JP7283538B2

JP7283538B2 - 圧電振動板および圧電振動デバイス

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Publication number: JP7283538B2
Application number: JP2021522885A
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Inventors: 渉名古屋
Original assignee: Daishinku Corp
Current assignee: Daishinku Corp
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Filing date: 2020-05-28
Publication date: 2023-05-30
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Description

本発明は、圧電振動板およびこれを備えた圧電振動デバイスに関する。

例えばＡＴカット水晶振動板等の厚みすべり振動にて動作する圧電振動板を備えた圧電振動デバイス（例えば圧電振動子、圧電発振器等）では、圧電振動板の表裏面に一対の励振電極が対向して形成され、当該励振電極に交流電圧が印加される構成になっている。近年では、このような圧電振動デバイスの高周波化（例えば１５０ＭＨｚ程度の周波数）が進んでおり、これに伴って、圧電振動デバイスの主振動の近傍にスプリアスが発生する可能性があり、圧電振動デバイスの特性に悪影響を及ぼすことが懸念される。従来では、圧電振動板の一対の励振電極をずらして配置することによって、スプリアスを低減することが知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、従来では、振動部と、当該振動部の外周を取り囲む外枠部と、振動部と外枠部とを連結する保持部とを備えた圧電振動板が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような振動部と外枠部とが保持部によって連結されたいわゆる枠体付きの圧電振動板では、一対の励振電極が、略同一の形状（主に矩形）に形成され、平面視で略一致する位置に配置されていたため、スプリアス低減の対策がいまだ不十分となっていた。

特許第５１０４８６７号公報特開２０１０－２５２０５１号公報

本発明は上述したような実情を考慮してなされたもので、振動部と外枠部とが保持部によって連結された枠体付きの圧電振動板、およびこのような圧電振動板を備えた圧電振動デバイスにおいて、スプリアスを低減し電気的特性を向上させることを目的とする。

本発明は、上述の課題を解決するための手段を以下のように構成している。すなわち、本発明は、厚みすべり振動にて動作する圧電振動板であって、振動部と、当該振動部の外周を取り囲む外枠部と、前記振動部と前記外枠部とを連結する保持部とを備え、前記振動部と前記外枠部との間には、当該圧電振動板を切り抜いて形成された切り抜き部が設けられ、前記振動部の一主面に第１励振電極が形成され、前記振動部の他主面に前記第１励振電極と対になる第２励振電極が形成され、前記第１励振電極および前記第２励振電極のうち一方の励振電極には、他方の励振電極に対し、平面視で突出する突出部が少なくとも１つ設けられ、前記他方の励振電極は、互いに平行な平行辺を少なくとも１つ有し、前記突出部は、平面視で前記平行辺の間の部分よりも外側へ向けて突出されており、かつ平面視で前記平行辺に沿っていない外縁形状を有し、前記保持部の一主面には、前記第１励振電極の角部に接続する第１引出配線が形成され、前記保持部の他主面には、前記第２励振電極の角部に接続する第２引出配線が形成されていることを特徴とする。

上記構成によれば、一方の励振電極の突出部が、平面視で他方の励振電極平行辺に沿っていない外縁形状を有しているので、一方の励振電極の外縁形状に起因するスプリアスを低減することができる。これにより、振動部と外枠部とが保持部によって連結された枠体付きの圧電振動板において、スプリアスを低減し電気的特性を向上させることができる。特に、振動部と外枠部とが保持部によって連結された枠体付きの圧電振動板では、振動部形成後のプロセスで振動部に直接電気機械的な接続点を形成することがないため、当該接続点形成によるスプリアスを発生させることがない。つまり、上記励振電極によるスプリアス低減を実現しながら、振動部形成後のプロセスに起因するさらなるスプリアス発生をも抑制することができる。また、このような枠体付きの圧電振動板における振動部では、上記接続点を考慮せずに励振電極を形成することができるため、励振電極の設計自由度が高まり、電極の大きさや位置を調整しやすくなる。特に、励振電極を大きく形成することで電気的特性を高めたり、振動部の中心と励振電極の中心とを平面視で略一致させて配置することによって、スプリアスとなる非対称な振動モードの発生を抑制することができる。

また、本発明は、厚みすべり振動にて動作する圧電振動板であって、振動部と、当該振動部の外周を取り囲む外枠部と、前記振動部と前記外枠部とを連結する保持部とを備え、前記振動部と前記外枠部との間には、当該圧電振動板を切り抜いて形成された切り抜き部が設けられ、前記振動部の一主面に第１励振電極が形成され、前記振動部の他主面に前記第１励振電極と対になる第２励振電極が形成され、前記第１励振電極および前記第２励振電極は、ともに当該圧電振動板のＸ軸に平行な直線に対して線対称な形状に形成されており、前記第１励振電極および前記第２励振電極のうち一方の励振電極には、他方の励振電極に対し、平面視で重なり合わず外側へ向けて突出する突出部が少なくとも１つ設けられ、前記突出部は、平面視でＸ軸に沿っていない外縁形状を有し、前記保持部の一主面には、前記第１励振電極の角部に接続する第１引出配線が形成され、前記保持部の他主面には、前記第２励振電極の角部に接続する第２引出配線が形成されていることを特徴とする。

上記構成によれば、一方の励振電極の突出部が、平面視でＸ軸に沿っていない外縁形状を有しているので、一方の励振電極の外縁形状に起因するスプリアスを低減することができる。これにより、振動部と外枠部とが保持部によって連結された枠体付きの圧電振動板において、スプリアスを低減し電気的特性を向上させることができる。特に、振動部と外枠部とが保持部によって連結された枠体付きの圧電振動板では、振動部形成後のプロセスで振動部に直接電気機械的な接続点を形成することがないため、当該接続点形成によるスプリアスを発生させることがない。つまり、上記励振電極によるスプリアス低減を実現しながら、振動部形成後のプロセスに起因するさらなるスプリアス発生をも抑制することができる。また、このような枠体付きの圧電振動板における振動部では、上記接続点を考慮せずに励振電極を形成することができるため、励振電極の設計自由度が高まり、電極の大きさや位置を調整しやすくなる。特に、励振電極を大きく形成することで電気的特性を高めたり、振動部の中心と励振電極の中心とを平面視で略一致させて配置することによって、スプリアスとなる非対称な振動モードの発生を抑制することができる。

上記構成において、前記一方の励振電極の重心と、前記他方の励振電極の重心とが、平面視で略一致する位置に設けられていることが好ましい。この構成によれば、一方の励振電極の突出部を、一方の励振電極の重心を通りＸ軸に平行な直線に対して線対称な形状に形成することができる。これにより、一方の励振電極の突出部が非対称的であることに起因して発生するスプリアスを低減することができる。

また、本発明は、厚みすべり振動にて動作する圧電振動板であって、振動部と、当該振動部の外周を取り囲む外枠部と、前記振動部と前記外枠部とを連結する保持部とを備え、前記振動部と前記外枠部との間には、当該圧電振動板を切り抜いて形成された切り抜き部が設けられ、前記振動部の一主面に第１励振電極が形成され、前記振動部の他主面に前記第１励振電極と対になる第２励振電極が形成され、前記第１励振電極の重心と、前記第２励振電極の重心とが、平面視で略一致する位置に設けられ、前記第１励振電極および前記第２励振電極のうち一方の励振電極は、他方の励振電極に対し、平面視で傾けて配置され、前記保持部の一主面には、前記第１励振電極の角部に接続する第１引出配線が形成され、前記保持部の他主面には、前記第２励振電極の角部に接続する第２引出配線が形成されていることを特徴とする。

