JP7128078B2 - 除害装置、除害装置の配管部の交換方法及び除害装置の配管の洗浄方法 - Google Patents
除害装置、除害装置の配管部の交換方法及び除害装置の配管の洗浄方法 Download PDFInfo
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Description
ができる。
形態1に係る除害装置は、処理ガスが流れる流路を形成する内壁を有する除害装置であって、前記流路の一部を形成する第1の配管と、前記流路の一部を形成し、前記第1の配管よりも前記流路の下流側に位置して前記第1の配管に繋がり、前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する一段目散水部を有する交換可能な、配管部と、前記流路の一部を形成し、前記配管部よりも前記流路の下流側に位置して前記配管部に繋がる第2の配管と、を備える。
形態1に係る除害装置において、一段目散水部は、交換可能な配管部に含まれている。したがって、内壁に付着した固体生成物の除去に起因して、一段目散水部近傍の部分が腐食した場合でも、配管部を交換することで、容易に当該腐食した部分を交換することができる。このため、配管の壁面に腐食がない状態を維持することができ、除害装置は、配管の壁面の腐食に起因する装置の性能低下や装置全体の故障を抑制できる。
形態2に係る除害装置は、形態1に記載の除害装置において、前記内壁を加熱するヒータを、さらに備える。
形態2に係る除害装置は、ヒータにより内壁を加熱することで、内壁に固体生成物が付着することを抑制できる。
形態3に係る除害装置は、形態1又は形態2に記載の除害装置において、前記配管部は、耐食金属からなる。
形態3に係る除害装置によれば、腐食に比較的強い耐食金属が配管部に用いられると、配管部の交換が必要となる頻度を下げることができる。
形態4に係る除害装置は、形態1から3のいずれか1つに記載の除害装置において、前記内壁のうち前記第2の配管の部分が、PFAコーティングされている。
形態4に係る除害装置によれば、内壁のうち第2の配管の部分がPFAコーティングされている。このため、第2の配管の内壁の腐食を抑制できる。
形態5に係る除害装置は、形態1から4のいずれか1つに記載の除害装置において、前記配管部と、前記第1の配管又は前記第2の配管と、の繋目を密封するOリングと、前記繋目において、前記配管部と、前記第1の配管又は前記第2の配管とを密着させるクランプと、をさらに備える。
形態5に係る除害装置では、配管部と第1の配管又は第2の配管とは、をOリング及びクランプを用いた単純な構成で繋がれている。これにより、クランプが取り外されることで、配管部は容易に取り外される。また、交換後に取り付けられる新たな配管部は、クランプにより容易に固定される。
形態6に係る除害装置は、形態1から5のいずれか1つに記載の除害装置において、前記一段目散水部よりも上流側に位置し、前記一段目散水部よりも上流側の前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する二段目散水部を、さらに備える。
除害装置において、一段目散水部が洗浄水を散水すると、一段目散水部が散水した洗浄水が飛び散ることで、一段目散水部よりも上流に固体生成物が生成され得る。形態6に係る除害装置は、二段目散水部を用いることで、一段目散水部の散水によって付着した固体生成物を除去することができる。
形態7に係る除害装置は、形態6に記載の除害装置において、前記一段目散水部よりも上流側の前記流路内の圧力を計測する圧力センサを、さらに備え、前記一段目散水部は、前記圧力センサが予め定めた閾値よりも高い圧力を検知した時に散水し、前記二段目散水部は、前記流路を流れる固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時に散水をする。
除害装置の配管の壁面に固体生成物が付着することで配管内の処理ガスが流れる流路が狭まると、流路内の圧力が上昇する。形態7に係る除害装置によれば、圧力センサが、流路内の圧力の上昇を計測し、一段目散水部が必要に応じて、固体生成物を除去することができる。また、二段目散水部は、流路を流れる固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時に散水をするため、除害装置は、前段に設けられた装置の所定のプロセス終了時に定期的に、一段目散水部の散水により付着した固体生成物を除去することができる。
形態8に係る除害装置は、形態7に記載の除害装置において、前記二段目散水部は、前記除害装置の前段又は後段に設けられた装置からプロセスガス停止信号を受信した時を、前記固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時とみなして、散水する。
形態8に係る除害装置によれば、当該除害装置の前段にある装置から出力されるプロセスガス停止信号又は当該除害装置の後段にある装置からのプロセス停止信号を受信した時
