されている。また、制御装置１５は、張力検出ローラ３４ｂ、フィードローラ３４ｃ、ダンサーローラ３４ｄ、張力検出ローラ６４ｃ等と接続されている。制御装置１５は、張力検出ローラ３４ｂが検出する巻出し張力を駆動装置３２ａにフィードバックし、第１軸３２のトルクを制御する。これによって、巻出し張力が調整される。また、制御装置１５は、処理されているシート２０が掛けられた張力検出ローラ（この実施形態では、冷却部５０内（図１参照）に設けられた張力検出ローラ）が検出する炉内張力をダンサーローラ３４ｄにフィードバックする。検出された炉内張力に応じてダンサーロール３４ｄが移動する。これによって、炉内張力が調整される。なお、炉内張力が一定の状態でダンサーロール３４ｄの位置が基準の位置に戻るように、フィードローラ３４ｃの回転速度が制御される。また、制御装置１５は、張力検出ローラ６４ｃが検出する巻取り張力を駆動装置６２ａにフィードバックし、第２軸６２のトルクを制御する。これによって、巻取り張力が調整される。

制御装置１５は、シート２０の搬送速度や張力以外にも種々の処理条件を制御可能に構成されていてもよい。制御装置１５は、例えば、巻出し部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取り部６０の各部の雰囲気を制御可能に構成されていてもよい（図１参照）。

図１に示されているように、制御装置１５（図２参照）は、各部の真空度を調整できるように、真空ポンプ８０および真空バルブ８１～８４に接続されている。制御装置１５は、各部の真空度を検出するための図示しない真空度検出器に接続されていてもよい。シート２０が熱処理装置１０で処理される際には、真空バルブ８１～８４が開かれる。各部の真空度を調整しない場合は真空バルブ８１～８４の替わりに開閉バルブを使用することもある。定常運転時は扉７０ａと７４ａは開かれた状態で、各部の真空度は同じである。

ロールが交換される際には、制御装置１５は、真空バルブ８１～８４それぞれの開閉を制御することによって、各部の真空度を切り替えうる。巻出しロール２２が交換される際には、扉７０ａが閉じられた状態で、真空バルブ８１が閉じられる。巻取りロール２４が交換される際には、扉７４ａが閉じられた状態で、真空バルブ８４が閉じられる。ロールが交換される際には、ロールが交換される部屋は、図示しない大気開放弁によって大気開放される。大気開放弁は、加熱処理部４０と冷却部５０にも設けられていてもよい。制御装置１５は、加熱処理時やロール交換時に真空バルブ８１～８４および大気開放弁の開閉を制御しうる。なお、熱処理装置１０がシート２０を予め定められた雰囲気で加熱処理する雰囲気炉である場合には、制御装置１５は、熱処理装置１０の内部の雰囲気を調整するために雰囲気ガスを供給するガス供給装置に接続されていてもよい。

シート２０は、上述した熱処理装置１０内を搬送されつつ処理される。この実施形態では、シート２０は、加熱処理部４０で連続的に加熱処理されることによって乾燥される。

ところで、本発明者は、シート２０の処理効率を向上させるために、帯状のシート２０を高速で搬送することを検討している。シート２０の搬送速度を上げることによって、単位時間あたりに多くのシート２０を処理することができ、シート２０の処理効率が向上する。特に限定されないが、シート２０の搬送速度は、１０ｍ／分～２００ｍ／分程度に設定されうる。この実施形態では、シート２０の搬送速度は、１００ｍ／分程度に設定されている。

