JP7221934B2 - 露光装置および露光方法 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、まさしく、露光精度を向上させた露光装置および露光方法を提供することにある。
ワークの露光処理を行う前に、それぞれの投影対物レンズの像面における露光光ビームの照度レベルを検出し、第2の照明ビームの照度レベルを互いに一致させる工程;並びに
ワークを装着(load)して露光処理を実行し、リアルタイムで分岐エネルギー検出器によって、それぞれの照明システムにおける第2の照明ビームの照度レベルを検出してフィードバックし、リアルタイムで第2の照明ビームのエネルギー変動を測定する工程;エネルギー変動がエネルギー変動閾値で規定される範囲内にある場合、調整に必要なエネルギー量をリアルタイムで計算し、調整を行うためにそれぞれの可変減衰器を制御する工程;エネルギー変動がエネルギー変動閾値で規定される範囲を超える場合、露光処理を停止して、アラームを発生する工程。
工程1、照明システムの可変減衰器をゼロ化して(zeroing)、減衰をゼロにする工程;
工程2、テスト露光を行い、較正エネルギー検出器により、それぞれの投影対物レンズの像面における露光光ビームの照度レベルを検出し、照明システムの分岐エネルギー検出器を較正する工程;
工程3、さらにテスト露光を行い、較正エネルギー検出器により、それぞれの投影対物レンズの像面における露光光ビームの照度レベルを検出し、検出された照度レベルの最小値に対応する可変減衰器の1つを基準(reference)として、残りの可変減衰器の減衰レベルを算出し、該減衰レベルに基づいて可変減衰器を構成する工程;
工程4、さらにテスト露光を行い、それぞれの投影対物レンズの像面における露光光ビームの照度レベルが、照度マッチングの要件を満たすかどうかを判定(determine)した後、分岐エネルギー検出器を較正するための量を記憶し、前記判定が肯定的である場合には可変減衰器の減衰レベルを機械定数として取り照度マッチングを完了し、前記判定が否定的である場合には工程2に戻る(loop back)工程。
テスト露光を行い、較正エネルギー検出器により、それぞれの投影対物レンズの像面における露光光ビームの照度レベルを検出し、検出された照度レベルの最小値に対応する定光強度検出器の1つを基準として、残りの定光強度検出器を較正する工程;並びに
それぞれの較正された定光強度検出器を用いて、光源発生器によって発生する第1の照明ビームの光強度を測定し、検出された光強度の最小値に対応する光源発生器の1つを基準として、残りの光源発生器の電力レベルを計算し、計算された電力レベルに基づいて光源発生器を構成する工程。
次に、本発明の目的、特徴および利点をより良く理解するために、添付の図面を参照する。図中の構造的、比例的、寸法的およびその他の詳細は、本明細書の開示と併せて、本発明を実施することができる条件を制限することを意図するのではなく、当業者の理解および読解を容易にする目的でのみ提示されることに留意されたい。したがって、それらは技術的に実質的な意味を持たず、本発明の利点および目的に影響を及ぼさないあらゆる全ての構造的修正、比例的変化または寸法変化は、本明細書の教示の範囲内にあるとみなされる。
工程1:照明システムにおける可変減衰器20をゼロ化して、減衰をゼロにする工程;
工程2:テスト露光を行い、較正エネルギー検出器70により、それぞれの投影対物レンズ30の像面上の露光光ビームの照度レベルを検出し、照明システムにおける分岐エネルギー検出器51を較正する工程;
工程3:別のテスト露光を行い、較正エネルギー検出器70により、それぞれの投影対物レンズ30の像面上の露光光ビームの照度レベルを検出し、検出した照度レベルの最小値に対応する可変減衰器20の1つを基準として、残りの全ての可変減衰器20の減衰レベルを算出し、算出した減衰レベルに基づいて可変減衰器20を構成する工程;
工程4:さらに別のテスト露光を行い、それぞれの投影対物レンズ30の像面上の露光光ビームの照度レベルが互いに一致しているか否かを判定する工程。そうである場合、分岐エネルギー検出器51を較正するための量および可変減衰器20のための減衰レベルは、機械定数として記憶され、したがって、処理全体が終了する。それ以外の場合は、処理が工程2に戻る。
