JP7244630B2 - 配線基板、電子部品用パッケージおよび電子装置 - Google Patents

配線基板、電子部品用パッケージおよび電子装置 Download PDF

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Description

本発明は、配線基板、電子部品用パッケージおよび電子装置に関する。
近年、携帯電話機等の普及により、電子装置では、より高速化、大容量の情報を伝送するために電気信号の高周波化がすすめられている。高周波帯での周波数特性を良好とするために、半導体素子を収容するパッケージでは、リード端子と配線との接続部分において、リード端子の端部を先細り形状、先端に向かって厚さが漸次薄くなるような形状としている(例えば、特許文献1参照)。
特開2004-134614号公報
本開示の配線基板は、誘電体基板と、第1リード端子と、第2リード端子と、を備える。前記誘電体基板は、第1面と、前記第1面と反対側の第2面と、前記第1面および前記第2面に連なる第1側面と、を有する。前記第1面は、前記第1側面に沿って位置する、第1端子接続部および第2端子接続部を含む。前記第1リード端子は、前記第1端子接続部に接合される第1基部と、前記第1基部から延びる第1リード部と、を有する。前記第2リード端子は、前記第2端子接続部に接合される第2基部と、前記第2基部から延びる第2リード部と、を有する。前記第1基部の厚さは、前記第1リード部の厚さより大きい。
本開示の電子部品用パッケージは、基体と、前記基体に接合された、上記の配線基板と、を備える。
本開示の電子装置は、上記の電子部品用パッケージと、前記基体に実装された、前記配線基板と電気的に接続された電子部品と、を備える。
本開示の目的、特色、および利点は、下記の詳細な説明と図面とからより明確になるであろう。
第1実施形態に係る配線基板の斜視図である。 第1実施形態に係る配線基板の拡大平面図である。 第1実施形態に係る配線基板の拡大断面図である。 第1実施形態に係る配線基板の拡大斜視図である。 第2実施形態に係る配線基板の拡大断面図である。 第2実施形態に係る配線基板の拡大斜視図である。 第3実施形態に係る配線基板の拡大断面図である。 第3実施形態に係る配線基板の拡大斜視図である。 他の実施形態に係る電子部品用パッケージおよび電子装置の斜視図である。
以下、本開示の実施形態に係る配線基板、電子部品用パッケージおよび電子装置について、図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る配線基板の斜視図である。図2は、第1実施形態に係る配線基板の平面図である。図3は、第1実施形態に係る配線基板の拡大断面図である。図4は、第1実施形態に係る配線基板の拡大斜視図である。
第1実施形態については、図1~4を参照して以下に説明する。配線基板1は、誘電体基板10と、第1リード端子31と、第2リード端子32と、を備える。誘電体基板10は、第1面10aと、第1面10aと反対側の第2面10bと、第1面10aおよび第2面10bに連なる第1側面10cと、を有している。
誘電体基板10は、誘電体材料で構成される複数の絶縁層が積層されてなる積層体であってもよい。誘電体基板10は、たとえば平面視において、矩形状またはUの字形であってもよく、その他の形状であってもよい。誘電体材料としては、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、炭化珪素質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体または窒化珪素質焼結体のようなセラミック材料、またはガラスセラミック材料を用いることができる。
第1面10aは、第1側面10cに沿って位置する、第1端子接続部12および第2端子接続部13を含んでいる。第1端子接続部12は、第1リード端子31が接合されて電気的に接続され、第2端子接続部13は、第2リード端子32が接合されて電気的に接続される。本実施形態では、例えば、第1リード端子31は接地端子であり、第2リード端子32は、信号端子である。
