JP7240847B2 - 感光性樹脂組成物及びそれから調製された硬化膜 - Google Patents
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Description
(A)シロキサンポリマーと、
(B)1,2-キノンジアジド系化合物と、
(C)下記式1で表される化合物と、を含む、感光性樹脂組成物を提供する。
R4は、C1-6アルキレン、ヒドロキシC1-6アルキレン、または
R5はC1-6アルキル、C2-6アルケニル、
R6はC1-6アルキレンであり、
R7はC1-4アルキルまたはC2-4アルケニルであり、
R8及びR9は、それぞれ独立して、水素またはC1-3アルキルであり、
m及びnはそれぞれ独立して、0~3の整数であるが、但し、m+nは3であり、
l及びpはそれぞれ独立して、0~3の整数であるが、但し、l+pは3であり、
Eはエポキシ基であり、
Yは
(A)シロキサンポリマーと、
(B)1,2-キノンジアジド系化合物と、
(C)下記式1で表される化合物と、を含む。
R4は、C1-6アルキレン、ヒドロキシC1-6アルキレン、または
R5はC1-6アルキル、C2-6アルケニル、
R6はC1-6アルキレンであり、
R7はC1-4アルキルまたはC2-4アルケニルであり、
R8及びR9は、それぞれ独立して、水素またはC1-3アルキルであり、
m及びnはそれぞれ独立して、0~3の整数であるが、但し、m+nは3であり、
l及びpはそれぞれ独立して、0~3の整数であるが、但し、l+pは3であり、
Eはエポキシ基であり、
Yは
シロキサンポリマー(またはポリシロキサン)を含む感光性樹脂組成物において、ポジ型パターンは露光から現像までの工程を含むプロセスによって形成することができる。
-Q型シロキサン構造単位:例えば4個の加水分解性基を有する四官能性シラン化合物またはシラン化合物の加水分解物から誘導され得る、ケイ素原子と、隣接する4個の酸素原子とを含むシロキサン構造単位。
[式2]
(R10)qSi(OR11)4-q
上記式2において、
qは0~3の整数であり、
R10は、それぞれ独立して、C1-12アルキル、C2-10アルケニル、C6-15アリール、3~12員ヘテロアルキル、4~10員ヘテロアルケニル、または6~15員ヘテロアリールであり、
R11は、それぞれ独立して、水素、C1-5アルキル、C2-6アシル、またはC6-15アリールであり、
上記ヘテロアルキル、ヘテロアルケニル、及びヘテロアリールは、それぞれ独立して、O、N、及びSからなる群から選択される少なくとも1個のヘテロ原子を有する。
1,2-キノンジアジド系化合物は、フォトレジスト分野で感光剤として用いられ、1,2-キノンジアジド系構造を有する化合物であれば特に限定されない。
本発明の感光性樹脂組成物は、上記式1で表される化合物を含むので、現像液の浸透が容易であり、優れた感度を生じさせる。また、優れた耐薬品性及び金属基板に対する接着性を生じさせる。
R5は、メチル、エチル、プロピル、エテニル(-C2H3)、プロペニル(-C3H5)、
R6はC1-3アルキレンであってもよく、
R7は、エチルまたはプロペニル(-C3H5)であってもよい。
エポキシ化合物は、樹脂組成物の内部密度を高め、そこから形成される硬化膜の耐薬品性を向上させることができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、その塗布性を向上させるために界面活性剤をさらに含んでいてもよい。
本発明の感光性樹脂組成物は、シラン化合物をさらに含有し、エポキシ化合物を伴うシロキサンポリマー中の反応性の高いシラノール基(Si-OH)の含有量を低減して後工程の処理の際の耐薬品性を向上させることができる。
(R12)oSi(OR13)4-o
