JP7209340B2 - 撮像装置 - Google Patents
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Description
光を電荷に変換する光電変換部と、
転送トランジスタと、
転送トランジスタを介して光電変換部に電気的に接続される電荷蓄積ノードと、
電荷蓄積ノードにゲートが電気的に接続された第1信号検出トランジスタと、
電荷蓄積ノードにソースおよびドレインの一方が電気的に接続された第1リセットトランジスタと、
光電変換部にソースおよびドレインの一方が電気的に接続された第2リセットトランジスタと
を備え、
第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方は、第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方、および、第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方に電気的に接続されている、
撮像装置。
第1信号検出トランジスタが出力する信号の全部または一部は、第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方、および、第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方に帰還される、項目1に記載の撮像装置。
第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方と第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方との間に電気的に接続されたフィードバックトランジスタと、
電荷蓄積ノードに一端が電気的に接続され、第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方に他端が電気的に接続された第1容量素子と、
一端がフィードバックトランジスタと第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方との間のノードに電気的に接続された第2容量素子と
をさらに備える、項目1または2に記載の撮像装置。
第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方にソースおよびドレインの一方が電気的に接続されたフィードバックトランジスタと、
フィードバックトランジスタのソースおよびドレインの他方に一端が電気的に接続され、電荷蓄積ノードに他端が電気的に接続された第1容量素子と、
一端がフィードバックトランジスタと第1容量素子との間のノードに電気的に接続された第2容量素子と
をさらに備える、項目1または2に記載の撮像装置。
入射光を電荷に変換する光電変換部と、
転送トランジスタと、
転送トランジスタを介して光電変換部に電気的に接続される電荷蓄積ノードと、
電荷蓄積ノードにゲートが電気的に接続された第1信号検出トランジスタと、
光電変換部にゲートが電気的に接続された第2信号検出トランジスタと、
電荷蓄積ノードにソースおよびドレインの一方が電気的に接続された第1リセットトランジスタと、
光電変換部にソースおよびドレインの一方が電気的に接続された第2リセットトランジスタと
を備え、
第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方は、第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方に電気的に接続され、
第2信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方は、第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方に電気的に接続されている、
撮像装置。
第2信号検出トランジスタが出力する信号の全部または一部は、第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方に帰還される、項目5に記載の撮像装置。
第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方にソースおよびドレインの一方が電気的に接続された第1フィードバックトランジスタと、
第1フィードバックトランジスタのソースおよびドレインの他方に一端が電気的に接続され、電荷蓄積ノードに他端が電気的に接続された第1容量素子と、
一端が第1フィードバックトランジスタと第1容量素子との間のノードに電気的に接続された第2容量素子と
をさらに備える、項目5または6に記載の撮像装置。
第2信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方にソースおよびドレインの一方が電気的に接続された第2フィードバックトランジスタと、
第2フィードバックトランジスタのソースおよびドレインの他方に一端が電気的に接続され、第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの一方に他端が電気的に接続された第3容量素子と、
一端が第2フィードバックトランジスタと第3容量素子との間のノードに電気的に接続された第4容量素子と
をさらに備える、項目5から7のいずれか1項に記載の撮像装置。
第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの一方と、転送トランジスタとの間に電気的に接続されたバッファ回路をさらに備える、項目1から8のいずれか1項に記載の撮像装置。
入射光を電荷に変換する光電変換部と、
転送トランジスタと、
転送トランジスタを介して光電変換部に電気的に接続された電荷蓄積ノードと、
電荷蓄積ノードに蓄積された電荷の量に対応する信号を出力する第1信号検出トランジスタと、
第1信号検出トランジスタの出力を電気的に帰還させるフィードバック回路と
を備え、
フィードバック回路は、
電荷蓄積ノードにソースおよびドレインの一方が電気的に接続され、電荷蓄積ノードをリセットする第1リセットトランジスタと、