なお、第1面10aには、第1側面10cに沿って、第1端子接続部12および第2端子接続部13が位置していればよく、第1端子接続部12および第2端子接続部13がそれぞれ複数ずつであってもよい。後述する第3端子接続部も同様に複数あってもよい。本実施形態では、第1側面10cに沿って、例えば、第2端子接続部13、第1端子接続部12、第3端子接続部14の順に繰り返し位置している。本実施形態では、2つの第1端子接続部12は、第1側面10cから離れる方向に延びており、互いに接続されていてもよく、それにより、接地電位が安定する。接地電位が安定することで、高周波信号の周波数特性が向上する。
第1端子接続部12は、第1リード端子と電気的に接続するために、例えば、金属層(以下では、第1金属層という)12aを含んでいてもよい。第2端子接続部13は、第2リード端子と電気的に接続するために、例えば、第2金属層13aを含んでいてもよい。第1金属層12aおよび第2金属層13aは、誘電体基板10の第1面10aに形成されたメタライズ層であってもよい。メタライズ層は、たとえば、タングステン、モリブデンおよびマンガンなどの金属材料からなり、さらにニッケルめっきまたは金めっきなどが施されていてもよい。
誘電体基板10は、絶縁層間に位置する配線導体および導体層などを含んでいてもよい。例えば、平面視において、第1金属層12aおよび第2金属層13aと重なる位置に、複数の配線導体および複数の導体層などが位置していてもよく、さらに貫通導体等でこれらが電気的に接続されていてもよい。複数の接地配線導体および複数の接地導体層は、電気的に接続されるとともに、第1金属層12aと電気的に接続される。複数の信号配線導体は、第2金属層13aと電気的に接続される。
第1リード端子31は、第1端子接続部12に接合材を介して接合される。第2リード端子32は、第2端子接続部13に接合材を介して接合される。第1リード端子31および第2リード端子32は、さらに外部の実装基板などに接続される。第1リード端子31および第2リード端子32には、例えば、金属材料を用いることができる。金属材料には、鉄、銅、ニッケル、クロム、コバルト、モリブデンまたはタングステンのような金属、あるいはこれらの金属の合金、たとえば銅-タングステン合金、銅-モリブデン合金、鉄-ニッケル-コバルト合金などを用いることができる。
第1リード端子31を第1端子接続部12に接合する接合材および第2リード端子32を第2端子接続部13に接合する接合材は、例えば、銀および銅を主成分とする銀銅ろう、または銀および銅にさらにスズを加えた低融点接合材(はんだ)などである。第1端子接続部12に第1リード端子31を接合する場合、接合材を第1端子接続部12上で溶融させ、第1リード端子31を溶融接合材に接触させた状態で、冷却して接合材を固化させる。第2端子接続部13に第2リード端子32を接合する場合も同様である。
第1リード端子31は、第1端子接続部12に接合される第1基部31aと、第1基部31aから延びる第1リード部31bと、を有している。第2リード端子32は、第2端子接続部13に接合される第2基部32aと、第2基部32aから延びる第2リード部32bと、を有している。第1リード部31bは、第1基部31aから誘電体基板10の外方に向かって延びている。第2リード部32bは、第2基部32aから誘電体基板10の外方に向かって延びている。第1リード端子31において、第1基部31aの厚さが、第1リード部31bの厚さより大きい。ここで、厚さは、誘電体基板10の第1面10aに垂直な方向の寸法である。
実装基板には、配線基板のリード端子が接合され、リード端子には外力が加わることになる。リード端子が細く薄いと、外力によって塑性変形が生じ、実装後の平坦性が低下するおそれがある。リード端子が太く厚いと、剛性が高く、外力によって配線との接続部分で配線ごと剥がれるなどの破損が生じるおそれがある。これにより、従来の配線基板では、リード端子部分の電気特性が変動し、高周波特性が低下してしまう。
