JP7247860B2 - インダクタ部品 - Google Patents

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Description

本開示は、インダクタ部品に関する。
特許文献1に記載のインダクタ部品は、3つのインダクタ配線を備えている。各インダクタ配線は、磁性層の内部に配置されている。インダクタ配線の延び方向における第1端には、それぞれ外部端子が接続されている。また、同様に、インダクタ配線の延び方向における第1端とは反対側の第2端には、それぞれ外部端子が接続されている。その結果、インダクタ部品の外面には、合計で6つの外部端子が配置されている。
特開2013-211330号公報
特許文献1に記載のようなインダクタ部品では、各インダクタ配線の両端の数だけ、外部端子が設けられている。そのため、例えば、インダクタ部品が実装される基板上の配線や端子の位置を考慮しつつ、インダクタ部品の表面に相応の数の外部端子を配置するように設計する必要がある。したがって、外部端子の数が多いほどインダクタ部品の設計自由度が低下することは否めず、インダクタ部品の小型化を妨げるなどの問題が生じ得る。
上記課題を解決するため、本開示のインダクタ部品の一態様は、磁性層の内部に配置され、延び方向の一方側の第1端部及び他方側の第2端部の間で共通の方向で電流が流れる第1、第2インダクタ配線と、前記第1インダクタ配線の前記第1端部に接続され、前記磁性層を貫通して前記磁性層の外面に露出する第1垂直配線と、前記第1インダクタ配線の前記第2端部に接続され、前記磁性層を貫通して前記磁性層の外面に露出する第2垂直配線と、前記第2インダクタ配線の前記第1端部に接続され、前記磁性層を貫通して前記磁性層の外面に露出する第3垂直配線と、を備え、前記第2インダクタ配線の前記第2端部には、前記第2垂直配線が接続されているインダクタ部品である。
記構成によれば、インダクタ配線の第2端部には、共有の第2垂直配線が接続されている。そのため、仮に、複数のインダクタ配線の第2端部に、別々に第2垂直配線が接続されているような場合と比べて、第2垂直配線の数が少なくなる。よって、インダクタ部品を設計するうえで、外部に露出する第2垂直配線の数を少なく設定できるため、設計自由度が向上し、インダクタ部品の小型化を妨げることが少なくなる。
上記課題を解決するため、本開示のインダクタ部品の一態様は、磁性層の内部に配置され、延び方向の一方側の第1端部及び他方側の第2端部の間で共通の方向で電流が流れる第1、第2インダクタ配線と、前記第1インダクタ配線の前記第1端部に接続され、前記磁性層を貫通して前記磁性層の外面に露出する第1垂直配線と、前記第1インダクタ配線の前記第2端部に接続され、前記磁性層を貫通して前記磁性層の外面に露出する第2垂直配線と、前記第2インダクタ配線の前記第1端部に接続され、前記磁性層を貫通して前記磁性層の外面に露出する第3垂直配線と、前記第2インダクタ配線の前記第2端部に接続され、前記磁性層を貫通して前記磁性層の外面に露出する第4垂直配線と、前記第1垂直配線における前記磁性層の外面に露出している部分に接続されている第1外部端子と、前記第2垂直配線における前記磁性層の外面に露出している部分に接続されている第2外部端子と、前記第3垂直配線における前記磁性層の外面に露出している部分に接続されている第3外部端子と、を備え、前記第4垂直配線には、前記第2外部端子が接続されているインダクタ部品である。
記構成によれば、インダクタ配線の第2端部に接続されている第2垂直配線には、共有の第2外部端子が接続されている。そのため、仮に、複数の第2垂直配線に、別々に第2外部端子が接続されているような場合と比べて、第2外部端子の数が少なくなる。よって、インダクタ部品を設計するうえで、第2外部端子の数を少なく設定できるため、設計自由度が向上し、インダクタ部品の小型化を妨げることが少なくなる。
インダクタ部品の小型化を妨げることを抑制する。
第1実施形態のインダクタ部品の分解斜視図。 第1実施形態のインダクタ部品の透過上面図。 第2実施形態のインダクタ部品の分解斜視図。 第2実施形態のインダクタ部品の透過上面図。 第3実施形態のインダクタ部品の分解斜視図。 第3実施形態のインダクタ部品の透過上面図。 第4実施形態のインダクタ部品の分解斜視図。 第4実施形態のインダクタ部品の透過上面図。 第4実施形態のインダクタ部品の断面図。 インダクタ部品実装基板の実施形態の断面図。 変更例のインダクタ部品の透過上面図。
<インダクタ部品の実施形態>
以下、インダクタ部品の各実施形態について説明する。なお、図面は理解を容易にするために構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、又は別の図中のものと異なる場合がある。また、断面図ではハッチングを付しているが、理解を容易にするために一部の構成要素のハッチングを省略している場合がある。
<第1実施形態>
以下、インダクタ部品の第1実施形態を説明する。
図1に示すように、インダクタ部品10は、全体として、厚み方向に3つの薄板状の層が積層されたような構造になっている。以下の説明では、3つの各層が積層される積層方向を上下方向として説明する。なお、積層方向は、図2では紙面に垂直な方向となっている。
第1層L1は、4つのインダクタ配線20と、4つのダミー配線30と、第1磁性層41と、によって構成されている。第1層L1は、平面視で略正方形状となっている。4つのインダクタ配線20は、第1インダクタ配線20Aと、第2インダクタ配線20Bと、2つの第3インダクタ配線20Cと、によって構成されている。また、インダクタ配線20は、線幅が略一定の配線本体21と、配線本体21の第1端に接続されている第1パッド22と、配線本体21の第2端に接続されている第2パッド23と、によって構成されている。本実施形態において、第1パッド22がインダクタ配線20の第1端部と、第2パッド23がインダクタ配線20の第2端部と、それぞれなっている。
各インダクタ配線20は、いずれも第1パッド22から第2パッド23へと電流が流れる。すなわち、インダクタ配線20の延び方向の一方側の第1端部及び他方側の第2端部の間で共通の方向で電流が流れる。この実施形態では、4つのインダクタ配線20は、いずれも第1端部から第2端部へと電流が流れる。
図2に示すように、第1層L1において、第1インダクタ配線20Aの第1配線本体21Aは、上面視すると、正方形状の第1層L1の角近傍の第1端から正方形の中心近傍の第2端に向かって、湾曲して延びている。
第1配線本体21Aの延びる方向における一方側の第1端には、第1パッド22Aが接続されている。第1パッド22Aは、上下方向から平面視すると円形状となっている。第1パッド22Aは、第1パッド22Aに接続されている第1配線本体21Aよりも配線幅が広くなっている。第1パッド22Aは、上面視正方形の第1層L1の角近傍に配置されている。
第1配線本体21Aの延び方向における他方側の第2端には、第2パッド23が接続されている。第2パッド23は、上面視すると円形状になっている。なお、4つのインダクタ配線20の配線本体21は、すべて同一形状であり、延び方向である長さは等しくなっており、各配線本体21の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。
上面視正方形の第1層L1の4つの角のうち、第1インダクタ配線20Aの第1パッド22Aが配置されている角に対して、上面視したときに時計回り側に隣り合う角の近傍には、第2インダクタ配線20Bの第2配線本体21Bにおける第1端が配置されている。第2配線本体21Bは、上面視したときに、第1端から正方形状の第1層L1の中心近傍の第2端に向かって、湾曲して延びている。
第2配線本体21Bの延びる方向における一方側の第1端には、第1パッド22Bが接続されている。第1パッド22Bは、上下方向から平面視すると円形状となっている。第1パッド22Bは、第1パッド22Bに接続されている第2配線本体21Bよりも配線幅が広くなっている。第1パッド22Bは、上面視正方形の第1層L1の角のうち、第1パッド22Aが配置されている角に対して、上面視したときに時計回り側に隣り合う角の近傍に配置されている。
第2配線本体21Bの延び方向における他方側の第2端には、第2パッド23が接続されている。すなわち、第2パッド23は、第1インダクタ配線20Aの第2端部であるとともに、第2インダクタ配線20Bの第2端部となっている。
上面視正方形の第1層L1の4つの角のうち、第1インダクタ配線20A及び第2インダクタ配線20Bが配置されていない残りの2つの角近傍からは、それぞれ第3インダクタ配線20Cの第3配線本体21Cにおける第1端が配置されている。第3配線本体21Cは、上面視したときに、第1端から正方形状の第1層L1の中心近傍の第2端に向かって、湾曲して延びている。
第3配線本体21Cの延びる方向における一方側の第1端には、それぞれ第1パッド22Cが接続されている。第1パッド22Cは、上下方向から平面視すると円形状となっている。第1パッド22Cは、第1パッド22Cに接続されている第3配線本体21Cよりも配線幅が広くなっている。各第1パッド22Cは、上面視正方形の第1層L1の角近傍に配置されている。
第3配線本体21Cの延び方向における他方側の第2端には、第2パッド23が接続されている。すなわち、第2パッド23は、第1インダクタ配線20Aの第2端部であるとともに、2つの第3インダクタ配線20Cの第2端部となっている。
第2パッド23は、上面視正方形の第1層L1の中央に配置されている。そのため、上面視すると、各インダクタ配線20の第2端部である第2パッド23は、いずれのインダクタ配線20の第1パッド22よりも、第1層L1の中央側に位置している。
第2パッド23の外縁には、4つの配線本体21の第2端が接続されている。すなわち、4つの配線本体21の第2端は、第2パッド23の外周面に沿って等間隔に並んでいる。そのため、第1層L1を上面視すると、4つのインダクタ配線20の第2端近傍は、第2パッド23を中心として放射状に延びている。
ここで、第1インダクタ配線20Aの第2端部である第2パッド23の中心から第1インダクタ配線20Aの第1配線本体21Aの第2端の配線幅方向における中央を結ぶ仮想直線を第1仮想直線VL1とする。また、第2インダクタ配線20Bの第2端部である第2パッド23の中心から第2インダクタ配線20Bの第2配線本体21Bの第2端の配線幅方向における中央を結ぶ仮想直線を第2仮想直線VL2とする。さらに、第3インダクタ配線20Cの第2端部である第2パッド23の中心から第3インダクタ配線20Cの第3配線本体21Cの第2端の配線幅方向における中央を結ぶ仮想直線を第3仮想直線VL3とする。このとき、第1仮想直線VL1と第2仮想直線VL2とがなす角度である配線角度は、90度となっている。また、隣り合う2つの仮想直線のなす角度は、いずれも等しく、90度となっている。換言すれば、各インダクタ配線20において放射状に延びている部分の隣り合うインダクタ配線20間の角度ピッチθは90度となっており、角度ピッチθは、インダクタ配線20の数をNとしたときに、360/2N<θ<360/0.5Nとなっている。
インダクタ配線20のターン数は、インダクタ配線20の延びる方向においてインダクタ配線20の一方の端からインダクタ配線20の他方の端へと移動するときに、インダクタ配線20の一方の端を基準として、360度移動された場合を1.0ターンとして定められている。すなわち、インダクタ配線20のターン数は、インダクタ配線20の巻回されている角度が、回数によって示されている。したがって、例えば、180度巻回されると、ターン数は0.5ターンとなる。本実施形態では、各インダクタ配線20が巻回されている角度は、180度である。そのため、インダクタ配線20が巻回されているターン数は、本実施形態では0.5ターンとなっている。