例えば、シートの搬送速度が遅い場合には、シートが巻取りロールに巻取られるまでに十分に温度が下がりうる。しかしながら、シートの搬送速度が速い場合には、シートが十分に冷却されず、加熱処理されたシートの温度が高い状態で巻取りロールに巻取られうる。本発明者の検討によると、温度が高い状態で巻取りロールに巻取られると、シートが冷却されるまでの時間がシート内で異なりやすくなる。例えば、シートの温度が高い状態で巻取りロールに巻取られた場合には、巻取りロールのコアに近いほど熱がシートから逃げにくくなる。このため、巻取りロールのコアに近いシートほど長い時間高い温度に保たれうる。これによって、シート内で熱履歴に差が出るおそれがある。シート内の熱履歴の差は、シートの性能ばらつきに繋がりうる。また、シートは、温度が変化することによって膨張および収縮しうる。しかしながら、既にシートが巻取りロールに巻取られている場合には、シートが巻取られた後に冷却されても長さ方向（巻取りロールの周方向）において収縮しにくい。このような場合、シートには、長さ方向に収縮しようとする応力がかかりうる。その結果、シートが変形する懸念がある。また、温度が高い状態でシートを取り出そうとすると、取出しの際にシートが酸化してしまう可能性がある。また、真空下で冷却するには時間がかかる。安全性の観点からも、シートの取出しの際にシートが十分に冷却されていることが好ましい。

上述した実施形態では、熱処理装置１０は、帯状のシート２０が搬送されつつ加熱処理される加熱処理部４０と、加熱処理部４０で加熱処理された帯状のシート２０が搬送されつつ冷却される冷却部５０とを備えている。冷却部５０は、内部に冷媒が流通する冷却ローラ５２と、冷却ローラ５２が配置された空間を囲う外壁５２ａとを有している。加熱処理部４０で加熱処理されたシート２０は、冷却部５０の冷却ローラ５２によって冷却される。このため、シート２０は、十分に冷却された状態で巻取りロール２４に巻き取られうる。これによって、シート２０の処理効率を向上させるために搬送速度を上げた場合にも、温度変化によるシート２０の膨張収縮等が起こりにくい。このように、シート２０が冷却されることによって、搬送速度を上げた場合に起こりうる不具合が抑えられる。その結果、シート２０の処理効率を向上させやすい。

上述した実施形態では、熱処理装置１０は、冷却部５０で冷却された帯状のシート２０が巻取られる巻取り部６０をさらに備えている。ここでは、シート２０が加熱処理される加熱処理部４０と、加熱処理されたシート２０が巻取られる巻取り部６０との間に、冷却ローラ５２を有する冷却部５０が設けられている。冷却部５０は、外壁５０ａに囲われた空間を有しているため、加熱処理部４０や巻取り部６０の雰囲気の影響を受けにくい。これによって、冷却部５０内部の温度等の雰囲気や冷却ローラ５２の温度等が安定しやすい。このため、安定した条件で効率よくシート２０を処理することができる。例えば、シート２０の処理効率を向上させるために搬送速度を上げた場合にも、シート２０の熱履歴を合わせやすい。

上述した実施形態では、加熱処理部４０は、帯状のシート２０が加熱処理される空間を囲う外壁４０ａを有している。加熱処理部４０の入口には、加熱処理部４０よりも上流側の空間と加熱処理部４０の雰囲気を切り替えるための扉７０ａが設けられている。冷却部５０の出口には、冷却部５０よりも下流側の空間と冷却部５０の雰囲気を切り替えるための扉７４ａが設けられている。かかる構成によって、加熱処理部４０と冷却部５０は、第１軸３２および第２軸６２が設けられている空間（この実施形態では、巻出し部３０と巻取り部６０）に対して雰囲気が切り替えられる。例えば、巻出しロール２２や巻取りロール２４を交換する際、扉７０ａと扉７４ａを閉じて、加熱処理部４０および冷却部５０の雰囲気を保った状態でロールの交換作業をすることができる。このとき、加熱処理部４０および冷却部５０は、シート２０を処理する際の雰囲気が保たれている。このため、熱処理装置１０の雰囲気が、シート２０を処理可能になるように準備されるまでにかかる時間が短縮されうる。例えば、ロール交換後、巻出し部３０と巻取り部６０の雰囲気がシート２０を処理可能な雰囲気になるのを待つだけでシート２０の処理を再開することができる。ロール交換後にシート２０の熱処理が可能になるまでにかかる時間が短縮されることによって、シート２０の処理効率が向上しうる。

冷却ローラは単数でもよいが、複数であるほうがより好ましい。冷却部５０に複数の冷却ローラ５２が設けられていることによって、冷却効率がより向上され、シート２０の処理効率が向上しうる。