本実施形態によれば、第1リード端子31において、厚さが異なる2つの部分で構成されており、第1端子接続部12に接合される側の第1基部31aの厚さを厚くしている。厚さが厚い第1基部31aによってリード端子全体の剛性を適度な大きさとし、厚さが薄い第1リード部31bが撓み、弾性変形する。これにより、実装時に配線基板1の傾きを低減して平坦性を向上させることができるとともに、配線基板1の損傷が生じることを低減することができる。リード端子部分の電気特性の変動が低減され、配線基板1の高周波特性を向上させることができる。
第2リード端子32は、第2基部32aと第2リード部32bとの厚さおよび幅が同じであり、第2リード端子32全体が帯状を有している。第2基部32aは、第2端子接続部13に接合され、第1面10aに平行に延びる直線状部分である。第2リード部32bは、第2基部32aに連なり、外方に延びるにつれて誘電体基板10から離れる屈曲部分32b1と屈曲部分32b1に連なり、第2基部32aと平行に延びる直線状部分32b2とからなる。第1リード端子31の第1基部31aと第2リード端子32の第2基部32aとでは、第1基部31aの厚さが、第2基部32aの厚さより大きくしてもよい。
また、第1基部31aの幅と第1リード部31bとの幅は、同じであってもよく、異なっていてもよい。本実施形態では、第1基部31aの幅が、第1リード部31bの幅より大きい。ここで、幅は、厚さに垂直かつリード部が延びる方向に垂直な方向の寸法である。第1リード部31bは、実装基板に直接接合される部分であり、この幅が小さいほど実装基板における配線幅を小さくして配線密度を高くすることができる。第1基部31aは、第1リード端子31の剛性を担う部分であり、この幅を第1リード部31bと同様に細くすると剛性も小さくなってしまうので、第1リード部31bの幅よりも大きくして、リード端子全体の剛性を適度な大きさとすることができる。例えば、第1リード端子31は、接地端子であり、第2リード端子32は、信号端子である。実装基板においては、接地配線も信号配線も同じ配線幅としてもよい。その場合には、第1リード部31bと第2リード部32bとの幅を同じとすればよい。第2リード端子32が、第2基部32aと第2リード部32bとの幅が同じであるので、第1基部31aの幅を、第2基部32bの幅より大きくすればよい。
誘電体基板10は、第1面10aおよび第1側面10cに開口している凹部11を有していてもよい。凹部11は、第1端子接続部12と第2端子接続部13との間に位置しており、凹部11が形成する空間によって第1端子接続部12と第2端子接続部13との間の電気的絶縁性が向上する。また、第2端子接続部13間にも凹部11と同様に凹部が設けられていてもよい。
凹部11の形状は特に限定されないが、本実施形態では、対向する2つの内側面が平行な直方体形状である。また、凹部11は、対向する2つの内側面が非平行なテーパ状、逆テーパ状などであってもよい。
誘電体基板10は、さらに、凹部11の内側面を覆う接地導体層11aを有していてもよい。接地導体層11aは、例えば、凹部11の内側面に形成されたメタライズ層であってもよい。メタライズ層は、たとえば、タングステン、モリブデンおよびマンガンなどの金属材料からなり、さらにニッケルめっきまたは金めっきなどが施されていてもよい。接地導体層11aは、例えば、誘電体基板10の接地配線導体または接地導体層もしくは第1端子接続部12(第1金属層12a)と電気的に接続することで、接地電位をさらに安定させることができる。
また、本実施形態では、第1端子接続部12は、その第1側面10c側の一部が、第2面10b側に凹んだ段差部20を含んでいてもよい。例えば、第1端子接続部12のうち、第1側面10cに連なる矩形状部分20aが、他の部分より一段(例えば、絶縁層の一層分に相当)第2面10b側に近い位置にある。このような段差部20を含む場合、第1金属層12aは、この段差部20にも設けられる。段差部20は、矩形状部分20a以外に、この矩形状部分20aと他の部分との間に位置する壁面部分20bを有しており、第1金属層12aは、壁面部分20bにも設けられる。段差部20を含まない場合と、段差部20を含む場合とを比較すると、段差部20を含む場合に、第1端子接続部12の面積、すなわち第1金属層12aの面積が、壁面部分20bの分だけ大きくなるので、接地電位がさらに安定する。