インダクタ配線20は、導電性材料からなっており、本実施形態において、インダクタ配線20の組成は、銅の比率が99wt%以上で硫黄の比率が0.1wt%以上1.0wt%未満となっている。
各インダクタ配線20の第1パッド22には、ダミー配線30が接続されている。ダミー配線30は、第1層L1内で、第1パッド22のうち配線本体21とは反対側の部分から第1層L1の側面まで延びていて、インダクタ部品10の外面に露出している。ダミー配線30の材質は、インダクタ配線20と同一になっている。すなわち、ダミー配線30の組成は、銅の比率が99wt%以上で硫黄の比率が0.1wt%以上1.0wt%未満となっている。なお、インダクタ配線20とダミー配線30とは、一体化されている。
第1層L1において、各インダクタ配線20及び各ダミー配線30を除く部分は、第1磁性層41となっている。第1磁性層41は、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されている。すなわち、第1磁性層41は、磁性体となっている。なお、図2においては、後述する第1柱状配線51と、第2柱状配線52と、第3柱状配線53と、第4柱状配線54と、を二点鎖線で示している。また、インダクタ配線20の積層方向の寸法と、ダミー配線30の積層方向の寸法とは同一であり、インダクタ配線20の積層方向の寸法は、第1層L1の積層方向の寸法と同一である。
図1に示すように、第1層L1の下面には、第1層L1と同じ平面視正方形状の第2層L2が積層されている。第2層L2は、第2磁性層42となっている。そのため、第2磁性層42は、インダクタ配線20の下面に積層されている。第2磁性層42は、樹脂及び金属粉の混合体で構成されているため、第1磁性層41と同様に、磁性体となっている。
第1層L1の上面には、第1層L1と同じ平面視正方形状の第3層L3が積層されている。第3層L3は、第1柱状配線51と、第2柱状配線52と、第3柱状配線53と、2つの第4柱状配線54と、第3磁性層43と、によって構成されている。
第1柱状配線51は、第3磁性層43を積層方向に貫通しており、第1インダクタ配線20Aの第1パッド22Aの上面に接続されている。第1柱状配線51の材質は、第1インダクタ配線20Aと同じ材質となっている。また、第1柱状配線51は、第1インダクタ配線20Aと一体化されている。第1柱状配線51は、円柱状となっており、円柱の軸線方向が積層方向と一致している。第1柱状配線51の積層方向の寸法は、第3層L3の積層方向の寸法と同一である。そのため、第1柱状配線51の上面は、第3層L3の上面に露出している。上面視すると、円形の第1柱状配線51の直径は、第1パッド22Aの直径よりも僅かに小さくなっている。本実施形態においては、第1柱状配線51が第1垂直配線となっている。
第3柱状配線53は、第3磁性層43を積層方向に貫通しており、第2インダクタ配線20Bの第1パッド22Bの上面に接続されている。第3柱状配線53の材質は、第2インダクタ配線20Bと同じ材質となっている。また、第3柱状配線53は、第2インダクタ配線20Bと一体化されている。第3柱状配線53は、円柱状となっており、円柱の軸線方向が積層方向と一致している。第3柱状配線53の積層方向の寸法は、第3層L3の積層方向の寸法と同一である。そのため、第3柱状配線53の上面は、第3層L3の上面に露出している。上面視すると、円形の第3柱状配線53の直径は、第1パッド22Bよりも僅かに小さくなっている。本実施形態においては、第3柱状配線53が第3垂直配線となっている。
第4柱状配線54は、第3磁性層43を積層方向に貫通しており、第3インダクタ配線20Cの第1パッド22Cの上面に接続されている。第4柱状配線54の材質は、第3インダクタ配線20Cと同じ材質となっている。また、第4柱状配線54は、第3インダクタ配線20Cと一体化されている。第4柱状配線54は円柱状となっており、円柱の軸線方向が積層方向と一致している。本実施形態においては、第4柱状配線54が第4垂直配線となっている。なお、第4柱状配線54は、2つの第1パッド22Cの上側に、1つずつ配置されている。
第2柱状配線52は、第3磁性層43を積層方向に貫通しており、第2パッド23の上面に接続されている。第2柱状配線52の材質は、第1インダクタ配線20Aと同じ材質となっている。第2柱状配線52は、円柱状となっており、円柱の軸線方向が積層方向と一致している。第2柱状配線52の積層方向の寸法は、第3層L3の積層方向の寸法と同一である。そのため、第2柱状配線52の上面は、第3層L3の上面に露出している。上面視すると、円形の第2柱状配線52の直径は、第2パッド23の直径よりも僅かに小さくなっている。本実施形態においては、第2柱状配線52が第2垂直配線となっている。
上述したように、第2パッド23は、第1インダクタ配線20Aの第2端部であるとともに、第2インダクタ配線20Bの第2端部及び第3インダクタ配線20Cの第2端部でもある。そのため、4つのインダクタ配線20の第2端部である第2パッド23には、第2柱状配線52が接続されている。
第3層L3において、第1柱状配線51、第2柱状配線52、第3柱状配線53及び第4柱状配線54を除く部分は、第3磁性層43となっている。そのため、第3磁性層43は、インダクタ配線20における上面に積層されている。第3磁性層43は、樹脂及び金属磁性粉の混合体で構成されているため、上述した第1磁性層41及び第2磁性層42と同様に、磁性体となっている。
インダクタ部品10において、第1磁性層41と、第2磁性層42と、第3磁性層43とによって、磁性層40が構成されている。第1磁性層41と、第2磁性層42と、第3磁性層43とは、接続されており、インダクタ配線20を取り囲んでいる。このように、磁性層40は、インダクタ配線20に対して閉磁路を構成している。なお、第1磁性層41と、第2磁性層42と、第3磁性層43とは、区別して図示しているが、磁性層40として一体化されている。
次に、上記第1実施形態の作用及び効果を説明する。
(1)上記第1実施形態によれば、第1インダクタ配線20Aの第2端部である第2パッド23は、第2インダクタ配線20Bの第2端部にもなっている。そして、第2パッド23には、1つの第2柱状配線52が接続されている。そのため、仮に、4つのインダクタ配線20の第2端部に、別々の垂直配線が接続されているような場合と比べて、垂直配線の数が少なくなる。よって、インダクタ部品10の設計をするうえで、外部に露出する垂直配線の数を少なく設定できるため、設計自由度が向上し、例えば、インダクタ部品10の小型化を妨げることが少なくなる。
(2)上記第1実施形態によれば、各インダクタ配線20は、配線本体21だけでなく第2パッド23を含めた全体が、同一の第1層L1内に配置されている。そのため、各インダクタ配線20を異なる層内に配置する場合と比べて、インダクタ部品10全体として、積層方向の寸法を小型化できる。
(3)上記第1実施形態によれば、各インダクタ配線20の配線本体21の長さは等しくなっている。そのため、各インダクタ配線20から、同一の電流が流れたときに得られるインダクタンスがそろいやすい。また、同様に、各インダクタ配線20の配線本体21の長さが等しいため、各インダクタ配線20の直流電気抵抗がそろいやすい。
(4)上記第1実施形態によれば、各インダクタ配線20のターン数は、1.0ターン未満である。そのため、インダクタ配線20の直流抵抗を小さくできるため、比較的に大きな電流を流すことができる。また、インダクタ配線20のターン数が小さいことから、インダクタ部品10全体の体積に対して、インダクタ配線20の体積の割合を小さくできる。そのため、相対的に磁性層40の体積の割合が大きくなることで、インダクタ部品10全体の体積に対するインダクタンスの取得率の低下を妨げにくい。
<第2実施形態>
以下、インダクタ部品の第2実施形態を説明する。なお、以下で説明する第2実施形態は、主として、第1実施形態におけるインダクタ部品10と比較してインダクタ配線の形状及び配置が異なっている。なお、積層方向は、図4では紙面に垂直な方向となっている。
図3に示すように、インダクタ部品110は、全体として、厚み方向に3つの薄板状の層が積層されたような構造になっている。以下の説明では、3つの各層が積層される積層方向を上下方向として説明する。
図4に示すように、第1層L11は、4つのインダクタ配線120と、1つのダミー配線130と、第1磁性層141と、によって構成されている。第1層L1は、平面視で略長方形状となっている。4つのインダクタ配線120は、第1インダクタ配線120Aと、第2インダクタ配線120Bと、2つの第3インダクタ配線120Cと、によって構成されている。インダクタ配線120は、線幅が略一定の配線本体121と、配線本体121の第1端に接続されている第1パッド122と、配線本体121の第2端に接続されている第2パッド123と、によって構成されている。本実施形態において、第1パッド122がインダクタ配線120の第1端部と、第2パッド123がインダクタ配線120の第2端部と、それぞれなっている。
各インダクタ配線120は、いずれも、第1パッド122から第2パッド123へと電流が流れる。すなわち、インダクタ配線120の延び方向の一方側の第1端部及び他方側の第2端部の間で共通の方向で電流が流れる。この実施形態でも、上述した第1実施形態と同様に、4つのインダクタ配線120は、いずれも第1端部から第2端部へと電流が流れる。
第1層L11において、インダクタ配線120の配線本体121は、全体として、上面視すると、長方形状の第1層L11の長手方向に延びている。各インダクタ配線120の配線本体121は、長方形状の第1層L11の短手方向に並んでいる。
第1インダクタ配線120Aの第1配線本体121Aは、上面視すると、長方形状の第1層L11の短手方向における一方側に配置されている。第1配線本体121Aは、長方形状の第1層L11の短手方向の外側に向かって凸となるように湾曲している。
第1配線本体121Aの延び方向における一方側の第1端には、第1パッド122Aが接続されている。第1パッド122Aは、上下方向から平面視すると四角形状となっている。一方で、第1配線本体121Aの延び方向における他方側の第2端には、第2パッド123が接続されている。第2パッド123は、上下方向から平面視すると、第1層L11の短手方向に長い長方形状になっている。
第2インダクタ配線120Bの第2配線本体121Bは、上面視すると、第1インダクタ配線120Aの第2配線本体121Bよりも、長方形状の第1層L11の短手方向における中央側に配置されている。第2配線本体121Bは、長方形状の第1層L11の短手方向の内側に向かって凸となるように湾曲している。第2配線本体121Bは、第1配線本体121Aと比べて、曲率半径が大きくなっている。その結果、第2配線本体121Bの長さは、第1配線本体121Aの長さよりも小さくなっている。
第2配線本体121Bの延び方向における一方側の第1端には、第1パッド122Bが接続されている。第1パッド122Bは、上下方向から平面視すると四角形状となっている。一方で、第2配線本体121Bの延び方向における他方側の第2端には、第2パッド123が接続されている。すなわち、第2パッド123は、第1インダクタ配線120Aの第2端部であるとともに、第2インダクタ配線120Bの第2端部でもある。
上面視すると長方形状の第1層L11の短手方向における中央よりも他方側には、2つの第3インダクタ配線120Cが配置されている。2つの第3インダクタ配線120Cの第3配線本体121Cは、長方形状の第1層L11の短手方向における中央を対称軸として、第1配線本体121A及び第2配線本体121Bと線対称の形状となっている。すなわち、長方形状の第1層L11の短手方向における中央側の第3配線本体121Cは、長方形状の第1層L11の短手方向の内側に向かって凸となるように湾曲している。一方で、長方形状の第1層L11の短手方向における外側の第3配線本体121Cは、長方形状の第1層L11の短手方向の外側に向かって凸となるように湾曲している。
