DE102006027882B4 - Wäscher zum Behandeln von Halbleiter-Abgas - Google Patents

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Abstract

Wäscher zur Behandlung von Halbleiter-Abgas, umfassend:
einen Zufuhrabschnitt (1100) zur gesteuerten Zufuhr von Halbleiter-Abgas, Brennstoff und Sauerstoff;
einen Brenner (1200), der mit dem Zufuhrabschnitt (1100) verbunden ist, um das Halbleiter-Abgas durch eine Flamme zu verbrennen;
eine Brennkammer (1300), die mit Einrichtungen zur Verhinderung des Festsetzens erzeugter Partikel versehen und mit dem Brenner (1200) verbunden ist, um zu bewirken, dass die während der Verbrennung des Halbleiter-Abgases erzeugten Partikel herunterfallen;
einen Nassturm (1500), der an einer Seite der Brennkammer (1300) installiert ist und das noch mit Partikeln beladene Verbrennungsabgas reinigt, um zu bewirken, dass die Partikel, welche von der Brennkammer (1300) transportiert werden, nachdem die Partikeln unter Verwendung von Wasser adsorbiert wurden, herunterfallen;
einen Wasserreservoirtank (1600), der mit der Brennkammer (1300) und dem Nassturm (1500) verbunden ist, um die Partikel, welche von der Brennkammer (1300) und dem Nassturm (1500) heruntergefallen sind, aufzufangen; wobei der Zufuhrabschnitt (1100) umfasst:...

Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung bezieht sich auf einen Wäscher zur Behandlung von Abgas von einem Halbleiterprozess und insbesondere einen Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäscher, welcher das Abgas von einem Halbleiterprozess unter Verwendung von Flammen hoher Temperatur verbrennt, das verbrannte Abgas unter Verwendung von Wasser filtert und auffängt, und dann das gefilterte und aufgefangene Gas in die Atmosphäre entsorgt.
  • Beschreibung des Standes der Technik
  • Derartige Wäscher zur Behandlung von Halbleiter-Abgas als Kombination von Verbrennung und Gasreinigung sind ganz allgemein aus WO 2003/074157 A1 und EP 739650 A2 vorbekannt.
  • Im Allgemeinen enthalten verschiedene Reaktionsgase, die zur Bildung von Filmen auf Wafern oder zum Ätzen von Wafern in einem Halbleiterherstellungsprozess verwendet werden, Oxidationskomponenten, Phosphidkomponenten, toxische Komponenten, usw. Wenn daher ein solches Reaktionsgas (im folgenden als "Abgas" bezeichnet) nach der Verwendung, so wie es ist an die Atmosphäre abgelassen wird, ist es nicht nur für den menschlichen Körper schädlich, sondern es verursacht auch eine Umweltverschmutzung. Daher wird ein solcher Wäscher in einem Halbleiterwerk bereitgestellt, um ein derartiges Abgas nach dem Entfernen von Oxidationskomponenten, Phosphidkomponenten, toxischen Komponenten usw. abzulassen,
  • Ein Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäscher zum Entfernen eines Abgases während eines Halbleiterherstellungsprozesses wird in drei Typen eingeteilt:
    • i) einen Indirektverbrennungs- und Nasstypwäscher, welcher ein Abgas verbrennt und dann das Gas noch einmal unter Verwendung von Wasser filtert, worin der Wäscher auch als "Heißhass-Wäscher" bezeichnet wird,
    • ii) einen Nasstypwäscher, welcher ein Abgas unter Verwendung von Wasser auffängt und dann das Wasser reinigt, worin der Wäscher auch als ein "Nass-Wäscher" bezeichnet wird, und
    • iii) einen Direktverbrennungs- und Nasstypwäscher, welcher ein Abgas unter Verwendung von Flammen hoher Temperatur verbrennt und dann das Gas unter Verwendung von Wasser auffängt, worin der Wäscher auch als "Verbrennungs-Nass-Wäscher" bezeichnet wird.
  • Hierin sind die Halbleiterabgase hauptsächlich Gase, die Silizium enthalten, welche eine große Anzahl von Partikeln erzeugen, wenn sie durch einen Heiß-Nass-Wäscher oder einen Verbrennungs-Nass-Wäscher behandelt werden.
  • Als Beispiel wird eine chemische Formel wie folgt gezeigt: SiH4 (Gas) + 2O2 → SiO2 (Partikeln) + 2H2O
  • Wenn ein derartiges Halbleiter-Abgas verbrannt wird, wird daher eine große Anzahl von Partikeln erzeugt. Daher ist es möglich, die Dichte schädlicher Komponenten in dem Halbleiterabgas wesentlich zu reduzieren, wenn die Partikel unter Verwendung von Wasser aufgefangen und gefiltert werden.
  • Die wie oben erwähnten herkömmlichen Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäscher weisen die folgenden Probleme auf.
  • Als erstes weist ein herkömmlicher Wäscher ein Problem auf, dass ein in einem derartigen Wäscher verwendeter Brenner keine überlegene Effizienz beim Verbrennen eines Halbleiterabgases aufweist und daher das Halbleiterabgas nicht vollständig verbrennen kann. Das heißt, dass ein Problem darin besteht, dass dem Brenner Brennstoff und Sauerstoff sowie ein Halbleiter-Abgas zugeführt werden, worin das Abgas, der Brennstoff und der Sauerstoff nicht schnell miteinander gemischt werden, weil diese so zugeführt werden, dass diese parallel zueinander strömen, wobei der Brenner eine schlechte Effizienz für die Verbrennung des Halbleiter-Abgases aufweist.
  • Als zweites lagern sich die Partikel, welche nach der Verbrennung des Halbleiter-Abgases erzeugt wurden, aufgrund von Anziehungskraft und Reibungskraft schrittweise dick an der inneren Wand einer Brennkammer an und verfestigen sich im Laufe der Zeit. Es besteht daher ein Problem einer Unannehmlichkeit, das darin besteht, dass die gesamteinnere Wand der Brennkammer manuell gereinigt werden muss, nachdem eine vorgegebene Zeitspanne verstrichen ist. Im allgemeinen muss die Innenwand einer solchen Brennkammer für gewöhnlich einmal alle drei oder vier Tage gereinigt werden.
  • Als drittes ist es, um die Brennkammer – wie oben erwähnt – zu reinigen, notwendig, die Brennkammer vollständig von einem Wäscher-Gehäuse zu separieren. Bei einem herkömmlichen Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäscher erfordert die Separation und Verbindung einer solchen Brennkammer jedoch eine sehr lange Zeit, weil die Brennkammer durch eine Anzahl von Bolzen und Muttern befestigt ist.
  • Als viertes kann ein Nass-Wäscher oder ein Verbrennungs-Nass-Wäscher – wie oben erwähnt – einen Nassturm zum Einspritzen einer vorbestimmten Wassermenge umfassen. Abgesehen von Sprühwasser ist ein solcher Nassturm für gewöhnlich mit einer Mehrzahl von Filtern versehen, um so Partikel zu filtern und entfernen. Ein solcher Wäscher ist jedoch nicht wirksam, denn ein solcher Nasstypturm sollte kontinuierlich verwendet werden, ohne dass der zusammengebaute Zustand geändert wird, sogar wenn er einmal zusammengebaut ist, ohne dass verschiedene Prozessbedingungen und Zustand des Zusammenbaus betrachtet werden. Zusätzlich kann es bei solch einem herkömmlichen Nassturm gelegentlich ausreichend sein, einen bestimmten Bereich zu reinigen, wenn das Innere des Nassturms gereinigt wird. In einem solchen Fall jedoch erfordert es eine sehr lange Zeit; den speziellen Bereich zu reinigen, weil es auch erforderlich ist, den Nassturm vollständig zu separieren.
  • Als fünftes kann ein – wie oben erwähnt – Nass-Wäscher oder ein Verbrennungs-Nass-Wäscher einen Wasserreservoirtank umfassen, in welchem eine vorbestimmte Wassermenge enthalten ist. Ein solcher Wasserreservoirtank dient dazu, zu bewirken, dass Partikel, die von einem Halbleiter-Abgas gebildet werden, wenn es durch eine Flamme von einem Brenner verbrannt wird, in Wasser aufgefangen werden. Selbstverständlich können solche Partikel und Wasser zu jedem vorbestimmten Zeitintervall nach außen abgelassen werden und dem Wasserreservoirtank kann frisches Wasser zugeführt werden. Jedoch setzen und sammeln sich die – wie oben beschrieben – im Wasser im Wasserreservoirtank gefangenen Partikel auf dem Boden des Wasserreservoirtanks durch ihr Gewicht ab, während die Zeit verstreicht. Da sie sich aufgrund ihres Gewichts immer dicker ansammeln, wenn die Zeit verstreicht, haften die Partikel infolgedessen auf dem Boden des Wasserreservoirtanks aufgrund ihres Eigengewichts, wodurch die Partikel nicht nach außen abgelassen werden, sogar wenn das Wasser abgelassen wird. Entsprechend weisen die Wäscher gemäß dem Stand der Technik das Problem auf, dass es notwendig ist, den Wasserreservoirtank zu jeder vorbestimmten Zeitspanne zu separieren und zu reinigen, was in einem bedeutsamen Ausmaß arbeitsintensiv und zeitaufwendig ist.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die oben erwähnten Probleme aus dem Stand der Technik zu lösen und einen Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäscher mit einem Brenner mit einer verbesserten Effizienz der Verbrennung eines Halbleiter-Abgases bereitzustellen.
  • Um die obige Aufgabe zu erfüllen, stellt die vorliegende Erfindung einen Wäscher zur Behandlung von Halbleiter-Abgas bereit, umfassend:
    einen Zufuhrabschnitt zur gesteuerten Zufuhr von Halbleiter-Abgas, Brennstoff und Sauerstoff; einen mit dem Zufuhrabschnitt verbundenen Brenner, um das Halbleiter-Abgas durch eine Flamme zu verbrennen; eine mit Einrichtungen zur Verhinderung des Festsetzens erzeugter Partikel versehene und mit dem Brenner verbundene Brennkammer, um zu bewirken, dass die während der Verbrennung des Halbleiter-Abgases erzeugten Partikel herunterfallen; einen Nassturm, der an einer Seite der Brennkammer installiert ist und das noch mit Partikeln beladenen Verbrennungsabgas reinigt, um zu bewirken, dass die von der Brennkammer transportierten Partikel nach der Adsorption von Wasser herunterfallen; und einen Wasserreservoirtank, der mit der Brennkammer und dem Nassturm verbunden ist, um die Partikel aufzufangen, die von der Brennkammer und dem Nassturm heruntergefallen sind; wobei der Zufuhrabschnitt wenigstens ein Abgas-Zufuhrrohr umfasst, das mit dem Brenner verbunden ist, um dem Brenner ein Halbleiter-Abgas zuzuführen; wenigstens ein Umgehungs-Abgas-Zufuhrrohr, das mit dem Abgaszufuhrrohr verbunden ist, um das Halbleiter-Abgas zu umgehen; wenigstens ein Brennstoffzufuhrrohr, das mit dem Brenner verbunden ist, um dem Brenner Brennstoff zuzuführen; und wenigstens ein Sauerstoffzufuhrrohr, das mit dem Brenner verbunden ist, um dem Brenner Sauerstoff zuzuführen.
  • Es wird ein Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäscher mit einer Brennkammer geschaffen, deren Innenwand Pulswellen mit einem bestimmten Druckniveau zugeführt werden, so dass sich die Partikel nicht auf der Innenwand der Brennkammer ablagern.
  • Ferner werden ein Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäscher, in dem die Brennkammer dazu ausgebildet ist, leicht separiert zu werden, und ein Kammerhalterungsabschnitt unter der Brennkammer bereitgestellt, um es zu ermöglichen, dass die Brennkammer leicht gewartet und repariert werden kann.
  • Ferner wird ein Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäscher mit einem Nassturm bereitgestellt, worin der Verbindungszustand der oberen und unteren Bereiche des Nassturms wahlweise entspre chend einem Halbleiterherstellungsprozess und einer Abgasbedingung gewählt werden kann.
  • Schließlich wird ein Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäscher mit einem Wasserreservoirtank bereitgestellt, der Wasser zum Auffangen von Partikeln von einem Halbleiter-Abgas enthält, worin in dem Wasser periodisch Luftblasen erzeugt werden, so dass die in dem Wasser aufgefangenen Partikel nicht an dem Boden des Wasserreservoirtanks haften.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
  • Der erfindungsgemäße Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäscher kann ferner einen Kammerhalterungsabschnitt umfassen, der unter dem unteren Ende der Brennkammer vorgesehen ist, um die Brennkammer zu halten.
  • Der Brenner kann umfassen: einen Hauptkörper mit wenigstens einem Halbleiter-Abgas-Zufuhrdurchlass, mit wenigstens einem Brennstoff-Zufuhrdurchlass und mit wenigstens einem Sauerstoff-Zufuhrdurchlass; einen Brennstoffdüsenkörper, der an der Umfangskante des Hauptkörpers eingebaut ist, wodurch ein Brennstoffzufuhrraum und eine Brennstoffzufuhrdüse gebildet ist, und einen Sauerstoffdüsenkörper, der an den Umfangskanten des Hauptkörpers und des Brennstoffdüsenkörpers eingebaut ist, wodurch ein Sauerstoffzufuhrraum und eine Sauerstoffzufuhrdüse gebildet sind; und einen Einbaukörper, der an den Umfangskanten des Hauptkörpers und des Sauerstoffdüsenkörpers eingebaut ist, wodurch ein Kühlmittel-Durchflussraum gebildet ist, wobei der Einbaukörper mit der Brennkammer verbunden ist.
  • Der Hauptkörper kann umfassen: eine Erweiterung, die sich im wesentlichen von dem unteren Ende des Hauptkörpers in einem vorbestimmten Ausmaß horizontal und radial nach außen erstreckt und wenigstens eine Nut aufweist, die auf der Umfangsoberfläche gebildet ist; einen ersten Flansch, der ober halb der Erweiterung angeordnet ist, wobei sich der erste Flansch von dem Hauptkörper in einem größeren Ausmaß als die Erweiterung horizontal und radial nach außen erstreckt; und einen zweiten Flansch, der oberhalb des ersten Flansches angeordnet ist, wobei sich der zweite Flansch von dem Hauptkörper in einem größeren Ausmaß als der erste Flansch horizontal und radial nach außen erstreckt, und worin der wenigstens eine Halbleiter-Abgas-Zufuhrdurchlass sich im wesentlichen vertikal durch den Hauptkörper erstreckt, der wenigstens eine Brennstoff-Zufuhrdurchlass sich vertikal durch den Hauptkörper so erstreckt, dass der Auslass des Brennstoff-Zufuhrdurchlasses zwischen der Erweiterung und dem ersten Flansch gebildet ist und der wenigstens eine Sauerstoff-Zufuhrdurchlass sich vertikal durch den Hauptkörper erstreckt, so dass der Auslass des Sauerstoff-Zufuhrdurchlasses zwischen dem ersten und dem zweiten Flansch gebildet ist.
  • Die auf dem Hauptkörper gebildete Nut kann derart geneigt sein, dass die virtuelle Verlängerungslinie seines unteren Endes die Mittenachse des Hauptkörpers kreuzt, und worin sich der Hauptkörper in engem Kontakt mit dem Brennstoffdüsenkörper befindet, so dass die Nut eine Brennstoffdüse bildet, und sich der Brennstoffdüsenkörper in engem Kontakt mit der Verlängerung und dem ersten Flansch befindet, so dass ein Brennstoffraum zwischen dem Hauptkörper und dem Brennstoffdüsenkörper gebildet ist.
  • Der Brennstoffdüsenkörper kann eine Mittenöffnung umfassen, welche durch den mittleren Teil des Brennstoffdüsenkörpers gebildet ist, in welche Mittenöffnung hinein der Hauptkörper eingebaut ist, und eine Erweiterung, welche um das untere Ende der Umfangsoberfläche des Brennstoffdüsenkörpers gebildet ist und sich radial in einem vorbestimmten Ausmaß erstreckt, worin die wenigstens eine Nut auf der Umfangsoberfläche der Erweiterung gebildet ist.
  • Wenigstens eine Nut, welche auf der Erweiterung des Brennstoffdüsenkörpers gebildet ist, ist unter einem Winkel ge neigt, der größer als der Winkel der Nut ist, die auf dem Hauptkörper gebildet ist, wobei sich der Brennstoffdüsenkörper in engem Kontakt mit dem Sauerstoffdüsenkörper befindet, so dass die wenigstens eine Nut auf der Erweiterung des Brennstoffdüsenkörpers wenigstens eine Sauerstoffdüse bildet, und sich der Sauerstoffdüsenkörper in engem Kontakt mit dem zweiten Flansch des Hauptkörpers und der wenigstens einen Nut des Brennstoffdüsenkörpers befindet, so dass ein oder mehrere Sauerstoffräume zwischen dem ersten und zweiten Flansch und zwischen dem Treibstoffdüsenkörper und dem Sauerstoffdüsenkörper gebildet sind.
  • Der Sauerstoffdüsenkörper kann eine Mittenöffnung umfassen, die durch den mittleren Teil des Sauerstoffdüsenkörpers gebildet ist, in welche Öffnung hinein der Brennstoffdüsenkörper eingebaut ist, und eine Erweiterung, die um das untere Ende der Umfangsoberfläche des Sauerstoffdüsenkörpers herum gebildet ist und sich radial nach außen in einem vorbestimmten Ausmaß erstreckt.
  • Der Einbaukörper kann eine mittlere Öffnung umfassen, die durch den mittleren Teil des Einbaukörpers gebildet ist, in welche Öffnung hinein der Sauerstoffdüsenkörper eingebaut ist, und einen Kühlmittel-Durchflussraum, der zwischen der äußeren Umfangsoberfläche des Sauerstoffdüsenkörpers und der inneren Umfangsoberfläche des Einbaukörpers gebildet ist, wobei eine Kühlmittelrohrleitung mit dem Kühlmittel-Durchflussraum verbunden ist.
  • Der Hauptkörper kann eine umgekehrte konische Oberfläche aufweisen, von welcher der Scheitelpunkt das untere Ende des Hauptkörpers bildet und eine Sperrwand, die sich nach unten um eine vorbestimmte Länge um die konische Oberfläche herum erstreckt.
  • Die Brennkammer kann eine obere Abdeckung umfassen, in deren Mitte hinein der Brenner eingebaut ist, eine innere Kammer, die von der Bodenseite von der oberen Abdeckung um den Bren ner abhängt, und eine äußere Kammer, die von der Bodenseite der oberen Abdeckung um die innere Kammer abhängt.
  • Ein Kühlrohr kann in einem Raum zwischen der oberen Abdeckung und der äußeren Kammer zur Zufuhr eines Kühlmittels vorgesehen sein. Wenigstens eine Durchgangsöffnung ist in dem Kühlrohr gebildet, so dass das Kühlmittel in den Raum zwischen der inneren Kammer und der äußeren Kammer eingespritzt wird Die innere Kammer kann aus einer oberen inneren Kammer und einer unteren inneren Kammer bestehen, welche voneinander lösbar sind. Die äußere Kammer besteht auch aus einer oberen äußeren Kammer und einer unteren äußeren Kammer, welche voneinander lösbar sind.
  • Die Brennkammer kann einen Pilotbrenner umfassen, der an dem unteren Ende des Brenners durch die äußere Kammer und die innere Kammer angeordnet ist, um die Startzündung durchzuführen, und einen UV-Sensor, der an dem unteren Ende des Brenners durch die äußere Kammer und die innere Kammer angeordnet ist, um zu erfassen, ob die Startzündung erfolgreich durchgeführt wurde.
  • Die Brennkammer kann ferner einen Gaszufuhrabschnitt zum Entfernen von Partikel umfassen, welcher ein Gas mit vorbestimmtem Druck zuführt, so dass sich die Partikel nicht an der inneren Wand der Brennkammer ansammeln.
  • Der Gaszufuhrabschnitt zum Entfernen von Partikeln kann ein Gaszufuhrrohr, das der Außenseite der oberen Abdeckung der Brennkammer angefügt ist, ein Gasrohr, das mit dem Gaszufuhrrohr verbunden ist, wobei das Gasrohr in einer Ringform entlang des Raumes zwischen der oberen Abdeckung und der inneren Kammer gebildet ist, und wenigstens eine Gasdüse umfassen, die mit dem Gasrohr zusammengefügt ist und sich in der inneren Kammer mit einer vorbestimmten Länge erstreckt.
  • Die Gasdüse kann einen geraden Teil, der sich parallel zu der inneren Wand der Brennkammer erstreckt, und eine bogenförmige Abwinklung in Richtung der inneren Wand der Brennkammer von dem Ende des geraden Teils umfassen, so dass das Gas der inneren Wand der inneren Kammer einen Impuls zuführen kann.
  • Es können vier Gasdüsen vorgesehen sein, welche so angeordnet sind, dass diese in der Mitte der inneren Kammer zentriert und voneinander in einem Winkelabstand von 90 Grad beabstandet sind.
  • Die Gasdüsen können mit Bezug auf die vertikale Richtung der inneren Kammer so geneigt sein, dass das Gas in Form eines Wirbels der inneren Kammer zugeführt werden kann.
  • Das Gas, das durch den Gaszufuhrabschnitt zum Entfernen von Partikeln zugeführt wird, kann ein Inertgas sein.
  • Das Gas, das durch den Gaszufuhrabschnitt zum Entfernen von Partikeln zugeführt wird, kann in einer gepulsten Form zugeführt werden.
  • Eine im wesentlichen trichterförmige untere Kammer kann lösbar an dem unteren Teil der äußeren Kammer der Brennkammer befestigt sein. Ein Partikelführungsteil ist im Inneren der unteren Kammer aufgenommen, die Führungskammer ist im wesentlichen trichterförmig in Richtung des unteren Endes der unteren Kammer ausgebildet, um so die erzeugten Partikel nach dem Verbrennen des Abgases zum Nassturm und zum Wassertank zu leiten.
  • Das Partikelführungsteil kann ferner ein Inertgasrohr zum Einspritzen von Inertgas umfassen, um zu verhindern, dass ein Dampf, welcher in dem Wasserreservoirtank erzeugt wird, in die Brennkammer eingeführt wird.
  • Die untere Kammer kann mit einem Kammerhalteabschnitt versehen sein, um die Brennkammer zu halten und es zu gestatten, dass die Brennkammer separiert wird.
  • Der Kammerhalterungsabschnitt umfasst: ein Paar von Führungsschienen, die linear auf einer Halteplatte installiert sind; ein Paar von Führungsblöcken, die auf den Führungsschienen so angebracht sind, dass diese in der Lage sind, sich in der horizontalen Richtung hin und her zu bewegen; ein Paar von Haltestücken, die an den Führungsblöcken angebracht sind und sich über eine vorbestimmte Distanz nach oben erstrecken, wobei jedes der Haltestücke eine horizontale Oberfläche, die an seinem oberen Bereich gebildet ist, sowie eine abfallende Oberfläche, die sich unter einem vorbestimmten Winkel von der horizontalen Oberfläche nach unten erstreckt, aufweist; und einen oder mehrere Haltestäbe, um die Haltestücke miteinander zu verbinden, wobei die untere Kammer mit Walzen versehen ist, welche dazu angebracht sind, entlang den horizontalen Oberflächen oder den abfallenden Oberflächen der Haltestücke verschiebbar zu sein.
  • Der Nassturm kann umfassen: einen zylindrischen Basisturm mit Basis-Einspritzdüsen; einen zylindrischen ersten Turm, der abnehmbar am oberen Teil des Basisturms angebracht ist, wobei in dem ersten Turm ein erster Filter und erste Düsen vorgesehen sind; einen zylindrischen zweiten Turm, der abnehmbar am oberen Teil des ersten Turms angebracht ist, wobei in dem zweiten Turm ein zweiter Filter und zweite Düsen vorgesehen sind; einen zylindrischen dritten Turm, der abnehmbar am oberen Teil des zweiten Turms angebracht ist, wobei in dem dritten Turm ein dritter Filter und dritte Düsen vorgesehen sind; einen zylindrischen vierten Turm, der abnehmbar am oberen Teil des dritten Turms angebracht ist, wobei mehrere Prallplatten und ein Gaszufuhrrohr in dem vierten Turm vorgesehen sind, worin der erste Turm und der zweite Turm in variierender Reihenfolge zusammengebaut werden können und der dritte Turm und der vierte Turm auch in variierender Reihenfolge zusammengebaut werden können.
  • Der erste Turm und der zweite Turm können miteinander identisch in Höhe und Durchmesser sein und der dritte Turm und der vierte Turm sind miteinander identisch in Höhe und Durchmesser, und der Durchmesser des ersten und zweiten Turms ist von dem des dritten und vierten Turms unterschiedlich.
  • Die Porositäten des ersten Filters, des zweiten Filters und des dritten Filters können in der Reihenfolge des ersten Filters, des zweiten Filters und des dritten Filters abnehmen.
  • Frisches Wasser kann durch die Basis-Einspritzdüsen zugeführt werden, und gereinigtes Wasser von dem Wasserreservoirtank wird durch die ersten, zweiten und dritten Einspritzdüsen zugeführt.
  • Eine oben offene Abdeckung kann am oberen Bereich des vierten Turms eingebaut sein, ein erstes Abgasrohr mit einem Anschluss zur Druckerfassung, ein Anschluss zur Temperaturerfassung und ein Kühlluftanschluss sind mit der Abdeckung verbunden, und ein zweites Abgasrohr ist mit dem oberen Ende des ersten Abgasrohrs verbunden, wobei das zweite Abgasrohr ein Abgasmengen-Steuerungs-Teil umfasst, so dass die Abgasmenge gesteuert werden kann.