なお、本実施形態では、段差部20の形状を矩形状としているが、これに限らず、矩形状以外の多角形状または半円形状などであっても、壁面部分の分だけ第1端子接続部12の面積が大きくなるので、接地電位がさらに安定する。
本実施形態では、例えば、第1基部31aは、直方体形状または柱状を有しており、第1リード部31bは、第1基部31aより厚さが小さく、第1基部31aの端部に連なって外方に延びる帯状を有している。前述のとおり、第1端子接続部12には、第1基部31aが接合材を介して接合される。このとき、第1基部31aは、平面視において、段差部20と重なるように位置する。平面視において、第1基部31aの一部が、矩形状部分20aと重なっていればよく、第1基部31aの、矩形状部分20aと重なっている一部と、矩形状部分20aとは、間隔が空いている。第1リード端子31を第1端子接続部12に接続するときに、溶融状態の接合材が、この間隔に入り込み、固化することで、接合材のフィレットが形成される。これにより、第1リード端子31と第1端子接続部12との接合強度が向上する。
第1基部31aは、平面視において、段差部20と重なるように位置するとともに、第1基部31aの、第1リード部31b側の端部は、第1側面10cより外方に位置してもよい。第1基部31aの、第1リード部31bと反対側の端部は、第1端子接続部12の段差部20を除く残余の部分と接合している。第1基部31aは、平面視において、矩形状部分20aを跨ぐように位置しており、矩形状部分20aと重なる部分全体に接合材が入り込み強固に接合されている。
第1基部31aと第1リード部31bとの接続部分において、第1リード部31bが第1基部31aの端部に接続する位置は、厚さ方向のどの位置であってもよい。本実施形態では、第1基部31aの端部において、第1端子接続部12から厚さ方向に最も離れた位置に第1リード部31bが接続されている。具体的には、第1基部31aは、第1端子接続部12側の基部第1面31a1と、基部第1面31a1と反対側で基部第1面31a1に平行な基部第2面31a2と、を有している。第1リード部31bが、基部第2面31a2と面一なリード部第1面31b1を有している。第1リード部31bは、リード部第1面31b1に平行なリード部第2面31b2を有している。リード部第2面31b2は、第1基部31aの端面31a3に対して直交している。本実施形態の場合、図3に示すように、第1基部31aの、第1リード部31b側の端部(端面31a3)が第1側面10cより外方に位置している。
また、本実施形態では、配線基板1が、第3リード端子33をさらに備えていてもよい。誘電体基板10の第1面10aは、第1端子接続部12を挟んで第2端子接続部13と反対側に位置する第3端子接続部14を含み、第3端子接続部14に第3リード端子33が接合材を介して接合されている。第3リード端子33は、第2リード端子32と同様に信号端子であり、第2リード端子32と第3リード端子33との間に、接地端子である第1リード端子31が位置している。第3リード端子33は、第3端子接続部14に接合される第3基部と33a、第3基部33aから延びる第3リード部33bと、を有している。第1基部31aの厚さは、第2基部32aと同様に、第3基部33aの厚さより大きい。
第2リード端子32と第3リード端子33とは、いずれも信号端子である。これらが電磁結合した場合に、一方を伝送する電気信号が、他方を伝送する電気信号にノイズとして影響を与える、いわゆるクロストークノイズが発生する。第2リード部32bと第3リード部33bとの間の誘電体は空気であるので、リード部間での電磁結合は弱い。これに対して、第2基部32aと第3基部33aとの間には、誘電体基板10が存在するので、基部間での電磁結合が強くクロストークノイズが発生しやすい。第1リード端子31は接地端子であり、第2基部32aと第3基部33aとの間に位置する第1基部31aの厚さが、第2基部32aおよび第3基部33aの厚さより大きい。これにより、第3基部33aが、第2基部32aと第3基部33aとの間を電磁的に遮蔽し、基部間での電磁結合を弱めてクロストークの発生を低減することができる。