第3配線本体121Cの延び方向における一方側の第1端には、第3パッド122Cが接続されている。各第3パッド122Cは、上下方向から平面視すると四角形状となっている。一方で、2つの第3配線本体121Cの延び方向における他方側の第2端には、第2パッド123が接続されている。すなわち、第2パッド123は、第1インダクタ配線120Aの第2端部であるとともに、2つの第3インダクタ配線120Cの第2端部でもある。なお、各第1パッド122は互いに離隔している。
各インダクタ配線120のターン数は、1.0ターン未満である。また、インダクタ配線120は、導電性材料からなっており、本実施形態において、インダクタ配線120の組成は、銅の比率が99wt%以上で硫黄の比率が0.1wt%以上1.0wt%未満となっている。
第2パッド123の延び方向の中央、すなわち第1層L11の短手方向中央からは、ダミー配線130が、第1層L11の側面まで延びていて、インダクタ部品110の外面に露出している。ダミー配線130の材質は、各インダクタ配線120と同一になっている。なお、ダミー配線130は、4つのインダクタ配線120と一体化されている。
第1層L11において、インダクタ配線120及びダミー配線130を除く部分は、第1磁性層141となっている。第1磁性層141は、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されている。すなわち、第1磁性層141は、磁性体となっている。なお、図4においては、後述する第1柱状配線151、第2柱状配線152、第3柱状配線153及び第4柱状配線154を二点鎖線で示している。また、インダクタ配線120の積層方向の寸法と、ダミー配線130の積層方向の寸法とは同一であり、インダクタ配線120の積層方向の寸法は、第1層L11の積層方向の寸法と同一である。
第1層L11において、第1パッド122同士の最小の距離である第1パッド間距離IDは、第1磁性層141を構成する金属磁性粉の平均粒子径の40倍以上となっている。金属磁性粉の平均粒子径は、インダクタ部品110の状態において、磁性層140を通る断面のSEM(Scanning Electron Microscope:走査電子顕微鏡)画像を用いて測定する。具体的には、15個以上の金属磁性粉が確認できる倍率のSEM画像において、各金属磁性粉の面積を測定し、円相当径を{4/π×(面積)}^(1/2)から算出した上で、その算術平均値を金属磁性粉の平均粒子径とする。なお、原料段階においては、金属磁性粉の平均粒子径は、金属磁性粉の原料状態において、レーザ回折・散乱法により測定する。このレーザ回折・散乱法によって求めた粒度分布における積算値50%に相当する粒径を金属磁性粉の平均粒子径とする。
図3に示すように、第1層L11の下面には、第1層L11と同じ平面視長方形状の第2層L12が積層されている。第2層L12は、第2磁性層142となっている。そのため、第2磁性層142は、インダクタ配線120の下面に積層されている。第2磁性層142は、第1磁性層141と同様に、樹脂及び金属粉の混合体で構成されているため、磁性体となっている。
第1層L11の上面には、第1層L11と同じ平面視長方形状の第3層L13が積層されている。第3層L13は、第1柱状配線151と、第2柱状配線152と、第3柱状配線153と、2つの第4柱状配線154と、第3磁性層143と、によって構成されている。
第1柱状配線151は、第3磁性層143を積層方向に貫通しており、第1インダクタ配線120Aの第1パッド122Aの上面に接続されている。第1柱状配線151の材質は、第1インダクタ配線120Aと同じ材質となっている。また、第1柱状配線151は、第1インダクタ配線120Aと一体化されている。第1柱状配線151は、角柱状となっており、角柱の軸線方向が積層方向と一致している。第1柱状配線151の積層方向の寸法は、第3層L13の積層方向の寸法と同一である。そのため、第1柱状配線151の上面は、第3層L13の上面に露出している。上面視すると、長方形の第1柱状配線151の大きさは、長方形の第1パッド122Aの大きさよりも僅かに小さくなっている。本実施形態において、第1柱状配線151が第1垂直配線となっている。
第3柱状配線153は、第3磁性層143を積層方向に貫通しており、第2インダクタ配線120Bの第1パッド122Bの上面に接続されている。第3柱状配線153の材質は、第2インダクタ配線120Bと同じ材質となっている。また、第3柱状配線153は、第2インダクタ配線120Bと一体化されている。第3柱状配線153は、角柱状となっており、角柱の軸線方向が積層方向と一致している。第3柱状配線153の積層方向の寸法は、第3層L13の積層方向の寸法と同一である。そのため、第3柱状配線153の上面は、第3層L13の上面に露出している。上面視すると、長方形の第3柱状配線153の大きさは、長方形の第1パッド122Bの大きさよりも僅かに小さくなっている。本実施形態において、第2柱状配線152が第2垂直配線となっている。
第4柱状配線154は、第3磁性層143を積層方向に貫通しており、第3インダクタ配線120Cの第3パッド122Cの上面に接続されている。第4柱状配線154の材質は、第3インダクタ配線120Cと同じ材質となっている。また、第4柱状配線154は、第3インダクタ配線120Cと一体化されている。第4柱状配線154は、角柱状となっており、角柱の軸線方向が積層方向と一致している。第4柱状配線154の積層方向の寸法は、第3層L13の積層方向の寸法と同一である。そのため、第4柱状配線154の上面は、第3層L13の上面に露出している。上面視すると、長方形の第4柱状配線154の大きさは、長方形の第3パッド122Cの大きさよりも僅かに小さくなっている。本実施形態において、第4柱状配線154が第4垂直配線となっている。なお、第4柱状配線154は、2つの第3パッド122Cの上側に、1つずつ配置されている。
第2柱状配線152は、第3磁性層143を積層方向に貫通しており、第2パッド123の上面に接続されている。第2柱状配線152の材質は、第1インダクタ配線120Aと同じ材質となっている。また、第2柱状配線は、各インダクタ配線120と一体化されている。第2柱状配線は、角柱状となっており、角柱の軸線方向が積層方向と一致している。第2柱状配線152の積層方向の寸法は、第3層L13の積層方向の寸法と同一である。そのため、第2柱状配線152の上面は、第3層L13の上面に露出している。上面視すると、長方形の第2柱状配線152の大きさは、長方形の第2パッド123の大きさよりも僅かに小さくなっている。本実施形態において、第2柱状配線152が第2垂直配線となっている。
上述したように、第2パッド123は、第1インダクタ配線120Aの第2端部であるとともに、第2インダクタ配線120Bの第2端部及び第3インダクタ配線120Cの第2端部でもある。そのため、4つのインダクタ配線120の第2端部である第2パッド123には、第2柱状配線152が接続されている。
第3層L13において、第1柱状配線151、第2柱状配線152、第3柱状配線153及び第4柱状配線154を除く部分は、第3磁性層143となっている。そのため、第3磁性層143は、インダクタ配線120における上面に積層されている。第3磁性層143は、上述した第1磁性層141及び第2磁性層142と同様に、樹脂及び金属磁性粉の混合体で構成されているため、磁性体となっている。
インダクタ部品110において、第1磁性層141と、第2磁性層142と、第3磁性層143とによって、磁性層140が構成されている。第1磁性層141と、第2磁性層142と、第3磁性層143とは、接続されており、インダクタ配線120を取り囲んでいる。このように、磁性層140は、インダクタ配線120に対して閉磁路を構成している。なお、第1磁性層141と、第2磁性層142と、第3磁性層143とは、区別して図示しているが、磁性層140として一体化されている。
次に、上記第2実施形態の作用及び効果を説明する。上記第2実施形態の(1)、(2)、(4)の効果に加えて、以下の効果を奏する。
(5)上記第2実施形態によれば、第1インダクタ配線120Aの第1配線本体121Aの長さと、第2インダクタ配線120Bの第2配線本体121Bの長さとは、異なっている。そのため、例えば、インダクタ部品110の4つの第1柱状配線151の上流側にスイッチング素子等を設けてどのインダクタ配線120に電流を流すのかを選択できるようにすることで、得られるインダクタンスを切り替えることができる。
(6)上記第2実施形態によれば、インダクタ配線120の第1パッド122同士の最小の距離である第1パッド間距離IDは、第1磁性層141を構成する金属磁性粉の平均粒子径の40倍以上となっている。仮に、第1パッド間距離IDが過度に小さいと、第1パッド122間に金属磁性粉の粒子を介して第1パッド122同士が短絡する虞がある。上記第2実施形態によれば、第1パッド122同士の第1パッド間距離IDは、金属磁性粉の粒子径の大きさに対して、充分に離隔しているといえる。そのため、2つの第1パッド122同士の短絡を防ぎやすい。
<第3実施形態>
以下、インダクタ部品の第3実施形態を説明する。なお、以下で説明する第3実施形態は、主として、第1実施形態におけるインダクタ部品10と比較してインダクタ配線の形状及び配置が異なっている。特に、インダクタ配線の配置されている層が異なっている。
図5に示すように、インダクタ部品210は、全体として、厚み方向に7つの薄板状の層が積層されたような構造になっている。以下の説明では、7つの各層が積層される積層方向を上下方向として説明する。なお、積層方向は、図6では紙面に垂直な方向となっている。
第1層L21は、第1インダクタ配線220Aと、ダミー配線230Aと、第1層接続配線261と、第1絶縁部271と、第1磁性層241と、によって構成されている。第1層L21は、平面視で長方形状となっている。第1インダクタ配線220Aは、線幅が略一定の第1配線本体221Aと、第1配線本体221Aの第1端に接続されている第1パッド222Aと、第1配線本体221Aの第2端に接続されている第2パッド223Aと、によって構成されている。本実施形態において、第1パッド222Aが第1インダクタ配線220Aの第1端部と、第2パッド223Aが第1インダクタ配線220Aの第2端部と、それぞれなっている。
第1インダクタ配線220Aは、第1インダクタ配線220Aの延び方向の一方側の第1端部及び他方側の第2端部の間で電流が流れる。この実施形態では、第1インダクタ配線220Aは、第1パッド222Aから第2パッド223Aへと電流が流れる。すなわち、第1インダクタ配線220Aは、第1端部から第2端部へと電流が流れる。
図6に示すように、第1層L21において、第1インダクタ配線220Aの第1配線本体221Aは、上面視すると、第1層L21の長方形の中心近傍を中心とした渦巻状に延びている。具体的には、第1インダクタ配線220Aの第1配線本体221Aは、径方向外側の第1端から径方向内側の第2端に向かって、時計回りに渦巻き状に巻回されている。
本実施形態では、第1インダクタ配線220Aが巻回されている角度は、540度である。そのため、第1インダクタ配線220Aが巻回されているターン数は、本実施形態では1.5ターンとなっている。また、本実施形態において、第1層L21を上面視したときに、長方形状の第1層L21の長手方向において、第1配線本体221Aの第1端が配置されている側を第1端側、第1配線本体221Aの第2端が配置されている側を第2端側とする。