複数の冷却ローラ５２は、帯状のシート２０の第１面２０ａが接するように掛け廻される少なくとも１つの第１冷却ローラ５２ａと、帯状のシート２０の第２面２０ｂが接するように掛け廻される少なくとも１つの第２冷却ローラ５２ｂとを有している。シート２０が複数の冷却ローラ５２に掛け廻されることによって、シート２０は、巻取りロール２４に巻取られる前に十分に冷却されやすくなる。このため、巻取られた後のシート２０の温度変化が抑えられる。これによって、シート２０内の熱履歴のばらつきやシート２０の変形が抑えられる。その結果、例えば、シート２０の搬送速度を速くした場合にも、製品品質を維持しつつシート２０の処理効率を向上させることができる。また、上述した実施形態では、シート２０の第１面２０ａが第１冷却ローラ５２ａに冷却され、第２面２０ｂが第２冷却ローラ５２ｂに冷却される。シート２０の第１面２０ａと第２面２０ｂの両面が冷却されることで、シート２０の厚み方向の温度のばらつきが小さくなる。その結果、シート２０の第１面２０ａと第２面２０ｂの熱履歴の差を小さくすることができる。

上述した実施形態では、第１冷却ローラ５２ａおよび第２冷却ローラ５２ｂは、それぞれ複数設けられている。このため、シート２０の冷却効率は、良好である。また、シート２０は、第１冷却ローラ５２ａと第２冷却ローラ５２ｂに交互に掛け廻されている。かかる構成によって、シート２０の第１面２０ａと第２面２０ｂは、交互に冷却される。これによって、第１面２０ａと第２面２０ｂが均一に冷却されやすくなり、第１面２０ａと第２面２０ｂの熱履歴が小さくなりうる。

上述した実施形態では、隣り合う第１冷却ローラ５２ａの間隔および隣り合う第２冷却ローラ５２ｂの間隔はそれぞれ、冷却ローラ５２の外径よりも狭い。冷却ローラ５２の間隔がこのように設定されていることによって、シート２０は、周方向において冷却ローラ５２に接する長さが長くなっている。ここでは、シート２０は、周方向において１８０度以上の角度に亘って冷却ローラ５２と接している。シート２０と冷却ローラ５２が接する距離が長くなることによって、シート２０が効率的に冷却されうる。

上述した実施形態では、冷却部５０には、真空ポンプ８０が接続されている。加熱処理部４０も同様に、真空ポンプ８０が接続されている。このため、シート２０は、真空雰囲気下で処理される。これによって、シート２０の乾燥効率が向上されている。

ところで、この実施形態では、加熱処理部４０よりも下流の冷却部５０および巻取り部６０も同様に真空雰囲気である。真空雰囲気下では、シート２０の周囲の雰囲気ガスが希薄になっており、雰囲気ガスによってシート２０から熱が奪われにくくなっている。換言すると、対流によるシート２０の冷却がされにくくなる。その結果、真空雰囲気下では、シート２０の冷却効率が低下しうる。

上述した実施形態では、シート２０は、冷却ローラ５２に掛け廻されつつ搬送される。このとき、シート２０が冷却ローラ５２と接することによって、シート２０の熱は、シート２０が接触する冷却ローラ５２へ伝わりやすくなる。このため、冷却ローラ５２を有している熱処理装置１０では、真空雰囲気でもシート２０の冷却効率が良好である。例えば、シート２０の搬送速度が速い場合にも、シート２０は、巻取りロール２４に巻取られる前に十分に冷却されやすくなる。

以下、熱処理装置に用いられる冷却ローラの一例について、図面を参照しつつ説明する。図３～図５は、熱処理装置１０に用いられる冷却ローラ５２の一実施形態を模式的に示している。図３は、冷却ローラ５２の断面図である。図３では、冷却ローラ５２の軸に沿った断面が示されている。図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。図５は、図３のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。図４および図５では、冷却ローラ５２の径方向に沿った断面が示されている。図３および図４において、図中の矢印は、冷媒が供給される方向を示している。

