JP6793875B1 - 熱処理炉 - Google Patents
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 84
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 41
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 24
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 1
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
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- F26B3/02—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by convection, i.e. heat being conveyed from a heat source to the materials or objects to be dried by a gas or vapour, e.g. air
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Abstract
Description
下壁13は、平面視すると矩形状の板材であり、処理室(19a,19b)の下方に配置されている。図1に示すように、下壁13には、x方向に略一定の間隔を空けて複数の排気口13aが設けられている。複数の排気口13aのうち中央に配置される5個の排気口13aは、後述する案内ローラ24と対向する位置に配置されている。複数の排気口13aのうちx方向の一端に配置される排気口13aは、搬入側壁15に近接する位置に配置されている。複数の排気口13aのうちx方向の他端に配置される排気口13aは、搬出側壁15に近接する位置に配置されている。複数の排気口13aのそれぞれは、排気ファン13bに接続されている。排気ファン13bが運転すると、処理室(19a,19b)内の雰囲気ガスが処理室(19a,19b)外に排気されるようになっている。
上壁14は、下壁13と同一形状の板材であり、処理室(19a,19b)の上方に配置されている。上壁14にも、下壁13と同様に、x方向に略一定の間隔を空けて複数の排気口14aが設けられている。複数の排気口14aのそれぞれは、複数の排気口13aのそれぞれと対向する位置に配置されている。複数の排気口14aのそれぞれは、排気ファン14bに接続されている。排気ファン14bが運転すると、処理室(19a,19b)内の雰囲気ガスが処理室(19a,19b)外に排気されるようになっている。
搬入側壁15には搬入口15aが設けられており、搬出側壁16には搬出口15bが形成されている。搬入口15aと搬出口15bの高さ方向の位置は同一の位置となっており、搬入口15aと搬出口15bは互いに対向している。図1から明らかなように、処理室(19a,19b)は、搬入口15aと搬出口15bとの間に配置されている。
なお、炉体12を構成する各壁13,14,15,16,17,18の内面(すなわち、処理室(19a,19b)側の面)には、鏡面加工が施されている。その結果、これらの面の赤外領域の電磁波(詳細には、後述するヒータ26,28が放射する電磁波)の反射率は50%以上となっている。これによって、ヒータ26,28が放射する電磁波をワークWへ効率的に照射できるようになっている。
搬入口ローラ21にはワークWが巻回されている。搬入口ローラ21に券回されたワークWは、搬入口15aから処理室(19a,19b)を通って搬出口16aまで架け渡されている。具体的には、ワークWは、搬入口ローラ21から搬入口15aを通って案内ローラ(22a,22b,22c,24)に架け渡され、さらに案内ローラ(22a,22b,22c,24)から搬出口16aを介して搬出口ローラ25に架け渡されている。
搬出口ローラ25は、処理室(19a,19b)から搬出されるワークWを巻き取るローラである。搬出口ローラ25には図示しない駆動装置が接続されており、駆動装置により搬出口ローラ25が回転駆動される。搬出口ローラ25が回転すると、搬入口ローラ21に券回されたワークWが処理室(19a,19b)に送り出される。搬入口ローラ21から送り出されたワークWは、案内ローラ(22a,22b,22c,24)に案内されて処理室(19a,19b)内の所定の搬送経路を移動し、搬出口16aから処理室(19a,19b)外に送り出されて搬出口ローラ25に巻き取られる。すなわち、案内ローラ(22a,22b,22c,24)は、処理室(19a,19b)内のワークWの搬送経路を規定している。
上部案内ローラ(22a,22b,22c)は、x方向に一定の間隔を空けて配置されている。具体的には、上部案内ローラ22a(請求項でいう第1の搬送ローラの一例)は搬入口15aに隣接して配置され、上部案内ローラ22c(請求項でいう第3の搬送ローラの一例)は搬出口16aに隣接して配置されている。複数の案内ローラ22bは、上部案内ローラ22aと上部案内ローラ22cの間に等間隔で配置されている。上部案内ローラ(22a,22b,22c)のそれぞれの高さ方向の位置は同一となっている。
複数の下部案内ローラ24(請求項でいう第2の搬送ローラの一例)のそれぞれは、上部案内ローラ(22a,22b,22c)と同様、x方向に一定の間隔を空けて配置されている。隣接する下部案内ローラ24のx方向の間隔は、上部案内ローラ(22a,22b,22c)のx方向の間隔と同一となっている。複数の下部案内ローラ24のx方向の位置は、隣接する上部案内(22a,22b,22c)の中央位置となっている。複数の下部案内ローラ24の高さ方向の位置は同一となっている。
図3に示すように、第2ヒータ28は、フィラメント30と、フィラメント30を収容する内管32と、内管32を収容する外管34を備えている。フィラメント30は、例えば、タングステン製の発熱体であり、図示しない外部電源から電力が供給されるようになっている。フィラメント30に電力が供給されて所定温度(例えば、1200〜1700℃)となると、フィラメント30から赤外線を含む電磁波が放射される。内管32は、フィラメント30から放射される電磁波のうち特定の波長領域(本実施例では、赤外領域)の電磁波のみを透過する赤外線透過材料によって形成されている。内管32を形成する赤外線透過材料を適宜選択することで、フィラメント30から内管32の外部に放射される電磁波の波長を所望の波長に調整することができる。外管34も、内管32と同一の赤外線透過材料によって形成されている。したがって、内管32を透過した電磁波は、外管34を透過して外部に放射される。内管32と外管34の間の空間36は、冷媒(例えば、空気)が流れる冷媒流路となっている。空間36(すなわち、冷媒流路)に冷媒が供給されることで、外管34の温度が高温となり過ぎることが防止されている。これによって、ワークWの過熱が防止される。なお、赤外領域の電磁波を放射する波長制御可能なヒータについては、例えば、特許4790092号に詳細に開示されている。
Claims (13)
- 搬入口と、搬出口と、前記搬入口と前記搬出口との間に配置された処理室と、を備える炉体と、
前記搬入口から前記搬出口まで架け渡される被処理物を、前記搬入口から前記処理室を通って前記搬出口に搬送する搬送装置と、
前記処理室内に配置されており、前記搬送装置によって搬送される前記被処理物を案内する複数の案内ローラと、
前記処理室内に配置されており、前記搬送装置によって搬送される前記被処理物を加熱する加熱装置と、を備えており、
前記被処理物は、前記複数の案内ローラによって規定される搬送経路を通って前記搬入口から前記搬出口まで搬送され、
前記加熱装置は、
前記複数の案内ローラ毎に、当該案内ローラの内部及び/又は当該案内ローラの近傍に配置され、前記被処理物を加熱する第1のヒータと、
前記搬送経路上であって、前記被処理物の搬送方向に隣接する案内ローラの間に位置する前記被処理物の近傍に配置され、前記被処理物を加熱する第2のヒータと、を備えており、
前記第2のヒータは、赤外領域の電磁波を放射するヒータであり、
前記被処理物は、フィルムと、前記フィルムの表面及び裏面の少なくとも一方に塗布されたペーストと、を備えており、
前記加熱装置は、前記ペーストに含まれる水分を除去する、熱処理炉。 - 前記第1のヒータは、前記被処理物の搬送経路上であって前記案内ローラが配置された位置の近傍に配置され、前記第2のヒータと同一型の赤外領域の電磁波を放射するヒータであり、
前記第1のヒータと前記案内ローラとの間に前記被処理物が位置している、請求項1に記載の熱処理炉。 - 前記第1のヒータは、前記案内ローラの内部に設けられ、前記案内ローラを加熱する熱媒が流れる流路を備えている、請求項1に記載の熱処理炉。
- 前記処理室内に気体を供給する給気装置をさらに備えており、
前記給気装置は、前記処理室内であって、前記第1のヒータが配置された位置とは異なると共に前記第2のヒータが配置された位置とは異なる位置に配置されており、前記被処理物に向かって気体を噴出する複数の給気管を備えており、
前記第2のヒータと前記給気管は、前記搬送経路に沿って交互に配置されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の熱処理炉。 - 前記複数の給気管から噴出する気体の噴出方向は、前記被処理物の表面に対して直交する、請求項4に記載の熱処理炉。
- 前記炉体は、
前記搬入口が設けられる第1の壁と、
前記第1の壁と対向し、前記搬出口が設けられる第2の壁と、
前記第1の壁に一端が接続される一方で前記第2の壁に他端が接続される第3の壁と、
前記第1の壁に一端が接続される一方で前記第2の壁に他端が接続され、前記第3の壁と対向する第4の壁と、を備えており、
前記複数の案内ローラは、
前記搬入口から搬入される前記被処理物の搬送方向を、前記第3の壁に向かう第1の方向に変更する第1の案内ローラと、
前記第1の方向に搬送される前記被処理物の搬送方向を、前記第4の壁に向かう第2の方向に搬送方向を変更する第2の案内ローラと、
前記第2の方向に搬送される前記被処理物の搬送方向を、前記搬出口に向かう方向に変更する第3の案内ローラと、
を備えており、
前記第3の壁は、前記処理室内の雰囲気ガスを排気する第1の排気口を備えており、
前記第4の壁は、前記処理室内の雰囲気ガスを排気する第2の排気口を備えている、請求項4又は5に記載の熱処理炉。 - 前記複数の給気管は、
前記被処理物と前記第3の壁とで挟まれた空間内に配置される第1の給気管と、
前記被処理物と前記第4の壁とで挟まれた空間内に配置される第2の給気管と、を備えている、請求項6に記載の熱処理炉。 - 前記処理室の内面は、前記赤外領域の電磁波を反射する反射率が50%以上となっている、請求項1〜7のいずれか一項に記載の熱処理炉。