第1インダクタ配線220Aは、導電性材料からなっており、本実施形態において、第1インダクタ配線220Aの組成は、銅の比率が99wt%以上で硫黄の比率が0.1wt%以上1.0wt%未満となっている。
第1配線本体221Aの延び方向における一方側の第1端には、第1パッド222Aが接続されている。第1パッド222Aは、上面視すると略四角形状となっている。第1パッド222Aは、第1インダクタ配線220Aの第1端部を構成している。第1パッド222Aは、上面視長方形の第1層L21の角近傍に配置されている。第1パッド222Aは、第1パッド222Aに接続されている第1配線本体221Aよりも配線幅が広くなっている。
第1配線本体221Aの延び方向における他方側の第2端には、第2パッド223Aが接続されている。第2パッド223Aは、上面視すると円形状となっている。第2パッド223Aは、第1インダクタ配線220Aの第2端部を構成している。第2パッド223Aは、第2パッド223Aに接続されている第1配線本体221Aよりも配線幅が広くなっている。
第1パッド222Aには、ダミー配線230Aが接続されている。ダミー配線230Aは、第1パッド222Aのうち第1配線本体221Aと反対側の部分から第1層L21の側面まで延びていて、インダクタ部品210の外面に露出している。ダミー配線230Aの材質は、第1インダクタ配線220Aと同一になっている。なお、第1インダクタ配線220Aとダミー配線230Aとは、一体化されている。
第1層L21において、上面視すると、長方形の第1層L21の短手方向における第1パッド222Aとは反対側で、且つ長手方向における第1端側の角近傍には、第1層接続配線261が配置されている。第1層接続配線261は、第1パッド222A及びダミー配線230Aと同じ形状となっており、第1層L21の短手方向中央を通る第1層L21の長手方向に延びる直線を対称軸として、線対称となっている。第1層接続配線261は、第1インダクタ配線220Aと同一の材料となっている。
第1層L21において、第1インダクタ配線220Aの側面、ダミー配線230Aの側面及び第1層接続配線261の側面は、第1絶縁部271で覆われている。すなわち、第1インダクタ配線220A、ダミー配線230A、及び第1層接続配線261が、第1絶縁部271によって囲まれている。第1絶縁部271は、絶縁性の絶縁樹脂であり、第1インダクタ配線220Aよりも絶縁性が高くなっている。そして、第1インダクタ配線220Aと、第1層接続配線261と、第1絶縁部271と以外の部分は、第1磁性層241となっている。そのため、第1層L21の中央部分や、第1層L21の短手方向における両端部分、第1層L21の長手方向における第1端側部分には、第1磁性層241が配置されている。
第1磁性層241は、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されている。そのため、第1磁性層241は、磁性体となっている。なお、図6においては、後述する第1柱状配線257と、第2柱状配線258と、第1ビア251と、第2ビア252と、第3ビア253と、第4ビア254と、第5ビア255と、第6ビア256を二点鎖線で示す。さらに、後述する第2インダクタ配線220B及び第5層接続配線262を破線で示している。
図5に示すように、第1層L21の下面には、第1層L21と同じ平面視長方形状の第2層L22が積層されている。第2層L22は、第2絶縁部272と、第2磁性層242と、によって構成されている。そのため、第2磁性層242は、第1インダクタ配線220Aの下面に積層されている。
第2絶縁部272は、第1インダクタ配線220Aと、ダミー配線230Aと、第1層接続配線261と、を下側から覆っている。すなわち、第2絶縁部272は、第1層L21の導電する配線部分の下面を全て覆っている。第2絶縁部272は、第1絶縁部271と同様の絶縁性の絶縁樹脂であり、第1インダクタ配線220Aより絶縁性が高くなっている。
第2層L22において、第2絶縁部272を除く部分は、第2磁性層242なっている。そのため、第2層L22の中央部分や、第2層L22の短手方向における両端部分、第2層L22の長手方向における第1端側部分には、第2磁性層242が配置されている。第2磁性層242は、上述した第1磁性層241と同様に、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されているため、磁性体となっている。
第2層L22の下面には、第1層L21と同じ平面視長方形形状の第3層L23が積層されている。第3層L23は、第3磁性層243となっている。そのため、第3磁性層243は、第1インダクタ配線220Aの下面に積層されている。第3磁性層243は、第1磁性層241と同様に、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されているため、磁性体となっている。
第1層L21の上面には、第1層L21と同じ平面視長方形状の第4層L24が積層されている。第4層L24は、第3絶縁部273と、第1ビア251と、第2ビア252と、第3ビア253と、第4磁性層244と、によって構成されている。第1ビア251、第2ビア252及び第3ビア253は、第4磁性層244を積層方向に貫通している。
第1ビア251は、第1層L21の第1パッド222Aの上側に配置されていて、第1パッド222Aに接続されている。第2ビア252は、第1層L21の第1層接続配線261の上側に配置されていて、第1層接続配線261に接続されている。第3ビア253は、第1層L21の第2パッド223Aの上側に配置されていて、第2パッド223Aに接続されている。これらの第1ビア251、第2ビア252及び第3ビア253は、柱状となっており、軸線方向が積層方向と一致している。第1ビア251、第2ビア252及び第3ビア253の積層方向の寸法は、第4層L24の積層方向の寸法と同一である。そのため、第1ビア251、第2ビア252及び第3ビア253は、第4層L24を積層方向に貫通している。
第3絶縁部273は、第1インダクタ配線220Aと、ダミー配線230Aと、第1層接続配線261と、第1絶縁部271と、を上側から被覆している。すなわち、第3絶縁部273は、上記の第1層L21に配置されている各配線の上面のうちの第1ビア251、第2ビア252及び第3ビア253が配置されている箇所以外の面を全て被覆している。第3絶縁部273は、上面視すると、第1インダクタ配線220Aと、ダミー配線230Aと、第1層接続配線261と、の外縁よりも僅かに広い範囲を覆うような形状となっている。そのため、第3絶縁部273の形状は、第1ビア251、第2ビア252及び第3ビア253が配置されている箇所以外は、第2絶縁部272の形状と相似形状である。第3絶縁部273は、第1絶縁部271と同様の絶縁性の絶縁樹脂であり、第1インダクタ配線220Aより絶縁性が高くなっている。
第4層L24において、第1ビア251、第2ビア252、第3ビア253及び第3絶縁部273を除く部分は、第4磁性層244となっている。そのため、第4層L24の中央部分や、第4層L24の短手方向における両端部分、第4層L24の長手方向における第1端側部分には、第4磁性層244が配置されている。第4磁性層244は、上述した第1磁性層241と同様に、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されているため、磁性体となっている。
第4層L24の上面には、第1層L21と同じ平面視長方形状の第5層L25が積層されている。第5層L25は、第2インダクタ配線220Bと、ダミー配線230Bと、第5層接続配線262と、第4絶縁部274と、第5磁性層245と、によって構成されている。第2インダクタ配線220Bは、線幅が略一定の第2配線本体221Bと、第2配線本体221Bの第1端に接続されている第1パッド222Bと、第2配線本体221Bの第2端に接続されている第2パッド223Bと、によって構成されている。本実施形態において、第1パッド222Bが第2インダクタ配線220Bの第1端部と、第2パッド223Bが第2インダクタ配線220Bの第2端部と、それぞれなっている。
第2インダクタ配線220Bは、第2インダクタ配線220Bの延び方向の一方側の第1端部及び他方側の第2端部の間で電流が流れる。この実施形態では、第2インダクタ配線220Bは、第1パッド222Aから第2パッド223Aへと電流が流れる。すなわち、第1インダクタ配線220Aは、第1端部から第2端部へと電流が流れる。そのため、第1インダクタ配線220A及び第2インダクタ配線220Bは、いずれも第1端部から第2端部へと、第1端部及び第2端部の間で共通の方向で電流が流れる。
第5層L25において、第2インダクタ配線220Bの第2配線本体221Bは、上面視すると、第1インダクタ配線220Aの渦巻状の中心を中心として渦巻状に延びている。具体的には、第2インダクタ配線220Bの第2配線本体221Bは、径方向外側の第1端から径方向内側の第2端に向かって、反時計回りに渦巻き状に巻回されている。すなわち、第2インダクタ配線220Bの巻回される方向は、第1インダクタ配線220Aの巻回される方向とは反対向きである。
本実施形態では、第2インダクタ配線220Bが巻回されている角度は、540度である。そのため、第2インダクタ配線220Bが巻回されているターン数は、本実施形態では1.5ターンとなっている。
第2配線本体221Bの延び方向における一方側の第1端には、第1パッド222Bが接続されている。第1パッド222Bは、上面視すると略四角形状となっている。第1パッド222Bは、第2インダクタ配線220Bの第1端部を構成している。第1パッド222Bは、上面視長方形の第5層L25の角近傍に配置されている。特に、この実施形態では、第1パッド222Bは、第1層L21における第1層接続配線261の上側に位置していて、第2ビア252を介して第1層接続配線261に接続されている。第1パッド222Bは、第1パッド222Bに接続されている第2配線本体221Bよりも配線幅が広くなっている。
第2配線本体221Bの延び方向における他方側の第2端には、第2パッド223Bが接続されている。第2パッド223Bは、上下方向から平面視すると円形状となっている。第2パッド223Bは、第1層L21における第2パッド223Aの上側に位置していて、第3ビア253を介して第2パッド223Bに接続されている。第2パッド223Bは、第2パッド223Bに接続されている第2配線本体221Bよりも配線幅が広くなっている。第2パッド223Bは、第2インダクタ配線220Bの第2端部を構成している。
第1パッド222Bには、ダミー配線230Bが接続されている。ダミー配線230Bは、第1パッド222Bのうち第2配線本体221Bと反対側の部分から第3層L23の側面まで延びていて、インダクタ部品210の外面に露出している。ダミー配線230Bの材質は、第2インダクタ配線220Bと同一になっている。なお、第2インダクタ配線220Bとダミー配線230Bとは、一体化されている。
第5層L25において、第1層L21の第1パッド222Aの上側には、第5層接続配線262が配置されている。第5層接続配線262は、第1パッド222B及びダミー配線230Bと同じ形状となっており、第5層L25の短手方向中央を通る第5層L25の長手方向に延びる直線を対称軸として、線対称となっている。
第5層L25において、第2インダクタ配線220Bの側面、ダミー配線230Bの側面、及び第5層接続配線262の側面は、第4絶縁部274で覆われている。すなわち、第2インダクタ配線220B、ダミー配線230B、及び第5層接続配線262が、第4絶縁部274によって囲まれている。第4絶縁部274は、絶縁性の絶縁樹脂であり、第2インダクタ配線220Bよりも絶縁性が高くなっている。そして、第2インダクタ配線220Bと、第5層接続配線262と、第4絶縁部274と以外の部分は、第5磁性層245となっている。そのため、第5層L25の中央部分や、第5層L25の短手方向における両端部分、第5層L25の長手方向における第1端側部分には、第5磁性層245が配置されている。