を、固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時とみなしている。このため、この除害装置は、前段に設けられた装置からの処理ガスの供給が停止した時に定期的に、一段目散水部の散水により付着した固体生成物を除去することができる。
形態9に係る除害装置は、形態6から8のいずれか1つに記載の除害装置において、前記二段目散水部は、前記配管部に含まれている。
形態9に係る除害装置によれば、二段目散水部が配管部に含まれているため、二段目散水部によって二段目散水部近傍が腐食した場合でも、容易に当該腐食した部分を交換できる。
形態10に係る除害装置は、形態1から9のいずれか1つに記載の除害装置において、前記一段目散水部は、洗浄水を散水していないときに、乾燥気体を噴出し続ける。
形態10に係る除害装置によれば、一段目散水部が乾燥気体を噴出するため、洗浄水を散水していないときに、一段目散水部に処理ガスが入り込むことを防止できる。
形態11に係る除害装置は、形態10に記載の除害装置において、前記乾燥気体の噴出は、前記洗浄水の散水終了後の一定時間の間には、一定の第1の流量で行われ、前記一定時間の経過後には、前記第1の流量よりも少ない第2の流量で行われる。
形態11に係る除害装置によれば、洗浄水の散水終了後の一定時間の間に一段目散水部から噴出される乾燥気体の流量は、一定時間経過後に一段目散水部から噴出される乾燥気体の流量よりも多い。これにより、この除害装置は、散水終了後により早く、洗浄水で湿った壁面を乾燥できる。
形態12に係る除害装置は、形態10又は形態11に記載の除害装置において、前記乾燥気体は、不活性ガスである。
形態12に係る除害装置では、取得の容易な不活性ガスを乾燥気体として用いることができる。
形態13に係る除害装置は、形態1から12のいずれか1つに記載の除害装置において、洗浄液を供給する液体供給路を有するファンスクラバーと、前記一段目散水部よりも下流に位置し、前記液体供給路に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水するスプレーと、をさらに備える。
形態13に係る除害装置において、スプレーが液体供給路に向かって洗浄水を散水すると、洗浄水は、その水流によって液体供給路に付着した固体生成物を除去する。このとき、洗浄水の一部は水滴となって、スプレーの近傍の内壁の部分に付着してしまう。そして、洗浄水の流量が少ない部分では、水滴は、その場に留まり処理ガスと反応する。これにより、水滴と反応した処理ガスは、流路を大きく塞ぐ固体生成物を生成してしまうおそれがある。形態13に係る除害装置は、スプレーよりも上流に位置する一段目散水部を備えている。これにより、この除害装置は、スプレーによって生成された固体生成物を一段目散水部が散水する洗浄水を用いることで除去することができる。
形態14に係る除害装置は、形態13の除害装置において、前記ファンスクラバーは、ファンと、前記ファンを回転させるキャンドモータと、を有する。
形態14に係る除害装置によれば、ファンスクラバーのファンを回転させるモータがキ
ャンドモータであるため、洗浄水のキャンドモータへの浸水に起因する、キャンドモータの故障が発生しにくい。
形態15に係る除害装置の配管部の交換方法は、処理ガスが流れる流路を形成する内壁と、前記流路の一部を形成する第1の配管と、前記流路の一部を形成し、前記第1の配管よりも前記流路の下流側に位置して前記第1の配管に繋がり、前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する一段目散水部を有する交換可能な、配管部と、前記流路の一部を形成し、前記配管部よりも前記流路の下流側に位置して前記配管部に繋がる第2の配管と、を備える除害装置を用い、前記配管部を交換する工程を、有する、除害装置の配管部の交換方法。
形態15に係る除害装置の配管部の交換方法によれば、内壁に付着した固体生成物の除去に起因して、一段目散水部近傍の部分が腐食した場合でも、配管部を交換することで、容易に当該腐食した部分を交換することができる。このため、配管の壁面に腐食がない状態を維持することができ、配管の壁面の腐食に起因する装置の性能低下や装置全体の故障を抑制できる。
形態16に係る除害装置の配管の洗浄方法は、処理ガスが流れる流路を形成する内壁を有する除害装置であって、前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する一段目散水部と、前記一段目散水部よりも上流側に位置し、前記一段目散水部よりも上流側の前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する二段目散水部と、前記一段目散水部よりも上流側の前記流路内の圧力を計測する圧力センサと、を備える除害装置を用い、前記圧力センサが予め定めた閾値よりも高い圧力を検知した時に、前記一段目散水部が散水する工程と、前記流路を流れる固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時に、前記二段目散水部が散水をする工程と、を有する。