上記構成によれば、一方の励振電極が他方の励振電極に対し、平面視で傾けて配置されているので、一方の励振電極の外縁形状に起因するスプリアスを低減することができる。これにより、振動部と外枠部とが保持部によって連結された枠体付きの圧電振動板において、スプリアスを低減し電気的特性を向上させることができる。特に、振動部と外枠部とが保持部によって連結された枠体付きの圧電振動板では、振動部形成後のプロセスで振動部に直接電気機械的な接続点を形成することがないため、当該接続点形成によるスプリアスを発生させることがない。つまり、上記励振電極によるスプリアス低減を実現しながら、振動部形成後のプロセスに起因するさらなるスプリアス発生をも抑制することができる。また、このような枠体付きの圧電振動板における振動部では、上記接続点を考慮せずに励振電極を形成することができるため、励振電極の設計自由度が高まり、電極の大きさや位置を調整しやすくなる。特に、励振電極を大きく形成することで電気的特性を高めたり、振動部の中心と励振電極の中心とを平面視で略一致させて配置することによって、スプリアスとなる非対称な振動モードの発生を抑制することができる。なお、「傾けて配置」は、一方の励振電極を他方の励振電極に対して、回転させたり、ずらしたり（スライドさせたり）、突出部を有していたり、伸縮させたりすることを含む意味である。

上記構成において、前記一方の励振電極には、前記他方の励振電極に対し、平面視で重なり合わず外側へ向けて突出する突出部が、前記第１励振電極の重心を挟んだ両側の位置にそれぞれ設けられ、それぞれの突出部が、平面視で前記他方の励振電極の外縁に沿っていない外縁形状を有していることが好ましい。この構成によれば、第１励振電極の重心を挟んだ両側の位置にそれぞれ設けられた突出部が、平面視で他方の励振電極の外縁に沿っていない外縁形状を有しているので、一方の励振電極の外縁形状に起因するスプリアスを低減することができる。また、前記一方の励振電極の重心と、前記他方の励振電極の重心とが、平面視で略一致する位置に設けられているので、一方の励振電極の突出部を、一方の励振電極の重心を通り他方の励振電極の外縁に平行な直線に対して線対称な形状に形成することができる。これにより、一方の励振電極の突出部が非対称的であることに起因して発生するスプリアスを低減することができる。

上記構成において、前記他方の励振電極の面積は、前記一方の励振電極の面積よりも大きいことが好ましい。この構成によれば、より面積の大きな他方の励振電極に対して、例えばイオンパーシャル等を行うことにより圧電振動板の周波数調整を容易に行うことができる。ここで、振動部と外枠部とが保持部によって連結された枠体付きの圧電振動板においては、従来、上述したように、第１、第２励振電極が、略同一の形状（主に矩形）に形成され、平面視で略一致する位置に配置されていた。しかし、第１、第２励振電極の面積を異ならせることによって、より面積の大きな他方の励振電極に周波数調整用の領域を確保することができ、圧電振動板の周波数調整に有利になる。また、他方の励振電極の面積が、一方の励振電極の面積よりも小さい場合、圧電振動板の常温ＣＩ値が高くなったり、ＣＩ値の温度変化が不安定になったりする可能性がある。しかし、他方の励振電極の面積を、一方の励振電極の面積よりも大きくすることによって、圧電振動板の特性（常温ＣＩ値、ＣＩ値の温度特性）を良好に維持することができる。

上記構成において、前記第１引出配線および前記第２引出配線が、同じ方向に延びていることが好ましい。この構成によれば、第１、第２引出配線が同じ方向に延びているので、第１、第２引出配線が異なる方向に延びている場合に比べて、第１、第２引出配線や、第１、第２引出配線に接続される配線を簡素なものとすることができ、複雑な配線が不要になり圧電振動板の小型化に貢献できる。

上記構成において、前記第１引出配線および前記第２引出配線のうち一方の引出配線は、他方の引出配線に対し、平面視でずらして配置されていることが好ましい。ここで、第１、第２引出配線の重なり合った部分で振動が発生し、外枠部への振動漏れが発生する可能性がある。このため、第１、第２引出配線の重なり合った部分をできるだけ小さくすることによって、第１、第２引出配線で発生する振動を抑制することができ、外枠部への振動漏れを抑制することができる。

上記構成において、前記一方の励振電極は、菱形に形成され、前記他方の励振電極は、矩形に形成されていることが好ましい。この構成によれば、一方の励振電極の外縁の全ての部分が、平面視でＸ軸に沿っていない。これにより、一方の励振電極の外縁形状に起因するスプリアスをより効率的に低減することができる。ここで、振動部と外枠部とが保持部によって連結された枠体付きの圧電振動板においては、従来、第１、第２励振電極が、略同一の形状（主に矩形）に形成され、平面視で略一致する位置に配置されていた。しかし、他方の励振電極を矩形に形成することによって、従来と同様の矩形電極用のマスクや治具を用いて圧電振動板の周波数調整を行うことができ、周波数調整に有利になる。

上記構成において、前記保持部は、１つのみ設けられていることが好ましい。この構成によれば、保持部を介した振動部から外枠部への振動漏れをできるだけ抑制することができ、より効率的に振動部を圧電振動させることができるため、電気的特性を向上させることができる。

また、本発明は、上記いずれかの構成の圧電振動板を備えた圧電振動デバイスであって、前記圧電振動板の前記第１励振電極を覆う第１封止部材と、前記圧電振動板の前記第２励振電極を覆う第２封止部材とが備えられ、前記第１封止部材と前記圧電振動板とが接合され、かつ前記第２封止部材と前記圧電振動板とが接合されることによって、前記圧電振動板の前記振動部が気密封止されることを特徴とする。上記構成の圧電振動板を備えた圧電振動デバイスによれば、上述した圧電振動板の作用効果と同様の作用効果が得られる。

本発明によれば、一方の励振電極の突出部が、平面視で他方の励振電極平行辺に沿っていない外縁形状を有しているので、一方の励振電極の外縁形状に起因するスプリアスを低減することができる。これにより、振動部と外枠部とが保持部によって連結された枠体付きの圧電振動板において、スプリアスを低減し電気的特性を向上させることができる。

本実施の形態にかかる水晶振動子の各構成を模式的に示した概略構成図である。図２は、水晶振動子の第１封止部材の第１主面側の概略平面図である。図３は、水晶振動子の第１封止部材の第２主面側の概略平面図である。図４は、本実施の形態にかかる水晶振動板の第１主面側の概略平面図である。図５は、本実施の形態にかかる水晶振動板の第２主面側の概略平面図である。図６は、水晶振動子の第２封止部材の第１主面側の概略平面図である。図７は、水晶振動子の第２封止部材の第２主面側の概略平面図である。図８は、水晶振動板の第１、第２励振電極、第１、第２引出配線等の位置関係を示す概略平面図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施の形態では、本発明を適用する圧電振動デバイスが水晶振動子である場合について説明する。

