JPS644089Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS644089Y2
JPS644089Y2 JP19789684U JP19789684U JPS644089Y2 JP S644089 Y2 JPS644089 Y2 JP S644089Y2 JP 19789684 U JP19789684 U JP 19789684U JP 19789684 U JP19789684 U JP 19789684U JP S644089 Y2 JPS644089 Y2 JP S644089Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holes
thin metal
fixing
fixing holes
light transmitting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP19789684U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61116319U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP19789684U priority Critical patent/JPS644089Y2/ja
Publication of JPS61116319U publication Critical patent/JPS61116319U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS644089Y2 publication Critical patent/JPS644089Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本考案は分光光度計や分光螢光光度計などにお
いて、モニタ光を減光したり試料側の光量を減衰
させるなど、光量を減少させるために使用される
オプテイカルアテネータに関するものである。
(従来の技術) 従来、オプテイカルアテネータとして、石英板
などにアルミニウム蒸着膜などの半透膜を形成し
たニユートラルフイルタや、金属薄板に一定の間
隔で小孔をあけたものを用いている。
(考案が解決しようとする問題点) オプテイカルアテネータとしては、ある段階お
きの透過率が必要な場合があるが、従来の半透膜
を用いたものや多数の小孔をもつ単一の金属薄板
では、透過率が異なるごとに異なる生産工程が必
要となる。
本考案は、製作の際にある値の透過率に容易に
設定することができるオプテイカルアテネータを
提供することを目的とするものである。
(問題点を解決するための手段) 実施例を示す第1図及び第2図を参照して説明
すると、本考案によるオプテイカルアテネータ
は、二次元的に同一の周期もしくは異なる周期で
開けられた多数の光透過用小孔2(2−1,2−
2,……)と周辺に周期的に開けられた固定用孔
(4−1,4−2,……,5−1,5−2,……)
とが、固定用孔の配列の周期をt、光透過用小孔
2の配列のうち固定用孔配列方向の配列の周期を
Tとしたとき、 mt=nT (ただし、m,nは整数で、m≠nである。)
の関係を満たして配列された2枚の金属薄板6,
8を備え、両金属薄板6,8を固定用孔が一致す
るように重ねられて固定部材16,17により固
定されている。
(実施例) 第1図は本考案の一実施例における1枚の金属
薄板を示す。この金属薄板にはX方向及びY方向
に周期Tで配列された多数の光透過用小孔2と、
図の上側辺と下側辺に沿つてX方向に周期tで配
列された固定用孔4−1〜4−8,5−1〜5−
8が開けられている。
7個の光透過用小孔2,2−1〜2−7のX方
向の6個の間隔の距離6Tと、8個の固定用孔4
−1〜4−8,5−1〜5−8のX方向の7個の
間隔の距離7tとが等しくなるように設定され、
光透過用小孔2−1と固定用孔4−1,5−1の
X方向の位置が一致し、光透過用小孔2−7と固
定用孔4−8,5−8のX方向の位置が一致する
ように相互の位置決めがなされている。
このような孔開きの金属薄板は、フオトリソグ
ラフイによるエツング技術により容易に製造する
ことができる。このような金属薄板は、一例とし
ては厚さ0.3mm程度のステンレス板にエツチング
により直径0.5〜1mm程度の孔を開けたものであ
る。
第2図は第1図に示された孔開き金属薄板を2
枚重ねて固定した状態を示している。重ねられた
紙面上側の金属薄板6の左から4番目の固定用孔
4−4,5−4が、紙面下側の金属薄板8の左端
の固定用孔14−1,15−1に一致するように
位置決めされ、両金属薄板6,8を貫通する適当
な固定用孔、例えば4−4,14−1,5−4,
15−1にピン又はねじ16,17が通され、両
金属薄板6と8が相互に固定されている。
金属薄板6と8が重なつた領域においては、上
側の金属薄板6の光透過用小孔2と下側の金属薄
板8の光透過用小孔2とは一部分が重なつて光透
過用の貫通孔となり、他の部分が遮蔽されてい
る。
上側の金属薄板6の固定用孔4−1〜4−8,
5−1〜5−8に対し、下側の金属薄板8の固定
用孔14−1〜14−8,15−1〜15−8の
対応関係を異ならせて両金属薄板6,8を固定す
ると、両金属薄板6,8の光透過用小孔2の重な
り合う度合が変化し、段階的に異なつた透過率が
得られる。
本実施例の場合、第2図のように一方の金属薄
板8(又は6の)の1番目の固定用孔14−1又
は4−1,15−1又は5−1を他方の金属薄板
6又は8の4番目の固定用孔4−4又は14−
4,5−4又は15−4に一致させて重ねたとき
の透過率が最小になり、一方の金属薄板8又は6
の1番目の固定用孔14−1又は4−1,15−
1又は5−1を他方の金属薄板6又は8の1番目
の固定用孔4−1又は14−1,5−1又は15
−1、又は8番目の固定用孔4−8又は14−
8,5−8又は15−8に一致させて重ねたとき
の透過率が最大となる。
本考案では種々の変形が可能である。上記の実
施例では固定用孔はX方向にのみ設けられている
が、Y方向に設けてもよく、またX,Y両方向に
設けてもよい。固定用孔を周辺のX方向とY方向
の両方向に配列して設ける場合、X方向とY方向
とで配列の周期を異なるものとしてもよい。その
場合、同一の2枚の金属薄板を互いに面内で90度
回転した状態に重ね合わせ、適当な固定用孔同志
を一致させて固定することができるようになり、
更に種々の透過率を得ることができるようにな
る。
重ねられた2枚の金属薄板を固定するために、
上記実施例ではピン又はねじを使用しているが、
接着剤により固定するなど、他の固定部材を使用
してもよい。そして、この固定部材を着脱可能な
ものとすれば、ユーザ側においても2枚の金属薄
板の固定用孔の対応関係を変更することにより、
透過率を段階的に可変とすることができる。
また、光透過用小孔の形状も実施例のような円
形のものに限らず、くさび形、三角形、四角形、
台形、楕円形など、種々の形状とすることができ
る。
(考案の効果) 本考案のオプテイカルアテネータによれば、光
透過用小孔と固定用孔とを有する2枚の同一の金
属薄板を重ね合せて固定することにより、透過率
が段階的に異なるものを容易に作成することがで
きる。このように同一の金属薄板の組合せで種々
の透過率のものが得られるので、生産工程が少な
くなり、低コストなものになる。
本考案のオプテイカルアテネータは、2枚の金
属薄板の重なり部分で光透過用の孔が均一に分布
するので、場所による透過率の不均一、所謂ロー
カリテイのない一様なオプテイカルアテネータと
なる。
また、半透膜を使用した従来のものに比べて波
長特性が平坦になる。
【図面の簡単な説明】
第1図は一実施例で使用される金属薄板を示す
概略平面図、第2図は一実施例を示す概略平面図
である。 2,2−1〜2−7……光透過用小孔、4−1
〜4−8,5−1〜5−8,14−1,15−1
……固定用孔、16,17……ピン又はねじ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 二次元的に同一の周期もしくは異なる周期で開
    けられた多数の光透過用小孔と周辺に周期的に開
    けられた固定用孔とが、前記固定用孔の配列の周
    期をt、前記光透過用小孔の配列のうち固定用孔
    配列方向の配列の周期をTとしたとき、 mt=nT (ただし、m,nは整数で、m≠nである。)
    の関係を満たして配列された金属薄板を2枚備
    え、 両金属薄板を固定用孔が一致するように重ねて
    固定部材により固定したオプテイカルアテネー
    タ。
JP19789684U 1984-12-29 1984-12-29 Expired JPS644089Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19789684U JPS644089Y2 (ja) 1984-12-29 1984-12-29