形態16に係る除害装置の配管の洗浄方法によれば、流路のつまりを圧力を用いて間接的に検知することで、一段目散水部は、固体生成物によって一段目散水部よりも下流側の配管が詰まることを確実に防止できる。また、二段目散水部は、流路を流れる固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時に散水をするため、除害装置は、前段に設けられた装置の所定のプロセス終了時に定期的に、一段目散水部の散水により付着した固体生成物を除去することができる。
<構成>
図1は、本発明の第1実施形態である除害装置を備えるガス処理システムのブロック図である。図1を参照するとガス処理システム500は、製造装置501、ドライポンプ502、除害装置100、第2除害装置503及び排気ダクト504を備える。製造装置5
01、ドライポンプ502、除害装置100、第2除害装置503及び排気ダクト504は、この順に配管で繋がれている。
ドライポンプ502は、製造装置501で所定の処理を行う場合に、製造装置501から処理ガスを吸引し、当該処理ガスを除害装置100へ供給する。除害装置100及び第2除害装置503は、処理ガスを無害化する機能を有する。また、排気ダクト504は、第2除害装置503から流れ込んだ処理ガスを排気する。つまり、ガス処理システム500では、製造装置501から排出された処理ガスを無害化して排気できる。
また、製造装置501は、製造装置501の後段に設けられたドライポンプ502、除害装置100及び第2除害装置503と電気的に接続されている。さらに、除害装置100は、ドライポンプ502、及び第2除害装置503と電気的に接続されている。これにより、ガス処理システム500では、製造装置501、除害装置100は、ドライポンプ502、及び第2除害装置503は、電気通信を行い、互いに協同して動作する。
ファンスクラバー110は、ケーシング111、ファン112、液体供給路113、ノズル114及びキャンドモータ115を備える。ファンスクラバー110は、ノズル114から噴出される洗浄液によって異物を捕捉する機能と、処理ガスを洗浄液と接触させることにより処理ガスを無害化する機能と、を有する。
ケーシング111は、一例として、処理ガスを吸入する配管接続口111a、処理ガスを吐出する気体吐出口111b及び処理ガスの無害化に用いられた洗浄液を廃液として吐出する液体排出口111cを有する。ケーシング111は、ファン112を覆い、処理ガスの流路を画定している。
ファン112は、一例として、対抗する2枚の円盤と、この円盤の間に設けられた複数の羽根を有している。ファン112は、円盤の中心を中心として回転することで、処理ガスをケーシング111の内部で撹拌する機能を有する。
液体供給路113は、一例として、配管接続口111aからファン112の回転軸(キャンドモータ115の主軸116)に向かって延び、その一部が、第2の配管150の近傍にある。液体供給路113の端部には、ノズル114が取り付けられており、液体供給路113は、図示しない圧送機構とノズル114とを連通する。液体供給路113は、圧送機構から供給される洗浄液をノズル114に供給する。
ノズル114には、複数の噴出口が形成されている。ノズル114は、ファン112の内側でファン112の回転軸(キャンドモータ115の主軸116)に対向して設けられる。ノズル114は、複数の噴出口からファン112の内部に洗浄液を噴出する。洗浄液としては、水や、洗浄に用いられる公知の液体等を用いることができる。
理ガスがケーシング111及びキャンドモータ115の内部から外部に漏れることを防止する磁性流体シールを有する必要がない。すなわち、除害装置100は、磁性流体シールを備える場合に起こる磁性流体シールの部分の漏れを防止することができる。また、処理ガスが主軸116を伝ってケーシング111の内部からキャンドモータ115の内部に侵入した場合でも、ステータ118がキャン120によって区画されているため、処理ガスはステータ118に接触しない。すなわち、除害装置100は、ケーシング111の内部の処理ガスによって、キャンドモータ115が破損することを抑制できる。
図3を参照すると、除害装置100は、さらに、ヒータ210、Oリング230及びクランプ250を備える。
第1の配管130、第2の配管150及び配管部170は、一体となって、処理ガスが流れる流路103を形成している。別言すると、第1の配管130、第2の配管150及び配管部170は、処理ガスが流れる流路103を形成する内壁104をそれぞれ有している。流路103は、図3に示すように、上下方向に延び、上流が下流よりも重力方向の上側に位置している。
第1の配管130は、一例として、パイプ状の本体131と、本体131の両端に位置しているフランジ132及びフランジ133とを有している。第1の配管130は、流路103の一部を形成している。フランジ132は、図示しない処理ガスを吐出する装置に繋がれている。