まず、本実施の形態にかかる水晶振動子１００の基本的な構造を説明する。水晶振動子１００は、図１に示すように、水晶振動板（圧電振動板）１０、第１封止部材２０、および第２封止部材３０を備えて構成されている。この水晶振動子１００では、水晶振動板１０と第１封止部材２０とが接合され、水晶振動板１０と第２封止部材３０とが接合されることによって、略直方体のサンドイッチ構造のパッケージが構成される。すなわち、水晶振動子１００においては、水晶振動板１０の両主面のそれぞれに第１封止部材２０および第２封止部材３０が接合されることでパッケージの内部空間（キャビティ）が形成され、この内部空間に振動部１１（図４，５参照）が気密封止される。

本実施の形態にかかる水晶振動子１００は、例えば、１．０×０．８ｍｍのパッケージサイズであり、小型化と低背化とを図ったものである。また、小型化に伴い、パッケージでは、キャスタレーションを形成せずに、後述するスルーホールを用いて電極の導通を図っている。また、水晶振動子１００は、外部に設けられる外部回路基板（図示省略）に半田を介して電気的に接続されるようになっている。

次に、上記した水晶振動子１００における水晶振動板１０、第１封止部材２０および第２封止部材３０の各部材について、図１～７を用いて説明する。なお、ここでは、接合されていないそれぞれ単体として構成されている各部材について説明を行う。図２～７は、水晶振動板１０、第１封止部材２０および第２封止部材３０のそれぞれの一構成例を示しているに過ぎず、これらは本発明を限定するものではない。

本実施の形態にかかる水晶振動板１０は、図４，５に示すように、水晶からなる圧電基板であって、その両主面（第１主面１０１，第２主面１０２）が平坦平滑面（鏡面加工）として形成されている。本実施の形態では、水晶振動板１０として、厚みすべり振動を行うＡＴカット水晶板が用いられている。図４，５に示す水晶振動板１０では、水晶振動板１０の両主面１０１，１０２が、ＸＺ´平面とされている。このＸＺ´平面において、水晶振動板１０の短手方向（短辺方向）に平行な方向がＸ軸方向とされ、水晶振動板１０の長手方向（長辺方向）に平行な方向がＺ´軸方向とされている。なお、ＡＴカットは、人工水晶の３つの結晶軸である電気軸（Ｘ軸）、機械軸（Ｙ軸）、および光学軸（Ｚ軸）のうち、Ｚ軸に対してＸ軸周りに３５°１５′だけ傾いた角度で切り出す加工手法である。ＡＴカット水晶板では、Ｘ軸は水晶の結晶軸に一致する。Ｙ´軸およびＺ´軸は、水晶の結晶軸のＹ軸およびＺ軸からそれぞれ概ね３５°１５′傾いた（この切断角度はＡＴカット水晶振動板の周波数温度特性を調整する範囲で多少変更してもよい）軸に一致する。Ｙ´軸方向およびＺ´軸方向は、ＡＴカット水晶板を切り出すときの切り出し方向に相当する。

水晶振動板１０の両主面１０１，１０２には、一対の励振電極（第１励振電極１１１，第２励振電極１１２）が形成されている。水晶振動板１０は、略矩形に形成された振動部１１と、この振動部１１の外周を取り囲む外枠部１２と、振動部１１と外枠部１２とを連結することで振動部１１を保持する保持部１３とを有している。すなわち、水晶振動板１０は、振動部１１、外枠部１２および保持部１３が一体的に設けられた構成となっている。保持部１３は、振動部１１の＋Ｘ方向かつ－Ｚ´方向に位置する１つの角部のみから、－Ｚ´方向に向けて外枠部１２まで延びている（突出している）。そして、振動部１１と外枠部１２との間には、水晶振動板１０を切り抜いて形成された切り抜き部１０ａが設けられている。本実施の形態では、水晶振動板１０には、振動部１１と外枠部１２とを連結する保持部１３が１つのみ設けられており、切り抜き部１０ａが振動部１１の外周囲を囲うように連続して形成されている。

第１励振電極１１１は振動部１１の第１主面１０１側に設けられ、第２励振電極１１２は振動部１１の第２主面１０２側に設けられている。本実施の形態では、第１励振電極（一方の励振電極）１１１は、菱形に形成され、第２励振電極（他方の励振電極）１１２は、正方形に形成されている。第１励振電極１１１，第２励振電極１１２には、これらの励振電極を外部電極端子に接続するための引出配線（第１引出配線１１３，第２引出配線１１４）が接続されている。第１引出配線１１３は、第１励振電極１１１から引き出され、保持部１３を経由して、外枠部１２に形成された接続用接合パターン１４に繋がっている。第２引出配線１１４は、第２励振電極１１２から引き出され、保持部１３を経由して、外枠部１２に形成された接続用接合パターン１５に繋がっている。第１、第２励振電極１１１，１１２の詳細については後述する。

水晶振動板１０の両主面（第１主面１０１，第２主面１０２）には、水晶振動板１０を第１封止部材２０および第２封止部材３０に接合するための振動側封止部がそれぞれ設けられている。第１主面１０１の振動側封止部としては振動側第１接合パターン１２１が形成されており、第２主面１０２の振動側封止部としては振動側第２接合パターン１２２が形成されている。振動側第１接合パターン１２１および振動側第２接合パターン１２２は、外枠部１２に設けられており、平面視で環状に形成されている。

また、水晶振動板１０には、図４，５に示すように、第１主面１０１と第２主面１０２との間を貫通する５つのスルーホールが形成されている。具体的には、４つの第１スルーホール１６１は、外枠部１２の４隅（角部）の領域にそれぞれ設けられている。第２スルーホール１６２は、外枠部１２であって、振動部１１のＺ´軸方向の一方側（図４，５では、－Ｚ´方向側）に設けられている。第１スルーホール１６１の周囲には、それぞれ接続用接合パターン１２３が形成されている。また、第２スルーホール１６２の周囲には、第１主面１０１側では接続用接合パターン１２４が、第２主面１０２側では接続用接合パターン１５が形成されている。

第１スルーホール１６１および第２スルーホール１６２には、第１主面１０１と第２主面１０２とに形成された電極の導通を図るための貫通電極が、スルーホールそれぞれの内壁面に沿って形成されている。また、第１スルーホール１６１および第２スルーホール１６２それぞれの中央部分は、第１主面１０１と第２主面１０２との間を貫通した中空状態の貫通部分となる。

第１封止部材２０は、図２，３に示すように、１枚のＡＴカット水晶板から形成された直方体の基板であり、この第１封止部材２０の第２主面２０２（水晶振動板１０に接合する面）は平坦平滑面（鏡面加工）として形成されている。なお、第１封止部材２０は振動部を有するものではないが、水晶振動板１０と同様にＡＴカット水晶板を用いることで、水晶振動板１０と第１封止部材２０の熱膨張率を同じにすることができ、水晶振動子１００における熱変形を抑制することができる。また、第１封止部材２０におけるＸ軸、Ｙ軸およびＺ´軸の向きも水晶振動板１０と同じとされている。