第3リード端子33の形状は、第2リード端子32と同じ形状であってもよく、異なっていてもよい。第3リード端子33の材料は、第2リード端子32と同じ金属材料であってもよく、異なっていてもよい。本実施形態では、第3リード端子33と第2リード端子32とが同じ材料からなり、同じ形状である。
本開示の第2実施形態について説明する。図5は、第2実施形態に係る配線基板の拡大断面図である。図6は、第2実施形態に係る配線基板の拡大斜視図である。本実施形態では、第1リード端子31の構成が異なっていること以外は第1実施形態と同じであるので、同じ構成には同じ参照符号を付して詳細な説明は省略する。
第1リード端子31は、第1基部31aと第1リード部31bとの間に位置し、これらを接続する接続部31cを有する。接続部31cは、第1基部31aの一表面と第1リード部31bの一表面とにそれぞれ連なる斜面またはR面を有する。本実施形態で、例えば、接続部31cがR面を有している。接続部31cは、基部第2面31a2およびリード部第1面31b1と面一な接続部第1面31c1を有している。接続部31cは、第1基部31aの基部第1面31a1と第1リード部31bのリード部第2面31b2とにそれぞれ連なる接続部第2面31c2を有しており、この接続部第2面31c2がR面となっている。これにより、実装基板への接合時に、第1リード端子31にリード部第1面31b1側から外力が加わったとしても、応力が分散されるので、第1基部31aと第1リード部31bとの間での破損を低減することができる。なお、接続部第2面31c2が斜面であってもR面と同様の効果を奏する。
本開示の第3実施形態について説明する。図7は、第3実施形態に係る配線基板の拡大断面図である。図8は、第3実施形態に係る配線基板の拡大斜視図である。本実施形態では、第1リード端子31の構成が異なっていること以外は第2実施形態と同じであるので、同じ構成には同じ参照符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態の第1リード端子31は、第1基部31aの基部第2面31a2に窪み部310を有する。窪み部310は、基部第2面31a2の一部が、基部第1面31a1側に退避して窪んだ部分である。窪み部310は、基部第2面31a2から基部第1面31a1側に切り欠かれた部分であってもよい。基部第2面31a2に窪み部310を設けることで、実効比誘電率が下がり、高周波特性を向上させることができる。
本実施形態の窪み部310は、接続部31c側の一端が、第1基部31aと接続部31cとの境界に位置している。これにより、第1基部31aと接続部31cとの境界での応力の負荷を低減させることができる。また本実施形態の窪み部310は、第1基部31aと接続部31cとの境界から窪み部310の底面に向かう内側壁310aが、基部第1面31a1および窪み部310の底面310bに対して傾斜している。内側壁310aは、基部第2面31a2に対して傾斜していてよい。これにより、剛性を保ちつつ、リード端子部分の応力の負荷が低減され、配線基板1の高周波特性を向上させることができる。
以下に、配線基板1の製造例について説明する。誘電体基板10は、たとえば複数の絶縁層が酸化アルミニウム質焼結体からなる場合であれば、次のようにして製作される。まず、酸化アルミニウムおよび酸化ケイ素等の原料粉末に適当な有機バインダおよび溶剤等を添加混合してスラリーを作製する。次に、スラリーをドクターブレード法等の成形法でシート状に成形することにより複数枚のセラミックグリーンシートを作製する。
その後、上記のセラミックグリーンシートを積層して、圧着する。最後にこの積層されたセラミックグリーンシートを還元雰囲気中において焼成するとともに、切断加工や打ち抜き加工により適当な形状とすることによって所望の形状からなる誘電体基板10を作製することができる。
