JP2019009716A - 水晶振動板および水晶振動デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
本実施の形態にかかる水晶発振器101は、図1に示すように、水晶振動板2、第1封止部材3、第2封止部材4、およびICチップ5を備えて構成されている。この水晶発振器101では、水晶振動板2と第1封止部材3とが接合され、水晶振動板2と第2封止部材4とが接合されることによって、略直方体のサンドイッチ構造のパッケージ12が構成される。また、第1封止部材3における水晶振動板2との接合面と反対側の主面に、ICチップ5が搭載される。電子部品素子としてのICチップ5は、水晶振動板2とともに発振回路を構成する1チップ集積回路素子である。
3 第1封止部材
4 第2封止部材
5 ICチップ
12 パッケージ
22 振動部
23 外枠部
24 保持部
101 水晶発振器(水晶発振デバイス)
211 第1主面
212 第2主面
221 第1励振電極
222 第2励振電極
223 第1引出配線
224 第2引出配線
Eg エッチング領域
Eg1 入り込み部
P1 入り込み部の境界線の−X側の始点
P2 入り込み部の境界線の+X側の始点
L1 X軸に平行とならない境界線
L2 保持部の−X側の辺の延長線
L3 保持部の+X側の辺の延長線
Claims (4)
- 一主面に形成された第1励振電極と、他主面に形成された第2励振電極とが備えられた略矩形状の振動部と、
前記振動部の角部から、ATカットのZ´軸方向に突出され、当該振動部を保持する保持部と、
前記振動部の外周を取り囲むと共に、前記保持部を保持する外枠部とを有してなるATカット型の水晶振動板であって、
前記振動部及び前記保持部は、前記外枠部よりも厚みを薄くされたエッチング領域とされていると共に、前記一主面および前記他主面の少なくとも一方では、当該エッチング領域は前記保持部から前記外枠部の一部に入り込んで形成される入り込み部を有しており、
前記入り込み部における前記エッチング領域の境界線の始点は、前記保持部の−X側の辺の延長線上からずれた位置に形成されていることを特徴とする水晶振動板。 - 請求項1に記載の水晶振動板であって、
前記入り込み部における前記エッチング領域の境界線の−X側の始点は、前記保持部と前記外枠部との接続域の内側に形成されていることを特徴とする水晶振動板。 - 請求項1または2に記載の水晶振動板であって、
前記入り込み部は、前記一主面および前記他主面の一方のみに形成されていることを特徴とする水晶振動板。 - 請求項1から3の何れか1項に記載された水晶振動板と、
前記水晶振動板の前記一主面を覆う第1封止部材と、
前記水晶振動板の前記他主面を覆う第2封止部材とが備えられたことを特徴とする水晶振動デバイス。
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