- 前記搬送装置は、
前記炉体の外側であって前記搬入口の近傍に配置され、前記被処理物が巻回された搬入口ローラと、
前記炉体の外側であって前記搬出口の近傍に配置され、前記処理室内を搬送された前記被処理物を巻き取る搬出口ローラと、をさらに備えており、
前記搬入口ローラ及び前記搬出口ローラが回転することで、前記搬入口ローラに券回された前記被処理物は、前記搬入口ローラから送り出されて前記処理室内を搬送される、請求項1〜8のいずれか一項に記載の熱処理炉。 - 前記第2のヒータは、前記被処理物の特性に応じて、放射する電磁波の波長が調整されている、請求項1〜9のいずれか一項に記載の熱処理炉。
- 前記搬入口から前記搬出口に向かって前記搬送経路に沿って前記第2のヒータが複数配置されており、
前記第2のヒータから放射する電磁波の波長は、当該第2のヒータが配置される前記搬送経路上の位置に応じて調整されている、請求項1〜9のいずれか一項に記載の熱処理炉。 - 前記加熱装置は、前記被処理物に含まれる水分を除去し、
前記第2のヒータから放射する電磁波の波長は、前記搬入口から前記搬出口に向かって徐々に長くなるように調整されている、請求項11に記載の熱処理炉。 - 前記処理室内の雰囲気は、露点が0℃以下となる不活性ガス雰囲気である、請求項1〜12のいずれか一項に記載の熱処理炉。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2020/006127 WO2021166048A1 (ja) | 2020-02-17 | 2020-02-17 | 熱処理炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6793875B1 true JP6793875B1 (ja) | 2020-12-02 |
JPWO2021166048A1 JPWO2021166048A1 (ja) | 2021-08-26 |
Family
ID=73544729
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020509562A Active JP6793875B1 (ja) | 2020-02-17 | 2020-02-17 | 熱処理炉 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3896375A4 (ja) |
JP (1) | JP6793875B1 (ja) |
KR (1) | KR102266685B1 (ja) |
CN (1) | CN113544452A (ja) |
TW (1) | TWI751685B (ja) |
WO (1) | WO2021166048A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7402372B1 (ja) | 2023-06-06 | 2023-12-20 | 日本碍子株式会社 | 熱処理炉 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114318731B (zh) * | 2021-12-29 | 2022-11-01 | 吴江超翔织造有限公司 | 一种织物上浆热处理装置及方法 |
CN114941938B (zh) * | 2022-04-19 | 2023-05-05 | 福建永荣锦江股份有限公司 | 一种化纤放置干燥装置及其方法 |
JP7285360B1 (ja) | 2022-06-21 | 2023-06-01 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 熱処理装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006315386A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Kyung-Il Tech Co Ltd | 両面転写された原反を非加圧式にて乾燥させる装置 |
WO2014163175A1 (ja) * | 2013-04-04 | 2014-10-09 | 日本碍子株式会社 | 脱水装置 |
JP2015206576A (ja) * | 2014-04-23 | 2015-11-19 | 旭硝子株式会社 | 脱ガス装置 |
JP2018066552A (ja) * | 2016-03-18 | 2018-04-26 | 株式会社リコー | 乾燥装置、印刷装置 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL269553A (ja) * | 1960-10-25 | |||
US3254422A (en) * | 1962-07-10 | 1966-06-07 | Du Pont | Process of drying polychloroprene sheets |
NL6400724A (ja) * | 1963-01-29 | 1964-07-30 | ||
JP2003094605A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Toppan Printing Co Ltd | 乾燥器 |
JP4030555B2 (ja) * | 2005-05-30 | 2008-01-09 | 凸版印刷株式会社 | 乾燥器 |