第1金属層12a、第2金属層13aならびに接地導体および信号導体は、たとえば、タングステンやモリブデン、マンガン等の高融点の金属からなるメタライズ層からなる場合であれば、次のようにして形成することができる。まず高融点の金属の粉末を有機溶剤およびバインダとともによく混ざるように練って作製した金属ペーストを、絶縁層の上面や下面となるセラミックグリーンシートの所定部位にスクリーン印刷等の方法で印刷する。その後、これらの金属ペーストが印刷されたセラミックグリーンシートを積層するとともに圧着し、同時焼成する。以上の工程によって、誘電体基板10の上面および内層に、メタライズ層が第1金属層12a、第2金属層13aならびに接地導体および信号導体として被着される。また、第1金属層12a、第2金属層13aおよび各導体層には、表面にニッケルめっきまたは金めっきを設けてもよい。
貫通導体は、たとえば複数の絶縁層となるセラミックグリーンシートに貫通孔を設けておいて、貫通孔内に、各導体層を形成するのと同様の金属ペーストを充填する。それぞれのセラミックグリーンシートを積層するとともに圧着し、同時焼成することによって貫通導体を設けることができる。貫通孔は、たとえば金属ピンを用いた機械的な打ち抜き加工、またはレーザ光を用いた加工等の孔あけ加工によって形成することができる。金属ペーストの貫通孔への充填の際には、真空吸引等の手段を併用して金属ペーストの充填を容易なものとしてもよい。
一方、金属材料のインゴットに圧延加工法、打ち抜き加工法のような金属加工法を施すことによって、第1リード端子31、第2リード端子32および第3リード端子33を作製することができる。誘電体基板10の第1端子接続部12、第2端子接続部13および第3端子接続部14に、それぞれ第1リード端子31、第2リード端子32および第3リード端子33を、接合材を介して接合して配線基板1を作製することができる。
図9は、本開示の他の実施形態である電子部品用パッケージおよび電子装置の斜視図である。電子部品用パッケージ50は、基体2と、基体2に接合された配線基板1と、を備える。本実施形態では、U字状の配線基板1に側壁体4を取り付けて枠状にし、基体2の表面に接合している。基体2および側壁体4は、たとえば、鉄、銅、ニッケル、クロム、コバルト、モリブデンまたはタングステンのような金属、あるいはこれらの金属の合金、たとえば銅-タングステン合金、銅-モリブデン合金、鉄-ニッケル-コバルト合金などを用いることができる。このような金属材料のインゴットに圧延加工法、打ち抜き加工法のような金属加工法を施すことによって、基体2および側壁体4を構成する金属部材を作製することができる。
電子装置100は、電子部品用パッケージ50と、基体2に実装された、配線基板1と電気的に接続された電子部品3と、を備え、さらに蓋体5を備えている。
電子部品3は、例えば、レーザーダイオード(LD)またはフォトダイオード(PD)等の光半導体素子であってもよい。LDの場合には、側壁体4に貫通孔40を設けて光ファイバを取り付けてもよい。蓋体5は、枠状の配線基板1および側壁体4の上端に、電子部品用パッケージ50の内部を覆うように接合される。蓋体5は、例えば、鉄、銅、ニッケル、クロム、コバルト、モリブデンまたはタングステンのような金属、あるいはこれらの金属の合金、たとえば銅-タングステン合金、銅-モリブデン合金、鉄-ニッケル-コバルト合金などを用いることができる。このような金属材料のインゴットに圧延加工法、打ち抜き加工法のような金属加工法を施すことによって、蓋体5を構成する金属部材を作製することができる。
電子部品用パッケージ50の内部に電子部品3を搭載し、例えば、ボンディングワイヤなどで電子部品3と配線基板1とを電気的に接続する。さらに、蓋体5で内部を密閉する。
以上、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各実施形態の組み合わせおよび種々の変更等が可能である。例えば、電子部品用パッケージ50および電子装置100は、各実施形態およびこれらを組み合わせた配線基板1のいずれを備えていてもよい。さらに、特許請求の範囲に属する変更等は全て本発明の範囲内のものである。
1 配線基板
2 基体
3 電子部品
4 側壁体
5 蓋体
10 誘電体基板
10a 第1面
10b 第2面
10c 第1側面
11 凹部
12 第1端子接続部
12a 第1金属層
13 第2端子接続部
13a 第2金属層
14 第3端子接続部
20 段差部
20a 矩形状部分
20b 壁面部分
31 第1リード端子
31a 第1基部
31a1 基部第1面