第１封止部材２０の第１主面２０１（水晶振動板１０に面しない外方の主面）には、図２に示すように、配線用の第１、第２金属膜２２，２３と、シールド用の第３金属膜２８とが形成されている。配線用の第１、第２金属膜２２，２３は、水晶振動板１０の第１、第２励振電極１１１，１１２と、第２封止部材３０の外部電極端子３２とを電気的に接続するための配線として設けられている。第１、第２金属膜２２，２３は、Ｚ´軸方向の両端部に設けられており、第１金属膜２２が、＋Ｚ´方向側に設けられ、第２金属膜２３が、－Ｚ´方向側に設けられている。第１、第２金属膜２２，２３は、Ｘ軸方向に延びるように形成されている。第１金属膜２２は、略矩形状に形成されているが、第１金属膜２２の＋Ｘ方向側の部分には、－Ｚ´方向側に突出する突出部２２ａが設けられている。第２金属膜２３は、略矩形状に形成されているが、第２金属膜２３の－Ｘ方向側の部分には、＋Ｚ´方向側に突出する突出部２３ａが設けられている。

第３金属膜２８は、第１、第２金属膜２２，２３の間に設けられており、第１、第２金属膜２２，２３とは所定の間隔を隔てて配置されている。第３金属膜２８は、第１封止部材２０の第１主面２０１の第１、第２金属膜２２，２３が形成されていない領域のうち、ほとんど全ての領域に設けられている。

第１封止部材２０には、図２，３に示すように、第１主面２０１と第２主面２０２との間を貫通する６つのスルーホールが形成されている。具体的には、４つの第３スルーホール２１１が、第１封止部材２０の４隅（角部）の領域に設けられている。第４，第５スルーホール２１２，２１３は、図２，３の＋Ｚ´方向および－Ｚ´方向にそれぞれ設けられている。

第３スルーホール２１１および第４，第５スルーホール２１２，２１３には、第１主面２０１と第２主面２０２とに形成された電極の導通を図るための貫通電極が、スルーホールそれぞれの内壁面に沿って形成されている。また、第３スルーホール２１１および第４，第５スルーホール２１２，２１３それぞれの中央部分は、第１主面２０１と第２主面２０２との間を貫通した中空状態の貫通部分となる。そして、第１封止部材２０の第１主面２０１の対角に位置する２つの第３スルーホール２１１，２１１（図２，３の＋Ｘ方向かつ＋Ｚ´方向の角部に位置する第３スルーホール２１１と、－Ｘ方向かつ－Ｚ´方向の角部に位置する第３スルーホール２１１）の貫通電極同士が、第３金属膜２８によって電気的に接続されている。また、－Ｘ方向かつ＋Ｚ´方向の角部に位置する第３スルーホール２１１の貫通電極と、第４スルーホール２１２の貫通電極とが、第１金属膜２２によって電気的に接続されている。＋Ｘ方向かつ－Ｚ´方向の角部に位置する第３スルーホール２１１の貫通電極と、第５スルーホール２１３の貫通電極とが、第２金属膜２３によって電気的に接続されている。

第１封止部材２０の第２主面２０２には、水晶振動板１０に接合するための封止側第１封止部としての封止側第１接合パターン２４が形成されている。封止側第１接合パターン２４は、平面視で環状に形成されている。また、第１封止部材２０の第２主面２０２では、第３スルーホール２１１の周囲に接続用接合パターン２５がそれぞれ形成されている。第４スルーホール２１２の周囲には接続用接合パターン２６１が、第５スルーホール２１３の周囲には接続用接合パターン２６２が形成されている。さらに、接続用接合パターン２６１に対して第１封止部材２０の長軸方向の反対側（－Ｚ´方向側）には接続用接合パターン２６３が形成されており、接続用接合パターン２６１と接続用接合パターン２６３とは配線パターン２７によって接続されている。

第２封止部材３０は、図６，７に示すように、１枚のＡＴカット水晶板から形成された直方体の基板であり、この第２封止部材３０の第１主面３０１（水晶振動板１０に接合する面）は平坦平滑面（鏡面加工）として形成されている。なお、第２封止部材３０においても、水晶振動板１０と同様にＡＴカット水晶板を用い、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ´軸の向きも水晶振動板１０と同じとすることが望ましい。

この第２封止部材３０の第１主面３０１には、水晶振動板１０に接合するための封止側第２封止部としての封止側第２接合パターン３１が形成されている。封止側第２接合パターン３１は、平面視で環状に形成されている。

第２封止部材３０の第２主面３０２（水晶振動板１０に面しない外方の主面）には、水晶振動子１００の外部に設けられる外部回路基板に電気的に接続する４つの外部電極端子３２が設けられている。外部電極端子３２は、第２封止部材３０の第２主面３０２の４隅（隅部）にそれぞれ位置する。

第２封止部材３０には、図６，７に示すように、第１主面３０１と第２主面３０２との間を貫通する４つのスルーホールが形成されている。具体的には、４つの第６スルーホール３３は、第２封止部材３０の４隅（角部）の領域に設けられている。第６スルーホール３３には、第１主面３０１と第２主面３０２とに形成された電極の導通を図るための貫通電極が、第６スルーホール３３それぞれの内壁面に沿って形成されている。このように第６スルーホール３３の内壁面に形成された貫通電極によって、第１主面３０１に形成された電極と、第２主面３０２に形成された外部電極端子３２とが導通されている。また、第６スルーホール３３それぞれの中央部分は、第１主面３０１と第２主面３０２との間を貫通した中空状態の貫通部分となっている。また、第２封止部材３０の第１主面３０１では、第６スルーホール３３の周囲には、それぞれ接続用接合パターン３４が形成されている。

上記の水晶振動板１０、第１封止部材２０、および第２封止部材３０を含む水晶振動子１００では、水晶振動板１０と第１封止部材２０とが振動側第１接合パターン１２１および封止側第１接合パターン２４を重ね合わせた状態で拡散接合され、水晶振動板１０と第２封止部材３０とが振動側第２接合パターン１２２および封止側第２接合パターン３１を重ね合わせた状態で拡散接合されて、図１に示すサンドイッチ構造のパッケージが製造される。これにより、パッケージの内部空間、つまり、振動部１１の収容空間が気密封止される。

この際、上述した接続用接合パターン同士も重ね合わせられた状態で拡散接合される。そして、接続用接合パターン同士の接合により、水晶振動子１００では、第１励振電極１１１、第２励振電極１１２、外部電極端子３２の電気的導通が得られるようになっている。具体的には、第１励振電極１１１は、第１引出配線１１３、配線パターン２７、第４スルーホール２１２、第１金属膜２２、第３スルーホール２１１、第１スルーホール１６１、および第６スルーホール３３を順に経由して、外部電極端子３２に接続される。第２励振電極１１２は、第２引出配線１１４、第２スルーホール１６２、第５スルーホール２１３、第２金属膜２３、第３スルーホール２１１、第１スルーホール１６１、および第６スルーホール３３を順に経由して、外部電極端子３２に接続される。また、第３金属膜２８は、第３スルーホール２１１、第１スルーホール１６１、および第６スルーホール３３を順に経由して、アース接続（グランド接続、外部電極端子３２の一部を利用）されている。

水晶振動子１００において、各種接合パターンは、複数の層が水晶板上に積層されてなり、その最下層側からＴｉ（チタン）層とＡｕ（金）層とが蒸着形成されているものとすることが好ましい。また、水晶振動子１００に形成される他の配線や電極も、接合パターンと同一の構成とすれば、接合パターンや配線および電極を同時にパターニングでき、好ましい。

