JP7249765B2 - ポジ型感光性樹脂組成物およびそれから調製された硬化膜 - Google Patents
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Description
そこで、本発明は、上記課題を解決するために、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等に用いられるポジ型感光性樹脂組成物、およびそれから調製される硬化膜を提供することを目的とする。ポジ型感光性樹脂組成物は、アクリル樹脂とシロキサンポリマーの両方をバインダーとして含む。シロキサンポリマーの末端、すなわち、シロキサンポリマーのシラノール基に、感光性を有するジアゾキノン基が導入される。ジアゾキノン基は露光時に光により活性化されるため、現像時に未露光領域で溶解が抑制され、露光領域では溶解速度が維持される。これにより、接着性および膜保持率をさらに向上させることができる。
(R1)nSi(OR2)4-n
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、光により活性化される感光性基を末端に含むシロキサンコポリマー(またはポリシロキサン)を含む。この場合、感光性基は、スルホン化ジアゾキノン系化合物に由来するスルホン化ジアゾキノン基であってもよい。その詳細を以下に示す。
(R1)nSi(OR2)4-n
本発明によるポジ型感光性樹脂組成物は、アクリル系コポリマー(B)を含んでいてもよい。
構造単位(b-1)は、エチレン性不飽和カルボン酸、エチレン性不飽和カルボン酸無水物、またはそれらの組み合わせに由来する。エチレン性不飽和カルボン酸、エチレン性不飽和カルボン酸無水物、またはそれらの組み合わせは、分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を含有する重合性不飽和化合物である。それは、不飽和モノカルボン酸、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α-クロロアクリル酸、および桂皮酸;不飽和ジカルボン酸、およびその無水物、例えば、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、およびメサコン酸;3価以上の不飽和ポリカルボン酸、およびその無水物;ならびに2価以上のポリカルボン酸のモノ[(メタ)アクリロイルオキシアルキル]エステル、例えば、モノ[2-(メタ)アクリロイルオキシエチル]スクシネート、モノ[2-(メタ)アクリロイルオキシエチル]フタレート、から選択される少なくとも1つであってもよい。しかし、これらに限定されるものではない。上記の中では、(メタ)アクリル酸が、現像性の観点から好ましい。
構造単位(b-2)は、エポキシ基を含有する不飽和モノマーに由来する。エポキシ基を含有する不飽和モノマーの特定の例としては、グリシジル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル、3,4-エポキシブチル(メタ)アクリレート、4,5-エポキシペンチル(メタ)アクリレート、5,6-エポキシヘキシル(メタ)アクリレート、6,7-エポキシヘプチル(メタ)アクリレート、2,3-エポキシシクロペンチル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、α-エチルグリシジルアクリレート、α-n-プロピルグリシジルアクリレート、α-n-ブチルグリシジルアクリレート、N-(4-(2,3-エポキシプロポキシ)-3,5-ジメチルベンジル)アクリルアミド、N-(4-(2,3-エポキシプロポキシ)-3,5-ジメチルフェニルプロピル)アクリルアミド、アリルグリシジルエーテル、2-メチルアリルグリシジルエーテル、およびそれらの組み合わせが挙げられる。室温での貯蔵安定性、および溶解性の観点から、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル、またはそれらの混合物が好ましい。
構造単位(b-3)は、構造単位(b-1)および(b-2)とは異なるエチレン性不飽和化合物に由来する。構造単位(b-1)および(b-2)とは異なるエチレン性不飽和化合物は、芳香族環を有するエチレン性不飽和化合物、例えば、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2-フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、p-ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、p-ノニルフェノキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、トリブロモフェニル(メタ)アクリレート、スチレン、メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エチルスチレン、ジエチルスチレン、トリエチルスチレン、プロピルスチレン、ブチルスチレン、ヘキシルスチレン、ヘプチルスチレン、オクチルスチレン、フルオロスチレン、クロロスチレン、ブロモスチレン、ヨードスチレン、メトキシスチレン、エトキシスチレン、プロポキシスチレン、p-ヒドロキシ-α-メチルスチレン、アセチルスチレン、ビニルトルエン、ジビニルベンゼン、ビニルフェノール、o-ビニルベンジルメチルエーテル、m-ビニルベンジルメチルエーテル、およびp-ビニルベンジルメチルエーテル;不飽和カルボン酸エステル、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、t-ブチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、エチルヘキシル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシ-3-クロロプロピル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、メチルα-ヒドロキシメチルアクリレート、エチルα-ヒドロキシメチルアクリレート、プロピルα-ヒドロキシメチルアクリレート、ブチルα-ヒドロキシメチルアクリレート、2-メトキシエチル(メタ)アクリレート、3-メトキシブチル(メタ)アクリレート、エトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシトリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ポリ(エチレングリコール)メチルエーテル(メタ)アクリレート、テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロイソプロピル(メタ)アクリレート、オクタフルオロペンチル(メタ)アクリレート、ヘプタデカフルオロデシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシブチル(メタ)アクリレート、4,5-エポキシペンチル(メタ)アクリレート、5,6-エポキシへキシル(メタ)アクリレート、および6,7-エポキシヘプチル(メタ)アクリレート;N-ビニル基を含有するN-ビニル三級アミン、例えば、N-ビニルピロリドン、N-ビニルカルバゾール、およびN-ビニルモルホリン;不飽和エーテル、例えば、ビニルメチルエーテル、およびビニルエチルエーテル;ならびに不飽和イミド、例えば、N-フェニルマレイミド、N-(4-クロロフェニル)マレイミド、N-(4-ヒドロキシフェニル)マレイミド、およびN-シクロヘキシルマレイミドからなる群より選択される少なくとも1つであってもよい。
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、上記成分を溶媒に混合した液状組成物の形態で調製されてもよい。溶媒は、例えば、有機溶媒であってもよい。
本発明によるポジ型感光性樹脂組成物は、1,2-キノンジアジド系化合物(D)をさらに含んでいてもよい。
本発明に従うポジ型感光性樹脂組成物は、シロキサンコポリマー(A)とともに、エポキシ化合物をさらに含んでもよい。エポキシ化合物は、樹脂組成物の内部密度を高め、それから形成される硬化膜の耐薬品性を向上させ得る。
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、下記の式5で表される少なくとも1つのシラン化合物、特に、T型および/またはQ型のシランモノマーを含んでもよく、それにより、シロキサンコポリマー中の反応性の高いシラノール基(Si-OH)の含有量を低減することにより、エポキシオリゴマー等のエポキシ化合物を伴う、プロセス後処理の際の耐薬品性を改善し得る。
(R5)nSi(OR6)4-n
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、必要に応じて、その塗布性を向上させるために界面活性剤をさらに含んでいてもよい。
本発明の感光性樹脂組成物は、基板との接着性を向上させるための接着補助剤をさらに含んでもよい。
工程1:シロキサンポリマーI
還流凝縮器を備えた反応器に、40重量%のフェニルトリメトキシシラン、15重量%のメチルトリメトキシシラン、20重量%のテトラエトキシシラン、および20重量%の純水を仕込んだ。これに、5重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA、Chemtronics)を添加し、次いで、混合物の全重量に基づき0.1重量%のシュウ酸触媒の存在下、7時間還流下で混合物を攪拌し、次いで、それを冷却した。その後、得られた混合物をPGMEAで希釈し、得られた固形含量は40重量%であった。その結果、約5,000~8,000Daの重量平均分子量を有するシロキサンポリマーIが合成された。
還流凝縮器を備えた反応器に、20重量%のフェニルトリメトキシシラン、30重量%のメチルトリメトキシシラン、20重量%のテトラエトキシシラン、および15重量%の純水を仕込んだ。これに、15%重量%のPGMEAを添加し、次いで、混合物の全重量に基づき0.1重量%のシュウ酸触媒の存在下、6時間還流下で混合物を攪拌し、次いで、それを冷却した。その後、得られた混合物をPGMEAで希釈し、得られた固形含量は30重量%であった。その結果、約8,000~13,000Daの重量平均分子量を有するシロキサンポリマーIIが合成された。