31a2 基部第2面
31a3 端面
31b 第1リード部
31b1 リード部第1面
31b2 リード部第2面
31c 接続部
31c1 接続部第1面
31c2 接続部第2面
32 第2リード端子
32a 第2基部
32b 第2リード部
32b1 屈曲部分
32b2 直線状部分
33 第3リード端子
33a 第3基部
33b 第3リード部
40 貫通孔
50 電子部品用パッケージ
100 電子装置
310 窪み部
310a 内側面
310b 底面

Claims (16)

  1. 誘電体基板と、第1リード端子と、第2リード端子と、を備え、
    前記誘電体基板は、
    第1面と、前記第1面と反対側の第2面と、前記第1面および前記第2面に連なる第1側面と、を有し、
    前記第1面は、前記第1側面に沿って位置する、第1端子接続部および第2端子接続部を含み、
    前記第1リード端子は、前記第1端子接続部に接合される第1基部と、前記第1基部から延びる第1リード部と、を有し、
    前記第2リード端子は、前記第2端子接続部に接合される第2基部と、前記第2基部から延びる第2リード部と、を有し、
    前記第1基部の厚さが、前記第1リード部の厚さより大きい、配線基板。
  2. 前記第1基部の厚さが、前記第2基部の厚さより大きい、請求項1記載の配線基板。
  3. 前記第1基部の幅が、前記第1リード部の幅より大きい、請求項1または2に記載の配線基板。
  4. 前記第1基部の幅が、前記第2基部の幅より大きい、請求項3記載の配線基板。
  5. 前記第1基部は、前記第1端子接続部側の基部第1面と、前記基部第1面に平行な基部第2面と、を有し、
    前記第1リード部は、前記基部第2面と面一なリード部第1面を有する、請求項1~4のいずれか1つ記載の配線基板。
  6. 前記第1基部は、前記基部第2面に窪み部を有する、請求項記載の配線基板。
  7. 前記第1リード端子は、前記第1基部と前記第1リード部との間に位置し、前記第1基部の一表面と前記第1リード部の一表面とにそれぞれ連なる斜面またはR面を有する接続部をさらに有する、請求項記載の配線基板。
  8. 前記窪み部は、前記第1基部と前記接続部との境界に位置する一端を有する、請求項記載の配線基板。
  9. 前記第1基部と前記接続部との境界側に位置する前記窪み部の内側壁は、前記基部第1面に対して傾斜している、請求項記載の配線基板。
  10. 前記第1端子接続部は、前記第1側面側の一部が、前記第2面側に凹んだ段差部を含み、
    前記第1基部は、平面視において、前記段差部と重なるように位置する、請求項1~のいずれか1つに記載の配線基板。
  11. 前記第1基部のうち前記第1リード部側の端部は、平面視において、前記第1側面より外方に位置する、請求項10記載の配線基板。
  12. 前記第1リード端子は、接地端子である、請求項1~11のいずれか1つに記載の配線基板。
  13. 第3リード端子をさらに備え、
    前記第2リード端子および前記第3リード端子は、信号端子であり、
    前記第1面は、前記第1端子接続部を挟んで前記第2端子接続部と反対側に位置する第3端子接続部を含み、
    前記第3リード端子は、前記第3端子接続部に接合される第3基部と、前記第3基部から延びる第3リード部と、を有し、
    前記第1基部の厚さが、前記第3基部の厚さより大きい、請求項12に記載の配線基板。
  14. 前記誘電体基板は、
    前記第1面および前記第1側面に開口し、前記第1端子接続部と前記第2端子接続部との間に位置する凹部と、
    前記凹部の内側面に位置し、前記第1端子接続部に連なる導体層と、を有する、請求項1~13のいずれか1つに記載の配線基板。
  15. 基体と、
    前記基体に接合された、請求項1~14のいずれか1つに記載の配線基板と、を備える電子部品用パッケージ。
  16. 請求項15に記載の電子部品用パッケージと、
    前記基体に実装された、前記配線基板と電気的に接続された電子部品と、を備える電子装置。
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