上述のように構成された水晶振動子１００では、水晶振動板１０の振動部１１を気密封止する封止部（シールパス）１１５，１１６は、平面視で、環状に形成されている。シールパス１１５は、上述した振動側第１接合パターン１２１および封止側第１接合パターン２４の拡散接合によって形成され、シールパス１１５の外縁形状および内縁形状が略八角形に形成されている。同様に、シールパス１１６は、上述した振動側第２接合パターン１２２および封止側第２接合パターン３１の拡散接合によって形成され、シールパス１１６の外縁形状および内縁形状が略八角形に形成されている。

このように拡散接合によってシールパス１１５，１１６が形成された水晶振動子１００において、第１封止部材２０と水晶振動板１０とは、１．００μｍ以下のギャップを有し、第２封止部材３０と水晶振動板１０とは、１．００μｍ以下のギャップを有する。つまり、第１封止部材２０と水晶振動板１０との間のシールパス１１５の厚みが、１．００μｍ以下であり、第２封止部材３０と水晶振動板１０との間のシールパス１１６の厚みが、１．００μｍ以下（具体的には、本実施の形態のＡｕ－Ａｕ接合では０．１５μｍ～１．００μｍ）である。なお、比較例として、Ｓｎを用いた従来の金属ペースト封止材では、５μｍ～２０μｍとなる。

次に、本実施の形態にかかる水晶振動板１０の第１、第２励振電極１１１，１１２について、図４、図５、図８を参照して説明する。

本実施の形態では、上述したように、第１励振電極（一方の励振電極）１１１は、菱形に形成され、第２例振電極（他方の励振電極）１１２は、正方形に形成されている。第１励振電極１１１は、第１励振電極１１１の重心（中心）１１１ａを通りＸ軸に平行な直線Ｌ１に対して線対称な形状に形成されている。第２励振電極１１２は、第２励振電極１１２の重心（中心）１１２ａを通りＸ軸に平行な直線Ｌ２に対して線対称な形状に形成されている。第１励振電極１１１の重心１１１ａと、第２励振電極１１２の重心１１２ａとが、平面視で略一致する位置に設けられている。

また、正方形に形成された第２励振電極１１２の面積は、菱形に形成された第１励振電極１１１の面積よりも大きくなっている。第２励振電極１１２は、四辺１１１ｅ，１１１ｆ，１１１ｇ，１１１ｈのうち、互いに平行な平行辺１１２ｅ，１１２ｇを少なくとも１つ有しており、平行辺１１２ｅ，１１２ｇは、Ｘ軸に平行に延びている。第１励振電極１１１には、第２励振電極１１２に対し、平面視で完全に重なり合わず平行辺１１２ｅ，１１２ｇの間の部分（平行辺１１２ｅ，１１２ｇに挟まれた部分）よりも外側へ向けて突出する突出部が少なくとも１つ設けられている。本実施の形態では、第２励振電極１１２の平行辺１１２ｅ，１１２ｇのうち＋Ｚ´方向側の一辺１１２ｅよりも外側（＋Ｚ´方向側）へ向けて突出する突出部１１１ｃと、第２励振電極１１２の平行辺１１２ｅ，１１２ｇのうち－Ｚ´方向側の一辺１１２ｇよりも外側（－Ｚ´方向側）へ向けて突出する突出部１１１ｄとが設けられている。第１励振電極１１１のＺ´軸方向の両端部に突出部１１１ｃ，１１１ｄが設けられている。突出部１１１ｃ，１１１ｄは、第１励振電極１１１の重心１１１ａを挟んだ両側の位置、この場合、第１励振電極１１１のＺ´軸方向の両端部に設けられている。そして、突出部１１１ｃ，１１１ｄは、平面視で平行辺１１２ｅ，１１２ｇに沿っていない（平行でない）外縁形状を有している。このように、突出部１１１ｃ，１１１ｄは、平面視で平行辺１１２ｅ，１１２ｇの間の部分よりも外側へ向けて突出されており、かつ平面視で平行辺１１２ｅ，１１２ｇに沿っていない外縁形状を有している。言い換えれば、突出部１１１ｃ，１１１ｄは、平面視でＸ軸に沿っていない（平行でない）外縁形状を有している。

また、別の観点から見れば、本実施の形態では、第１励振電極１１１の重心（中心）１１１ａと、第２励振電極１１２の重心（中心）１１２ａとが、平面視で略一致する位置に設けられており、第１励振電極１１１は、第２励振電極１１２に対し、平面視で傾けて配置されている。ここで、「傾けて配置」は、第１励振電極１１１および第２励振電極１１２のうち、一方の励振電極の外縁を他方の励振電極の外縁に対して傾けて配置することを意味し、一方の励振電極を他方の励振電極に対して、回転させたり、ずらしたり（スライドさせたり）、突出部を有していたり、伸縮させたりすることを含む意味である。以下、具体的に説明する。

上述したように、第１励振電極（一方の励振電極）１１１は、菱形に形成され、第２励振電極（他方の励振電極）１１２は、正方形に形成されている。第１励振電極１１１は、第１励振電極１１１の重心１１１ａを通りＸ軸に平行な直線Ｌ１に対して線対称な形状に形成されている。第２励振電極１１２は、第２励振電極１１２の重心１１２ａを通りＸ軸に平行な直線Ｌ２に対して線対称な形状に形成されている。

そして、第１励振電極１１１の外縁である四辺１１１ｅ，１１１ｆ，１１１ｇ，１１１ｈは、第２励振電極１１２の外縁である四辺１１２ｅ，１１２ｆ，１１２ｇ，１１２ｈに対し、傾けて配置されている。第２励振電極１１２の四辺１１２ｅ，１１２ｆ，１１２ｇ，１１２ｈの全てが、Ｘ軸またはＺ´軸に平行な方向に延びているのに対し、第１励振電極１１１の四辺１１１ｅ，１１１ｆ，１１１ｇ，１１１ｈの全てが、Ｘ軸またはＺ´軸に平行な方向には延びていない。第１励振電極１１１の四辺１１１ｅ，１１１ｆ，１１１ｇ，１１１ｈの全てが、Ｘ軸およびＺ´軸に傾斜した方向に延びている。

第１励振電極１１１の一辺１１１ｅは、第２励振電極１１２の一辺１１２ｅ（または一辺１１２ｆ）に対し、略４５°傾斜しており、Ｘ軸およびＺ´軸に傾斜した方向に延びている。第１励振電極１１１の一辺１１１ｆは、第２励振電極１１２の一辺１１２ｆ（または一辺１１２ｇ）に対し、略４５°傾斜しており、Ｘ軸およびＺ´軸に傾斜した方向に延びている。第１励振電極１１１の一辺１１１ｇは、第２励振電極１１２の一辺１１２ｇ（または一辺１１２ｈ）に対し、略４５°傾斜しており、Ｘ軸およびＺ´軸に傾斜した方向に延びている。第１励振電極１１１の一辺１１１ｈは、第２励振電極１１２の一辺１１２ｈ（または一辺１１２ｅ）に対し、略４５°傾斜しており、Ｘ軸およびＺ´軸に傾斜した方向に延びている。