  • Der Basisturm kann mit der Brennkammer und dem Wasserreservoirtank durch ein dazwischen befindliches Verbindungsrohr und ein unteres Verbindungsrohr verbunden sein. Die Basis-Einspritzdüsen sind derart angeordnet, dass diese in der Lage sind, Wasser nach oben in Richtung des ersten Filters, der in dem ersten Turm installiert ist, einzuspritzen.
  • Der Basisturm kann ferner einen Anschluss zur Druckerfassung aufweisen, um so den Druck in dem Basisturm zu erfassen.
  • Die ersten Einspritzdüsen des ersten Turms können oberhalb des ersten Filters derart angeordnet sein, dass diese in der Lage sind, Wasser nach unten in Richtung des ersten Filters einzuspritzen.
  • Der erste Turm kann ein transparentes erstes Fenster umfassen, welches in der Wand des ersten Turms gebildet ist, so dass der erste Filter in dem ersten Turm visuell sichtbar ist.
  • Die zweiten Einspritzdüsen des zweiten Turms können oberhalb des zweiten Filters derart angeordnet sein, dass sie in der Lage sind, Wasser nach unten in Richtung des zweiten Filters einzuspritzen.
  • Der zweite Turm kann ferner ein transparentes zweites Fenster umfassen, welches in der Wand des zweiten Turms gebildet ist, so dass der zweite Filter in dem zweiten Turm visuell sichtbar ist.
  • Die dritten Einspritzdüsen des dritten Turms oberhalb des dritten Filters können derart angeordnet sein, dass sie in der Lage sind, Wasser nach unten in Richtung des dritten Filters einzuspritzen.
  • Jede der Prallplatten des vierten Turms kann mit mehreren Durchgangsöffnungen gebildet sein. Die Prallplatten sind so gestapelt, dass diese vertikal voneinander beabstandet sind, die in benachbarten zwei Aufprallplatten gebildeten Durchgangsöffnungen sind voneinander versetzt, und das Gaszufuhrrohr oberhalb der Aufprallplatten ist derart angeordnet, dass es in der Lage ist, Inertgas nach unten in Richtung der Prallplatten zuzuführen.
  • Der Wasserreservoirtank kann einen ersten Bereich umfassen, der unter der Brennkammer und dem Nassturm eingebaut ist, um so Wasser und Partikel aufzufangen, welche von der Brennkammer und dem Nassturm heruntergefallen sind, einen zweiten Bereich, der von dem ersten Bereich durch eine Teilung abgeteilt ist und dem Partikel-gefiltertes Wasser von dem ersten Bereich zugeführt wird, und einen Filterabschnitt, der zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich eingefügt ist, um so Partikeln aus dem Wasser zu filtern.
  • Eine Abflusspumpe kann zusätzlich mit dem ersten Bereich verbunden sein, um das Wasser und die Partikel übereinstimmend abzulassen.
  • Die Abflusspumpe kann Flüssigkeits-Einlass- und -Auslassanschlüsse aufweisen, um so Wasser und Partikel anzusaugen und abzulassen, und weist Luft-Einlass- und -Auslassanschlüsse auf, um der Abflusspumpe einen pneumatischen Druck zuzuführen, um so die Abflusspumpe zu betreiben, und wenigstens ein Blasen-Rührwerk, das mit dem Luft-Auslassanschluss über ein Rohr verbunden ist und auf eine vorbestimmte Tiefe in dem Wasser des ersten Bereiches des Wasserreservoirtanks abgesinkt.
  • Die Abflusspumpe kann eine pneumatische Membranpumpe sein.
  • Das Blasen-Rührwerk kann ein Geräuschminderer sein, um die Geräusche von der Abflusspumpe zu mindern.
  • Das Blasen-Rührwerk kann jedesmal, wenn Luft von der Abflusspumpe abgelassen wird, Blasen in dem Wasser erzeugen, welches in dem Wasserreservoirtank enthalten ist, so dass die in dem Wasser aufgefangenen Partikel kontinuierlich in dem Wasser umlaufen, ohne dass sie sich auf dem Boden des Wasserreservoirtanks ablagern oder ansammeln.
  • Der Einlassanschluss einer Umwälzpumpe kann mit dem zweiten Bereich des Wasserreservoirtanks verbunden sein, und der Auslassanschluss der Umwälzpumpe ist mit dem Nassturm durch einen Wärmeaustauscher verbunden.
  • BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die Erfindung wird nachfolgenden anhand einer in den Zeichnungen näher dargestellten Ausführungsform eines Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers näher erläutert. Es zeigt:
  • 1 eine perspektivische Ansicht der Hauptkonstruktion des Wäschers,
  • 2a bis 2c teilweise geschnittene Ansichten des Wäschers von vorn, links und rechts,
  • 3 eine Vorderansicht des Wäschers,
  • 4 eine teilweise geschnittene Ansicht von links auf zwei verbundene Wäscher,
  • 5a und 5b Ansichten von vorn und von links auf einen Zufuhrabschnitt des Wäschers,
  • 6a und 6b Schnittdarstellungen von vorn auf den Brenner des Wäschers,
  • 7a eine Explosionsdarstellung des Querschnitts des Brenners,
  • 7b ein vergrößertes Detail des Teils 7b in 7a,
  • 7c ein vergrößertes Detail des Teils 7c in 7a,
  • 8 eine Untersicht des Brenners,
  • 9a bis 9c teilweise geschnittene Ansichten von vorn, von oben und von unten auf die Brennkammer des Wäschers,
  • 10a und 10b teilweise geschnittene Ansichten von links und rechts der Brennkammer des Wäschers,
  • 11a eine Ansicht von rechts auf die Brennkammer,
  • 11b einen Querschnitt durch die Brennkammer,
  • 12a eine Ansicht von links auf eine untere Kammer des Wäschers,
  • 12b eine teilweise geschnittene Ansicht von rechts auf die untere Kammer und einen Kammerhalterungsabschnitt,
  • 13a und 13b teilweise geschnittene Ansichten von vorn und von rechts auf den Nassturm des Wäschers,
  • 14a und 14b Querschnittsdarstellungen des Nassturms entlang der Linien 14a-14a und 14b-14b in 13b,
  • 14c eine perspektivische Ansicht des Bereiches 14c in 13b,
  • 15a eine teilweise geschnitten dargestellte Draufsicht auf den Wasserreservoirtank des Wäschers,
  • 15b eine teilweise geschnitten dargestellte Ansicht von links auf den Wasserreservoirtank,
  • 15c eine teilweise geschnitten dargestellte Vorderansicht des Wasserreservoirtanks und
  • 15d eine teilweise geschnittenen Ansicht von rechts auf den Wasserreservoirtank und
  • 16 Seitenansichten einer Umwälzpumpe und eines Wärmeaustauschers zum Reinigen und Zuführen von Wasser vom Wasserreservoirtank zum Nassturm.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Die 1 zeigt eine perspektivische Ansicht der Hauptkonstruktion des erfindungsgemäßen Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers 1000.
  • Wie in 1 gezeigt, umfasst der Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäscher 1000 einen Zufuhrabschnitt 1100 zur Zufuhr von Halbleiter-Abgas, Brennstoff und Sauerstoff, einen Brenner 1200, der mit dem Zufuhrabschnitt 1100 verbunden ist, um das Halbleiter-Abgas durch eine Flamme zu verbrennen, eine Brennkammer 1300, die mit dem Brenner 1200 verbunden ist, um zu bewirken, dass Partikel cd. dgl., die während der Verbrennung des Halbleiter-Abgases erzeugt werden, herunterfallen, einen Kammerhalterungsabschnitt 1400, der unter der Brennkammer 1300 angeordnet ist, um die Brennkammer 1300 zu halten, einen Nassturm 1500, der an einer Seite der Brennkammer 1300 installiert ist, um gefiltertes Gas an die Atmosphäre abzulassen, während gleichzeitig, unter Verwendung von Wasser die Partikel cd. dgl. adsorbiert werden, und bewirkt wird, dass die Partikel cd. dgl., die von der Brennkammer 1300 transportiert werden, herunterfallen, und einen Wasserreservoirtank 1600, der an die Brennkammer 1300 und den Nassturm 1500 angeschlossen ist, um die Partikel od. dgl., welche von der Brennkammer 1300 und dem Nassturm 1500 herunterfallen, unter Verwendung des darin enthaltenen Wassers aufzufangen und abzulassen.
  • Die Brennkammer 1300 und der Nassturm 1500 sind über dazwischenliegende Verbindungsrohre 1353 und 1513 miteinander verbunden. Zusätzlich sind die Brennkammer 1300 und der Wasserreservoirtank 1600 durch das dazwischenliegende Verbindungsrohr 1353 und ein unteres Verbindungsrohr 1354 miteinander verbunden. Der Nassturm 1500 und der Wasserreservoirtank 1600 sind durch ein anderes unteres Verbindungsrohr 1514 miteinander verbunden.
  • Die 2a bis 2c zeigen vorder-, links- und rechtsseitige Ansichten des erfindungsgemäßen Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers 1000, teilweise im Schnitt.
  • Der Zufuhrabschnitt 1100, der dazu dient, dem Brenner 1200 ein Halbleiter-Abgas, Brennstoff und Sauerstoff zuzuführen, umfasst eine Mehrzahl von Abgas-Zufuhrrohren 1111, eine Mehrzahl von Umgehungs-Abgas-Zufuhrrohren 1112, wenigstens ein Brennstoff-Zufuhrrohr 1115 und wenigstens ein Sauerstoff-Zufuhrrohr 1116. Ferner sind ein Dreiwegventil 1113 und eine Sensoreinheit 1114 angeordnet. Der Zufuhrabschnitt 1100 wird unten ausführlicher beschrieben.
  • Der Brenner 1200 dient dazu, ein Halbleiter-Abgas, Brennstoff und Sauerstoff geeignet zu mischen, welche von dem Zufuhrabschnitt 1100 zugeführt werden, und zur selben Zeit eine Flamme zu erzeugen, wodurch das Abgas verbrannt wird, so dass Partikel erzeugt werden. Der Brenner 1200 umfasst einen Hauptkörper 1210 (6a), durch den das Halbleiter-Abgas, Brennstoff und Sauerstoff gehen, einen Brennstoffdüsenkörper 1220 (7a), der als eine Brennstoffzuführdüse dient, einen Sauerstoffdüsenkörper 1230 (7a), der als eine Sauerstoffzufuhrdüse dient, und einen Einbaukörper 1240 (7a), der ein Kühlmittel enthält und gestattet, dass der Brenner 1200 an der Brennkammer 1300 befestigt wird. Ein solcher Brenner 1200 wird unten detaillierter beschrieben.
  • Die Brennkammer 1300 verhindert, dass die Hitze des Brenners 1200 nach außen ins Äußere strömt, und lenkt die Partikel, verbleibendes Gas cd. dgl., die vom Brenner 1200 erzeugt werden, zum Nassturm 1500, der an einer Seite der Brennkammer 1300 angeordnet ist, oder zum Wasserreservoirtank 1600 hin, der unter der Brennkammer 1300 angeordnet ist. Die Brennkammer 1300 umfasst eine obere Abdeckung 1310, an deren mittleren Bereich der Brenner 1200 gekoppelt ist, eine innere Kammer 1320, die sich von der unteren Seite der oberen Abdeckung 1310 und der Umfangskante des Brenners 1200 um eine vorbestimmte Länge nach unten erstreckt, und eine äußere Kammer 1330, die sich vom Boden der oberen Abdeckung 1310 um eine vorbestimmte Länge nach unten erstreckt und die äußere Umfangskante der inneren Kammer 1320 umgibt. Zusätzlich ist auch ein Gaszufuhrabschnitt 1360 zum Entfernen von Partikeln, um Gas zum Entfernen von Partikeln zuzuführen, vorgesehen, um zu verhindern, dass sich die Partikel, die von der Flamme des Brenners 1200 erzeugt werden, an der inneren Wand ablagern. Die Brennkammer 1300 und der Gaszufuhrabschnitt 1360 zum Entfernen von Partikeln werden unten ausführlicher beschrieben.
  • Der Kammerhalterungsabschnitt 1400 ist unter der Brennkammer 1300 installiert und dient dazu, unter der Brennkammer 1300 die Brennkammer 1300 nach oben zu halten. Wie unten beschrieben wird, kann die Brennkammer 1300 leicht entfernt werden, wenn der Kammerhalterungsabschnitt 1400 seitlich verschoben wird. Dies wird unten ausführlicher beschrieben.
  • Der Nassturm 1500 dient dazu, die Partikel od. dgl., die von der Brennkammer transportiert wurden, unter Verwendung von Wasser zu filtern und aufzufangen, um diese dem Wasserreservoirtank 1600 zuzuführen, der unterhalb des Nassturms 1500 angeordnet ist, und gefiltertes reines Gas nach außen abzulassen. Der Nassturm 1500 umfasst einen Basisturm 1510, einen ersten Turm 1520, einen zweiten Turm 1530, einen dritten Turm 1540 und einen vierten Turm 1550. Der Nassturm 1500 wird unten auch ausführlicher beschrieben.