JP4792357B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2011-10-12 | 富士フイルム株式会社 | ポリマーフィルムの製造方法 |
JP5249916B2 (ja) * | 2009-12-24 | 2013-07-31 | 三菱重工業株式会社 | 電極乾燥装置 |
JP4790092B1 (ja) * | 2010-04-30 | 2011-10-12 | 日本碍子株式会社 | 塗膜乾燥炉 |
WO2014057731A1 (ja) * | 2012-10-11 | 2014-04-17 | 日本碍子株式会社 | ポリイミドフィルムの製造方法 |
CN203125807U (zh) * | 2012-12-31 | 2013-08-14 | 鋆洤科技股份有限公司 | 薄膜加热设备 |
WO2014129072A1 (ja) * | 2013-02-20 | 2014-08-28 | 日本碍子株式会社 | ノズル付きヒーター及び乾燥炉 |
TW201510451A (zh) * | 2013-04-11 | 2015-03-16 | Ngk Insulators Ltd | 乾燥爐 |
JP2015036590A (ja) * | 2013-08-12 | 2015-02-23 | 日本碍子株式会社 | 赤外線処理装置及び赤外線処理方法 |
CN108885056A (zh) * | 2016-03-28 | 2018-11-23 | 日本碍子株式会社 | 低温干燥装置 |
JP6720691B2 (ja) * | 2016-05-19 | 2020-07-08 | 株式会社リコー | 乾燥装置、印刷装置 |
CN106679374A (zh) * | 2017-03-02 | 2017-05-17 | 江苏盛纺纳米材料科技股份有限公司 | 集红外干燥和水循环冷却的非织造布烘箱及烘干系统 |
CN107474249A (zh) * | 2017-08-23 | 2017-12-15 | 江苏荣耀电气有限公司 | 一种生产聚酰亚胺薄膜的亚胺化炉 |
CN208995548U (zh) * | 2018-10-18 | 2019-06-18 | Ngk (苏州) 热工技术有限公司 | 连续式加热炉 |
CN110500864A (zh) * | 2019-07-12 | 2019-11-26 | 枣阳市博大纺织有限公司 | 一种纺织烘干装置 |
-
2020
- 2020-02-17 JP JP2020509562A patent/JP6793875B1/ja active Active
- 2020-02-17 EP EP20774866.6A patent/EP3896375A4/en active Pending
- 2020-02-17 CN CN202080001224.8A patent/CN113544452A/zh active Pending
- 2020-02-17 KR KR1020207022414A patent/KR102266685B1/ko active IP Right Grant
- 2020-02-17 WO PCT/JP2020/006127 patent/WO2021166048A1/ja unknown
- 2020-09-10 TW TW109131020A patent/TWI751685B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006315386A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Kyung-Il Tech Co Ltd | 両面転写された原反を非加圧式にて乾燥させる装置 |
WO2014163175A1 (ja) * | 2013-04-04 | 2014-10-09 | 日本碍子株式会社 | 脱水装置 |
JP2015206576A (ja) * | 2014-04-23 | 2015-11-19 | 旭硝子株式会社 | 脱ガス装置 |
JP2018066552A (ja) * | 2016-03-18 | 2018-04-26 | 株式会社リコー | 乾燥装置、印刷装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7402372B1 (ja) | 2023-06-06 | 2023-12-20 | 日本碍子株式会社 | 熱処理炉 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2021166048A1 (ja) | 2021-08-26 |
JPWO2021166048A1 (ja) | 2021-08-26 |
TWI751685B (zh) | 2022-01-01 |
CN113544452A (zh) | 2021-10-22 |
TW202132739A (zh) | 2021-09-01 |
EP3896375A4 (en) | 2021-12-01 |
EP3896375A1 (en) | 2021-10-20 |
KR102266685B1 (ko) | 2021-06-21 |
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Date | Code | Title | Description |
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