繋がっている。洗浄水導入管が、空洞105に洗浄水を供給することで、散水部174は、空洞105を介して供給された洗浄水を散水する。そして、散水部174が洗浄水を散水する場合、洗浄水は、内壁104を伝って、流路103の下流方向へと流れる。このため、洗浄水は、内壁104に付着した固体生成物を洗い流すことができる。別言すれば、散水部174は、洗浄水を散水することで、内壁104に付着した固体生成物を除去できる。なお、洗浄水として、一例として、水が用いられるが、洗浄用の薬液でもよい。また、除害装置100では散水部174は上述したような構成を有するが、散水部174は洗浄水を流路103へ散水できればよく、上述した構成を有さなくてもよい。例えば、散水部174は、流路103の内部に配置されるノズル状のものでもよい。
次に除害装置100の固体生成物の除去動作について再び図2を参照して説明する。
除害装置100では、上述したように、ファンスクラバー110のノズル114から洗浄液が噴出されている。この洗浄液は、液体供給路113から供給されている。そのため、液体供給路113の外面の温度が低下し、液体供給路113の外壁に固体生成物が付着しやすい。そこで、スプレー190が、液体供給路113の外面に向け洗浄水を散水することで、液体供給路113の外壁に付着した固体生成物を除去している。
ここで、スプレー190は、洗浄水を拡散しながら散水している。このため、洗浄水の一部は水滴となって、スプレー190の近傍の内壁104の部分に付着してしまう。そして、スプレー190が散水した洗浄水の流量が多い部分では、この散水された洗浄水が、水滴となって内壁104に付着した洗浄水を洗い流している。このため、洗浄水の流量の多い部分では、充分な大きさの固体生成物が生成される前に付着した洗浄水の水滴が洗い流されてしまうため、処理ガスから生成される固体生成物は付着しない。他方、スプレー190が散水した洗浄水の流量の少ない部分では、水滴となって内壁104に付着した洗浄水は、充分に洗い流されない。このため、スプレー190が散水した洗浄水の流量の少ない部分では、水滴と反応した処理ガスは、流路を大きく塞ぐ固体生成物(例えば、図2における固体生成物106)を生成してしまうおそれがある。しかし、除害装置100は、スプレー190の上流に散水部174を備える。このため、散水部174が洗浄水を散水することで、洗浄水は内壁104を伝って、鉛直方向下向きに流れる。そして、洗浄水が固体生成物の付着した部分を流れることで、散水部174は、この付着した固体生成物を除去することができる。なお、散水部174が洗浄水を散水する時間や間隔は、処理ガスの成分や流路の大きさ及び長さ等に応じて任意に定められている。
また、散水部174は、洗浄水の散水終了後の一定時間の間には、第1の流量で乾燥空気を噴出する。一定時間の経過後には、散水部174は、第2の流量で乾燥空気を噴出する。これにより、除害装置100は、洗浄水の散水終了後に、第2の流量よりも多い流量である第1の流量で乾燥気体を散水部174に噴出させることで、洗浄水で湿った内壁104をより早く乾燥することができ、洗浄水導入後に内壁104に残留する洗浄水による新たな固体生成物の付着を防止することができる。また、除害装置100は、散水部174から洗浄水を散水しないときに、常に散水部174から乾燥空気を噴出させることで、散水部174に処理ガスが入ることを防止している。また、ヒータ210は、内壁104を加熱している。このことからも、内壁104は、より早く乾燥される。
次に配管部170の交換方向について、図3を参照して説明する。
上述したように、除害装置100は散水部174から洗浄水の散水を行うため、散水部174の近傍の内壁104の部分において、洗浄水による濡れ及び乾きが頻繁に発生する。これにより、この部分が腐食してしまう場合がある。
散水部174の近傍の内壁104の部分が腐食した場合、まず、腐食した配管部170の両端のクランプ250をそれぞれ取り外す。次に、腐食した配管部170を、第1の配管130及び第2の配管150から取り外す。その後、腐食していない配管部170を、第1の配管130及び第2の配管150の間に挟み、この配管部170の両端をそれぞれクランプ250によって固定する。
このように、除害装置100では、腐食しやすい配管部170のみを部分的に交換することができる。このため、除害装置100では、配管部170のみを交換することにより、腐食しやすい散水部174の近傍の部分を腐食がない状態に維持することができる。つまり、除害装置100は、管の内壁104の腐食に起因する装置の性能低下や装置全体の故障を抑制できる。
本実施形態では、除害装置100は、処理ガスを処理するファンスクラバー110を備えていた。除害装置100は、処理ガスを処理する機構を備えていればよく、ファンスクラバー110を備えていなくともよい。