第5磁性層245は、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されている。そのため、第5磁性層245は、磁性体となっている。また、第4絶縁部274は、第1絶縁部271と同様の絶縁性の絶縁樹脂であり、第2インダクタ配線220Bより絶縁性が高くなっている。
図5に示すように、第5層L25の上面には、第1層L21と同じ平面視長方形状の第6層L26が積層されている。第6層L26は、第5絶縁部275と、第4ビア254と、第5ビア255と、第6ビア256と、第6磁性層246と、によって構成されている。第4ビア254、第5ビア255及び第6ビア256は、第6磁性層246を積層方向に貫通している。
第4ビア254は、第5層L25の第1パッド222Bの上側に配置されていて、第1パッド222Bに接続されている。第5ビア255は、第5層L25の第5層接続配線262の上側に配置されていて、第5層接続配線262に接続されている。第6ビア256は、第5層L25の第2パッド223Bの上側に配置されていて、第2パッド223Bに接続されている。これらの第4ビア254、第5ビア255及び第6ビア256は、柱状となっており、軸線方向が積層方向と一致している。第4ビア254、第5ビア255及び第6ビア256の積層方向の寸法は、第6層L26の積層方向の寸法と同一である。そのため、第4ビア254、第5ビア255及び第6ビア256は、第6層L26を積層方向に貫通している。
第5絶縁部275は、第2インダクタ配線220Bと、ダミー配線230Bと、第5層接続配線262と、第4絶縁部274と、を上側から被覆している。すなわち、第5絶縁部275は、上記の第5層L25に配置されている各配線の上面のうちの第4ビア254、第5ビア255及び第6ビア256が配置されている箇所以外の面を全て被覆している。第5絶縁部275は、上面視すると、第2インダクタ配線220Bと、ダミー配線230Bと、第5層接続配線262と、の外縁よりも僅かに広い範囲を覆うような形状となっている。そのため、第5絶縁部275の形状は、第3絶縁部273の形状と同一形状である。第5絶縁部275は、第1絶縁部271と同様の絶縁性の絶縁樹脂であり、第1インダクタ配線220Aより絶縁性が高くなっている。
インダクタ部品210において、第1絶縁部271と、第2絶縁部272と、第3絶縁部273と、第4絶縁部274と、第5絶縁部275とは、接続されており、これらによって、絶縁部270が構成されている。絶縁部270は、第1インダクタ配線220Aの外面及び第2インダクタ配線220Bの外面の大部分を取り囲んで、被覆している。なお、第1絶縁部271と、第2絶縁部272と、第3絶縁部273と、第4絶縁部274と、第5絶縁部275とは、区別して図示しているが、絶縁部270として一体化されている。また、絶縁部270の材質は、磁性粉を含まない非磁性体である。
第6層L26において、第4ビア254、第5ビア255、第6ビア256及び第5絶縁部275を除く部分は、第6磁性層246となっている。第6磁性層246は、上述した第1磁性層241と同様に、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されているため、磁性体となっている。そのため、第6層L26の中央部分や、第6層L26の短手方向における両端部分、第6層L26の長手方向における第1端側部分には、第6磁性層246が配置されている。
第6層L26の上面には、第1層L21と同じ平面視長方形状の第7層L27が積層されている。第7層L27は、第1柱状配線257と、第2柱状配線258と、第3柱状配線259と、第7磁性層247と、によって構成されている。第1柱状配線257、第2柱状配線258及び第3柱状配線259は、第7磁性層247を積層方向に貫通している。
第1柱状配線257は、第5層L25における第5層接続配線262の上側に配置されていて、第5ビア255を介して第5層接続配線262に接続されている。第3柱状配線259は、第5層L25における第1パッド222Bの上側に配置されていて、第4ビア254を介して第1パッド222Bに接続されている。第1柱状配線257及び第3柱状配線259は、角柱状となっており、軸線方向が積層方向と一致している。第1柱状配線257及び第3柱状配線259の積層方向の寸法は、第7層L27の積層方向の寸法と同一である。そのため、第1柱状配線257及び第3柱状配線259は、第7層L27を積層方向に貫通している。
そして、第1柱状配線257は、第5ビア255、第5層接続配線262及び第1ビア251を介して、第1インダクタ配線220Aの第1パッド222Aと接続している。本実施形態では、第1ビア251と、第5層接続配線262と、第5ビア255と、第1柱状配線257と、によって、第1垂直配線が構成されている。
ここで、第3柱状配線259は、第6ビア256を介して、第2インダクタ配線220Bの第1パッド222Bと接続している。また、第1層接続配線261は、第2ビア252を介して、第2インダクタ配線220Bの第1パッド222Bと接続している。本実施形態では、第1層接続配線261と、第2ビア252と、第4ビア254と、第3柱状配線259とによって、第3垂直配線が構成されている。
第2柱状配線258は、第2インダクタ配線220Bの第2パッド223Bの上側に配置されていて、第5ビア255を介して第2パッド223Bに接続されている。第2柱状配線258は、円柱状となっており、円柱の軸線方向が積層方向と一致している。第2柱状配線258の積層方向の寸法は、第7層L27の積層方向の寸法と同一である。そのため、第2柱状配線258は、第7層L27を積層方向に貫通している。
ここで、第2柱状配線258は、第6ビア256を介して第2インダクタ配線220Bの第2端である第2パッド223Bと接続されている。また、第2パッド223Bは、第2ビア252を介して第1インダクタ配線220Aの第2端である第2パッド223Aと接続されている。本実施形態においては、第3ビア253と、第6ビア256と、第2柱状配線258とによって、第2垂直配線が構成されている。そのため、第1インダクタ配線220Aの第2パッド223Aと第2インダクタ配線220Bの第2パッド223Bとには、第2垂直配線のうちの第2ビア252が接続されているとともに、第1インダクタ配線220Aの第2パッド223Aには、第2垂直配線における第3柱状配線259が接続されている。
第7層L27において、第1柱状配線257及び第2柱状配線258を除く部分は、第7磁性層247となっている。そのため、第7磁性層247は、第2インダクタ配線220Bの上面に積層されている。第7磁性層247は、上述した第1磁性層241と同様に、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されているため、磁性体となっている。
インダクタ部品210において、第1磁性層241と、第2磁性層242と、第3磁性層243と、第4磁性層244と、第5磁性層245と、第6磁性層246と、第7磁性層247とは接続されており、これらによって、磁性層240が構成されている。磁性層240は、第1インダクタ配線220A及び第2インダクタ配線220Bを取り囲んでいる。このように、磁性層240は、第1インダクタ配線220A及び第2インダクタ配線220Bに対して閉磁路を構成している。なお、第1磁性層241と、第2磁性層242と、第3磁性層243と、第4磁性層244と、第5磁性層245と、第6磁性層246と、第7磁性層247とは区別して図示しているが、磁性層240として一体化されている。
第1柱状配線257及び第2柱状配線258の積層方向の寸法は、第7磁性層247の積層方向の寸法と同一となっている。そのため、第1柱状配線257の上面及び第2柱状配線258の上面は、第7磁性層247から露出している。
次に、上記第3実施形態の作用及び効果を説明する。上記第1実施形態の(1)、(3)の効果に加えて、以下の効果を奏する。
(7)上記第3実施形態によれば、第1インダクタ配線220Aと、第2インダクタ配線220Bとは、積層方向に並んで配置されている。そして、第1インダクタ配線220Aの第2端部である第2パッド223Aと、第2インダクタ配線220Bの第2端部である第2パッド223Bとは、第2垂直配線における第3ビア253を介して接続されている。そのため、インダクタ部品210全体としては、2つのインダクタ配線220を収容するうえで、面方向の寸法の大型化を抑制できる。
(8)上記第3実施形態によれば、第1インダクタ配線220A及び第2インダクタ配線220Bは、絶縁樹脂である絶縁部270に被覆されている。そのため、第1インダクタ配線220A及び第2インダクタ配線220Bは、インダクタ部品210外からの静電気の影響を受けにくくなる。また、インダクタ配線220間の漏れ電流や短絡を抑制する。
<第4実施形態>
以下、インダクタ部品の第4実施形態を説明する。なお、以下で説明する第4実施形態は、主として、第1実施形態におけるインダクタ部品10と比較して複数のインダクタ配線の接続箇所が異なっている。
図7に示すように、インダクタ部品310は、全体として、厚み方向に7つの薄板状の層が積層されたような構造になっている。以下の説明では、7つの各層の積層される積層方向を上下方向として説明する。なお、積層方向は、図8では紙面に垂直な方向となっている。
図8に示すように、第1層L31は、2つのインダクタ配線320と、2つのダミー配線330と、第1磁性層341と、第1絶縁部371と、によって構成されている。第1層L31は、平面視で正方形状となっている。2つのインダクタ配線320は、第1インダクタ配線320Aと、第2インダクタ配線320Bと、によって構成されている。インダクタ配線320は、線幅が略一定の配線本体321と、配線本体321の第1端に接続されている第1パッド322と、配線本体321の第2端に接続されている第2パッド323と、によって構成されている。本実施形態において、第1パッド322がインダクタ配線320の第1端部となっており、第2パッド323がインダクタ配線320の第2端部となっている。
各インダクタ配線320は、いずれも、第1パッド322から第2パッド323へと電流が流れる。すなわち、インダクタ配線320の延び方向の一方側の第1端部及び他方側の第2端部の間で共通の方向で電流が流れる。この実施形態では、2つのインダクタ配線320は、いずれも第1端部から第2端部へと電流が流れる。
図8に示すように、第1インダクタ配線320Aと第2インダクタ配線320Bとは、上面視正方形の第1層L31の各辺方向の一方である第1辺方向に並んでいる。第1インダクタ配線320Aの第1配線本体321Aは、上面視すると、第1層L31の第1辺方向の第1端と第1辺方向の中央との中間であって、第1辺方向と直交する第2辺方向の中央に位置する点近傍を中心として、渦巻状に延びている。具体的には、第1インダクタ配線320Aの第1配線本体321Aは、径方向外側の第1端から径方向内側の第2端側に向かって、反時計回りに渦巻き状に巻回されている。
本実施形態では、第1インダクタ配線320Aが巻回されている角度は、900度である。そのため、第1インダクタ配線320Aが巻回されているターン数は、本実施形態では2.5ターンとなっている。
第1インダクタ配線320Aは、導電性材料からなっており、本実施形態において、第1インダクタ配線320Aの組成は、銅の比率が99wt%以上で硫黄の比率が0.1wt%以上1.0wt%未満となっている。