上記工程1および2で合成されたシロキサンポリマーIおよびIIを、同じ固形含量(30重量%)で混合した。次に、そこへ、スルホン化ジアゾキノン系化合物として、シロキサンポリマーIおよびIIの混合物の全固形含量に基づき0.38重量%のTPA-523(Miwon Commercial Co.,Ltd.)を添加し、次いで、混合物を3時間攪拌し、末端にスルホン化ジアゾキノン基、具体的には、スルホン化ジアゾナフトキノン基を含有するシロキサンコポリマー(A-1)が合成された。
シロキサンポリマーIおよびIIの混合物の全固形含量に基づくスルホン化ジアゾキノン系化合物の固形含量を、以下の表2に示されるように変更したことを除き、合成例1と同様にして、ジアゾキノン基を含有するシロキサンコポリマーを調製した。
シロキサンコポリマーIの調製についての合成例1の工程1と同様にして、ジアゾキノン基を含まないシロキサンコポリマーを調製した。
冷却管および撹拌機を備えたフラスコに、溶媒として200重量部のPGMEAを仕込み、溶媒をゆっくりと攪拌しながら、溶媒の温度を70℃まで昇温した。次に、そこへ、20.3重量部のスチレン、16.5重量部のメタクリレート、20.8重量部のグリシジルメタクリレート、30.6重量部のメチルメタクリレート、および11.8重量部のメタクリル酸を加え、次いで、ラジカル重合開始剤として、3重量部の2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)を5時間かけて滴下して加え、重合反応を行った。その後、得られた混合物をPGMEAで希釈し、得られた固形含量は32重量%であった。その結果、約9,000~11,000Daの重量平均分子量を有するアクリル系コポリマーが合成された。
冷却管を備えた三つ口フラスコを、自動温度調節器を備えた撹拌機の上に置いた。このフラスコにグリシジルメタクリレート(100モル%)からなるモノマー100重量部、2,2’-アゾビス(2-メチルブチロニトリル)10重量部、PGMEA100重量部を仕込み、フラスコに窒素を充填する。その後、溶液をゆっくりと撹拌しながら、溶液の温度を80℃まで昇温し、この温度を5時間保持した。その後、得られた混合物をPGMEAで希釈し、得られた固形含量は20重量%であった。その結果、約6,000~10,000Daの重量平均分子量を有するエポキシ化合物が合成された。
上記合成例で調製された化合物を用いて、以下の実施例および比較例の感光性樹脂組成物を調製した。
6.938gの合成例3のシロキサンコポリマー(A-1)、15.1815gの合成例18のアクリル系コポリマー(B)、1.5705gの合成例19のエポキシ化合物(E)、1.25gのシラン化合物(F)、および0.06gの界面活性剤(G)を均一に混合した。この場合、各含量は、溶媒を除いた固形含量に基づくものである。混合物をPGMEAに溶解し、得られた混合物の固形含量は25重量%であった。この溶液を3時間撹拌し、孔径0.2μmのメンブレンフィルターでろ過し、25重量%の固形含量を有する組成物溶液を得た。
以下の表2に示されるように各成分の種類および/または含量を変更した以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の各々を調製した。
実施例および比較例で調製された樹脂組成物の各々を、スピンコートにより、ガラス基板上に塗布した。その後、塗布した基板を100℃で保持したホットプレート上で90秒間プリベークを行い、乾燥膜を形成した。乾燥膜を、マスクと基板との間の隙間が25μmである、1μm~30μmのサイズ範囲の正方形の孔を有するマスクを介して、波長200nm~450nmの光を照射するアライナー(型名:MA6)を用いて、365nmの波長に基づく、0~200mJ/cm2の照射線量率で、一定時間露光した(すなわち、漂白工程)。次いで、それを、2.38重量%のTMAHの水溶液である現像液を用いて、パドルノズルを介して23℃で、60秒間現像した。このようにして得られた露光膜を230℃の対流式オーブンで30分間加熱して、厚さ2μmを有する硬化膜を調製した。上記手順で10μmのマスクサイズにつき形成された孔パターンについて、10μmの限界寸法(CD、単位:μm)を得るための露光エネルギー量を測定した。値(mJ/cm2)が小さいほど、感度が良い。
実施例および比較例で調製された樹脂組成物の各々を、スピンコートにより、ガラス基板上に塗布した。その後、塗布した基板を100℃で保持したホットプレート上で90秒間プリベークを行い、乾燥膜を形成した。次いで、乾燥膜を、2.38重量%のTMAHの水溶液である現像液を用いて、パドルノズルを介して23℃で、60秒間現像した。次いで、波長200nm~450nmの光を照射するアライナー(型名:MA6)を用いて、波長365nmに基づく照射線量率200mJ/cm2で一定時間それを露光した(すなわち、漂白工程)。その後、得られた露光膜を230℃の対流式オーブンで30分間加熱し、厚さ2μmの硬化膜を調製した。膜保持率(%)は、測定装置(SNU Precision)を用いて、プリベーク後の膜厚に対するポストベーク後の膜厚のパーセントによる割合を算出することによって、以下の等式1から得た。数値が高いほど、膜保持率が良好である。具体的には、膜保持率が50%以上であれば、良好と評価した。それが70%以上であれば、優良と評価した。
[等式1]
膜保持率(%)=(ポストベーク後の膜厚/プリベーク後の膜厚)×100