上記式22において、oは0~3の整数であり、
R12は、それぞれ独立して、C1-12アルキル、C2-10アルケニル、C6-15アリール、3~12員ヘテロアルキル、4~10員ヘテロアルケニルまたは6~15員ヘテロアリールであり、
R13は、それぞれ独立して、水素、C1-5アルキル、C2-6アシル、またはC6-15アリールであり、
前記ヘテロアルキル、ヘテロアルケニル及びヘテロアリールは、それぞれ独立して、O、N及びSからなる群から選択される少なくとも1個のヘテロ原子を有する。
本発明の感光性樹脂組成物は、上記成分を溶媒に混合した液状組成物として調製することができる。溶媒は、例えば、有機溶媒であってもよい。
[等式1]
膜保持率(%)=(ポストベーク後の膜厚/プリベーク後の膜厚)×100
[等式2]
膨潤厚さ(Å)=後工程における化学物質への浸漬後の膜厚(T2)-後工程における化学物質への浸漬前の膜厚(T1)
本発明は、前記感光性樹脂組成物から形成された硬化膜を提供する。
還流冷却器を備えた反応器に、フェニルトリメトキシシラン40重量%、メチルトリメトキシシラン15重量%、テトラエトキシシラン20重量%、純水20重量%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート5重量% (PGMEA)を仕込み、混合物の全重量に基づき0.1重量%のシュウ酸触媒の存在下、7時間還流撹拌し、次いでそれを冷却した。その後、固形分が40重量%となるように反応混合物をPGMEAで希釈し、GPC分析を行った。その結果、このように合成したシロキサンポリマー(A-1)の重量平均分子量は6,800Daであった。
還流冷却器を備えた反応器に、フェニルトリメトキシシラン20重量%、メチルトリメトキシシラン30重量%、テトラエトキシシラン20重量%、純水15重量%、PGMEA15重量%を仕込み、混合物の総重量に基づいて0.1重量%のシュウ酸触媒の存在下で8時間撹拌し、次いでそれを冷却した。その後、固形分が30重量%となるように反応混合物をPGMEAで希釈し、GPC分析を行った。その結果、このように合成した第1のシロキサンポリマー(A-2)の重量平均分子量は約12,000Daであった。
還流冷却器を備えた反応器に、フェニルトリメトキシシラン20重量%、メチルトリメトキシシラン30重量%、テトラエトキシシラン20重量%、純水15重量%、PGMEA15重量%を仕込み、混合物の全重量に基づいて0.1重量%のシュウ酸触媒の存在下で7時間撹拌し、次いでそれを冷却した。その後、固形分が30重量%となるように反応混合物をPGMEAで希釈し、GPC分析を行った。その結果、このように合成した第2のシロキサンポリマー(A-3)の重量平均分子量は約12,000Daであった。
冷却管を備えた三つ口フラスコを、自動温度調節器を備えた撹拌機の上に置いた。このフラスコにグリシジルメタクリレート(100モル%)からなるモノマー100重量部、2,2’-アゾビス(2-メチルブチロニトリル)10重量部、PGMEA100重量部を仕込み、フラスコに窒素を充填する。その後、溶液をゆっくりと撹拌しながらこの溶液の温度を80℃まで昇温し、この温度を5時間保持して重量平均分子量約8,600Daを有するエポキシ化合物を得た。その後、PGMEAを加えてその固形分濃度を20重量%に調整した。
-1,2-キノンジアジド化合物(B-1):MIPHOTO TPA517(2-ジアゾ-1-ナフトン-5-スルホニルクロライドのエステル化合物)、Miwon Commercial Co.,Ltd.
-1,2-キノンジアジド化合物(B-2):MIPHOTO BIOC25(2-ジアゾ-1-ナフトン-5-スルホニルクロライドのエステル化合物)、Miwon Commercial Co.,Ltd.
