JP7271619B2 - Cmp装置及び方法 - Google Patents
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Description
2 ・・・ インデックス部
3 ・・・ ロード・アンロード部
4 ・・・ 研磨部
41・・・ プラテン
5 ・・・ 洗浄部
6 ・・・ 研磨ヘッド
62d・・・エアバッグ(リテーナリングホルダ)
63a・・・リテーナリングホルダ
64・・・ 吸着部材
64a・・・吸着面
7 ・・・ ウェイティングユニット(ウェハ搬送手段)
71・・・ インテーブル
72・・・ アウトテーブル
8 ・・・ 2流体ノズル
9 ・・・ 洗浄ユニット
91・・・ ブラシ
92・・・ 洗浄水ノズル
93・・・ 乾燥ノズル
A ・・・ エア室
V ・・・ 垂直方向
W ・・・ ウェハ
Wa・・・ 被吸着面
Claims (3)
- 吸着部材にウェハを密着させて前記ウェハを吸着するウェハ吸着装置と、前記吸着部材に保持された前記ウェハを研磨する研磨ヘッドと、を備えたCMP装置であって、
前記吸着部材を押圧することで押圧位置を凸のクラウン状に弾性変形させるクラウン形成手段と、
前記凸のクラウン状に弾性変形した状態の吸着部材に向けて前記ウェハを接近させて、前記ウェハの一部を他の部分に先行させて前記吸着部材に密着させ、続けて前記ウェハ全面を前記吸着部材に密着させるウェハ搬送手段と、
を備えていることを特徴とするCMP装置。 - 前記クラウン形成手段は、前記吸着部材の略中央を下方に向けて押圧し、
前記ウェハ搬送手段は、前記ウェハを略中央から外周の順に前記吸着部材に密着させることを特徴とする請求項1記載のCMP装置。 - 吸着部材にウェハを密着させて前記ウェハを吸着し、前記吸着部材に保持された前記ウェハを研磨ヘッドで研磨するCMP方法であって、
前記研磨ヘッドに設けられたクラウン形成手段が前記吸着部材を押圧することで押圧位置を凸のクラウン状に弾性変形させるクラウン形成工程と、
前記凸のクラウン状に弾性変形した状態の吸着部材に向けて前記ウェハを接近させて、前記ウェハの一部を他の部分に先行させて前記吸着部材に密着させ、続けて前記ウェハ全面を前記吸着部材に密着させるウェハ搬送工程と、
を含むことを特徴とするCMP方法。
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