第1配線本体321Aの延び方向における一方側の第1端には、第1パッド322Aが接続されている。第1パッド322Aは、上面視すると略楕円状となっている。第1パッド322Aは、第1インダクタ配線320Aの第1端部を構成している。第1パッド322Aは、上面視正方形の第2辺方向の一方側に配置されている。
第1配線本体321Aの延び方向における他方側の第2端には、第2パッド323Aが接続されている。第2パッド323Aは、上面視すると円形状となっている。第2パッド323Aは、第1インダクタ配線320Aの第2端部を構成している。
第1パッド322Aからは、第1ダミー配線330Aが第1層L31の側面まで延びていて、インダクタ部品310の外面に露出している。第1ダミー配線330Aの材質は、第1インダクタ配線320Aと同一になっている。
第2インダクタ配線320Bは、上面視正方形の第1層L31の第1辺方向の中央に対して、第1インダクタ配線320Aとは反対側に配置されている。第2インダクタ配線320Bの第2配線本体321Bは、上面視すると、第1層L31の第1辺方向の第2端と第1辺方向の中央との中間であって、第1辺方向と直交する第2辺方向の中央に位置する点近傍を中心として、渦巻状に延びている。具体的には、第2インダクタ配線320Bの第2配線本体321Bは、径方向外側の第1端から径方向内側の第2端側に向かって、反時計回りに渦巻き状に巻回されている。
第2配線本体321Bの形状、大きさ及び材質は、第1配線本体321Aの形状と同一となっている。そのため、第2インダクタ配線320Bが巻回されている角度は900度であり、第2インダクタ配線320Bが巻回されているターン数は、2.5ターンとなっている。また、第2インダクタ配線320Bは、導電性材料からなっており、第2インダクタ配線320Bの組成は、銅の比率が99wt%以上で硫黄の比率が0.1wt%以上1.0wt%未満となっている。
第2配線本体321Bの延び方向における一方側の第1端には、第1パッド322Bが接続されている。第1パッド322Bは、上面視すると略楕円状となっている。第1パッド322Bは、第2インダクタ配線320Bの第1端部を構成している。第1パッド322Bは、上面視正方形の第2辺方向の一方側に配置されている。
第2配線本体321Bの延び方向における他方側の第2端には、第2パッド323Bが接続されている。第2パッド323Bは、上面視すると円形状となっている。第2パッド323Bは、第2インダクタ配線320Bの第2端部を構成している。
第1パッド322Bからは、第2ダミー配線330Bが第1層L31の側面まで延びていて、インダクタ部品310の外面に露出している。第2ダミー配線330Bの材質は、第2インダクタ配線320Bと同一になっている。
第1層L31において、インダクタ配線320の側面及びダミー配線330の側面は、第1絶縁部371で覆われている。すなわち、インダクタ配線320及びダミー配線330が、第1絶縁部371によって囲まれている。第1絶縁部371は、絶縁性の絶縁樹脂であり、インダクタ配線320よりも絶縁性が高くなっている。そして、インダクタ配線320と、ダミー配線330と、第1絶縁部371以外の部分は、第1磁性層341となっている。そのため、各インダクタ配線320の配線本体321の回転中心近傍や、上面視正方形状の第1層L31における第2方向の中央及び両端部分には、第1磁性層341が配置されている。
第1磁性層341は、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されている。そのため、第1磁性層341は、磁性体となっている。なお、図8においては、後述する第1柱状配線351、第2柱状配線352、第3柱状配線353、第4柱状配線354、第1外部端子391、第2外部端子392及び第3外部端子393を二点鎖線で示している。
図7に示すように、第1層L31の下面には、第1層L31と同じ平面視長方形状の第2層L32が積層されている。第2層L32は、第1ビア381と、第2ビア382と、第2絶縁部372と、第2磁性層342と、によって構成されている。
第1ビア381は、第1インダクタ配線320Aの第1パッド322Aの下側に配置されていて、第1パッド322Aに接続されている。第2ビア382は、第2インダクタ配線320Bの第1パッド322Bの下側に配置されていて、第1パッド322Bに接続されている。これらの第1ビア381及び第2ビア382は、円柱状となっており、軸線方向が積層方向と一致している。第1ビア381及び第2ビア382の積層方向の寸法は、第2層L32の積層方向の寸法と同一である。そのため、第1ビア381及び第2ビア382は、第2層L32を積層方向に貫通している。
第2絶縁部372は、インダクタ配線320と、ダミー配線330と、第1絶縁部371と、を下側から被覆している。すなわち、第2絶縁部372は、上記の各配線の下面のうちの第1ビア381及び第2ビア382が配置されている箇所以外の面を全て被覆している。第2絶縁部372は、上面視すると、第1絶縁部371の外縁よりも僅かに広い範囲を覆うような形状となっている。第2絶縁部372は、第1絶縁部371と同様の絶縁性の絶縁樹脂であり、インダクタ配線320より絶縁性が高くなっている。
第2層L32において、第1ビア381、第2ビア382及び第2絶縁部372を除く部分は、第2磁性層342となっている。そのため、第2層L32の上面視したときに各インダクタ配線320の配線本体321の回転中心近傍や、上面視正方形状の第2層L32における第2方向の中央及び両端部分には、第2磁性層342が配置されている。第2磁性層342は、上述した第1磁性層341と同様に、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されているため、磁性体となっている。
第2層L32の下面には、第1層L31と同じ平面視長方形状の第3層L33が積層されている。第3層L33は、第1柱状配線351と、第2柱状配線352と、第3磁性層343と、によって構成されている。
第1柱状配線351は、第1ビア381の下側に配置されていて、当該第1ビア381に接続されている。第2柱状配線352は、第2ビア382の下側に配置されていて、当該第2ビア382に接続されている。これらの第1柱状配線351及び第2柱状配線352は、柱状となっており、軸線方向が積層方向と一致している。第1柱状配線351及び第2柱状配線352の積層方向の寸法は、第3層L33の積層方向の寸法と同一である。そのため、第1柱状配線351及び第2柱状配線352は、第3層L33を積層方向に貫通している。
第3層L33において、第1柱状配線351及び第2柱状配線352を除く部分は、第3磁性層343となっている。そのため、第3磁性層343は、インダクタ配線320の下面に積層されている。第3磁性層343は、上述した第1磁性層341と同様に、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されているため、磁性体となっている。
第3層L33において、第3磁性層343の積層方向の寸法は、第1柱状配線351及び第2柱状配線352の積層方向の寸法と同一となっている。そのため、第1柱状配線351及び第2柱状配線352の下面は、第3磁性層343から露出している。
第3層L33の下面には、第1層L31と同じ平面視長方形状の第4層L34が積層されている。第4層L34は、第1外部端子391と、第3外部端子393と、被覆層396と、によって構成されている。
第1外部端子391は、第1柱状配線351の下側に配置されていて、第1柱状配線351及び第1ビア381を介して第1インダクタ配線320Aの第1パッド322Aに接続されている。第3外部端子393は、第2柱状配線352の下側に配置されていて、第2柱状配線352及び第2ビア382を介して第2インダクタ配線320Bの第1パッド322Bに接続されている。第1外部端子391及び第3外部端子393は、導電性の材料となっており、本実施形態では、銅、ニッケル、金の3層構造となっている。第1外部端子391及び第3外部端子393は、上面視すると、長方形状であり、第1柱状配線351よりも広い範囲を覆っている。
第4層L34のうち、第1外部端子391及び第3外部端子393以外の部分は、被覆層396となっている。被覆層396は、第3磁性層343よりも絶縁性が高く、本実施形態では、被覆層396は、ソルダーレジストとなっている。第4層L34のうち、第1外部端子391及び第3外部端子393の積層方向の寸法は、被覆層396の積層方向の寸法よりも大きくなっている。
第1層L31の上面には、第1層L31と同じ平面視長方形状の第5層L35が積層されている。第5層L35は、第3ビア383と、第4ビア384と、第5ビア385と、第6ビア386と、第3絶縁部373と、第4磁性層344によって構成されている。
第3ビア383は、第1インダクタ配線320Aの第1パッド322Aの上側に配置されていて、第1パッド322Aに接続されている。第4ビア384は、第1インダクタ配線320Aの第2パッド323Aの上側に配置されていて、第2パッド323Aに接続されている。第5ビア385は、第2インダクタ配線320Bの第1パッド322Bの上側に配置されていて、第1パッド322Bに接続されている。第6ビア386は、第2インダクタ配線320Bの第2パッド323Bの上側に配置されていて、第2パッド323Bに接続されている。これらの第3ビア383と、第4ビア384と、第5ビア385と、第6ビア386とは、円柱状となっており、軸線方向が積層方向と一致している。第3ビア383と、第4ビア384と、第5ビア385と、第6ビア386の積層方向の寸法は、第5層L35の積層方向の寸法と同一である。そのため、第3ビア383と、第4ビア384と、第5ビア385と、第6ビア386とは、第5層L35を積層方向に貫通している。
第3絶縁部373は、インダクタ配線320と、ダミー配線330と、第1絶縁部371と、を上側から被覆している。すなわち、第3絶縁部373は、上記の第1層L31に配置されている各配線の上面のうちの第3ビア383と、第4ビア384と、第5ビア385と、第6ビア386とが配置されている箇所以外の面を全て被覆している。第3絶縁部373は、上面視すると、第3絶縁部373の外縁よりも僅かに広い範囲を覆うような形状となっている。そのため、第3絶縁部373の形状は、第3ビア383と、第4ビア384と、第5ビア385と、第6ビア386とが配置されている箇所以外は、第2絶縁部372の形状と相似形状である。第3絶縁部373は、第1絶縁部371と同様の絶縁性の絶縁樹脂であり、インダクタ配線320より絶縁性が高くなっている。
インダクタ部品310において、第1絶縁部371と、第2絶縁部372と、第3絶縁部373とは、接続されており、これらによって、絶縁部370が構成されている。絶縁部370は、インダクタ配線320の外面の大部分を取り囲んで、被覆している。なお、第1絶縁部371と、第2絶縁部372と、第3絶縁部373と、区別して図示しているが、絶縁部370として一体化されている。また、絶縁部370の材質は、磁性粉を含まない非磁性体である。
第5層L35において、第3ビア383、第4ビア384、第5ビア385、第6ビア386及び第3絶縁部373を除く部分は、第4磁性層344となっている。第4磁性層344の形状は、第2磁性層342と同一形状となっている。第4磁性層344は、上述した第1磁性層341と同様に、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されているため、絶縁樹脂となっている。
第5層L35の上面には、第1層L31と同じ平面視長方形状の第6層L36が積層されている。第6層L36は、第3柱状配線353と、第4柱状配線354と、第5柱状配線355と、第6柱状配線356と、第5磁性層345と、によって構成されている。