テスト露光を行い、較正エネルギー検出器70により、それぞれの投影対物レンズ30の像面上の露光光ビームの照度レベルを検出し、その検出された照度レベルの最小値に対応する定光強度検出器14の1つを基準として、残りの全ての定光強度検出器14を較正する工程;並びに
較正されたそれぞれの定光強度検出器14を用いて、光源発生器10で発生する第1の照明ビームの光強度を測定し、検出された光強度の最小値に対応する光源発生器10の1つを基準として、残りの全ての光源発生器10の電力レベルを算出し、算出した電力レベルに基づいて、光源発生器10を構成する工程。
Claims (11)
- 制御システムと、光源システムと、複数の照明システムと、複数の投影対物レンズとを備える露光装置であって、
前記光源システムは、前記複数の照明システムに入射する複数の第1の照明ビームを放射するように構成され、
前記照明システムのそれぞれは、可変減衰器と、分岐エネルギー検出器とを備え、
前記分岐エネルギー検出器は、前記照明システムのうちの対応する1つで発生する第2の照明ビームの照度レベルを検出し、検出した照度レベルを前記制御システムにフィードバックするように構成され、
前記制御システムは、前記可変減衰器を制御することにより、対応する照明システムにおける第2の照明ビームの照度レベルを調整するように構成され、
前記露光装置は、さらに、それぞれの前記投影対物レンズの像面における露光光ビームの照度レベルを検出するように構成された較正エネルギー検出器を含み、
前記制御システムは、前記露光光ビームの検出された照度レベルに基づいて、前記第2の照明ビームの照度レベルを互いに一致させるように構成され、
前記第2の照明ビームの照度レベルを互いに一致させるために以下を含む露光装置:
工程1、前記照明システムの前記可変減衰器をゼロ化して、減衰をゼロにする工程;
工程2、テスト露光を行い、前記較正エネルギー検出器により、各投影対物レンズの像面における前記露光光ビームの照度レベルを検出し、前記照明システムの前記分岐エネルギー検出器を較正する工程;
工程3、さらにテスト露光を行い、前記較正エネルギー検出器により、各投影対物レンズの像面における前記露光光ビームの照度レベルを検出し、検出された照度レベルの最小値に対応する前記可変減衰器の1つを基準として、残りの前記可変減衰器の減衰レベルを算出し、前記減衰レベルに基づいて前記可変減衰器を構成する工程;
工程4、さらにテスト露光を行い、各投影対物レンズの像面における前記露光光ビームの照度レベルが、照度マッチングの要件を満たすかどうかを判定した後、前記分岐エネルギー検出器を較正するための量を記憶し、前記判定が肯定的である場合には、前記可変減衰器の減衰レベルを機械定数として取り、前記照度マッチングを完了し、前記判定が否定的である場合には、工程2に戻る工程。 - 前記光源システムが、光源発生器と、光ビームユニットとを備え、前記光ビームユニットが、前記光源発生器から放射された光ビームを、それぞれが前記照明システムのそれぞれ1つに入射する複数の前記第1の照明ビームに分割するように構成される、請求項1に記載の露光装置。
- 前記光源システムが、それぞれが前記照明システムのそれぞれ1つに入射する前記第1の照明ビームのうちの1つを放射するように構成された、複数の光源発生器を備える、請求項1に記載の露光装置。
- 前記可変減衰器が、それぞれが複数の貫通孔を有する位置調整可能な遮光板を2枚備え、2枚の前記遮光板の間の相対位置を調整することにより、前記第1の照明ビームの対応する1つの透過率を制御する、請求項1に記載の露光装置。
- 前記光源発生器のそれぞれが、水銀ランプを含む、請求項2または3に記載の露光装置。
- 前記光源システムが、さらに、複数の定光強度検出器を備え、各検出器が、前記光源発生器のそれぞれ1つによって発生する前記第1の照明ビームの光強度を検出するように構成される、請求項3に記載の露光装置。