  • Die Brennkammer 1300 und der Nassturm 1500 sind über die Zwischenverbindungsrohre 1353 und 1513 – wie oben beschrieben – verbunden. Zusätzlich ist die Brennkammer 1300 mit dem Wasserreservoirtank 1600, der unterhalb der Brennkammer 1300 angeordnet ist, durch das Zwischenverbindungsrohr 1353 und das untere Verbindungsrohr 1354 verbunden. Weiterhin ist der Nassturm 1500 mit dem Wasserreservoirtank durch das untere Verbindungsrohr 1514 verbunden.
  • Der Wasserreservoirtank 1600 dient dazu, Partikel od. dgl., die von der Brennkammer 1300 und dem Nassturm 1500 herunter fallen, unter Verwendung von Wasser aufzufangen. Zusätzlich dient der Wasserreservoirtank 1600 dazu, die aufgefangenen Partikel nach außen abzulassen oder das Wasser zu reinigen und es dem Nassturm 1500 zuzuführen. Der Wasserreservoirtank 1600 umfasst einen ersten Bereich 1613, der mit der Brennkammer 1300 und dem Nassturm 1500 verbunden ist, einen zweiten Bereich 1614, um nur reines Wasser zu empfangen, in dem die Partikel vom ersten Bereich 1613 separiert werden (2b), und einen Filterabschnitt 1617, der zwischen dem ersten Bereich 1613 und dem zweiten Bereich 1614 angeordnet ist, um das Wasser zu filtern. Hier ist der erste Bereich 1613 mit einem Blasen-Rührwerk 1630 bereitgestellt, um Luftblasen zu jeder vorbestimmten Zeitperiode zu erzeugen, um zu verhindern, dass sich Partikel ansammeln. Zusätzlich ist auch eine Ablasspumpe 1620 bereitgestellt, um das Blasen-Rührwerk 1630 sowohl zum Ablassen der Partikel als auch zum Ablassen von Wasser vom ersten Bereich 1613 zu betreiben. Weiterhin ist der zweite Bereich 1614 mit einer Zirkulationspumpe 1640 zum Ansaugen und Zuführen von Wasser, das durch den zweiten Bereich 1614 gefiltert wurde, an den Nassturm 1500 (2b), und mit einem Wärmeaustauscher 1650 zum Kühlen des Wassers (2c), bereitgestellt. Der Wasserreservoirtank 1600 wird unten auch ausführlicher beschrieben.
  • In den Zeichnungen sind ein Gehäuse 1701, welches das äußere Erscheinungsbild des Wäschers 1000 bildet, eine Bedienfläche 1702 und Rollfüße 1703 dargestellt.
  • Die 3 zeigt eine Vorderansicht des Halbleiter-Abgas-Behandlungswäschers 1000.
  • Der Zufuhrabschnitt 1100, der Brenner 1200, die Brennkammer 1300, der Brennerhalterungsabschnitt 1400, der Nassturm 1500 und der Wasserreservoirtank 1600 sind in einem im Wesentlichen quadratisch geformten Gehäuse 1701 installiert. Zusätzlich kann ein Bedienfläche 1702 vor dem Gehäuse 1701 angeordnet sein, um die entsprechenden Komponenten zu steuern. Fer ner kann eine Mehrzahl von Rollfüßen 1703 unter dem Gehäuse 1701 angebracht sein.
  • Die 4 zeigt eine teilweise geschnittene Ansicht von links auf die verbundenen Halbleiter-Abgas-Bearbeitungs-Wäscher 1000 und 2000.
  • Die Halbleiter-Abgas-Behandlungswäscher 1000 und 2000 sind miteinander verbunden. Eine Sensoreinheit 1114, die im Wäscher 1000 bereitgestellt ist, ist über ein Verbindungsrohr 1704 mit einer Sensoreinheit 1114 verbunden, die in dem anderen Wäscher 2000 bereitgestellt ist. Falls das Halbleiter-Abgas nicht reibungslos dem einen Wäscher 1000 zugeführt wird, erfasst daher die entsprechende Sensoreinheit 1114 dieses und bewirkt, dass das Abgas an den anderen Wäscher 2000 durch das Verbindungsrohr 1704 geliefert wird. In 4 sind Halbleiter-Abgas-Zufuhrrohre 1112 und Dreiwegeventile 1113 dargestellt.
  • Die 5a und 5b zeigen Ansichten von vorn und von links des Zufuhrabschnitts 1100 des Halbleiter-Abgas-Behandlungswäschers 1000, teilweise im Schnitt.
  • Der Zufuhrabschnitt 1100 umfasst Abgaszufuhrrohre 1111, Umgehungs-Abgas-Zufuhrrohre 1112, ein Brennstoffzufuhrrohr 1115, ein Sauerstoffzufuhrrohr 1116, Dreiwegeventile 1113, und Sensoreinheiten 1114. Die Abgas-Zufuhrrohre 1111 sind mit dem Brenner 1200 verbunden, um dem Brenner 1200 Halbleiter-Abgas zuzuführen. Die Umgehungs-Abgas-Zufuhrrohre 1112 sind mit den Abgas-Zufuhrrohren 1111 entsprechend verbunden, um das Abgas, das von den Abgas-Zufuhrrohren 1111 überfließt, einem anderen Gerät oder Wäscher zuzuführen. Das Brennstoff-Zufuhrrohr 1115 ist mit dem Brenner 1200 verbunden, um diesem Brennstoff, wie z. B. LNG, LPG, usw., zuzuführen. Das Sauerstoffzufuhrrohr 1116 ist mit dem Brenner 1200 verbunden, um dem Brenner 1200 z. B. Luft zuzuführen. Die Dreiwegeventile 1113 sind zwischen den Abgas-Zufuhrrohren 1111 und den Umgehungs-Abgas-Zufuhrrohren 1112 miteinander verbunden, um auf diese Weise die Richtung zur Zufuhr des Abgases zu bestimmen. Zusätzlich erfassen die Sensoreinheiten 1114 die Menge an Abgas, das – wie oben beschrieben – zugeführt wird, und bestimmen, ob das Abgas zu dem anderen Wäscher transportiert werden soll.
  • Die 6a und 6b zeigen unterschiedliche vordere Schnittdarstellungen von vorn auf den Brenner 1200 des Halbleiter-Abgas-Behandlungswäschers 1000.
  • Zusätzlich sind in 7a eine Explosionsdarstellung des Querschnitts des Brenners 1200 des Halbleiter-Abgas-Behandlungswäschers 1000, in 7b ein vergrößertes Detail des Teils 7b aus 7a und in 7c ein vergrößertes Detail des Teils 7c aus 7a dargestellt.
  • Ferner ist in 8 eine Untersicht des Brenners 1200 des Halbleiter-Abgas-Behandlungswäschers 1000 gezeigt.
  • Wie es in den 6a und 6b gezeigt ist, umfasst der Brenner 1200 einen Hauptkörper 1210, einen Brennstoffdüsenkörper 1220, einen Sauerstoffdüsenkörper 1230 und einen Einbaukörper 1240.
  • Der Hauptkörper 1210 ist mit wenigstens einem Abgas-Zufuhrdurchlass 1211 gebildet, der mit einem nicht gezeigten Halbleiter-Abgas-Zufuhrrohr verbunden ist, worin der Abgas-Zufuhrdurchlass 1211 so gebildet ist, dass dieser sich durch den Hauptkörper 1210 vom oberen Ende zum unteren Ende erstreckt, so dass das Halbleiter-Abgas durch den Abgas-Zufuhrdurchlass 1211 zugeführt wird. Zusätzlich ist der Hauptkörper 1210 mit einem Brennstoff-Zufuhrdurchlass 1212 zur Zufuhr von Brennstoff gebildet, wobei der Brennstoff-Zufuhrdurchlass 1212 mit dem Brennstoff-Zufuhrrohr 1115 des Zufuhrabschnitts 1100 verbunden ist, worin der Brennstoff-Zufuhrdurchlass 1212 sich nach unten vom oberen Teil des Hauptkörpers 1200 durch den Hauptkörper 1200 erstreckt und sich dann in Richtung einer Seite des Hauptkörpers 1200 biegt, wo der Auslass des Brennstoff-Zufuhrdurchlasses 1212 gebildet ist. Ferner ist der Hauptkörper 1210 mit einem Sauerstoff-Zufuhrdurchlass 1213 gebildet, der mit dem Sauerstoff-Zufuhrrohr 1116 des Zufuhrabschnitts 1100 verbunden ist, worin sich der Sauerstoff-Zufuhrdurchlass 1213 vom oberen Teil des Hauptkörpers 1210 nach unten erstreckt und dann zu einem Bereich auf der gegenüberliegenden Seite des Hauptkörpers 1210 in Bezug auf den Brennstoff-Zufuhrdurchlass 1212 biegt, wobei der Auslass des Sauerstoff-Zufuhrdurchlasses 1213 auf der gegenüberliegenden Seite gebildet ist. In 6a sind das Abgas G, das durch den Abgas-Zufuhrdurchlass 1211 zugeführt wird, der Brennstoff F, der durch den Brennstoff-Zufuhrdurchlass 1212 zugeführt wird, und der Sauerstoff O, der durch den Sauerstoff-Durchlass 1213 zugeführt wird, angegeben.
  • Gemäß 7a ist der Hauptkörper 1210 mit einer umgekehrten konischen Oberfläche 1214 gebildet, deren Scheitelpunkt nach unten vom Hauptkörper 1210 vorspringt. Eine Sperrwand 1215 ist um die konische Oberfläche 1214 derart gebildet, dass diese sich um eine vorbestimmte Länge erstreckt. Zusätzlich ist auch eine Erweiterung 1216 um die äußere Umfangskante der Sperrwand 1215 herum gebildet und erstreckt sich von dieser äußeren Umfangskante der Sperrwand 1215 derart nach außen, dass diese eine vorbestimmte horizontale Länge aufweist, worin die Erweiterung 1216 mit einer oder mehreren Nuten 1216a (7b) auf der äußeren Umfangsfläche davon gebildet ist. Oberhalb der Erweiterung 1216 ist auch ein erster Flansch 1217 mit einem Stufenbereich 1217a um die äußere Umfangsfläche des Hauptkörpers 1210 herum gebildet und erstreckt sich radial von dieser äußeren Umfangsfläche des Hauptkörpers 1210 derart nach außen, dass dieer eine horizontale Länge aufweist, welche größer als die Erweiterung 1216 ist. Oberhalb des ersten Flansches 1217 ist auch ein zweiter Flansch 1218 um die äußere Umfangsfläche des Hauptkörpers 1210 gebildet und erstreckt sich radial nach außen von dieser äußeren Umfangsfläche des Hauptkörpers 1210 derart, dass dieser eine horizontale Länge aufweist, welche größer als die des ersten Flansches 1217 ist, worin der zweite Flansch 1218 mit einer Ausnehmung 1218a mit einer vorbestimmten Tiefe gebildet ist.
  • Der Brennstoff-Zufuhrdurchlass 1212 erstreckt sich vom oberen Bereich des Hauptkörpers 1210 durch den Hauptkörper 1210 nach unten und biegt sich dann zu einer Seite des Hauptkörpers 1210, so dass der Auslass 1212a des Brennstoff-Zufuhrdurchlasses 1212 zwischen der Erweiterung 1216 und dem ersten Flansch 1217 gebildet ist. Zusätzlich erstreckt sich der Sauerstoff-Zufuhrdurchlass 1213 vom oberen Bereich des Hauptkörpers 1210 durch den Hauptkörper 1210 nach unten und biegt sich zu einer Seite des Hauptkörpers 1210, so dass der Auslass 1213a des Sauerstoff-Zufuhrdurchlasses 1212 zwischen dem ersten Flansch 1217 und dem zweiten Flansch 1218 gebildet ist.
  • Die Nuten 1216a, die auf der Erweiterung 1216 des Hauptkörpers 1210 gebildet sich, neigen sich um einen vorbestimmten Winkel (z. B. 15 Grad, 7b), so dass virtuelle Linien, die sich von den unteren Enden davon erstrecken, mit der mittleren Linie des Hauptkörpers 1210 schneiden. Ferner kommt die Erweiterung 1216 in einen engen Kontakt mit dem Brennstoffdüsenkörper 1220, wodurch die Nuten 1216a Brennstoffdüsen 1216b (6b) bilden. Auch der Brennstoffdüsenkörper 1220 kommt in engen Kontakt mit dem ersten Flansch 1217, wie auch mit der Erweiterung 1216 (6b), wodurch ein Brennstoffraum 1216c zwischen dem Hauptkörper 1210 und dem Brennstoffdüsenkörper 1220 gebildet ist. Hier befindet sich das obere Ende des Brennstoffdüsenkörpers 1220 im Eingriff mit dem Stufenbereich 1217a des ersten Flansches 1217.