また、除害装置100では、ヒータ210は、第1の配管130、第2の配管150及び配管部170の外壁の全体に巻きつけられている。しかし、ヒータ210は、外壁の全体に巻きつける必要はなく、加熱することが必要な部分にのみに配置されてもよい。
<構成>
本発明の第2実施形態である除害装置は、配管部及び圧力センサの構造が異なる以外、第1実施形態の除害装置100と同様の構造を有する。
図4は、本発明の第2実施形態である除害装置の配管部の周辺を示す拡大断面図である。図4を参照して、第2実施形態に係る除害装置300について詳細に説明する。
除害装置300は、第1の配管330、第2の配管350、配管部370、ヒータ410、Oリング430、クランプ450、スプレー390及び圧力センサ490を備える。ここで、第1の配管330、第2の配管350、ヒータ410、Oリング430、クランプ450及びスプレー390は、第1実施形態で説明したものと同じである。
二段目散水部375は、一段目散水部374と同様に、パイプ状の本体371の内壁304に位置し、内壁304の接線方向に延びる貫通孔である。二段目散水部375は、配管部370の長手方向と垂直な面上であって、配管部370の内壁304の円周方向に等間隔に4個設けられている。別言すると、複数の一段目散水部374は、図4の上下方向において、配管部370の内壁304の同一の高さの位置の円周上に等間隔に設けられている。二段目散水部375の部分においても、封止リング470が一段目散水部374と同様に巻きつけられており、二段目散水部375は、洗浄水を散水できる。二段目散水部375が洗浄水を散水する場合、洗浄水は、内壁304を伝って、流路303の下流方向へと流れる。また、二段目散水部375は、一段目散水部374よりも上流側に位置している。このため、二段目散水部375は、洗浄水を散水することで、一段目散水部374よりも上流側の内壁304に付着した固体生成物を除去できる。なお、二段目散水部375も、洗浄水を流路303へ散水できればよく、第1実施形態で説明した散水部174と同様に上述した構成を有さなくてもよい。
このように、除害装置300では、二段目散水部375が配管部370に含まれている。このため、二段目散水部375によって二段目散水部375の近傍が腐食した場合でも、配管部370を交換することで容易に当該腐食した部分を交換できる。
また、除害装置300では、一段目散水部374及び二段目散水部375の散水のタイミングが定められている。除害装置300は、一段目散水部374及び二段目散水部375の散水のタイミングを制御する制御部(図示省略)を備えている。具体的には、一段目散水部374は、圧力センサ490が予め定めた閾値よりも高い圧力を計測した時に散水する。他方、二段目散水部375は、流路303を流れる固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時に散水する。特に除害装置300は、除害装置300の前段に設けられた製造装置501からプロセスガス停止信号を受信した時を、固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時とみなす(図1参照)。なお、除害装置300は、除害装置300の前段に設けられたドライポンプ502又は除害装置300の後段に設けられた第2除害装置503からプロセスガス停止信号を受信した時を、処理ガスの流れが停止した時とみなしてもよい(図1参照)。また、除害装置300は、流路303の内部の風速を計測し、当該風速が一定の閾値以下となった時を、固体生成物の発生に起因する処理ガスが
停止した時とみなしてもよい。
次に除害装置300の固体生成物の除去動作について説明する。
除害装置300においても、上述した除害装置100と同様に、スプレー390が散水した洗浄水が第2の配管350の内壁304の部分に付着する場合があるため、第2の配管350の内壁304の部分に固体生成物が付着する場合がある。そして、内壁304に付着した固体生成物は、時間の経過とともに成長する。この場合、処理ガスが流れる流路303が狭まる。このため、処理ガスが流れにくくなり、固体生成物の付着した第2の配管350の上流側の圧力が上昇する。圧力センサ490は、この上昇した圧力を計測する。そして、一段目散水部374は、圧力センサ490が予め定めた閾値よりも高い圧力を検知した時に散水する。これにより、ある程度の固体生成物が内壁304に付着したときに、一段目散水部374は洗浄水の散水を行う。つまり、一段目散水部374は、内壁304に付着した固体生成物の量を圧力により推定して固体生成物の除去を行うことができるために、固体生成物によって配管が詰まることを確実に防止できる。なお、一段目散水部374が散水を開始する圧力の閾値は、処理ガスが流れるのに必要な流量に基づいて任意に決定されている。
次に除害装置300の配管の洗浄方法について説明する。