第3柱状配線353は、第1インダクタ配線320Aの第1パッド322Aの上側に配置されていて、第3ビア383を介して第1パッド322Aと接続されている。第4柱状配線354は、第1インダクタ配線320Aの第2パッド323Aの上側に配置されていて、第4ビア384を介して第2パッド323Aと接続されている。第5柱状配線355は、第2インダクタ配線320Bの第1パッド322Bの上側に配置されていて、第4ビア384を介して第1パッド322Bと接続されている。第6柱状配線356は、第2インダクタ配線320Bの第2パッド323Bの上側に配置されていて、第6ビア386を介して第2パッド323Bと接続されている。第3柱状配線353、第4柱状配線354、第5柱状配線355及び第6柱状配線356は、円柱状となっており、円柱の軸線方向が積層方向と一致している。そのため、第3柱状配線353、第4柱状配線354、第5柱状配線355及び第6柱状配線356は、第6層L36を積層方向に貫通している。
第6層L36において、第3柱状配線353、第4柱状配線354、第5柱状配線355及び第6柱状配線356を除く部分は、第5磁性層345となっている。そのため、第5磁性層345は、インダクタ配線320の上面に積層されている。第5磁性層345は、上述した第1磁性層341と同様に、樹脂と金属磁性粉との混合体で構成されているため、磁性体となっている。
インダクタ部品310において、第1磁性層341と、第2磁性層342と、第3磁性層343と、第4磁性層344と、第5磁性層345と、は接続されており、これらによって、磁性層340が構成されている。磁性層340は、インダクタ配線320を取り囲んでいる。このように、磁性層340は、インダクタ配線320に対して閉磁路を構成している。なお、第1磁性層341と、第2磁性層342と、第3磁性層343と、第4磁性層344と、第5磁性層345と、は区別して図示しているが、磁性層340として一体化されている。
第5磁性層345の積層方向の寸法は、第6層L36の積層方向の寸法と同一となっている。そのため、第3柱状配線353、第4柱状配線354、第5柱状配線355及び第6柱状配線356の上面は、第5磁性層345から露出している。
第6層L36の上面には、第1層L31と同じ平面視長方形状の第7層L37が積層されている。第7層L37は、第2外部端子392と、第4外部端子394と、第5外部端子395と、被覆層397と、によって構成されている。
第4外部端子394は、第1柱状配線351の上側に配置されていて、第1柱状配線351及び第3ビア383を介して第1インダクタ配線320Aの第1パッド322Aに接続されている。第5外部端子395は、第2柱状配線352の上側に配置されていて、第2柱状配線352及び第5ビア385を介して第2インダクタ配線320Bの第1パッド322Bに接続されている。第4外部端子394及び第5外部端子395は、導電性の材料となっており、本実施形態では、銅、ニッケル、金の3層構造となっている。第4外部端子394は、上面視すると、長方形状であり、第3柱状配線353よりも広い範囲を覆っている。第5外部端子395は、上面視すると、長方形状であり、第5柱状配線355よりも広い範囲を覆っている。本実施形態においては、第4外部端子394は、2つ目の第1外部端子として機能しているとともに、第5外部端子395は、2つ目の第3外部端子として機能している。
第2外部端子392は、第4柱状配線354及び第6柱状配線356の上側において第4柱状配線354及び第6柱状配線356を跨るように配置されていて、第4柱状配線354及び第6柱状配線356のいずれにも接続されている。また、第2外部端子392は、第4柱状配線354及び第6柱状配線356を介して、第1インダクタ配線320Aの第2パッド323A及び第2インダクタ配線320Bの第2パッド323Bに接続されている。第2外部端子392は、導電性の材料となっており、本実施形態では、銅、ニッケル、金の3層構造となっている。第2外部端子392は、上面視すると、2つのインダクタ配線320の並び方向に長い長方形状となっている。第2外部端子392は、上面視すると、第4柱状配線354及び第6柱状配線356を覆う大きさとなっている。
第7層L37のうち、第2外部端子392、第4外部端子394及び第5外部端子395以外の部分は、被覆層397となっている。被覆層397は、第5磁性層345よりも絶縁性が高く、本実施形態では、被覆層397は、ソルダーレジストとなっている。第2外部端子392、第4外部端子394及び第5外部端子395の積層方向の寸法は、被覆層397の積層方向の寸法よりも大きくなっている。
図9に示すように、第1層L31の厚さと、第3層L33の厚さと、第6層L36の厚さは略同一となっている。また、第2層L32の厚さと、第5層L35の厚さとは、略同一となっており、これらの厚さは、第1層L31の厚さよりも小さい。さらに、第4層L34の厚さと、第7層L37との被覆層397の厚さは同一であり、第2層L32の厚さと略同一である。
次に、上記第4実施形態の作用及び効果を説明する。上記第1実施形態の(2)、(3)、の効果に加えて、以下の効果を奏する。
(9)上記第4実施形態によれば、第1インダクタ配線320Aの第2パッド323Aに接続されている第4柱状配線354と、第2インダクタ配線320Bの第2パッド323Bに接続されている第6柱状配線356とには、1つの第2外部端子392が接続されている。そのため、仮に、第4柱状配線354及び第6柱状配線356に、別々の第2外部端子392が接続されているような場合と比べて、第2外部端子392の数が少なくなる。よって、インダクタ部品10を設計するうえで、第2外部端子392の数を少なく設定できるため、設計自由度が向上し、インダクタ部品10全体としての大型化を抑制できる。
<インダクタ部品実装基板の実施形態>
以下、インダクタ部品実装基板の実施形態を説明する。以下では、第1実施形態で説明したインダクタ部品10を実装したインダクタ部品実装基板を説明する。なお、この実施形態において、第1実施形態と同一の符号は、第1実施形態と同じ構成であるため、その説明を省略する。
図10に示すように、インダクタ部品実装基板400は、インダクタ部品10と、インダクタ部品10が実装される基板410と、によって構成されている。基板410は、板状となっており、インダクタ部品10よりも、面方向に大きくなっている。
基板410の厚さ方向一方側の第1面には、インダクタ部品10が表面実装される。基板410内には、4つの入力配線420が配置されている。入力配線420の延び方向における第1端は、図示は省略するが、直流電源の高電位側端子に接続される。そのため、インダクタ部品10の第1垂直配線として機能する第1柱状配線51、第3垂直配線として機能する第3柱状配線53及び第4垂直配線として機能する第4柱状配線54は、入力電圧が印加される入力側として機能する。
入力配線420の延び方向における第2端は、基板410の第1面に露出している。入力配線420の第2端の露出箇所は、インダクタ部品10を基板410に実装するときに、第1柱状配線51、第3柱状配線及び第4柱状配線54と接続されるように配置されている。具体的には、4つの入力配線420のうち、第1入力配線420Aは、第1柱状配線51に接続されており、第2入力配線420Bは、第3柱状配線53に接続されている。また、図示は省略するが、2つの第3入力配線は、第4柱状配線54に接続されている。したがって、入力配線420の数は、インダクタ配線20の第1垂直配線の数と等しくなっている。
また、基板410内には、1つの出力配線430が配置されている。出力配線430の延び方向における第1端は、基板410の第1面に露出している。出力配線430の第1端の露出箇所は、インダクタ部品10の基板410に実装するときに、インダクタ部品10の第2柱状配線52と接続されるように配置されている。そのため、インダクタ部品10の第2柱状配線52は、入力電圧より低い出力電圧が印加され、出力側として機能する。
次に、上記インダクタ部品実装基板の実施形態の作用及び効果を説明する。上記第1実施形態の(1)~(4)の効果に加えて、以下の効果を奏する。
(10)上記インダクタ部品実装基板の実施形態によれば、複数のインダクタ配線20を備えるインダクタ部品10を実装したうえで、インダクタ配線20の第1端部を入力側、インダクタ配線20の第2端部を出力側として、使用できる。
上記各実施形態は以下のように変更して実施することができる。各実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で組み合わせて実施することができる。
・上記各実施形態において、インダクタ配線とは、電流が流れた場合に磁性層に磁束を発生させることによって、インダクタ部品にインダクタンスを付与できるものであれば、よい。
・上記各実施形態において、インダクタ配線の形状は、各実施形態の例に限られない。よって、第1実施形態や第2実施形態において、インダクタ配線が1.0ターン以上の曲線状や0ターンの直線状となっていてもよい。さらに、第3実施形態や第4実施形態において、インダクタ配線が1.0ターン未満の曲線状や0ターンの直線状となっていてもよい。より具体的には、図11に示すように、直線状のインダクタ配線520を備えたインダクタ部品510であってもよい。この場合、第1層L51において、インダクタ配線520の配線本体521が直線状となっており、配線本体521の延び方向の第1端には、第1パッド522が接続されており、配線本体521の延び方向の第2端には、第2パッド523が接続されている。なお、第1層L51において、インダクタ配線520及びダミー配線530を除く部分は、磁性層541となっている。また、図11に示すように、4つのインダクタ配線520の全体が、第2パッド23を中心として放射状に延びていてもよいし、第1実施形態において、インダクタ配線20の配線本体21が、すべて曲線状となっていてもよい。さらに、複数のインダクタ配線のうちの一部が、他のインダクタ配線と異なる形状であってもよい。また、各実施形態において、インダクタ配線がミアンダ形状であってもよい。
・上記各実施形態において、インダクタ配線の構造は、各実施形態の例に限られない。例えば、インダクタ配線において、第1パッド及び第2パッドを省略してもよいし、第1パッド及び第2パッドの形状は、上記各実施形態の例に限られない。少なくとも、インダクタ配線の第1端部に第1垂直配線が接続され、インダクタ配線の第2端部に第2垂直配線が接続されていればよい。
・上記第1実施形態において、第3インダクタ配線20Cは、第2端部が、必ずしも第2パッド23となっていなくてもよく、複数の第3インダクタ配線20Cのうち、一部の第3インダクタ配線20Cの第2端部が第2パッド23となっていてもよい。
・上記第1実施形態及び第2実施形態において、第3インダクタ配線のうち、全ての第3インダクタ配線における第2端部が第2垂直配線に接続されていなくてもよい。例えば、2つの第3インダクタ配線のうち、一方の第3インダクタ配線は第2柱状配線に接続されており、他方の第3インダクタ配線は第2垂直配線とは異なる第5垂直配線に接続されていてもよい。この場合、第5垂直配線は、磁性層を貫通して磁性層の外面に露出していればよい。また、4つのインダクタ配線のうち、2つのインダクタ配線の第2端部が1つの第2パッドとなっており、他の2つのインダクタ配線の第2端部がもう1つの第2パッドとなっていてもよい。3つ以上のインダクタ配線を備える場合、少なくとも2つのインダクタ配線の第2端部に共通の第2垂直配線が接続されていればよく、例えば、4つのインダクタ配線を備える場合には、3つのインダクタ配線の第2端部に共通の第2垂直配線が接続されていてもよい。