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19789684U JPS644089Y2 (ja) 1984-12-29 1984-12-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61116319U JPS61116319U (ja) 1986-07-23
JPS644089Y2 true JPS644089Y2 (ja) 1989-02-02

Family

ID=30756432

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19789684U Expired JPS644089Y2 (ja) 1984-12-29 1984-12-29

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS644089Y2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107966882B (zh) 2017-08-10 2020-10-16 上海微电子装备(集团)股份有限公司 曝光设备和曝光方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS61116319U (ja) 1986-07-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS61501798A (ja) 光学空間周波数フイルタ
US4597636A (en) Liquid crystal display panel and a process for the production thereof
DE3140217C2 (ja)
CA2024937A1 (en) Optical-fiber aligning member and method of forming the member
JPS644089Y2 (ja)
WO2021056696A1 (zh) 转印版、显示面板的制作方法及显示面板
US4363990A (en) Surface acoustic wave transducer
CN106292050A (zh) 液晶显示器件及其制造方法
JPS6151124A (ja) 液晶表示装置
US4759607A (en) Phase gratings of a combination pattern-refraction modification type
JPH028802A (ja) 偏光素子
JPH02205802A (ja) 偏光素子
JPS58194004A (ja) 重ね合わせ型位相板
JPH0531626Y2 (ja)
JPH01307706A (ja) 光フアイバアレイ及びその製造方法
JPH01172025U (ja)
JPS561333A (en) Mtf inspection method
JP2007119836A (ja) 成膜方法
JPH058561Y2 (ja)
JPH02217801A (ja) 湾曲型多層膜光学素子
JPS59176719A (ja) 光伝送板
JPH04159524A (ja) 位相型拡散板
JPS629201U (ja)
JPS6213689Y2 (ja)
JPS6322562B2 (ja)