除害装置300の前段に設けられた製造装置501が所定のプロセスを行う場合、ドライポンプ502は、除害装置300に処理ガスを供給する。そして、処理ガスは、流路303を流れる。この時、処理ガスは、水と反応して内壁304に固体生成物を生成する。これにより、圧力センサ490が検知する圧力が上昇する。そして、圧力センサ490が
予め定めた閾値よりも高い圧力を検知した時に、一段目散水部374が散水する。このため、一段目散水部374は、一段目散水部374よりも下流側が固体生成物によって詰まることを確実に防止できる。また、製造装置501の所定のプロセスの終了時に、製造装置501は、除害装置300にプロセスガス停止信号を送信する。除害装置300は、このプロセスガス停止信号を受信した時を、固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時とみなす。そして、二段目散水部375は、洗浄水を散水する。このため、除害装置300は、製造装置501の所定のプロセス終了時に定期的に、一段目散水部374の散水により付着した固体生成物を除去することができる。
除害装置300では、二段目散水部375は流路303を流れる固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時に散水を開始していたが、二段目散水部375が散水を開始するタイミングはこの時に限られず任意に決定してもよい。例えば、前段に設けられた装置から所定の信号を受信した時に、二段目散水部375は散水を開始してもよい。より具体的には、除害装置300の前段に設けられた装置が半導体製造装置である場合に、散水を開始するタイミングを、デポジッション工程が終了した時と一致させてもよい。なお、デポジッション工程とは、所定の不純物濃度をシリコン表面に付着させる工程のことをいう。このため、除害装置300は、デポジッション工程が終了した時に固体生成物を除去することができる。
101 気体吸入口
102 気体吐出口
103 流路
104 内壁
110 ファンスクラバー
111 ケーシング
112 ファン
113 液体供給路
115 キャンドモータ
130 第1の配管
150 第2の配管
154 PFAコーティング
170 配管部
174 散水部
190 スプレー
210 ヒータ
230 Oリング
250 クランプ
300 除害装置
303 流路
304 内壁
330 第1の配管
350 第2の配管
370 配管部
374 一段目散水部
375 二段目散水部
390 スプレー
410 ヒータ
430 Oリング
450 クランプ
490 圧力センサ
Claims (18)
- 処理ガスが流れる流路を形成する内壁を有する除害装置であって、
前記流路の一部を形成する第1の配管と、
前記流路の一部を形成し、前記第1の配管よりも前記流路の下流側に位置して前記第1の配管に繋がり、前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する散水部を有する交換可能な、配管部と、
前記流路の一部を形成し、前記配管部よりも前記流路の下流側に位置して前記配管部に
繋がる第2の配管と、
前記散水部よりも上流側に位置し、前記散水部よりも上流側の前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する上流散水部と、
を備える、
除害装置。 - 請求項1に記載の除害装置において、
前記内壁を加熱するヒータを、さらに備える、
除害装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の除害装置において、
前記配管部は、耐食金属からなる、
除害装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の除害装置において、
前記内壁のうち前記第2の配管の部分が、PFAコーティングされている、
除害装置。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の除害装置において、
前記配管部と、前記第1の配管又は前記第2の配管と、の繋目を密封するOリングと、
前記繋目において、前記配管部と、前記第1の配管又は前記第2の配管とを密着させるクランプと、
をさらに備える、
除害装置。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の除害装置において、
前記散水部よりも上流側の前記流路内の圧力を計測する圧力センサを、さらに備え、
前記散水部は、前記圧力センサが予め定めた閾値よりも高い圧力を検知した時に散水し、
前記上流散水部は、前記流路を流れる固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時に散水をする、
除害装置。 - 請求項6に記載の除害装置において、
前記上流散水部は、前記除害装置の前段又は後段に設けられた装置からプロセスガス停止信号を受信した時を、前記固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時とみなして、散水する、