  • Der Brennstoffdüsenkörper 1220 ist mit einer zentralen Öffnung 1221 (7a) gebildet, welche sich durch den mittleren Teil davon erstreckt, so dass der Hauptkörper 1210 in die mittlere, zentrale Öffnung 1221 eingebaut und mit einer Erweiterung 1222 gebildet ist, welche um das untere Ende der Umfangsfläche des Brennstoffdüsenkörpers 1220 herum gebildet ist und sich von diesem unteren Ende der Umfangsfläche des Brennstoffdüsenkörpers 1220 derart radial nach außen erstreckt, dass diese eine vorbestimmte horizontale Länge aufweist, worin eine oder mehrere Nuten 1222a auf der Umfangsfläche der Erweiterung 1222 gebildet sind. Die Nuten 1222a (7c), die auf der Erweiterung 1222 des Brennstoffdüsenkörpers 1220 gebildet sind, sind um einen Winkel (z. B. 30 Grad) geneigt, welcher größer ist als der Winkel der Nuten 1216a, welche auf der Erweiterung 1216 des Hauptkörpers 1210 gebildet sind. Zusätzlich ist die Hauptöffnung 1221 des Brennstoffdüsenkörpers 1220 mit einer geneigten Oberfläche 1223 gebildet, welche dazu ausgebildet ist, gegen die Erweiterung 1222 des Hauptkörpers 1210 anzustoßen und dadurch Nuten 1222a des Hauptkörpers 1210 abzudecken. Wenn die geneigte Fläche 1223 des Brennstoffdüsenkörpers 1220 in engen Kontakt mit der Erweiterung 1222 des Sauerstoffdüsenkörpers 1230 kommt (6b), werden Sauerstoffdüsen 1222b durch die Nuten 1222a gebildet, und wenn der Sauerstoffdüsenkörper 1230 in engen Kontakt mit dem zweiten Flansch 1218 des Hauptkörpers 1210 und der Erweiterung 1222 des Brennstoffdüsenkörpers 1220 kommt (6b), wird ein Sauerstoffraum 1222c durch den ersten Flansch 1217, den zweiten Flansch 1218, den Brennstoffdüsenkörper 1220 und den Sauerstoffdüsenkörper 1230 gebildet. Hier ist das obere Ende des Sauerstoffdüsenkörpers 1230 in Eingriff mit der Ausnehmung 1218a des zweiten Flansches 1218.
  • Wie in 7a gezeigt, weist der Sauerstoffdüsenkörper 1230 eine zentrale Öffnung 1231 auf, welche durch den mittleren Bereich des Sauerstoffdüsenkörpers 1230 gebildet ist, so dass der Brennstoffdüsenkörper 1220 in die mittlere Öffnung 1231 eingebaut werden kann. Eine Erweiterung 1232 ist um das untere Ende des Sauerstoffdüsenkörpers 1230 herum gebildet und erstreckt sich von diesem unteren Ende des Sauerstoffdüsenkörpers 1230 radial derart nach außen, dass diese eine vorbestimmte horizontale Länge aufweist, worin ein Stufenbereich 1233 auf der Erweiterung 1232 gebildet ist. Hier ist die mittlere Öffnung 1231 des Sauerstoffdüsenkörpers 1230 auch mit einer geneigten Oberfläche 1234 gebildet, welche dazu ausgebildet ist, gegen die Erweiterung 1222 des Brennstoffdüsenkörpers 1220 zu stoßen.
  • Wie in 7a gezeigt, weist der Einbaukörper 1240 eine mittlere Öffnung 1241 auf, welche durch den mittleren Bereich des Einbaukörpers 1240 gebildet ist, so dass der Sauerstoffdüsenkörper 1230 in die mittlere Öffnung 1241 eingebaut werden kann, und eine Erweiterung 1242 ist um das obere Ende des Einbaukörpers 1240 herum gebildet, und erstreckt sich von diesem oberen Ende des Einbaukörpers 1240 derart radial nach außen, dass diese eine vorbestimmte horizontale Länge aufweist. Wie in 6b gezeigt, befindet sich der Einbaukörper 1240 in Eingriff mit dem Stufenbereich 1233 des Sauerstoffdüsenkörpers 1230 an seinem unteren Ende. Ein Kühlmittelflußraum 1235 ist zwischen dem Sauerstoffdüsenkörper 1230 und dem Einbaukörper 1240 gebildet. Natürlich ist ein Kühlrohr 1236 mit dem Kühlmittelflußraum 1235 verbunden.
  • Die Brennstoffdüsen 1216b sind allgemein in einer kreisförmigen Anordnung angeordnet (8) und jede Brennstoffdüse 1216b ist im Wesentlichen in Form einer Ausnehmung geformt. Zusätzlich sind die Sauerstoffdüsen 1222b auch allgemein in einer kreisförmigen Anordnung angeordnet (8), und jede Sauerstoffdüse 1222b ist im Wesentlichen in Form einer Ausnehmung geformt. Natürlich sind die Sauerstoffdüsen 1222b auf der Außenseite der Brennstoffdüsen 1216b gebildet.
  • Wie oben erwähnt, sind die Brennstoffdüsen 1216b und Brennstoffdüsen 1222b um vorbestimmte Winkel geneigt und im Wesentlichen in Richtung der Mitte des unteren Endes des Brenners 1200 orientiert. Damit ist der Neigungswinkel der Sauerstoffdüsen 1222b größer als der der Brennstoffdüsen 1216b und in Richtung der mittleren Achse des Brenners 11220 orientiert. Daher kann das Mischen des eingespritzten Brennstoffs und des Sauerstoffs, welche durch die Düsen 1216b und 1222b eingespritzt werden, in der Umgebung der Düsen 1216b und 1222b erleichtert sein, und es kann eine trichterförmige Flamme gebildet werden, welche hinsichtlich der Mitte des oberen Endes des Brenners 1200 konvergent ist.
  • Zusätzlich ist es möglich, wenn die Sperrwand 1215 im Wesentlichen am unteren Ende des Brenners 1200 gebildet ist, das Mischgas von Brennstoff und Sauerstoff in dem Halbleiter-Abgas zu separieren. Dies verhindert die Verdünnung des Mischgases von Brennstoff und Sauerstoff, welche verursacht wird, wenn das Mischgas mit dem Abgas gemischt wird, welches eine große Menge an Inertgas (Stickstoff) enthält, wodurch es ermöglicht ist, dass die Position der Flammenwurzel stabil aufrechterhalten wird.
  • Ferner ist entsprechend dem Brenner 1200 eine umgekehrte konische Oberfläche 1214 am unteren Teil des Hauptkörpers 1210 gebildet, um das Vermischen von Abgasströmen zu verzögern. Dies ist unter Berücksichtigung der Wirkung einer Verzögerung des Vermischens von Abgasströmen von benachbarten Abgaszufuhrdurchlässen 1211 bereitgestellt, was erreicht werden kann, indem die Positionen von Auslassenden von entsprechenden Abgaszufuhrdurchlässen 1211 voneinander räumlich variiert werden.
  • Wenn das Mischen von Brennstoff und Sauerstoff sicher durch die trichterförmige Flamme erreicht ist, kann daher der Brenner 1200 hinsichtlich einer Brenneffizienz verbessert werden. Zusätzlich kann die Position der Flammenwurzel stabil aufrechterhalten werden, wenn das Mischgas von Brennstoff und Sauerstoff und das Abgas voneinander durch die Sperrwand 1215 separiert werden, welche neben dem Flammen bildenden Ort bereitgestellt ist. Ferner kann die Brenneffizienz verbessert werden, wenn der mittlere untere Bereich des Brenners 1200 in einer Trichterform gefertigt ist, um das Vermischen von Abgasströmen zu verzögern.
  • Die 9a bis 9c zeigen teilweise geschnittene Ansichten von vorn, von oben und von unten auf die Brennkammer 1300 des Halbleiter-Abgas-Behandlungswäschers 1000.
  • Die Brennkammer 1300 umfasst eine obere Abdeckung 1310, in deren Mitte der Brenner 1200 eingebaut ist, eine innere Kammer 1320, welche von der unteren Seite der oberen Abdeckung 1310 um den Brenner 1200 herum abhängt, eine untere Kammer 1330, welche von der unteren Seite der oberen Abdeckung 1310 um die innere Kammer 1320 herum abhängt und eine untere Kammer (nicht gezeigt), welche mit dem unteren Teil der äußeren Kammer 1330 verbunden ist. Die untere Kammer wird ausführlich unten beschrieben. Die innere Kammer 1320 umfasst eine obere innere Kammer 1321 und eine untere innere Kammer 1322. Zusätzlich umfasst die äußere Kammer 1330 auch eine obere äußere Kammer 1331 und eine untere äußere Kammer 1332. Die obere innere Kammer 1321 und die untere innere Kammer 1332 sind lösbar miteinander in Eingriff. Die obere äußere Kammer 1331 und die untere äußere Kammer 1332 sind auch lösbar miteinander in Eingriff.
  • Der Brenner 1200, der wie oben beschrieben aufgebaut ist, ist im Wesentlichen an die Mitte der oberen Abdeckung 1310 abgefügt. Zusätzlich ist die obere innere Kammer 1321 der inneren Kammer 1320 an die untere Seite der oberen Abdeckung 1310 um die äußere Umfangskante des Brenners 1200 angefügt, und die untere innere Kammer 1322 ist an das untere Ende der oberen inneren Kammer 1321 angefügt. Die obere äußere Kammer 1331 der äußeren Kammer 1330 ist an die untere Seite der oberen Abdeckung 1310 um die äußere Umfangskante der inneren Kammer 1320 angefügt, und die untere äußere Kammer 1322 ist an das untere Ende der oberen äußeren Kammer 1331 angefügt. Zusätzlich ist eine Mehrzahl von Verankerungselementen 1346 in Eingriff zwischen der unteren inneren Kammer 1322 und der unteren äußeren Kammer 1332, um dadurch beide Kammern miteinander zu verankern. Mit dieser Konstruktion wird erreicht, dass die untere innere Kammer 1322 und die untere äußere Kammer 1332 leicht vereint von der oberen inneren Kammer 1321 und der oberen äußeren Kammer 1331 separiert werden können.
  • Ein Dichtring 1341 ist zwischen der oberen Abdeckung 1310 und der oberen inneren Kammer 1321 der inneren Kammer 1320 ange ordnet, worin wenigstens ein Gummiring 1342 mit der inneren Oberfläche des Dichtungsringes 1341 in Eingriff ist und sich in engem Kontakt mit der oberen Abdeckung 1310 befindet. Die obere innere Kammer 1321 ist an der oberen Abdeckung 1310 mittels Schrauben und Muttern befestigt, wobei sich die Schrauben durch den Dichtungsring 1341 und die obere Abdeckung 1310 erstrecken. Zusätzlich ist ein Kühlrohr 1343 zwischen der oberen Abdeckung 1310 und der oberen äußeren Kammer 1331 der äußeren Kammer 1330 gekoppelt, durch welches Kühlrohr 1343 ein Kühlmittel zugeführt wird, so dass die Brennkammer 1300 nicht überhitzt wird, während der Brenner 1200 betrieben wird. Das Kühlrohr 1342 ist mit einem oder mehreren Durchgangsöffnungen 1343a zum Einspritzen von Kühlmittel gebildet. Durch die untere äußere Kammer 1331 und die obere innere Kammer 1321 sind ein Pilotbrenner 1344 und ein UV-(ultraviolett)-Sensor 1345 installiert. Der Pilotbrenner 1344 dient dazu, die Startzündung des Brenners 1200 durchzuführen. Der UV-Sensor 1345 dient dazu, zu erfassen, ob die Zündung richtig durchgeführt wurde. Der Betrieb des Pilotbrenners 1344 wird angehalten, wenn durch den UV-Sensor 1345 die Zündung bestätigt ist. Der oben erwähnte Wasserreservoirtank 1600 ist mit dem unteren Ende der Brennkammer 1300 durch eine Struktur verbunden, welche unten beschrieben wird.
  • Die Brennkammer 1300 ist ferner mit einem Gaszufuhrabschnitt 1360 zum Entfernen von Partikeln versehen. Der Gaszufuhrabschnitt 1360 zum Entfernen von Partikeln 1360 umfasst ein Gaszufuhrrohr 1361, ein Gasrohr 1362, das mit dem Gaszufuhrrohr 1361 verbunden ist, und wenigstens eine Gasdüse 1363, die mit dem Gasrohr 1362 verbunden ist.
  • Das Gaszufuhrrohr 1361 ist an die obere Abdeckung 1310 der Brennkammer 1300 angefügt und erstreckt sich durch den Dichtungsring 1341, der zwischen der oberen Abdeckung 1310 und der oberen inneren Kammer 1321 angeordnet ist.