本実施の形態において、保持部１３の第１主面には、第１励振電極１１１に接続する第１引出配線１１３が形成され、保持部１３の第２主面には、第２励振電極１１２に接続する第２引出配線１１４が形成されている。第１引出配線１１３は、第１励振電極１１１の角部（頂部）から、－Ｚ´方向へ向けて延びている。第２引出配線１１４は、第２励振電極１１２の角部（頂部）から、－Ｚ´方向へ向けて延びている。第１引出配線１１３および第２引出配線１１４は、略同じ幅に形成されている。第１引出配線１１３および第２引出配線１１４のうち一方は、他方に対し、平面視でずらして配置されている。本実施の形態では、第１、第２引出配線１１３，１１４のそれぞれの一部分同士が重なり合っているが、第１、第２引出配線１１３，１１４のそれぞれの大部分同士は重なり合っていない。なお、第１励振電極１１１と第１引出配線１１３との境界線１１１ｂ（図４）、および第２励振電極１１２と第２引出配線１１４との境界線１１２ｂ（図５）を１点鎖線で示している。

突出部１１１ｃ，１１１ｄは、略三角形状に形成されており、平面視で平行辺１１２ｅ，１１２ｇに沿っていない外縁形状を有している。詳細には、突出部１１１ｃの突出端（＋Ｚ´方向側の端部）が、平面視で平行辺１１２ｅに沿っておらず、角を有する形状になっている。つまり、突出部１１１ｃの突出端が、平面視でＸ軸に沿っておらず、角を有する形状になっている。本実施の形態では、突出部１１１ｃが略三角形状に形成されており、突出部１１１ｃの外縁の全ての部分が、平面視で平行辺１１２ｅに沿っておらず、Ｘ軸に沿っていない。

また、突出部１１１ｄの突出端（－Ｚ´方向側の端部）が、平面視で平行辺１１２ｇに沿っておらず、角を有する形状になっている。つまり、突出部１１１ｄの突出端が、平面視でＸ軸に沿っておらず、角を有する形状になっている。本実施の形態では、突出部１１１ｄが略三角形状に形成されており、突出部１１１ｄの外縁の全ての部分が、平面視で平行辺１１２ｇに沿っておらず、Ｘ軸に沿っていない。

本実施の形態によれば、第１励振電極１１１の突出部１１１ｃ，１１１ｄが、平面視で平行辺１１２ｅ，１１２ｇに沿っておらず、Ｘ軸に沿っていない外縁形状を有しているので、第１励振電極１１１の外縁形状に起因するスプリアスを低減することができる。つまり、第１励振電極１１１の外縁形状のうち、Ｘ軸に沿った部分に起因してスプリアスが大きくなると考えられるため、本実施の形態では、第１励振電極１１１の突出部１１１ｃ，１１１ｄの外縁形状をＸ軸に沿わない形状として、第１励振電極１１１の外縁形状に起因するスプリアスを低減するようにしている。これにより、振動部１１と外枠部１２とが保持部１３によって連結されたいわゆる枠体付きの水晶振動板１０において、スプリアスを低減し電気的特性を向上させることができる。

特に、振動部１１と外枠部１２とが保持部１３によって連結された枠体付きの水晶振動板１０では、振動部１１の形成後のプロセスで振動部１１に直接電気機械的な接続点を形成することがないため、当該接続点形成によるスプリアスを発生させることがない。つまり、上記励振電極１１１，１１２によるスプリアス低減を実現しながら、振動部１１の形成後のプロセスに起因するさらなるスプリアス発生をも抑制することができる。また、このような枠体付きの水晶振動板１０における振動部１１では、上記接続点を考慮せずに励振電極１１１，１１２を形成することができるため、励振電極１１１，１１２の設計自由度が高まり、電極の大きさや位置を調整しやすくなる。特に、励振電極１１１，１１２を大きく形成することで電気的特性を高めたり、振動部１１の中心と励振電極１１１，１１２の中心とを平面視で略一致させて配置することによって、スプリアスとなる非対称な振動モードの発生を抑制することができる。

振動部１１と外枠部１２とが保持部１３によって連結された枠体付きの水晶振動板１０では、従来とは異なり、水晶振動板１０を保持するための保持電極が不要になる。このため、保持電極の設置スペースが不要になり、第１、第２励振電極１１１，１１２の重心（中心）１１１ａ，１１２ａを振動部１１の中心に近づけることができる。また、この場合、水晶振動板１０に保持部１３が１つのみ設けられているので、保持部１３を介した振動部１１から外枠部１２への振動漏れをできるだけ抑制することができる。詳細には、振動部１１の外周端部のうち、圧電振動の変位が比較的小さい角部に保持部１３が設けられているので、保持部１３を角部以外の部分（辺の中央部）に設けた場合に比べて、保持部１３を介して圧電振動が外枠部１２に漏れることを抑制することができ、より効率的に振動部１１を圧電振動させることができるため、電気的特性を向上させることができる。また、保持部１３を２つ以上設けた場合に比べて、振動部１１に作用する応力を低減することができ、そのような応力に起因する圧電振動の周波数シフトを低減して圧電振動の安定性を向上させることができる。

また、本実施の形態によれば、第１励振電極１１１が第２励振電極１１２に対し、平面視で傾けて配置されているので、第１励振電極１１１の外縁形状に起因するスプリアスを低減することができる。つまり、第１励振電極１１１の外縁形状のうち、第２励振電極１１２の外縁形状に沿った部分に起因してスプリアスが大きくなると考えられるため、本実施の形態では、第１励振電極１１１の四辺１１１ｅ，１１１ｆ，１１１ｇ，１１１ｈを、第２励振電極１１２の四辺１１２ｅ，１１２ｆ，１１２ｇ，１１２ｈに対し、傾けて配置して、第１励振電極１１１の外縁形状に起因するスプリアスを低減するようにしている。これにより、振動部１１と外枠部１２とが保持部１３によって連結されたいわゆる枠体付きの水晶振動板１０において、スプリアスを低減し電気的特性を向上させることができる。

また、本実施の形態では、突出部１１１ｃ，１１１ｄは、第１励振電極１１１の重心１１１ａを挟んだ両側の位置に設けられ、それぞれの突出部１１１ｃ，１１１ｄが、平面視で第２励振電極１１２の外縁に沿っておらず、Ｘ軸に沿っていない外縁形状を有しているので、第１励振電極１１１の外縁形状に起因するスプリアスを低減することができる。つまり、第１励振電極１１１の外縁形状のうち、Ｘ軸に沿った部分に起因してスプリアスが大きくなると考えられるため、本実施の形態では、第１励振電極１１１の突出部１１１ｃ，１１１ｄの外縁形状をＸ軸に沿わない形状として、第１励振電極１１１の外縁形状に起因するスプリアスを低減するようにしている。

ここで、第２励振電極１１２が矩形に形成され、第１励振電極１１１が菱形に形成されているので、第１励振電極１１１の外縁（四辺１１１ｅ，１１１ｆ，１１１ｇ，１１１ｈ）の全ての部分が、平面視で第２励振電極１１２の四辺１１２ｅ，１１２ｆ，１１２ｇ，１１２ｈに沿っておらず、Ｘ軸に沿っていない。これにより、第１励振電極１１１の外縁形状に起因するスプリアスをより効率的に低減することができる。ここで、振動部１１と外枠部１２とが保持部１３によって連結された枠体付きの水晶振動板１０においては、従来、第１、第２励振電極が、略同一の形状（主に矩形）に形成され、平面視で略一致する位置に配置されていた。しかし、第２励振電極１１２を矩形に形成することによって、従来と同様の矩形電極用のマスクや治具を用いて水晶振動板１０の周波数調整を行うことができ、周波数調整に有利になる。