-下記式8で表される化合物(C-1):
-シラン化合物(F):フェニルトリメトキシシラン(PhTMOS)、OFS-6124、Xiameter
-溶媒(G-1):プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、Chemtronics
-溶媒(G-2):γ-ブチロラクトン(GBL)、BASF
合成例1で調製したシロキサンポリマー(A-1)32.85重量部、合成例2で調製した第1のシロキサンポリマー(A-2)32.85重量部、合成例3で調製した第2のシロキサンポリマー(A-3)34.3重量部の混合物(またはバインダー)を得た。次いで、この混合物100重量部を、固形分に基づいて、1,2-キノンジアジド系化合物(B-1)17.8重量部、1,2-キノンジアジド系化合物(B-1)0.7重量部、2)、上記式(8)で表される化合物(C-1)1.5重量部、合成例4で調製したエポキシ化合物(D)14.3重量部、界面活性剤(E)0.35重量部、シランモノマー(F)7.4重量部と均一に混合した。この混合物を、固形分が22重量%となるように93:7の重量比のPGMEA(G-1)とGBL(G-2)の混合溶媒に溶解した。この溶液を1時間撹拌し、孔径0.2μmのメンブレンフィルターでろ過し、固形分22重量%の感光性樹脂組成物を得た。
シロキサンポリマー(A-1、A-2、A-3)、上記式8で表される化合物(C-1)、上記式11で表される化合物(C-2)、上記式23で表される化合物(C-3)、及びエポキシ化合物(D)を、下記表1に示すような固形分に基づいて調整した以外は実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物を調製した。
実施例及び比較例で調製された樹脂組成物をスピンコートによりそれぞれガラス基板上に塗布した。その後、塗布した基板を105℃で保持したホットプレート上で90秒間プリベークを行い、乾燥膜を形成した。乾燥膜を1μm~20μmのサイズの正方形の孔及びラインのパターンを有しかつグレースケールで同じパターン配列を有するマスクを介して、波長200nm~450nmの光を照射するアライナ(型名:MA6)を用いて、波長365nmに基づく照射線量率70mJ/cm2で一定時間露光した。その後、それを2.38重量%のTMAH水溶液現像液を用いてパドルノズルを介して23℃で現像した。次いで、波長200nm~450nmの光を照射するアライナー(型名:MA6)を用いて、波長365nmに基づく照射線量率200mJ/cm2で一定時間それを露光して光退色させた。このようにして得られた露光膜を230℃の対流式オーブンで30分間加熱して、厚さ2.0μmを有する硬化膜を調製した。
実施例及び比較例で調製された樹脂組成物をスピンコートによりそれぞれガラス基板上に塗布した。その後塗布した基板を105℃保持したホットプレート上で90秒間プリベークしてプリベーク膜を形成した。プリベーク膜を、2.38重量%のTMAH水溶液現像液を用いてパドルノズルを介して23℃で現像した。次いで、波長200nm~450nmの光を照射するアライナー(型名:MA6)を用いて、波長365nmに基づく照射線量率200mJ/cm2で一定時間それを露光した(すなわち、漂白工程)。その後、得られた露光膜を230℃の対流式オーブンで30分間加熱して、厚さ2μmを有する硬化膜を調製した。膜保持率(%)は、2次元及び3次元表面測定装置(商品名:SIS2000、製造元:SNU Precision)を用いて、プリベーク後の膜厚に対するポストベーク後の膜厚のパーセントによる割合を算出することによって、以下の等式1から得た。数値が高いほど、膜保持率が良好である。
[等式1]
膜保持率(%)=(ポストベーク後の膜厚/プリベーク後の膜厚)×100
実施例及び比較例で調製された樹脂組成物をスピンコートによりそれぞれガラス基板上に塗布した。その後、塗布した基板を105℃保持したホットプレート上で90秒間プリベークして乾燥膜を形成した。乾燥膜を2.38重量%のTMAHの水溶液現像液を用いてパドルノズルを介して23℃で60秒間現像した。次いで、パターンマスクを用いずに、波長200nm~450nmの光を照射するアライナー(型名:MA6)を用いて、波長365nmに基づく照射線量率200mJ/cm2で一定時間それを露光した(すなわち、漂白工程)。その後、得られた露光膜を230℃の対流式オーブンで30分間加熱して、厚さ2μmを有する硬化膜を調製した。非接触型膜厚測定装置(SNU Precision)を用いて硬化膜の膜厚(T1)を測定した。次に、50℃に保たれた恒温槽にリワーク薬品(商品名:TOK-106)を入れた。硬化膜を2分間リワーク薬品に浸漬した。リワーク薬品を空気で除去した後、膜厚(T2)を測定した。この測定値から下記等式2(耐薬品性の評価試験時の膨潤厚さの算出)により耐薬品性を算出した。
[等式2]
膨潤厚さ(Å)=リワーク薬品中に浸漬時の膜厚(T2)-リワーク薬品中に浸漬前の膜厚(T1)
膨潤厚さが小さいほど、耐薬品性は良好である。