光電変換部にソースおよびドレインの一方が電気的に接続され、光電変換部をリセットする第2リセットトランジスタと
を含み、
信号の全部または一部は、第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方、および、第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方に電気的に帰還される、撮像装置。
入射光を電荷に変換する光電変換部と、
転送トランジスタと、
転送トランジスタを介して光電変換部に電気的に接続された電荷蓄積ノードと、
電荷蓄積ノードに蓄積された電荷の量に対応する第1信号を出力する第1信号検出トランジスタと、
光電変換部および転送トランジスタの間のノードに蓄積された電荷の量に対応する第2信号を出力する第2信号検出トランジスタと、
第1信号検出トランジスタの出力および第2信号検出トランジスタの出力を電気的に帰還させるフィードバック回路と
を備え、
フィードバック回路は、
電荷蓄積ノードにソースおよびドレインの一方が電気的に接続され、電荷蓄積ノードをリセットする第1リセットトランジスタと、
光電変換部にソースおよびドレインの一方が電気的に接続され、光電変換部をリセットする第2リセットトランジスタと
を含み、
第1信号の全部または一部は、第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方に電気的に帰還され、第2信号の全部または一部は、第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方に電気的に帰還される、撮像装置。
第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方と第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方との間に電気的に接続されたフィードバックトランジスタと、
第1リセットトランジスタに電気的に並列に接続された第1容量素子と、
一方の電極がフィードバックトランジスタと第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方との間のノードに電気的に接続された第2容量素子と
をさらに備える、項目10または11に記載の撮像装置。
第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方と電荷蓄積ノードとの間に電気的に接続されたフィードバックトランジスタと、
フィードバックトランジスタと電荷蓄積ノードとの間に電気的に接続された第1容量素子と、
一方の電極がフィードバックトランジスタと第1容量素子との間のノードに電気的に接続された第2容量素子と
をさらに備え、
第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方は、第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方に電気的に接続されている、項目10または11に記載の撮像装置。
第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの一方と、転送トランジスタとの間に電気的に接続されたバッファ回路をさらに備える、項目10から項目13のいずれか1項に記載の撮像装置。
図1は、本開示のある実施形態による撮像装置の例示的な構成を示す。図1に示す撮像装置100は、複数の画素10を含む画素アレイPAと、周辺回路とを有する。各画素10は、入射光を電荷に変換する光電変換部を有し、複数の画素10は、例えば半導体基板に2次元に配列されることにより、撮像領域を形成する。この例では、画素10が、m行n列のマトリクス状に配置され、各画素10の中心は、正方格子の格子点上に位置している。もちろん、画素10の配置は、図示する例に限定されず、例えば、各中心が、三角格子、六角格子などの格子点上に位置するように複数の画素10を配置してもよい。
図4は、撮像装置100の動作の一例を説明するためのタイミングチャートである。図4中、RS1iのグラフおよびFBiのグラフは、それぞれ、第i行の第1リセット制御線Uiおよびフィードバック制御線Fiの電圧レベルの変化を表す。換言すれば、RS1iのグラフおよびFBiのグラフは、第i行に属する画素10Aの第1リセットトランジスタ41およびフィードバックトランジスタ43のオンおよびオフのタイミングをそれぞれ表現している。同様に、SEiのグラフは、第i行の行制御線Riの電圧レベルの変化を表す。図4の上段に示すRS2のグラフおよびTXのグラフは、それぞれ、各行の第2リセット制御線Viおよび転送制御線Tiの電圧レベルの変化を表す。以下の説明から明らかとなるように、この例では、第2リセットトランジスタ42および転送トランジスタ40については、オンおよびオフのタイミングが、全ての画素において共通とされている。したがって、ここでは、各行の第2リセット制御線Viおよび転送制御線Tiの電圧レベルについて、それぞれ、単一のグラフにより、これらの変化を代表して示している。
ここで、画素10のデバイス構造の一例を説明する。図5は、光電変換部20として、画素電極22、光電変換層24および対向電極26を含む積層構造を有する画素10Bのデバイス構造を模式的に示す。画素10Bは、上述の画素10Aと同様に、図1および図2に示す画素10の一例である。
光電変換部20の具体的な構成は、図5に示す例に限定されない。図6は、フォトダイオード20Cを有する画素10Cの回路構成を示す図である。図6に例示するように、光電変換部20としてフォトダイオードを適用することももちろん可能である。
20 光電変換部
30、30A、30D、30E フィードバック回路
31、31A、31D 第1の初期化回路
32、32A、32E 第2の初期化回路
33、33b 信号検出回路
40 転送トランジスタ
41 第1リセットトランジスタ
42、45 第2リセットトランジスタ
43、47 フィードバックトランジスタ
44、44b 信号検出トランジスタ
46、46b アドレストランジスタ