また、第１励振電極１１１の重心１１１ａと、第２励振電極１１２の重心１１２ａとが、平面視で略一致する位置に設けられているので、第１励振電極１１１のＺ´軸方向の両端部に設けられた突出部１１１ｃ，１１１ｄを、第１励振電極１１１の重心１１１ａを通りＸ軸（平行辺１１２ｅ，１１２ｇ）に平行な直線Ｌ１に対して線対称な形状に形成することができる。これにより、第１励振電極１１１の突出部１１１ｃ，１１１ｄが非対称的であることに起因して発生するスプリアスを低減することができる。

また、第２励振電極１１２の面積は、第１励振電極１１１の面積よりも大きくなっているので、より面積の大きな第２励振電極１１２に対して、例えばイオンパーシャル等を行うことにより水晶振動板１０の周波数調整を容易に行うことができる。つまり、より面積の大きな第２励振電極１１２を周波数調整用の電極として用いることができる。ここで、振動部１１と外枠部１２とが保持部１３によって連結された枠体付きの水晶振動板１０においては、従来、上述したように、第１、第２励振電極が、略同一の形状（主に矩形）に形成され、平面視で略一致する位置に配置されていた。しかし、第１、第２励振電極１１１，１１２の面積を異ならせることによって、より面積の大きな第２励振電極１１２に周波数調整用の領域を確保することができ、水晶振動板１０の周波数調整に有利になる。また、第２励振電極１１２の面積が、第１励振電極１１１の面積よりも小さい場合、水晶振動板１０の常温ＣＩ値が高くなったり、ＣＩ値の温度変化が不安定になったりする可能性がある。しかし、第２励振電極１１２の面積を、第１励振電極１１１の面積よりも大きくすることによって、水晶振動板１０の特性（常温ＣＩ値、ＣＩ値の温度特性）を良好に維持することができる。

また、第１、第２引出配線１１３，１１４が、同じ方向に延びており、一方の引出配線が他方の引出配線に対し、平面視でずらして配置されている。ここで、第１、第２引出配線１１３，１１４の重なり合った部分で振動が発生し、外枠部１２への振動漏れが発生する可能性がある。このため、第１、第２引出配線１１３，１１４の重なり合った部分をできるだけ小さくすることによって、第１、第２引出配線１１３，１１４で発生する振動を抑制することができ、外枠部１２への振動漏れを抑制することができる。本実施の形態では、第１、第２励振電極１１１，１１２の角部（頂部）から第１、第２引出配線１１３，１１４が－Ｚ´方向へ向けて延びているので、第１、第２引出配線１１３，１１４を容易にずらして配置することができる。また、第１、第２引出配線１１３，１１４が同じ方向に延びているので、第１、第２引出配線１１３，１１４が異なる方向に延びている場合に比べて、第１、第２引出配線１１３，１１４や、第１、第２引出配線１１３，１１４に接続される配線を簡素なものとすることができ、複雑な配線が不要になり水晶振動板１０の小型化に貢献できる。

なお、以上のような水晶振動板１０を備えた水晶振動子１００においても、上述した水晶振動板１０の作用効果と同様の作用効果が得られる。

今回開示した実施の形態はすべての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。従って、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるものではなく、請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

上記実施の形態では、水晶振動板１０の第１主面１０１に菱形に形成された第１励振電極１１１を設け、水晶振動板１０の第２主面１０２に矩形に形成された第２励振電極１１２を設けたが、水晶振動板１０の第１主面１０１に矩形に形成された第１励振電極１１１を設け、水晶振動板１０の第２主面１０２に菱形に形成された第２励振電極１１２を設けてもよい。この場合、第２励振電極１１２のＺ´軸方向の両端部に設けられた突出部が、平面視で第１励振電極１１１の平行辺に沿っていない外縁形状を有していればよい。

上述した第１、第２励振電極１１１，１１２の形状、配置位置等、第１励振電極１１１の突出部１１１ｃ，１１１ｄの形状、配置位置等、第１、第２引出配線１１３，１１４の配置位置等は一例であって、さまざまに変更することが可能である。第１励振電極１１１の形状は菱形以外であってもよく、例えば矩形、平行四辺形、楕円形、長円形、六角形、八角形等であってもよい。第２励振電極１１２の形状は矩形以外であってもよく、例えば、平行四辺形、楕円形、長円形、六角形、八角形等であってもよい。第１励振電極１１１の突出部１１１ｃ，１１１ｄの形状は三角形状以外であってもよく、例えば半円状等であってもよい。

また、第１励振電極１１１の重心１１１ａと、第２励振電極１１２の重心１１２ａとが、平面視で略一致していなくてもよい。第１励振電極１１１は、第１励振電極１１１の重心１１１ａを通りＸ軸に平行な直線Ｌ１に対して線対称な形状に形成されていなくてもよい。第２励振電極１１２は、第２励振電極１１２の重心１１２ａを通りＸ軸に平行な直線Ｌ２に対して線対称な形状に形成されていなくてもよい。

また、第１励振電極１１１の突出部１１１ｃの突出端が、平面視で平行辺１１２ｅに沿っておらず、Ｘ軸に沿っていなければよく、突出部１１１ｃの外縁の全ての部分が、平面視で平行辺１１２ｅに沿っていなくてもよい。第１励振電極１１１の突出部１１１ｄの突出端が、平面視で平行辺１１２ｇに沿っておらず、Ｘ軸に沿っていなければよく、突出部１１１ｄの外縁の全ての部分が、平面視で平行辺１１２ｇに沿っていなくてもよい。第１励振電極１１１の突出部１１１ｃ，１１１ｄの突出端が、Ｒ形状であってもよい。

また、第２励振電極１１２の平行辺１１２ｅ，１１２ｇがＸ軸に平行でなくてもよい。第１励振電極１１１のＺ´軸方向の両端部のうち一方のみに突出部が設けられていてもよい。第１励振電極１１１の突出部が３つ以上設けられていてもよい。これらの場合、第１励振電極１１１の突出部の突出端が、平面視で第２励振電極１１２の平行辺に沿っておらず、Ｘ軸に沿っていない外縁形状を有していればよい。

上記実施形態では、第１励振電極１１１の四辺１１１ｅ，１１１ｆ，１１１ｇ，１１１ｈを、第２励振電極１１２の四辺１１２ｅ，１１２ｆ，１１２ｇ，１１２ｈに対し、傾けて配置し、突出部１１１ｃ，１１１ｄを有する形状としたが、第１、第２励振電極１１１，１１２を同一の形状（例えば正方形、菱形、楕円形等）とし、第１、第２励振電極１１１，１１２のうち、一方の励振電極を他方の励振電極に対して、第１励振電極１１１の重心１１１ａ周りに回転させた形状としてもよい。例えば、第１、第２励振電極１１１，１１２を正方形とし、第１励振電極１１１を第２励振電極１１２に対して、第１励振電極１１１の重心１１１ａ周りに回転させた形状としてもよい。この場合、第１、第２励振電極１１１，１１２は互いに相似な形状であってもよい。