・上記各実施形態において、第1パッド及び第2パッドの形状は、上記各実施形態の例に限られない。例えば、第1パッド及び第2パッドの形状は、平面視楕円形や平面視多角形であってもよい。
・上記各実施形態において、インダクタ配線の組成は、上記各実施形態の例に限られない。
・上記各実施形態において、磁性層の組成は、上記各実施形態の例に限られない。例えば、磁性層の材質は、フェライト粉であってもよいし、フェライト粉と金属磁性粉との混合物であってもよい。
・上記各実施形態において、磁性層は一体化されていなくてもよい。例えば、第1実施形態において、第1磁性層41と、第2磁性層42と、第3磁性層43とは、別体として構成されていてもよい。
・上記各実施形態において、インダクタ配線の数は、上記各実施形態の例に限られない。インダクタ配線の数は少なくとも2つ以上あればよい。
・上記第各実施形態において、インダクタ配線同士の長さの関係は、上記各実施形態の例に限られない。例えば、第1実施形態において、インダクタ配線20毎に配線本体21の長さが異なっていてもよい。
・上記各実施形態において、ダミー配線の配置は、上記各実施形態の例に限られない。例えば、図11に示すように、ダミー配線530が、第1層L51の角に向かって延びていてもよい。また、上記各実施形態において、ダミー配線を省略してもよい。
・上記各実施形態において、各層の形状は、上記各実施形態の例に限られない。例えば、平面視多角形や、平面視円形、平面視楕円形であってもよいし、これらを組み合わせた形状であってもよい。
・上記第1実施形態において、角度ピッチθは、上記第1実施形態の例に限られない。インダクタ配線20の数が4つの場合、角度ピッチθが、45度より大きく180度より小さくなっていると、各インダクタ配線20の長さが等しい構造に設計しやすい。
・上記第2実施形態において、第1パッド間距離IDは、上記第2実施形態の例に限られない。具体的には、第1パッド間距離IDは、20倍以上であると、第1パッド122同士の第1パッド間距離IDは、金属磁性粉の粒子径の大きさに対して、充分に離隔しているといえる。そのため、2つの第1パッド122同士の短絡を防ぎやすい。また、金属磁性粉の粒子径の大きさのばらつき等に併せて適宜調整すればよい。
・上記第3実施形態及び第4実施形態において、絶縁部は省略されてもよい。一方で、上記第1実施形態及び第2実施形態において、絶縁部を備えていてもよい。また、絶縁部のうち、一部を省略してもよい。例えば、第3実施形態において、絶縁部270のうち、第2絶縁部272のみを備えていてもよい。
・上記第1実施形態、第2実施形態及び第3実施形態において、外部端子及び被覆層の構成を備えていてもよい。
・上記第4実施形態において、第1外部端子391、第2外部端子392、第3外部端子393、第4外部端子394及び第5外部端子395の構造は、上記第4実施形態の例に限られない。例えば、銅のみの層から構成されていてもよい。
・上記第4実施形態において、第1外部端子391及び第4外部端子394は、いずれか一方を省略してもよい。同様に、第3外部端子393及び第5外部端子395は、いずれか一方を省略してもよい。少なくとも、第1外部端子及び第3外部端子として機能する外部端子がそれぞれ1つあればよい。
・上記各実施形態において、第1垂直配線の数は、上記各実施形態の例に限られない。例えば、第1実施形態において、第1垂直配線が、第2層L2を貫通するとともに、インダクタ配線20の第1パッド22の下面に接続されていてもよい。
・上記各実施形態において、第1垂直配線の形状は、上記各実施形態の例に限られない。例えば、多角柱であってもよいし、円柱と多角柱との混合形状でもよい。
・上記各実施形態において、垂直配線は、絶縁層を貫通する配線と、磁性層を貫通する配線と、を含むものである。そのため、垂直配線は、例えば、インダクタ配線の端部から磁性層の外面まで、磁性層を貫通する柱状配線のみであってもよいし、磁性層の外面まで磁性層を貫通する柱状配線が、絶縁層を貫通するビアを介してインダクタ配線の端部に接続していてもよい。また、垂直配線を構成する部品同士は一体化していてなくてもよく、垂直配線とインダクタ配線は一体化していなくてもよい。
・上記インダクタ部品実装基板の実施形態において、実装されるインダクタ部品は、第1実施形態におけるインダクタ部品10に限られない。例えば、第4実施形態におけるインダクタ部品310が実装されてもよい。
・上記インダクタ部品実装基板の実施形態において、入力配線は、外部端子に接続されていてもよい。例えば、第4実施形態におけるインダクタ部品310が実装される場合、第1入力配線420Aは、第1外部端子として機能する第1外部端子391又は第4外部端子394に接続されるとともに、第2入力配線420Bは、第3外部端子として機能する第3外部端子393又は第5外部端子395に接続されてもよい。
10…インダクタ部品、20…インダクタ配線、20A…第1インダクタ配線、20B…第2インダクタ配線、20C…第3インダクタ配線、21…配線本体、22…第1パッド、23…第2パッド、30…ダミー配線、40…磁性層、41…第1磁性層、42…第2磁性層、43…第3磁性層、51…第1柱状配線、52…第2柱状配線、53…第3柱状配線、54…第4柱状配線、L1…第1層、L2…第2層、L3…第3層、θ…角度ピッチ、VL1…第1仮想直線、VL2…第2仮想直線、110…インダクタ部品、120…インダクタ配線、120A…第1インダクタ配線、120B…第2インダクタ配線、120C…第3インダクタ配線、121…配線本体、121A…外側配線本体、121B…内側配線本体、122…第1パッド、123…第2パッド、130…ダミー配線、140…磁性層、141…第1磁性層、142…第2磁性層、143…第3磁性層、151…第1柱状配線、152…第2柱状配線、153…第3柱状配線、154…第4柱状配線、L11…第1層、L12…第2層、L13…第3層、ID…第1パッド間距離、210…インダクタ部品、220A…第1インダクタ配線、220B…第2インダクタ配線、221A…第1配線本体、221B…第2配線本体、222A…第1パッド、222B…第1パッド、223A…第2パッド、223B…第2パッド、230A…ダミー配線、230B…ダミー配線、240…磁性層、241…第1磁性層、242…第2磁性層、243…第3磁性層、244…第4磁性層、245…第5磁性層、246…第6磁性層、247…第7磁性層、251…第1ビア、252…第2ビア、253…第3ビア、254…第4ビア、255…第5ビア、256…第6ビア、257…第1柱状配線、258…第2柱状配線、259…第3柱状配線、261…第1層接続配線、262…第3層接続配線、270…絶縁部、271…第1絶縁部、272…第2絶縁部、273…第3絶縁部、274…第4絶縁部、275…第5絶縁部、L21…第1層、L22…第2層、L23…第3層、L24…第4層、L25…第5層、L26…第6層、L27…第7層、310…インダクタ部品、320…インダクタ配線、320A…第1インダクタ配線、320B…第2インダクタ配線、321…配線本体、322…第1パッド、323…第2パッド、330…ダミー配線、340…磁性層、341…第1磁性層、342…第2磁性層、343…第3磁性層、344…第4磁性層、345…第5磁性層、351…第1柱状配線、352…第2柱状配線、353…第3柱状配線、371…第1絶縁部、372…第2絶縁部、373…第3絶縁部、381…第1ビア、382…第2ビア、383…第3ビア、384…第4ビア、385…第5ビア、386…第6ビア、391…第1外部端子、392…第2外部端子、393…第3外部端子、394…第4外部端子、395…第5外部端子、396…被覆層、397…被覆層、L31…第1層、L32…第2層、L33…第3層、L34…第4層、L35…第5層、L36…第6層、L37…第7層、400…インダクタ部品実装基板、410…基板、420…入力配線、420A…第1入力配線、420B…第2入力配線、430…出力配線、510…インダクタ部品、520…インダクタ配線、521…配線本体、522…第1パッド、523…第2パッド。

Claims (7)

  1. 磁性層の内部に配置され、延び方向の一方側の第1端部及び他方側の第2端部の間で共通の方向で電流が流れる第1、第2、第3インダクタ配線と、
    前記第1インダクタ配線の前記第1端部に接続され、前記磁性層を貫通して前記磁性層の外面に露出する第1垂直配線と、
    前記第1インダクタ配線の前記第2端部に接続され、前記磁性層を貫通して前記磁性層の外面に露出する第2垂直配線と、
    前記第2インダクタ配線の前記第1端部に接続され、前記磁性層を貫通して前記磁性層の外面に露出する第3垂直配線と、
    前記第3インダクタ配線の前記第1端部に接続され、前記磁性層を貫通して前記磁性層の外面に露出する第4垂直配線と、を備え、
    前記第2インダクタ配線の前記第2端部及び前記第3インダクタ配線の前記第2端部には、前記第2垂直配線が接続されており、
    前記第1インダクタ配線、前記第2インダクタ配線及び前記第3インダクタ配線は、配線本体と、前記配線本体に接続されているとともに前記第1端部を構成する第1パッドと、前記配線本体に接続されているとともに前記第2端部を構成する第2パッドと、を有しており、
    前記第1インダクタ配線、前記第2インダクタ配線及び前記第3インダクタ配線は、同一層内に配置されており、
    前記第1インダクタ配線の前記第2パッドは、前記第2インダクタ配線の前記第2パッドとなっているとともに、前記第3インダクタ配線の前記第2パッドとなっており、
    各インダクタ配線における前記配線本体の前記第2パッド側の端からの少なくとも一部は、放射状に延びており、
    前記第2パッドにて接続されている第1インダクタ配線、第2インダクタ配線及び第3インダクタ配線の総数をNとしたとき、
    前記各インダクタ配線において放射状に延びている部分の隣り合う前記インダクタ配線間の角度ピッチθは、360/2N<θ<360/0.5Nとなっている
    インダクタ部品。
  2. 前記第3インダクタ配線及び前記第4垂直配線が複数である
    請求項1に記載のインダクタ部品。
  3. 前記第2垂直配線は、前記第1インダクタ配線の層に直交する方向から視たとき、前記第1インダクタ配線の第1端部及び前記第2インダクタ配線の第1端部よりも、前記第1インダクタ配線の層の中央側に位置している
    請求項1又は請求項2に記載のインダクタ部品。
  4. 前記第1インダクタ配線及び前記第2インダクタ配線は、配線本体と、前記配線本体に接続されているとともに前記第1端部を構成する第1パッドと、前記配線本体に接続されているとともに前記第2端部を構成する第2パッドと、を有しており、
    前記第1インダクタ配線における前記配線本体の長さと、前記第2インダクタ配線における前記配線本体の長さとは、等しくなっている
    請求項1に記載のインダクタ部品。
  5. 前記第1インダクタ配線及び前記第2インダクタ配線のターン数は1.0ターン未満である
    請求項1~請求項4のいずれか1項に記載のインダクタ部品。
  6. 前記磁性層は、樹脂と金属磁性粉とを含んでおり、
    前記第1端部同士の最小の距離は、前記金属磁性粉の平均粒子径の20倍以上となっている
    請求項1~請求項5のいずれか1項に記載のインダクタ部品。
  7. 前記第1インダクタ配線及び前記第2インダクタ配線の外面のうち少なくとも一部は、前記第1インダクタ配線及び前記第2インダクタ配線よりも絶縁性の高い絶縁樹脂に被覆されている
    請求項1~請求項6のいずれか1項に記載のインダクタ部品。
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