  • Zusätzlich ist das Gasrohr 1362 im Wesentlichen in einer quadratischen Form im Querschnitt gebildet und zwischen dem Dichtungsring 1341 und der oberen inneren Kammer 1321 angeordnet.
  • Die Gasdüse 1363, die mit dem Gasrohr 1362 verbunden ist, erstreckt sich in der oberen inneren Kammer 1321 um eine vorbestimmte Länge nach unten. Insbesondere umfasst die Gasdüse 1363 einen geraden Teil 1363a, der sich parallel zu der inneren Wand der Brennkammer 1300 erstreckt, und einen kurvenförmigen Teil 1363b, der sich vom Ende des geraden Teils 1363b in Richtung der inneren Wand der Brennkammer 1300 biegt. Es ist möglich, vier Gasdüsen 1363 bereitzustellen, die im Wesentlichen zentrierend an der Mitte der Brennkammer 1300 mit einem Winkelabstand von 90 Grad zwischen benachbarten zwei Gasdüsen 1363 angeordnet sind. Die Anzahl der Gasdüsen 1363 ist ein Beispiel und die Erfindung ist nicht durch die Anzahl der Gasdüsen 1363 eingeschränkt. Zusätzlich können die Gasdüsen 1363 in einer gekippten oder geneigten Form in Bezug auf die vertikale Richtung der Brennkammer 1300 bereitgestellt sein, so dass das Gas in Form eines Wirbels in der Brennkammer 1300 zugeführt werden kann (d. h. der oberen inneren Kammer 1321 und der unteren inneren Kammer 1322).
  • Ein Inert-Gas, welches nicht mit einem Halbleiter-Abgas reagiert, kann als das Gas eingesetzt werden, welches in das Innere der inneren Kammer 1320 durch den Gaszufuhrabschnitt 1360 zum Entfernen von Partikeln zugeführt wird. Es kann auch Stickstoff-Gas, welches am häufigsten in einem Halbleiter-Herstellungsprozess verwendet wird, als das Gas verwendet werden, aber die Erfindung ist nicht durch solche Gase eingeschränkt.
  • Es ist bevorzugt, wenn das Gas, das dem Inneren der inneren Kammer 1320 durch den Gaszufuhrabschnitt 1360 zur Entfernung von Partikeln zugeführt wird, im Wesentlichen in einer gepulsten Form zugeführt wird. Wenn das Gas in einer gepulsten Form zugeführt wird, ist der Impuls, der auf die innere Wand der inneren Kammer 1320 übertragen wird, größer als der Impuls, der auf die innere Wand übertragen wird, wenn das Gas mit einer festen Durchflussrate kontinuierlich zugeführt wird. Durch den Impuls, der auf die innere Kammer 1320 übertragen wird, werden die Partikel, die im Begriff sind, sich an die innere Wand der Innenkammer 1320 anzulagern oder sich bereits an der inneren Wand der inneren Kammer 1320 angelagert haben, von der inneren Wand separiert oder entfernt und fallen frei. In 9a sind die Partikel P bezeichnet.
  • Der Druck des Inert-Gases, welches durch den Gaszufuhrabschnitt 1360 zur Entfernung von Partikeln zugeführt wird, ist vorzugsweise im dem Bereich von 1 bis 10 kgf/cm2. Durch die synthetische Untersuchung hinsichtlich des Grades an Ablagerung oder Entfernung von Partikeln und der Stabilität der Vorrichtung, welche während des Änderns des Druckes des Inert-Gases durchgeführt wurde, wurde herausgefunden, dass, falls der Druck des Inert-Gases nicht mehr als 1 kgf/cm2 beträgt, die Partikel sich relativ leicht anlagern oder es schwierig ist, diese zu entfernen, obwohl die Stabilität der Vorrichtung höchst überlegen ist, und, falls der Druck des Inert-Gases nicht weniger als 10 kgf/cm2 beträgt, sich die Stabilität der Vorrichtung verschlechtert, obwohl die Partikel sich nur schwerlich anlagern oder es leicht ist, sie zu entfernen. Hier bedeutet die Stabilität der Vorrichtung die Leistungsfähigkeit der Vorrichtung, die nicht an einer Erscheinung leidet, dass sich die Ansaugeffizienz des Halbleiter-Abgases, Brennstoffs, Sauerstoffs, usw. verschlechtert, welche erzeugt wird, wenn aufgrund der Zufuhr des Inert-Gases positiver Duck entwickelt wird. Natürlich befindet sich das Innere der Brennkammer 1300 für gewöhnlich unter einem negativen Druck.
  • In der Praxis kann das Gas, das durch den Gaszufuhrabschnitt 1360 zur Entfernung von Partikeln in etwas unterschiedlichen Formen bereitgestellt wird, in Abhängigkeit von der Art und Menge des Halbleiter-Abgases, welches in die Brennkammer 1300 durch das Abgas-Zufuhrrohr 1111 und den Brenner 1200 zugeführt wird.
  • Beispielsweise wird eine große Anzahl von Partikeln erzeugt, wenn ein Abgas eingeführt wird, das eine große Menge von Silicium enthält. Daher ist es vorteilhaft, das Inert-Gas in einer gepulsten Form während des Betriebs des Brenners 1200 zuzuführen, so dass sich die Partikel nicht an der inneren Wand der inneren Kammer 1320 anlagern.
  • Außerdem wird eine kleine Zahl von Partikeln erzeugt, wenn ein Gas eingeführt wird, das eine kleine Menge von Silicium enthält. Es ist daher vorteilhaft, das Inert-Gas in einer gepulsten Form periodisch nur für eine vorbestimmte Zeitlänge zuzuführen. Das heißt, dass die Partikel, welche sich an der inneren Wand der inneren Kammer 1320 angelagert haben, leicht entfernt werden können, sogar, wenn das Inert-Gas zum Entfernen der Partikel nicht während des gesamten Betriebes des Brenners 1200 zugeführt wird, sondern nur für eine Zeitlänge mit einer vorbestimmten Zeitperiode zugeführt wird.
  • Gelegentlich ist es auch möglich, Inert-Gas nur zuzuführen, wenn sich Partikel an der inneren Wand der Brennkammer 1300 um mehr als eine vorbestimmte Dicke anlagern und ansammeln. Das heißt, dass es möglich ist, Inert-Gas nur dann der Brennkammer 1300 für eine vorbestimmte Zeitlänge zuzuführen, wenn der Druck der Brennkammer 1300 unter einem Druck nahe dem atmosphärischen Druck ist, so dass die Partikel, welche sich an der inneren Wand angelagert haben, entfernt werden können. Natürlich ist es möglich, einen Drucksensor (nicht gezeigt) in der inneren Kammer 1320 zu installieren, um den Druck der Brennkammer 1300, insbesondere der inneren Kammer 1320, zu erfassen.
  • In 9b ist ein Hebegriff h gezeigt, der an der unteren äußeren Kammer 1332 angebracht ist, um es einem Bediener zu gestatten, die untere äußere Kammer 1332 und die untere innere Kammer 1322 gemeinsam nach außen zu ziehen. Zusätzlich sind ein Rahmen f, der in der Abgasbehandlungsvorrichtung installiert ist, um die Brennkammer 1300 zu halten, und eine Klammer b gezeigt, um die Brennkammer 1300 an den Rahmen f anzufügen.
  • Die 10a und 10b sind teilweise geschnittene Ansichten von links und rechts der Brennkammer 1300 des Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers 1000.
  • Wie gezeigt, ist wenigstens ein Hebegriff h an der vorderen Seite der unteren äußeren Kammer 1332 der äußeren Kammer 1330 bereitgestellt. Ein Pilotbrenner 1344 und ein UV-Sensor 1345 sind durch die obere äußere Kammer 1331 und die obere innere Kammer 1321 bereitgestellt. Der Brenner 1200 ist im Wesentlichen an den mittleren Teil der oberen Abdeckung 1310 angefügt. Weil die anderen Komponenten oben mit Bezug auf die 9a bis 9c beschrieben wurden, werden diese nicht weiter beschrieben.
  • Die 11a zeigt eine Ansicht von rechts auf die Brennkammer 1300, und die 11b zeigt einen Querschnitt durch die Brennkammer 1300 des Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers 1000.
  • Wie gezeigt, sind der Pilotbrenner 1344 und der UV-Sensor 1345 durch die obere äußere Kammer 1331 und obere innere Kammer 1321 installiert, und der Brenner 1200 ist im Wesentlichen an dem mittleren Teil der oberen Abdeckung 1310 installiert. Zusätzlich erstrecken sich Verankerungselemente 1346 von der unteren äußeren Kammer 1332 in die untere äußere Kammer 1332, worin die untere innere Kammer 1322 mit den Verankerungselementen 1346 verbunden ist. Weil andere Komponenten weiter oben mit Bezug auf die 10a und 10b beschrieben wurden, werden diese nicht weiter beschrieben.
  • Mit der oben beschriebenen Konstruktion werden die Brennkammer 1000 und der Gaszufuhrabschnitt 1360 zum Entfernen von Partikeln des Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers 1000 wie folgt betrieben:
    Als erstes werden Brennstoff und Sauerstoff von dem Brennstoffzufuhrrohr 1115 bzw. dem Sauerstoffzufuhrrohr 1116 zugeführt, welche mit dem Brenner 1200 verbunden sind. Dann wird der Pilotbrenner 1344 betrieben, so dass vom Brenner 1200 eine Flamme erzeugt wird. Der Zündzustand des Brenners 1200 wird durch den UV-Sensor 1345 erfasst. Nachdem die Zündung des Brenners 1200 sicher durchgeführt wurde, wird der Betrieb des Pilotbrenners 1344 angehalten.
  • Als nächstes wird ein Halbleiter-Gas von einer Halbleiter-Herstellungsprozessleitung durch das Abgas-Zufuhrrohr 1111, das mit dem Brenner 1200 verbunden ist, zugeführt. Das Abgas wird in die innere Kammer 1320 der Brennerkammer 1300 durch den Brenner 1200 zugeführt. Das Abgas, das in die innere Kammer 1320 eingeführt wird, wird durch die Flamme von dem Brenner 1200 verbrannt, wodurch eine bestimmte Menge an Partikeln erzeugt wird.
  • Dann wird ein Kühlmittel durch das Kühlrohr 1343 zugeführt, welches in der äußeren Kammer 1330 und der oberen Abdeckung 1310 installiert ist, wobei das Kühlmittel entlang der äußeren Wand 1610 der inneren Kammer 1320 fließt, wodurch die innere Kammer 1320 nicht oberhalb eines vorbestimmten Temperaturniveaus erhitzt wird.
  • Während dieses Betriebs wird auch der Gaszufuhrabschnitt 1360 zum Entfernen von Partikeln betrieben. Ein Inert-Gas, wie beispielsweise Stickstoff, wird zunächst durch das Gaszufuhrrohr 1361 und danach der inneren Kammer 1320 durch das Gasrohr 1362 und die Gasdüsen 1363 zugeführt.
  • Jede der Düsen 1363 besteht aus einem geraden Teil 1363a und einem kurvenförmigen Teil 1363b, in welchem das Spitzende (tip end) des bogenförmigen Teils 1363b in Richtung der inneren Wand der inneren Kammer 1320 orientiert ist, wodurch das Inert-Gas von den Gasdüsen 1363 direkt auf die innere Wand der inneren Kammer 1320 bläst. Das heißt, dass ein vorbestimmtes Niveau an Impuls auf die innere Wand der inneren Kammer 1320 übertragen wird. Daher werden die Partikel, welche im Begriff sind, sich an der inneren Wand der inneren Kammer 1320 anzulagern oder sich bereits an der inneren Wand der inneren Kammer 1320 angelagert haben, von der inneren Kammer 1320 separiert und entfernt und fallen herunter.
  • Zusätzlich wird das Inert-Gas in einer Wirbelform in die innere Kammer 1320 durch die Gasdüsen 1363 zugeführt, weil es vier Gasdüsen 1363 gibt, welche äquidistant voneinander mittig an der Mitte der inneren Kammer 1320 und um einen vorbestimmten Winkel in Bezug auf die vertikale Richtung der inneren Kammer 1320 angebracht sind. Daher werden die Partikel, welche sich an der inneren Wand der inneren Kammer 1320 angelagert haben, effektiver entfernt und fallen herunter.
  • Wie oben beschrieben, wird das Inert-Gas dem Inneren der inneren Kammer 1320 durch den Gaszufuhrabschnitt 1360 zur Entfernung von Partikeln in einer gepulsten Form zugeführt. Daher wird ein Impuls effektiver auf die innere Wand der inneren Kammer 1320 aufgrund der gepulsten Form des Inert-Gases zugeführt. Als ein Ergebnis hiervon werden Partikel, welche im Begriff sind, sich an der inneren Wand anzulagern oder sich bereits an der inneren Wand angelagert haben, entfernt und fallen frei herunter.