また、第１、第２励振電極１１１，１１２を同一の形状（例えば正方形、菱形、楕円形等）とし、第１、第２励振電極１１１，１１２のうち、一方の励振電極を他方の励振電極に対して、Ｘ軸方向あるいはＺ´軸方向に伸縮（拡大または縮小）させた形状としてもよい。

また、第１、第２引出配線１１３，１１４の全部分同士が平面視で完全に重なり合っていなくてもよい。第１、第２引出配線１１３，１１４が互いに異なる方向に延びていてもよい。また、上記実施形態では、第１、第２引出配線１１３，１１４が、第１、第２励振電極１１１，１１２の角部（頂部）から延びていたが、これに限らず、第１、第２引出配線１１３，１１４は、第１、第２励振電極１１１，１１２の四辺のうち、いずれか一辺の中間部から延びていてもよい。

また、水晶振動板１０に、振動部１１と外枠部１２とを連結する保持部１３が２つ以上設けられていてもよい。

上記実施の形態では、本発明を水晶振動子１００に適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、例えば水晶発振器等にも本発明を適用してもよい。

上記実施形態では、第１封止部材２０および第２封止部材３０を水晶板によって形成したが、これに限定されるものではなく、第１封止部材２０および第２封止部材３０を、例えば、ガラスによって形成してもよい。

この出願は、２０１９年５月３１日に日本で出願された特願２０１９－１０２９５０号、２０１９年５月３１日に日本で出願された特願２０１９－１０２９５１号、および、２０１９年６月２１日に日本で出願された特願２０１９－１１５５４２号に基づく優先権を請求する。これに言及することにより、その全ての内容は本出願に組み込まれるものである。

１０水晶振動板（圧電振動板）
１１振動部
１２外枠部
１３保持部
２０第１封止部材
３０第２封止部材
１００水晶振動子（圧電振動デバイス）
１１１第１励振電極（一方の励振電極）
１１１ａ重心
１１１ｃ，１１１ｄ突出部
１１２第２励振電極（他方の励振電極）
１１２ａ重心
１１２ｅ，１１２ｇ平行辺
Ｌ１，Ｌ２直線

Claims

厚みすべり振動にて動作する圧電振動板であって、
振動部と、当該振動部の外周を取り囲む外枠部と、前記振動部と前記外枠部とを連結する保持部とを備え、前記振動部と前記外枠部との間には、当該圧電振動板を切り抜いて形成された切り抜き部が設けられ、
前記振動部の一主面に第１励振電極が形成され、前記振動部の他主面に前記第１励振電極と対になる第２励振電極が形成され、
前記第１励振電極および前記第２励振電極のうち一方の励振電極には、他方の励振電極に対し、平面視で突出する突出部が少なくとも１つ設けられ、
前記他方の励振電極は、互いに平行な平行辺を少なくとも１つ有し、
前記突出部は、平面視で前記平行辺の間の部分よりも外側へ向けて突出されており、かつ平面視で前記平行辺に沿っていない外縁形状を有し、
前記保持部の一主面には、前記第１励振電極の角部に接続する第１引出配線が形成され、
前記保持部の他主面には、前記第２励振電極の角部に接続する第２引出配線が形成されていることを特徴とする圧電振動板。
厚みすべり振動にて動作する圧電振動板であって、
振動部と、当該振動部の外周を取り囲む外枠部と、前記振動部と前記外枠部とを連結する保持部とを備え、前記振動部と前記外枠部との間には、当該圧電振動板を切り抜いて形成された切り抜き部が設けられ、
前記振動部の一主面に第１励振電極が形成され、前記振動部の他主面に前記第１励振電極と対になる第２励振電極が形成され、
前記第１励振電極および前記第２励振電極は、ともに当該圧電振動板のＸ軸に平行な直線に対して線対称な形状に形成されており、
前記第１励振電極および前記第２励振電極のうち一方の励振電極には、他方の励振電極に対し、平面視で重なり合わず外側へ向けて突出する突出部が少なくとも１つ設けられ、
前記突出部は、平面視でＸ軸に沿っていない外縁形状を有し、
前記保持部の一主面には、前記第１励振電極の角部に接続する第１引出配線が形成され、
前記保持部の他主面には、前記第２励振電極の角部に接続する第２引出配線が形成されていることを特徴とする圧電振動板。
請求項１または２に記載の圧電振動板において、
前記一方の励振電極の重心と、前記他方の励振電極の重心とが、平面視で略一致する位置に設けられていることを特徴とする圧電振動板。
厚みすべり振動にて動作する圧電振動板であって、
振動部と、当該振動部の外周を取り囲む外枠部と、前記振動部と前記外枠部とを連結する保持部とを備え、前記振動部と前記外枠部との間には、当該圧電振動板を切り抜いて形成された切り抜き部が設けられ、
前記振動部の一主面に第１励振電極が形成され、前記振動部の他主面に前記第１励振電極と対になる第２励振電極が形成され、
前記第１励振電極の重心と、前記第２励振電極の重心とが、平面視で略一致する位置に設けられ、
前記第１励振電極および前記第２励振電極のうち一方の励振電極は、他方の励振電極に対し、平面視で傾けて配置され、
前記保持部の一主面には、前記第１励振電極の角部に接続する第１引出配線が形成され、
前記保持部の他主面には、前記第２励振電極の角部に接続する第２引出配線が形成されていることを特徴とする圧電振動板。
請求項４に記載の圧電振動板において、
前記一方の励振電極には、前記他方の励振電極に対し、平面視で重なり合わず外側へ向けて突出する突出部が、前記第１励振電極の重心を挟んだ両側の位置にそれぞれ設けられ、それぞれの突出部が、平面視で前記他方の励振電極の外縁に沿っていない外縁形状を有していることを特徴とする圧電振動板。
請求項１～５のいずれか１つに記載の圧電振動板において、
前記他方の励振電極の面積は、前記一方の励振電極の面積よりも大きいことを特徴とする圧電振動板。
請求項１～６のいずれか１つに記載の圧電振動板において、
前記第１引出配線および前記第２引出配線が、同じ方向に延びていることを特徴とする圧電振動板。
請求項７に記載の圧電振動板において、
前記第１引出配線および前記第２引出配線のうち一方の引出配線は、他方の引出配線に対し、平面視でずらして配置されていることを特徴とする圧電振動板。
請求項１～８のいずれか１つに記載の圧電振動板において、
前記一方の励振電極は、菱形に形成され、
前記他方の励振電極は、矩形に形成されていることを特徴とする圧電振動板。
請求項１～９のいずれか１つに記載の圧電振動板において、
前記保持部は、１つのみ設けられていることを特徴とする圧電振動板。
請求項１～１０のいずれか１つに記載の圧電振動板を備えた圧電振動デバイスであって、
前記圧電振動板の前記第１励振電極を覆う第１封止部材と、
前記圧電振動板の前記第２励振電極を覆う第２封止部材とが備えられ、
前記第１封止部材と前記圧電振動板とが接合され、かつ前記第２封止部材と前記圧電振動板とが接合されることによって、前記圧電振動板の前記振動部が気密封止されることを特徴とする圧電振動デバイス。