図３に示されているように、冷却ローラ５２は、ローラ部５４と、軸部５６とを有している。ローラ部５４は、シート２０が接するように掛け廻される部位である。軸部５６の外径は、ローラ部５４の外径よりも小さく形成されている。軸部５６は、冷却ローラ５２の回転軸を構成する部位である。ローラ部５４は、円盤状の端部５４ａ，５４ｂと、端部５４ａ，５４ｂに支持される円筒部５４ｃを有している。軸部５６は、ローラ部５４の端部５４ａ，５４ｂの略中央部を通っている。この実施形態では、冷却ローラ５２の径方向において、軸部５６とローラ部５４の間には、空間５５が形成されている。また、端部５４ａ，５４ｂには、略円形の孔５４ａ１，５４ｂ１がそれぞれ複数形成されている。

この実施形態では、ローラ部５４と軸部５６は、一体的に形成されている。軸部５６は、外壁５０ａ（図１参照）の側壁に回転可能に架け渡されている。詳細な図示は省略するが、この実施形態では、軸部５６の端部５６ａ，５６ｂは、外壁５０ａに対して軸受を介して支持されている。

冷却ローラ５２は、内部に冷媒が流通可能に構成されている。特に限定されないが、冷媒としては、水等が用いられうる。冷媒の温度は、冷却条件に応じて適宜設定されるとよく、例えば、５～２０℃程度に設定されうる。冷却ローラ５２は、冷媒が流通する冷媒経路５３を内部に有している。冷媒経路５３に冷媒が供給されることによって、金属製の冷却ローラ５２が冷却される。冷却された冷却ローラ５２にシート２０が接することによって、シート２０が冷却される。

この実施形態では、冷却ローラ５２は、いわゆる二重管構造を有している。二重管構造は、軸部５６の一方の端部５６ａに形成されている。冷却ローラ５２では、軸部５６の一方の端部５６ａから冷媒が流入および流出する。端部５６ａにおいて、軸部５６は、内管５６ａ１および外管５６ａ２を有している。内管５６ａ１と外管５６ａ２には、冷媒供給装置５２ｃが接続されている。冷媒供給装置５２ｃからの冷媒は、内管５６ａ１と外管５６ａ２の間の冷媒経路５３に供給される。軸部５６の端部５６ａの冷媒経路５３から供給された冷媒は、ローラ部５４の端部５４ａに形成された冷媒経路５３に向かって流れる。

図４に示されているように、ローラ部５４の端部５４ａにおいて、隣り合う孔５４ａ１の間を通るように冷媒経路５３が形成されている。ローラ部５４の端部５４ａには、複数（この実施形態では、４本）の冷媒経路５３が形成されている。当該冷媒経路５３は、端部５４ａの外径方向に沿って延びている。供給された冷媒は、ローラ部５４の円筒部５４ｃに向かって外径方向に流れる。

円筒部５４ｃでは、冷媒経路５３は、円筒部５４ｃの表面に沿って周方向に連続的に形成されている（図４および図５参照）。円筒部５４ｃの冷媒経路５３は、端部５４ａから端部５４ｂに向かって形成されている（図３参照）。円筒部５４ｃに達した冷媒は、端部５４ｂに向かう方向に流れつつ、円筒部５４ｃの周方向にも流れる。円筒部５４ｃにおいて冷媒経路５３が周方向に連続的に形成されていることによって、周方向において円筒部５４ｃの表面が均一に冷却されうる。これによって、周方向において温度のばらつきが抑制されうる。その結果、円筒部５４ｃの外表面に接するシート２０が均一に冷却されやすくなる。なお、円筒部５４ｃにおいて、冷媒経路５３は必ずしも周方向に連続して形成されている必要はない。例えば、円筒部５４ｃには、一端から他端に向かう複数の冷媒経路が形成されていてもよい。

ローラ部５４の端部５４ｂでは、端部５４ａと同様の形状の冷媒経路５３が形成されている。図３に示されているように、端部５４ｂに達した冷媒は、ローラ部５４の端部５４ｂを内径方向に流れる。端部５４ｂを流れた冷媒は、軸部５６の内部に形成された冷媒経路５３で合流する。