除害装置。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の除害装置において、
前記上流散水部は、前記配管部に含まれている、
除害装置。 - 請求項1から8のいずれか1項に記載の除害装置において、
前記散水部は、洗浄水を散水していないときに、乾燥気体を噴出し続ける、
除害装置。 - 請求項9に記載の除害装置において、
前記乾燥気体の噴出は、前記洗浄水の散水終了後の一定時間の間には、一定の第1の流量で行われ、前記一定時間の経過後には、前記第1の流量よりも少ない第2の流量で行わ
れる、
除害装置。 - 請求項9又は請求項10に記載の除害装置において、
前記乾燥気体は、不活性ガスである、
除害装置。 - 請求項1から11のいずれか1項に記載の除害装置において、
洗浄液を供給する液体供給路を有するファンスクラバーと、
前記散水部よりも下流に位置し、前記液体供給路に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水するスプレーと、
をさらに備える、
除害装置。 - 請求項12の除害装置において、
前記ファンスクラバーは、ファンと、前記ファンを回転させるキャンドモータと、を有する、
除害装置。 - 処理ガスが流れる流路を形成する内壁と、
前記流路の一部を形成する第1の配管と、
前記流路の一部を形成し、前記第1の配管よりも前記流路の下流側に位置して前記第1の配管に繋がり、前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する散水部を有する交換可能な、配管部と、
前記流路の一部を形成し、前記配管部よりも前記流路の下流側に位置して前記配管部に繋がる第2の配管と、
前記散水部よりも上流側に位置し、前記散水部よりも上流側の前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する上流散水部と、
を備える除害装置を用い、
前記配管部を交換する工程を、有する、
除害装置の配管部の交換方法。 - 処理ガスが流れる流路を形成する内壁を有する除害装置であって、
前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する散水部と、
前記散水部よりも上流側に位置し、前記散水部よりも上流側の前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する上流散水部と、
前記散水部よりも上流側の前記流路内の圧力を計測する圧力センサと、
を備える除害装置を用い、
前記圧力センサが予め定めた閾値よりも高い圧力を検知した時に、前記散水部が散水する工程と、
前記流路を流れる固体生成物の発生に起因する処理ガスが停止した時に、前記上流散水部が散水をする工程と、
を有する、
除害装置の配管の洗浄方法。 - 処理ガスが流れる流路を形成する内壁を有する除害装置であって、
前記流路の一部を形成する第1の配管と、
前記流路の一部を形成し、前記第1の配管よりも前記流路の下流側に位置して前記第1の配管に繋がり、前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する散水部を有する交換可能な、配管部と、
前記流路の一部を形成し、前記配管部よりも前記流路の下流側に位置して前記配管部に繋がる第2の配管と、
を備え、
前記内壁のうち前記第2の配管の部分が、PFAコーティングされている、
除害装置。 - 処理ガスが流れる流路を形成する内壁を有する除害装置であって、
前記流路の一部を形成する第1の配管と、
前記流路の一部を形成し、前記第1の配管よりも前記流路の下流側に位置して前記第1の配管に繋がり、前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する散水部を有する交換可能な、配管部と、
前記流路の一部を形成し、前記配管部よりも前記流路の下流側に位置して前記配管部に繋がる第2の配管と、
を備え、
前記散水部は、洗浄水を散水していないときに、乾燥気体を噴出し続ける、
除害装置。 - 処理ガスが流れる流路を形成する内壁を有する除害装置であって、
前記流路の一部を形成する第1の配管と、
前記流路の一部を形成し、前記第1の配管よりも前記流路の下流側に位置して前記第1の配管に繋がり、前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する散水部を有する交換可能な、配管部と、
前記流路の一部を形成し、前記配管部よりも前記流路の下流側に位置して前記配管部に繋がる第2の配管と、
洗浄液を供給する液体供給路を有するファンスクラバーと、
前記散水部よりも下流に位置し、前記液体供給路に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水するスプレーと、
を備え、
除害装置。
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