  • In ähnlicher Weise kann das Inert-Gas, das durch den Gaszufuhrabschnitt 1360 zum Entfernen von Partikeln zugeführt wurde, kontinuierlich zugeführt werden, wenn ein Abgas, das eine große Menge an Silizium enthält, eingeführt wird. Das heißt, dass das Inert-Gas kontinuierlich während des Betriebs des Brenners 1200 zugeführt wird, weil eine große Anzahl von Partikeln erzeugt wird, wenn ein Abgas, das eine große Menge an Silizium enthält, durch den Brenner 1200 verbrannt wird. Natürlich wird in diesem Fall das Inert-Gas auch in der gepulsten Form zugeführt.
  • Zusätzlich kann das Inert-Gas, das durch den Gaszufuhrabschnitt 1360 zum Entfernen von Partikeln zugeführt wurde, periodisch für eine vorbestimmte Zeitlänge zugeführt werden, wenn ein Abgas, das eine geringe Menge an Silizium enthält, eingeführt wird. Das heißt, dass die Partikel an der inneren Wand der inneren Kammer 1320 hinreichend entfernt werden können, sogar wenn das Inert-Gas für eine vorbestimmte Zeitlänge ohne ein Erfordernis, Inert-Gas kontinuierlich während des Betriebs des Brenners 1200 zuzuführen, zugeführt wird, weil eine kleine Menge von Partikeln erzeugt wird, wenn ein Abgas, das eine geringe Menge von Silizium enthält, durch den Brenner 1200 verbrannt wird. Natürlich wird das Inert-Gas in diesem Fall auch in einer gepulsten Form zugeführt.
  • Weiterhin kann das Inert-Gas, das durch den Gaszufuhrabschnitt 1360 zum Entfernen von Partikeln zugeführt wird, zugeführt werden, wenn der Druck in der inneren Kammer 1320 im Wesentlichen in der Nähe des atmosphärischen Drucks ist, nachdem der Druck in der inneren Kammer 1320 erfasst wurde. Die Bedingung, dass der Druck der inneren Kammer 1320 im Wesentlichen in der Nähe des atmosphärischen Druckes ist, bedeutet, dass das innere Volumen der inneren Kammer reduziert wurde, wenn sich die Partikel an der inneren Wand um mehr als vorbestimmte Dicke abgelagert und angesammelt haben. Entsprechend ist es beabsichtigt, die Partikel, welche sich an der inneren Wand der inneren Kammer 1320 abgelagert haben, durch Zufuhr des Inert-Gases in einer gepulsten Form in das Innere der inneren Kammer 1320 zu entfernen.
  • Die 12a zeigt eine Ansicht von links und die 12b eine teilweise geschnittene Ansicht von rechts der unteren Kammer 1350 und einen Kammerhalterungsabschnitt 1400 des Halbleiter-Abgas-Behandlungswäscher 1000.
  • Wie gezeigt, ist die untere Kammer 1350, welche im Wesentlichen in einer Trichterform vorliegt, am unteren Teil der äußeren Kammer 1330 der Brennkammer 1300 derart angebracht, das diese von der äußeren Kammer 1330 abnehmbar ist. Ein Partikelführungsteil 1351 ist in der unteren Kammer 1350 angebracht, worin das Partikelführungsteil 1351 im Wesentlichen trichterförmig geformt ist, um die Partikel, die erzeugt werden, wenn das Abgas verbrannt wird, dem Nassturm 1500 und dem Wasserreservoirtank 1600 zuzuführen.
  • Das Partikelführungsteil 1351 ist mit einem Inert-Gasrohr 1352 zum Einspritzen von Inert-Gas bereitgestellt, um zu verhindern, dass der Dampf vom Wasserreservoirtank 1600 wieder in die Brennkammer 1300 eingeführt wird. Zusätzlich ist ein zwischenliegendes Verbindungsrohr 1353 mit dem unteren Ende der unteren Kammer 1350 verbunden. Daher fallen die Partikel in Richtung des Wasserreservoirtanks 1353 durch das zwischenliegende Verbindungsrohr 1353, nachdem sie durch das Partikelführungsteil 1351 hindurch getreten sind.
  • Der Kammerhalterungsabschnitt 1400 ist an der unteren Kammer 1350 befestigt, um abnehmbar die Brennkammer 1300 zu halten.
  • Der Kammerhalterungsabschnitt 1400 umfasst ein Paar von Leitschienen 1420, die linear auf einer Halteplatte installiert sind, ein Paar von Führungsblöcken 1430, die an den Leitschienen 1420 angebracht sind, um in der Lage zu sein, sich in der horizontalen Richtung hin und her bewegen zu können, Haltestücke 1440, von denen jedes eine horizontale Oberfläche 1441 aufweist, welche an ihrem oberen Bereich gebildet ist, sowie eine abfallende Oberfläche, die sich unter einem vorbestimmten Winkel nach unten von der horizontalen Oberfläche 1441 erstreckt, und einen oder mehrere Haltestäbe 1450, um die Haltestücke 1440 miteinander zu verbinden. Zusätzlich ist die untere Kammer 1350 mit Walzen 1355 versehen, welche verbunden sind, um gemäß der horizontalen Oberflächen 1441 und der abfallenden Oberflächen 1442 verschiebbar zu sein.
  • Daher gleiten die Walzen 1355 der unteren Kammer 1350, wenn eine Bedienperson die Haltestäbe 1450 des Kammerhalterungsabschnitts 1400 zu einer Seite zieht, entlang der horizontalen Oberfläche 1441 und dann entlang der abfallenden Oberfläche 1442, wodurch die untere Kammer 1350 leicht von dem unteren Teil der Brennkammer 1300 separiert werden kann.
  • Von diesem Zustand können die untere innere Kammer 1322 und die untere äußere Kammer 1322 gemeinsam von der oberen inneren Kammer 1321 und der oberen äußeren Kammer 1331 separiert werden. Daher kann die Bedienperson rasch und leicht das Innere der Brennkammer 1300 reinigen.
  • Die 13a und 13b zeigen teilweise geschnittene Ansichten von vorn und von rechts des Nassturms 1500 des Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers 1000.
  • Der Nassturm 1500 umfasst einen Basisturm 1510, einen ersten Turm 1520, einen zweiten Turm 1530, einen dritten Turm 1540 und einen vierten Turm 1550. Der erste Turm 1520, der zweite Turm 1530, der dritte Turm 1540 und der vierte Turm 1550 sind lösbar miteinander in verschiedenen Reihenfolgen zusammengebaut.
  • Der erste Turm 1520 und der zweite Turm 1530 sind miteinander identisch in Höhe und Durchmesser. Zusätzlich sind der dritte Turm 1540 und der vierte Turm 1550 miteinander in Höhe und Durchmesser identisch. Daher ist es möglich, den ersten Turm 1520 und den zweiten Turm 1530 zusammenzubauen oder zu installieren, während ihre Positionen ausgewechselt werden. Zusätzlich ist es auch möglich, den dritten Turm 1540 und den vierten Turm 1550 zusammenzubauen oder zu installieren, während deren Positionen ausgetauscht werden.
  • Daher kann der Nassturm 1500 in verschiedenen Formen betrieben werden, welche gemäß den Bedingungen eines Halbleiter-Herstellungsprozesses und einer Halbleiter-Herstellungsinstallation modifiziert werden können, weil es möglich ist, den ersten Turm 1520 und den zweiten Turm 1530 zusammenzubauen oder zu installieren, während deren Positionen ausgetauscht werden, und den dritten Turm 1540 und den vierten Turm 1550 zusammenzubauen oder zu installieren, während deren Positionen ausgetauscht werden. Aufgrund dessen ist es auch möglich, einen oder mehrere gewünschte Türme von dem Nassturm 1500 auszuwählen und zu separieren. Als ein Ergebnis hiervon ist es möglich, wahlweise einen oder mehrere Türme – wie gewünscht – zu reinigen, wodurch in großem Maße die Zeit reduziert wird, die für Wartung und Reparatur erforderlich ist.
  • Ein erster Filter 1521 wird an dem ersten Turm 1520 angebaut, ein zweiter Filter 1531 wird an dem zweiten Turm 1530 angebaut, und ein dritter Filter 1541 wird an dem dritten Turm 1540 angebaut, wobei die Porositäten der ersten bis dritten Filter 1521, 1531 und 1541 so gewählt sind, dass sie voneinander verschieden sind. Insbesondere sind die Porositäten so ausgebildet, dass diese in dem anderen von dem ersten Filter 1521, dem zweiten Filter 1531 und dem dritten Filter 1541 reduziert sind. Daher können Partikel durch diese drei Stufen gefiltert werden. Die gefilterten Partikel fallen in Richtung des Wasserreservoirtanks 1600 aufgrund von eingespritztem Wasser, das von Basiseinspritzdüsen 1511 eingespritzt wird, die in dem Basisturm 1510 vorgesehen sind, ersten Einspritzdüsen 1522, die in dem ersten Turm 1520 bereitgestellt sind, den zweiten Einspritzdüsen 1532, die in dem zweiten Turm 1530 bereitgestellt sind, und den dritten Einspritzdüsen 1542, die in dem dritten Turm 1540 bereitgestellt sind, wodurch die Filter-Partikel nacheinander im Wasser im Wasserreservoirtank 1600 aufgefangen werden.
  • Durch die Basiseinspritzdüsen 1511 wird frisches Wasser von außen zugeführt und durch die ersten, zweiten und dritten Einspritzdüsen 1522, 1532 und 1542 wird Wasser zugeführt, welches von dem Wasserreservoirtank 1560 gereinigt wurde. Zu diesem Zweck ist eine Wasserzufuhrpumpe (nicht gezeigt) mit den Basiseinspritzdüsen 1511 zur Zufuhr von frischem Wasser verbunden, ein Filterabschnitt 1517 (15a, 15b) ist in dem Wasserreservoirtank 1560 bereitgestellt und eine Zirkulationspumpe (nicht gezeigt) ist mit den ersten, zweiten und dritten Einspritzdüsen 1522, 1532 und 1542 verbunden, um Wasser von dem Wasserreservoirtank 1560 zuzuführen. Wenn eine Ablasspumpe 1620 (Fig. 15a, 15b) mit dem Wasserreservoirtank 1560 verbunden ist, fließt das Wasser in den Wasser reservoirtank 1560 nicht über, sogar wenn frisches Wasser kontinuierlich durch die Wasserzufuhrpumpe zugeführt wird.
  • Eine oben offene Abdeckung 1560 ist mit dem oberen Ende des vierten Turms 1550 verbunden, und ein erstes Abgasrohr 1561 ist mit der Abdeckung 1560 verbunden, worin das erste Abgasrohr 1561 einen gekühlten Luftzufuhranschluss 1562, einen Druckerfassungsanschluss 1563 und einen Temperaturerfassungsanschluss 1564 aufweist. Hier wird die gekühlte Luft einer niedrigeren Temperatur durch den Luftzufuhranschluss 1562 zugeführt, wodurch bewirkt wird, dass feine Partikel in Richtung des vierten Turms 1550 fallen, wenn solche feinen Partikel existieren. Durch den Druckerfassungsanschluss 1563 wird der Druck des Abgases erfasst, und durch den Temperaturerfassungsanschluss 1564 wird die Temperatur des Abgases erfasst. Wenn der Druck und die Temperatur, die durch den Druckerfassungsanschluss 1563 und den Temperaturerfassungsanschluss 1564 erfasst werden, nicht innerhalb von Bezugsbereichen sind, wird dies dem Benutzer durch ein Alarmmittel angezeigt oder der Betrieb der Vorrichtung wird angehalten.
  • Ein zweites Abgasrohr 1655, welches mit einem Abgasmengenkontrollteil 1566 bereitgestellt ist, ist mit dem oberen Ende des ersten Abgasrohres 1561 verbunden, um die Abgasmenge zu steuern. Mit der Hilfe solch eines Abgasmengensteuerteils 1566 ist es möglich, die Menge an gereinigtem Gas in Abhängigkeit von der speziellen Abgasmenge, welche tatsächlich erzeugt wurde, zu steuern.
  • Nachfolgend werden der Basisturm 1510, der erste Turm 1520, der zweite Turm 1530, der dritte Turm 1540 und der vierte Turm 1550 ausführlicher hinsichtlich der Konstruktion beschrieben.
  • Der Basisturm 1510 ist im Wesentlichen in einer zylindrischen Gestalt gefertigt und mit der Brennkammer 1300 und dem Wasserreservoirtank 1600 durch ein zwischenliegendes Verbindungsrohr 1512 bzw. ein unteres Verbindungsrohr 1513 verbun den. Zusätzlich sind die Basiseinspritzdüsen 1511, welche in dem Basisturm 1510 bereitgestellt sind, so angeordnet, dass diese in der Lage sind, Wasser in Richtung des ersten Filters 1521 einzuspritzen, welcher in dem ersten Turm 1520 eingebaut ist. Hier ist zusätzlich ein Druckerfassungsanschluss 1515 in dem Basisturm 1510 gebildet, um den Innendruck des Basisturms 1510 zu erfassen. Falls die Druckwerte, die von dem Druckerfassungsanschluss 1515, der in dem Basisturm 1510 bereitgestellt ist, und dem Druckerfassungsanschluss 1563, der in dem ersten Abgasrohr 1561 bereitgestellt ist, erhalten werden, nicht in einem Bezugsbereich sind, wird dies dem Benutzer durch Alarmmittel (nicht gezeigt) angezeigt oder der Betrieb der Vorrichtung wird gestoppt.