軸部５６では、冷媒経路５３は、端部５６ｂから端部５６ａに向かう方向に沿って形成されている。合流した冷媒は、当該冷媒経路５３を端部５４ａに向かって流れる。冷媒経路５３は、内管５６ａ１の内部に繋がっている。図示は省略するが、内管５６ａ１の端部は、開口を有している。冷媒は、内管５６ａ１の内側を流れ、当該開口から排出される。当該開口には、冷媒を排出するための配管が接続されうる。冷媒供給装置５２ｃとしては、冷媒を予め定められた温度に調整して冷媒を循環させる、冷却水循環装置が用いられていてもよい。この場合、冷媒を排出するための配管は、冷媒供給装置５２ｃに接続されうる。

なお、冷却ローラ５２の構造は、上述した形態に限定されない。例えば、冷媒が軸部５６の端部５６ａから供給され、円筒部５４ｃを通り、軸部５６の反対側の端部５６ｂから排出されるような構成であってもよい。

この実施形態では、冷却ローラ５２は、ステンレス製である。冷却ローラ５２が金属製であることよって、冷却ローラ５２が冷却されやすくなる。これによって、シート２０の冷却効率が向上しうる。なお、冷却ローラ５２は、ステンレス製に限られない。冷却ローラ５２のうちシート２０が接する面には、平滑性や強度等を調整するために、めっき等の表面処理が施されていてもよい。

この実施形態では、冷却ローラ５２は、シート２０が接するように掛け廻されるローラ部５４と、冷却ローラ５２の回転軸を構成する軸部５６とを有している。冷却ローラ５２の径方向において、軸部５６とローラ部５４の間には、空間５５が形成されている。軸部５６とローラ部５４の間に空間５５が形成されていることによって、冷却ローラ５２は、軽量化されている。冷却ローラ５２が軽量化されていることによって、冷却ローラ５２を回転させるために必要なシート２０の張力が小さくなるので、駆動装置３２ａ，６２ａの小型化が容易になる。

以上、具体的な実施形態を挙げて詳細な説明を行ったが、これらは例示にすぎず、請求の範囲を限定するものではない。このように、請求の範囲に記載の技術には、以上に記載した実施形態を様々に変形、変更したものが含まれる。例えば、上述した実施形態では、巻取りロール２４は、冷却部５０よりも下流に設けられた巻取り部６０の第２軸６２に取り付けられているが、かかる形態に限定されない。巻取りロールを取り付けるための第２軸は、冷却ローラが収容された冷却部に設けられていてもよい。冷却部は、加熱処理されたシートの冷却と、シートの巻取りとの両方が行われるように構成されていてもよい。

なお、本明細書は以下の項目１～１０を含んでいる。以下の項目１～１０は、上記した実施形態には限定されない。

項目１は、熱処理装置に関する。項目１における、熱処理装置は、
帯状のシートが搬送されつつ加熱処理される加熱処理部と、
前記加熱処理部で加熱処理された前記帯状のシートが搬送されつつ冷却される冷却部と
を備え、
前記冷却部は、
内部に冷媒が流通する冷却ローラと、
前記冷却ローラが配置された空間を囲う外壁と
を有している。

項目２は、項目１に記載された熱処理装置であって、
前記冷却部で冷却された前記帯状のシートが巻取られる巻取り部をさらに備えている。

項目３は、項目１または２に記載された熱処理装置であって、
前記加熱処理部は、前記帯状のシートが加熱処理される空間を囲う外壁を有しており、
前記加熱処理部の入口には、前記加熱処理部よりも上流側の空間と前記加熱処理部の雰囲気を切り替えるための扉が設けられており、
前記冷却部の出口には、前記冷却部よりも下流側の空間と前記冷却部の雰囲気を切り替えるための扉が設けられている。

項目４は、項目１～３のいずれか一つに記載された熱処理装置であって、
前記冷却部には、真空ポンプが接続されている。

項目５は、項目１～４のいずれか一つに記載された熱処理装置であって、
前記冷却部には、複数の前記冷却ローラが設けられている。

項目６は、項目５に記載された熱処理装置であって、
前記複数の冷却ローラは、
前記帯状のシートの第１面が接するように掛け廻される少なくとも１つの第１冷却ローラと、
前記帯状のシートの第２面が接するように掛け廻される少なくとも１つの第２冷却ローラと
を有する。

項目７は、項目６に記載された熱処理装置であって、
前記第１冷却ローラおよび前記第２冷却ローラは、それぞれ複数設けられており、
前記帯状のシートは、前記第１冷却ローラと前記第２冷却ローラに交互に掛け廻される。