- 前記照明システムのそれぞれが、さらに、光均質化ユニットを備え、前記分岐エネルギー検出器が、前記光均質化ユニットにおいて発生する前記第2の照明ビームの照度レベルを検出するように構成される、請求項1に記載の露光装置。
- 前記光均質化ユニットのそれぞれが、第1の均質化ロッドと、前記第1の均質化ロッドに接続された第2の均質化ロッドとを備え、前記分岐エネルギー検出器が、前記第1の均質化ロッドと、前記第2の均質化ロッドとの間の接合部から出射する前記第2の照明ビームの照度レベルを検出するように構成される、請求項7に記載の露光装置。
- 前記光均質化ユニットのそれぞれが、さらに、分岐反射ミラーと、絞りとを備え、前記第1の均質化ロッドと、前記第2の均質化ロッドとの間の接合部から出射する前記第2の照明ビームが、前記分岐エネルギー検出器で検出される前に、前記分岐反射ミラーで反射されて、前記絞りを通過する、請求項8に記載の露光装置。
- 請求項1に記載の露光装置を用いて、前記露光装置の前記投影対物レンズの像面に配置されたワークに対して露光処理を行う露光方法であって、以下の工程を含む露光方法:
前記ワークの露光処理を行う前に、各投影対物レンズの像面における前記露光光ビームの照度レベルを検出し、前記第2の照明ビームの照度レベルを互いに一致させる工程;並びに
前記ワークを装着して露光処理を行い、リアルタイムで前記分岐エネルギー検出器によって、各照明システムにおける前記第2の照明ビームの照度レベルを検出してフィードバックし、リアルタイムで前記第2の照明ビームのエネルギー変動を測定する工程;
前記エネルギー変動が、エネルギー変動閾値によって規定される範囲内にある場合、調整に必要なエネルギー量をリアルタイムで計算し、調整を行うために、各可変減衰器を制御する工程;
前記エネルギー変動が、前記エネルギー変動閾値によって規定される範囲を超えた場合、露光処理を停止して、アラームを発生し、以下を行う工程:
工程1、前記照明システムの前記可変減衰器をゼロ化して、減衰をゼロにする工程;
工程2、テスト露光を行い、前記較正エネルギー検出器により、各投影対物レンズの像面における前記露光光ビームの照度レベルを検出し、前記照明システムの前記分岐エネルギー検出器を較正する工程;
工程3、さらにテスト露光を行い、前記較正エネルギー検出器により、各投影対物レンズの像面における前記露光光ビームの照度レベルを検出し、検出された照度レベルの最小値に対応する前記可変減衰器の1つを基準として、残りの前記可変減衰器の減衰レベルを算出し、前記減衰レベルに基づいて前記可変減衰器を構成する工程;
工程4、さらにテスト露光を行い、各投影対物レンズの像面における前記露光光ビームの照度レベルが、照度マッチングの要件を満たすかどうかを判定した後、前記分岐エネルギー検出器を較正するための量を記憶し、前記判定が肯定的である場合には、前記可変減衰器の減衰レベルを機械定数として取り、前記照度マッチングを完了し、前記判定が否定的である場合には、工程2に戻る工程。 - 前記光源システムが、それぞれが前記照明システムのそれぞれ1つに入射する前記第1の照明ビームのうちの1つを生成するように構成された、複数の光源発生器を備え、前記光源システムが、さらに、それぞれが前記光源発生器のそれぞれ1つによって提供される前記第1の照明ビームの光強度を検出するように構成された、定光強度検出器を備え、
工程1と工程2との間に、さらに以下を含む、請求項10に記載の露光方法:
テスト露光を行い、前記較正エネルギー検出器により、各投影対物レンズの像面における前記露光光ビームの照度レベルを検出し、検出された照度レベルの最小値に対応する前記定光強度検出器の1つを基準として、残りの前記定光強度検出器を較正する工程;並びに
較正されたそれぞれの前記定光強度検出器を用いて、前記光源発生器により発生する前記第1の照明ビームの光強度を測定し、検出された光強度の最小値に対応する前記光源発生器の1つを基準として、残りの前記光源発生器の電力レベルを計算し、計算された電力レベルに基づいて、前記光源発生器を構成する工程。
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