実施例および比較例で調製された樹脂組成物の各々を、スピンコートにより、ガラス基板上に塗布した。その後、塗布した基板を100℃で保持したホットプレート上で90秒間プリベークを行い、乾燥膜を形成した。1μm間隔の、1μm~30μmの6ラインの各パターンを塗布したものを有するフォトマスクを用いたことを除き、実施例1と同様にして硬化膜を得た。次に、窒化シリコン基板上の1~30μmのラインパターンに残存する最小のラインパターンの程度を顕微鏡で観察した。顕微鏡観察では、ラインパターンをマスクで剥離した後に残った最低のCDサイズのパターンを現像接着性として評価した。最小残留パターンサイズが小さいほど、現像接着性が良好である。具体的には、最小残存パターンサイズが4μm以下であれば、◎とした。5μm以上8μm未満の場合は○とした。8μm以上であれば×印をつけた。
上記試験例2と同様にして、各硬化フィルムを得た。UV可視スペクトロメーター(Cary100、Agilent Korea)を用いて、厚さ2μmのポストベーク膜の波長400nmにおける透過率を測定した。波長400nmにおける値が高いほど、透過率が良好である。具体的には、80%以上であれば良好と評価した。85%以上であれば優良と評価した。
上記試験例2と同様にして、各硬化膜を得た。非接触型膜厚測定装置(SNU Precision)を用いて、硬化膜の初期厚(T1)を測定した。次に、50℃に保たれた恒温槽に、剥離用薬品(商品名:TOK-106)を入れた。硬化膜を3分間、剥離用薬品に浸漬した。硬化膜を脱イオン水(超純水)で洗浄し、残留物を空気で除去した。次に、膜厚(T2)を測定した。
耐薬品性の評価試験後の膨潤厚さの変化(%)=剥離用薬品中に浸漬時の膜厚(T2)-剥離用薬品に浸漬前の膜厚(T1)
上記試験例2と同様にして硬化膜を得た。硬化膜の表面を肉眼で観察した。
Claims (9)
- ポジ型感光性樹脂組成物であって、
(A)光により活性化される感光性基を末端に含有するシロキサンコポリマーと、
(B)アクリル系コポリマーと、
(C)溶媒と、を含み、
前記シロキサンコポリマー(A)が、下記式1で表されるシラン化合物に由来する構造単位を含み、
[式1]
(R1) n Si(OR2) 4-n
nは、0~3の整数であり、
R1は、それぞれ独立して、C 1-12 アルキル、C 2-10 アルケニル、C 6-15 アリール、3~12員ヘテロアルキル、4~10員ヘテロアルケニル、または6~15員ヘテロアリールであり、
R2は、それぞれ独立して、水素、C 1-6 アルキル、C 2-6 アシル、またはC 6-15 アリールであり、
前記ヘテロアルキル、前記ヘテロアルケニル、および前記ヘテロアリールは、それぞれ独立して、O、N、およびSからなる群から選択される少なくとも1個のヘテロ原子を有し、
前記シロキサンコポリマー(A)は、nが0である上記式1で表されるシラン化合物に由来する構造単位を、Si原子モル数に基づいて10~40モル%の量で含む、ポジ型感光性樹脂組成物。 - 前記感光性基が、スルホン化ジアゾキノン系化合物に由来するスルホン化ジアゾキノン基である、請求項1に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- 前記スルホン化ジアゾキノン基が、スルホン化ジアゾベンゾキノン基またはスルホン化ジアゾナフトキノン基である、請求項2に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- 前記アクリル系コポリマー(B)が、(b-1)エチレン性不飽和カルボン酸、エチレン性不飽和カルボン酸無水物、またはそれらの組み合わせに由来する構造単位と、(b-2)エポキシ基を含有する不飽和化合物に由来する構造単位と、ならびに(b-3)構造単位(b-1)および(b-2)とは異なるエチレン性不飽和化合物に由来する構造単位と、を含有する、請求項1に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- 前記シロキサンコポリマー(A)が、前記シロキサンコポリマー(A)と前記アクリル系コポリマー(B)との合計重量に基づき30~85重量%の範囲の量で使用される、請求項1に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- 1,2-キノンジアジド化合物をさらに含む、請求項1に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- エポキシ化合物をさらに含む、請求項1に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- 下記式5で表される少なくとも1つのシラン化合物をさらに含む、ポジ型感光性樹脂組成物であって、
[式5]
(R5)nSi(OR6)4-n
nは、0~3の整数であり、
R5は、それぞれ独立して、C1-12アルキル、C2-10アルケニル、C6-15アリール、3~12員ヘテロアルキル、4~10員ヘテロアルケニル、または6~15員ヘテロアリールであり、
R6は、それぞれ独立して、水素、C1-6アルキル、C2-6アシル、またはC6-15アリールであり、
前記ヘテロアルキル、前記ヘテロアルケニル、および前記ヘテロアリールは、それぞれ独立して、O、N、およびSからなる群から選択される少なくとも1個のヘテロ原子を有する、請求項1に記載のポジ型感光性樹脂組成物。 - 請求項1に記載のポジ型感光性樹脂組成物から調製された硬化膜。
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