項目８は、項目７に記載された熱処理装置であって、
隣り合う前記第１冷却ローラの間隔および隣り合う前記第２冷却ローラの間隔はそれぞれ、前記冷却ローラの外径よりも狭い。

項目９は、項目７または８に記載された熱処理装置であって、
前記複数の第１冷却ローラと前記複数の第２冷却ローラは、前記冷却部の前後で順に高さがずれるように配置されている。

項目１０は、項目１～項目９のいずれか１つに記載された熱処理装置であって、
前記冷却ローラは、前記帯状のシートが接するように掛け廻されるローラ部と、前記冷却ローラの回転軸を構成する軸部とを有し、
前記冷却ローラの径方向において、前記軸部と前記ローラ部の間には、空間が形成されている。

１０ 熱処理装置
１５ 制御装置
２０ シート
２０ａ 第１面
２０ｂ 第２面
２２ 巻出しロール
２４ 巻取りロール
３０ 巻出し部
４０ 加熱処理部
５０ 冷却部
５２ 冷却ローラ
５２ａ 第１冷却ローラ
５２ｂ 第２冷却ローラ
５３ 冷媒経路
５４ ローラ部
５５ 空間
５６ 軸部
５８ ガイドローラ
６０ 巻取り部
７０，７２，７４ 連結部
７０ａ，７４ａ 扉
８０ 真空ポンプ

Claims (9)

1. 帯状のシートが搬送されつつ加熱処理される加熱処理部と、
   前記加熱処理部で加熱処理された前記帯状のシートが搬送されつつ冷却される冷却部と、
   前記冷却部で冷却された前記帯状のシートが巻取られる巻取り部と
   を備え、
   前記冷却部は、
   内部に冷媒が流通する冷却ローラと、
   前記冷却ローラが配置された空間を囲う外壁と
   を有し、
   前記巻取り部は、
   前記帯状のシートを巻取る巻取りロールと、
   前記巻取りロールを囲う外壁と
   を有し、
   前記冷却部の外壁で囲まれた空間と、前記巻取り部の外壁で囲まれた空間とは、それぞれ真空ポンプに接続されている、
   熱処理装置。
2. 前記加熱処理部は、前記帯状のシートが加熱処理される空間を囲う外壁を有しており、
   前記加熱処理部の入口には、前記加熱処理部よりも上流側の空間と前記加熱処理部の雰囲気を切り替えるための扉が設けられており、
   前記冷却部の出口には、前記冷却部よりも下流側の空間と前記冷却部の雰囲気を切り替えるための扉が設けられている、請求項１に記載された熱処理装置。
3. 前記冷却部には、複数の前記冷却ローラが設けられている、請求項１に記載された熱処理装置。
4. 前記複数の前記冷却ローラは、
   前記帯状のシートの第１面が接するように掛け廻される少なくとも１つの第１冷却ローラと、
   前記帯状のシートの第２面が接するように掛け廻される少なくとも１つの第２冷却ローラと
   を有する、請求項３に記載された熱処理装置。
5. 前記第１冷却ローラおよび前記第２冷却ローラは、それぞれ複数設けられており、
   前記帯状のシートは、前記第１冷却ローラと前記第２冷却ローラに交互に掛け廻される、請求項４に記載された熱処理装置。
6. 隣り合う前記第１冷却ローラの間隔は、前記第１冷却ローラの外径よりも狭く、
   隣り合う前記第２冷却ローラの間隔は、前記第２冷却ローラの外径よりも狭い、請求項５に記載された熱処理装置。
7. 前記複数の前記第１冷却ローラと前記複数の前記第２冷却ローラは、前記冷却部の前後で順に高さがずれるように配置されている、請求項５に記載された熱処理装置。
8. 前記冷却ローラは、前記帯状のシートが接するように掛け廻されるローラ部と、前記冷却ローラの回転軸を構成する軸部とを有し、
   前記冷却ローラの径方向において、前記軸部と前記ローラ部の間には、空間が形成されている、請求項１に記載された熱処理装置。
9. 前記第１冷却ローラおよび前記第２冷却ローラは、同数設けられている、請求項５に記載された熱処理装置。

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