試験例1と同様にして調製した硬化膜について、光学顕微鏡(Olympus、STM6-LM)を用いてEOP領域の線幅1~20μmを有するラインパターンを観察した。ラインパターンが基板に完全に接着した最小線幅(μm)を評価基準として採用した。撮影した写真を図1~20に示す。
実施例及び比較例で調製された樹脂組成物をスピンコートによりそれぞれITOガラス基板上に塗布した。その後、塗布した基板を105℃で保持したホットプレート上で90秒間プリベークを行い、乾燥膜を形成した。その後、乾燥膜を2.38重量%のTMAHの水溶液現像液を用いてストリームノズル介して23℃で60秒間現像した。次いで、パターンマスクを用いずに、波長200nm~450nmの光を照射するアライナー(型名:MA6)を用いて、波長365nmに基づく照射線量率200mJ/cm2で一定時間それを露光した(すなわち、漂白工程)。その後、得られた露光膜を230℃の対流式オーブンで30分間加熱し、厚さ2μmの硬化膜を調製した。次に、50℃に保たれた恒温槽にリワーク用薬品(商品名:TOK-106)を入れた。硬化膜を2分間リワーク薬品に浸漬した。リワーク薬品を空気で除去した後、硬化膜をASTM D 3359に従ってクロスカット試験に付した。
Claims (10)
- 感光性樹脂組成物であって、
(A)シロキサンポリマーと、
(B)1,2-キノンジアジド系化合物と、
(C)下記式1で表される化合物と、を含み、
R4は、C1-6アルキレン、ヒドロキシC1-6アルキレン、または
R5はC1-6アルキル、C2-6アルケニル、
R6はC1-6アルキレンであり、
R7はC1-4アルキルまたはC2-4アルケニルであり、
R8及びR9は、それぞれ独立して、水素またはC1-3アルキルであり、
m及びnはそれぞれ独立して、0~3の整数であるが、但し、m+nは3であり、
l及びpはそれぞれ独立して、0~3の整数であるが、但し、l+pは3であり、
Eはエポキシ基であり、
Yは
ただし、R 1 、R 2 、及びR 3 の全てが-R 4 -Y-R 5 である場合、R 5 の少なくとも1つは、
mは0~2の整数であり及びnは1~3の整数であるが、但し、m+nは3であり、
pは0~2の整数であり及びlは1~3の整数であるが、但し、l+pは3である、感光性樹脂組成物。 - 前記シロキサンポリマー(A)は、下記式2で表されるシラン化合物から誘導される構造単位を含み、
[式2]
(R10)qSi(OR11)4-q
式中、qは0~3の整数であり、
R10は、それぞれ独立して、C1-12アルキル、C2-10アルケニル、C6-15アリール、3~12員ヘテロアルキル、4~10員ヘテロアルケニル、または6~15員ヘテロアリールであり、
R11は、それぞれ独立して、水素、C1-5アルキル、C2-6アシル、またはC6
-15アリールであり、
前記ヘテロアルキル、前記ヘテロアルケニル、及び前記ヘテロアリールは、それぞれ独立して、O、N、及びSからなる群から選択される少なくとも1個のヘテロ原子を有する、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 - 前記シロキサンポリマー(A)は、上記式2(式中、qが0である)で表される化合物から誘導される構造単位を含む、請求項2に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記シロキサンポリマー(A)は、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)の水溶液中で溶解速度の異なる2種以上のシロキサンポリマーの混合物であり、
前記シロキサンポリマー混合物は、(A-1)2.38重量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシドの水溶液中で、プリベーク時に400~2,000Å/秒の溶解速度を有する第1のシロキサンポリマーと、(A-2)1.5重量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシドの水溶液中で、プリベーク時に1,900~8,000Å/秒の溶解速度を有する第2のシロキサンポリマーとを含む、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 - 前記シロキサンポリマー(A)は、前記シロキサンポリマーの総重量に基づいて1~40重量%の前記第2のシロキサンポリマー(A-2)を含む、請求項4に記載の感光性樹脂組成物。
- 上記式1で表される前記化合物(C)は、固形分に基づいて100重量部の前記シロキサンポリマー(A)に基づいて、1.6~16重量部の範囲の量で用いられる、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- (D)エポキシ化合物、(E)界面活性剤、及び(F)シラン化合物からなる群から選択される少なくとも1種をさらに含む、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1に記載の感光性樹脂組成物から調製された硬化膜。
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