50、50b フィードバック線
52 バッファ回路
60 電源線
90 半導体基板
100 撮像装置
C1、C1b 第1容量素子
C2、C2b 第2容量素子
FD 電荷蓄積ノード
RD、SD、SDb、TD ノード
Claims (9)
- 光を電荷に変換する光電変換部と、
転送トランジスタと、
前記転送トランジスタを介して前記光電変換部に電気的に接続される電荷蓄積ノードと、
前記電荷蓄積ノードにゲートが電気的に接続された第1信号検出トランジスタと、
前記電荷蓄積ノードにソースおよびドレインの一方が電気的に接続された第1リセットトランジスタと、
前記光電変換部にソースおよびドレインの一方が電気的に接続された第2リセットトランジスタと
を備え、
前記第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方は、前記第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方、および、前記第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方に電気的に接続されている、
撮像装置。 - 前記第1信号検出トランジスタが出力する信号の全部または一部は、前記第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの前記他方、および、前記第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの前記他方に帰還される、請求項1に記載の撮像装置。
- 前記第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの前記一方と前記第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの前記他方との間に電気的に接続されたフィードバックトランジスタと、
前記電荷蓄積ノードに一端が電気的に接続され、前記第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの前記他方に他端が電気的に接続された第1容量素子と、
一端が前記フィードバックトランジスタと前記第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの前記他方との間のノードに電気的に接続された第2容量素子と
をさらに備える、請求項1または2に記載の撮像装置。 - 前記第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの前記一方にソースおよびドレインの一方が電気的に接続されたフィードバックトランジスタと、
前記フィードバックトランジスタのソースおよびドレインの他方に一端が電気的に接続され、前記電荷蓄積ノードに他端が電気的に接続された第1容量素子と、
一端が前記フィードバックトランジスタと前記第1容量素子との間のノードに電気的に接続された第2容量素子と
をさらに備える、請求項1または2に記載の撮像装置。 - 入射光を電荷に変換する光電変換部と、
転送トランジスタと、
前記転送トランジスタを介して前記光電変換部に電気的に接続される電荷蓄積ノードと、
前記電荷蓄積ノードにゲートが電気的に接続された第1信号検出トランジスタと、
前記光電変換部にゲートが電気的に接続された第2信号検出トランジスタと、
前記電荷蓄積ノードにソースおよびドレインの一方が電気的に接続された第1リセットトランジスタと、
前記光電変換部にソースおよびドレインの一方が電気的に接続された第2リセットトランジスタと
を備え、
前記第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方は、前記第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方に電気的に接続され、
前記第2信号検出トランジスタのソースおよびドレインの一方は、前記第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの他方に電気的に接続されている、
撮像装置。 - 前記第1信号検出トランジスタが出力する信号の全部または一部は、前記第1リセットトランジスタのソースおよびドレインの前記他方に帰還され、
前記第2信号検出トランジスタが出力する信号の全部または一部は、前記第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの前記他方に帰還される、請求項5に記載の撮像装置。 - 前記第1信号検出トランジスタのソースおよびドレインの前記一方にソースおよびドレインの一方が電気的に接続された第1フィードバックトランジスタと、
前記第1フィードバックトランジスタのソースおよびドレインの他方に一端が電気的に接続され、前記電荷蓄積ノードに他端が電気的に接続された第1容量素子と、
一端が前記第1フィードバックトランジスタと前記第1容量素子との間のノードに電気的に接続された第2容量素子と
をさらに備える、請求項5または6に記載の撮像装置。 - 前記第2信号検出トランジスタのソースおよびドレインの前記一方にソースおよびドレインの一方が電気的に接続された第2フィードバックトランジスタと、
前記第2フィードバックトランジスタのソースおよびドレインの他方に一端が電気的に接続され、前記第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの前記一方に他端が電気的に接続された第3容量素子と、
一端が前記第2フィードバックトランジスタと前記第3容量素子との間のノードに電気的に接続された第4容量素子と
をさらに備える、請求項5から7のいずれか1項に記載の撮像装置。 - 前記第2リセットトランジスタのソースおよびドレインの前記一方と、前記転送トランジスタとの間に電気的に接続されたバッファ回路をさらに備える、請求項1から8のいずれか1項に記載の撮像装置。
Priority Applications (1)
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