  • Der erste Turm 1520 ist im Wesentlichen in einer zylindrischen Gestalt gebildet und am oberen Teil des Basisturms 1510 installiert. Zusätzlich sind die ersten Einspritzdüsen 1522 des ersten Turms 1520 so angeordnet, das diese in der Lage sind, Wasser nach unten oberhalb des ersten Filters 1521 einzuspritzen. Daher fallen alle Partikel, die sich an dem ersten Filter 1521 anlagern oder ansammeln können, durch die Basisinjektionsdüsen 1511, die unterhalb des ersten Filters 1521 angeordnet sind, und die ersten Einspritzdüsen 1522, die oberhalb des ersten Filters 1521 angeordnet sind, nach unten. Hier kann ein erstes transparentes Fenster 1523 zusätzlich durch die Wand des ersten Turms 1520 bereitgestellt sein, so dass der erste Filter 1521 visuell gesehen werden kann. Daher kann der Zustand des ersten Filters 1521 visuell durch das erste transparente Fenster 1523 gesehen werden, wodurch die Reinigungszeit des ersten Filters 1521 genau ermittelt werden kann.
  • Der zweite Turm 1530 ist auch im Wesentlichen in einer zylindrischen Gestalt gebildet und oberhalb des ersten Turms 1520 installiert. Zusätzlich sind die zweiten Einspritzdüsen 1532 des zweiten Turms 1530 so angeordnet, dass sie in der Lage sind, Wasser nach unten oberhalb des zweiten Filters 1531 einzuspritzen. Hier kann ein zweites transparentes Fens ter 1533 zusätzlich durch die Wand des zweiten Turms 1530 bereitgestellt sein, so dass der zweite Filter 1531 visuell gesehen werden kann. Daher kann die Reinigungszeit des zweiten Filters 1531 genau bestimmt werden.
  • Der dritte Turm 1540 ist auch im Wesentlichen in einer zylindrischen Form gebildet und oberhalb des zweiten Turms 1530 installiert. Zusätzlich sind die dritten Düsen 1542 des dritten Turms 1540 so angeordnet, dass sie in der Lage sind, Wasser nach unten oberhalb des dritten Filters 1541 einzuspritzen.
  • Der vierte Turm 1550 ist auch im Wesentlichen in einer zylindrischen Gestalt gebildet und oberhalb des dritten Turms 1540 installiert. Zusätzlich ist eine Mehrzahl von Aufprallplatten 1551, von denen jede mit einer Mehrzahl von Durchgangsöffnungen 1552 versehen ist, in dem vierten Turm 1550 derart bereitgestellt, dass diese voneinander vertikal beabstandet sind, wobei die Durchgangsöffnungen 1552, die in einer Prallplatte 1551 gebildet sind, in Bezug auf die in einer benachbarten Prallplatte 1551 versetzt angeordnet sind. Die Prallplatten 1551 sind durch eine Mehrzahl von Schrauben 1554, Abstandshaltern 1555 und Muttern gestapelt und miteinander verankert, wodurch eine einzelne einstückige Struktur gebildet ist. Daher prallen die Partikel gegen die Prallplatten 1551, wodurch diese schließlich gefiltert werden, sogar, wenn diese durch den ersten Filter 1521, den zweiten Filter 1531 und den dritten Filter 1541 hindurchtreten. Zusätzlich ist das Gaszufuhrrohr 1553 so angeordnet, um Inert-Gas, wie z. B. Stickstoff, nach unten oberhalb der Prallplatten 1551 zuzuführen. Wenn der Innendruck des Nassturms 1500 vergrößert ist, d. h., wenn viele Partikel in den Filtern 1521, 1531, 1541 oder Aufprallplatten 1551 adsorbiert wurden, wird eine vorgegebene Menge von Inert-Gas durch das Gaszufuhrrohr 1553 zugeführt, so dass die Partikel, welche an den Filtern 1521, 1531 und 1541 sowie den Prallplatten 1551 anhaften, entfernt werden können. Das heißt, dass das Gas, welches von dem Gaszufuhrrohr 1553 zugeführt wurde, dazu dient, ein bestimmtes Niveau an Impuls für die Filter 1522, 1531 und 1541 sowie die Prallplatten 1551 bereitzustellen, so dass die Partikel von den Filtern und Platten separiert werden.
  • Die 14a und 14b sind Querschnittsdarstellungen des Nassturms 1500 gemäß den Linien 14a-14a bzw. Linie 14b-14b in 13b. Die 14c ist eine perspektivische Ansicht des Bereiches 14c in 13b.
  • Wie in 14a gezeigt, können die Basiseinspritzdüsen 1511 über Kreuz in dem Basisturm 1510 angeordnet sein. Einspritz-Durchgangsöffnungen 1511a sind an der Mitte und vier Anschlussenden der Basiseinspritzdüsen 1511 gebildet, so dass Wasser durch insgesamt fünf Durchgangsöffnungen 1511a von dem unteren Teil des Basisturms 1510 nach oben eingespritzt werden kann. Die Erfindung ist jedoch nicht durch die Anordnung der Basiseinspritzdüsen 1511 und die Anzahl der Einspritz-Durchgangsöffnungen 1511a, die in den Basiseinspritzdüsen 1511 gebildet sind, eingeschränkt.
  • Wie in 14b gezeigt, sind die zweiten Einspritzdüsen 1532 in einer H-Form im zweiten Turm 1530 angeordnet. Einspritz-Durchgangsöffnungen 1532a sind an der Mitte und vier Anschlussenden der zweiten Einspritzdüsen 1532 gebildet, so dass Wasser durch insgesamt fünf Einspritz-Durchgangsöffnungen 1532 zum zweiten Filter 1531, der unterhalb der zweiten Einspritzdüsen 1532 angeordnet ist, eingespritzt wird. Die Erfindung ist jedoch nicht durch die Anordnung der zweiten Einspritzdüsen 1532 und die Anzahl der Einspritz-Durchgangsöffnungen 1532a, die in den zweiten Einspritzdüsen 1532 gebildet sind, eingeschränkt.
  • Wie in 14c gezeigt, sind die Prallplatten 1551 in dem vierten Turm 1550 bereitgestellt, worin jede der Prallplatten 1551 mit einer Mehrzahl von Durchgangsöffnungen 1552 gebildet ist, von denen jede einen relativ großen Durchmesser aufweist. Weil die Durchgangsöffnungen 1552, die in einer Prallplatte 1551 gebildet sind, mit Bezug auf die, die in einer benachbarten Prallplatte 1551 gebildet sind, – wie oben beschrieben – versetzt angeordnet sind, prallen die Partikel gegen jede der Prallplatten 1551 auf, während sie durch die Durchgangsöffnungen 1552 hindurch fallen.
  • Mit der oben beschriebenen Konstruktion wird der Nassturm 1500 wie folgt betrieben.
  • Als erstes wird das Abgas, das von einer Halbleiter-Prozessleitung erzeugt wird, in der Brennkammer 1300 durch eine Flamme vom Brenner 1200 verbrannt, wodurch Partikel erzeugt werden und unter den erzeugten Partikeln fallen relativ schwere Partikel direkt in den Wasserreservoirtank 1600. Zusätzlich werden relativ leichte Partikel in Richtung des Basisturms 1510 des Nassturms 1500 durch das Zwischenverbindungsrohr 1512 bewegt.
  • Danach gehen die Partikeln durch den ersten Filter 1521, der in dem ersten Turm 1520 installiert ist, während diese zum ersten Turm 1520 aufsteigen. Zu dieser Zeit werden die Partikel, die größer als die Öffnungen des ersten Filters 1521 sind, durch den ersten Filter 1521 eingefangen. Durch das Wasser, das von den Basiseinspritzdüsen 1511 und den ersten Einspritzdüsen 1522 eingespritzt wird, welche unterhalb bzw. oberhalb des ersten Filters 1521 angeordnet sind, wird bewirkt, dass die auf diese Weise eingefangenen Partikel durch das untere Verbindungsrohr 1513, das unterhalb des Basisturms 1510 angebracht ist, zum Wasserreservoirtank 1600 herunterfallen.
  • Als nächstes neigen die Partikel, die durch den ersten Filter 1521 des ersten Turms 1520 hindurchgegangen sind, dazu, durch den zweiten Filter 1531, der in den zweiten Turm 1530 installiert ist, hindurch zu gehen. Zu dieser Zeit werden die Partikel, die größer sind als die Öffnungen des zweiten Filters 1531, alle durch den zweiten Filter 1531 eingefangen. Die auf diese Weise eingefangenen Partikel werden durch Wasser, das von den zweiten Einspritzdüsen 1532 eingespritzt wird, welche oberhalb des zweiten Filters 1531 angeordnet sind, unterhalb des zweiten Filters 1531 fallengelassen. Die Partikel, die dadurch fallengelassen sind, fallen durch den ersten Filter 1521 und das untere Verbindungsrohr 1513 in den Wasserreservoirtank 1600.
  • Als nächstes gehen die Partikel, die durch den zweiten Filter 1531 des zweiten Turms 1530 gegangen sind, durch den dritten Filter 1514 der in dem dritten Turm 1540 installiert ist. Zu dieser Zeit werden die Partikel, die größer als die Öffnungen des dritten Filters 1541 sind, alle eingefangen. Die auf diese Weise eingefangenen Partikel werden durch das Wasser, das von den dritten Einspritzdüsen 1542 eingespritzt wird, die oberhalb des dritten Filters 1541 angeordnet sind, unterhalb des dritten Filters 1541 fallengelassen. Die Partikel, die hierdurch heruntergefallen sind, fallen durch den zweiten Filter 1531, den ersten Filter 1521 und das untere Verbindungsrohr 1513 in den Wasserreservoirtank 1600.
  • Als nächstes gehen die Partikel, die durch den dritten Filter 1541 des dritten Turms 1540 gegangen sind, durch die Durchgangsöffnungen 1552 der Prallplatten 1551, welche in dem vierten Turm 1550 installiert sind. Zu dieser Zeit prallen die meisten der Partikel direkt auf die Prallplatten 1551 und fallen nach unten, ohne weiter aufzusteigen. Zusätzlich wird ein Inert-Gas, wie z. B. Stickstoffgas, durch das Gaszufuhrrohr 1553 nach unten von oberhalb der Prallplatten 1551 zugeführt, wodurch die Partikel von den Prallplatten 1551 entfernt werden und die auf diese Weise entfernten Partikel fallen danach durch den dritten Filter 1541, den zweiten Filter 1531 und das untere Verbindungsrohr 1513 in den Wasserreservoirtank 1600 herab.
  • Als ein Ergebnis ist das Gas, welches durch den Basisturm 1510, den ersten Turm 1520, den zweiten 1530, den dritten Turm 1540 und den vierten Turm 1550 geht, ein gereinigtes Gas, in welchem im Wesentlichen alle Partikel entfernt wurden. Zum Schluss wird das gereinigte Gas durch kalte Luft ge kühlt, welche durch den Kühlluft-Zufuhranschluss 1562 zugeführt wird, während das gereinigte Gas durch das erste Abgasrohr 1561 geht, und steigt dann zu den Aufprallplatten 1551 herab. Als ein Ergebnis wird das Abgas, das nach außen durch das erste Abgasrohr 1561 und das zweite Abgasrohr 1562 abgelassen wird, im Wesentlichen vollständig derart gereinigt, dass es im Wesentlichen frei von Partikeln ist.
  • Wie oben beschrieben, werden der Basisturm 1510 und das erste Abgasrohr 1561 mit Druckerfassungsanschlüssen 1515 bzw. 1563 gebildet. Daher kann der Unterschied zwischen dem Druck des Gases, das durch den Basisturm 1510 geht, und dem Druck des Gases, das durch das erste Abgasrohr 1561 geht, bestimmt werden. Wenn die Druckdifferenz zwischen dem Gas, das durch den Basisturm 1510 hindurchgeht, und dem Gas, das durch das erste Abgasrohr 1561 hindurchgeht, zu groß ist, bedeutet dies, dass eine große Menge an Partikeln sich in dem ersten Filter 1521, dem zweiten Filter 1531, dem dritten Filter 1541 und den Prallplatten 1551 angelagert oder angesammelt hat. Entsprechend wird der Benutzer über diesen Zustand durch Alarmmittel (nicht gezeigt) informiert oder der Betrieb der Installation wird angehalten.
  • Wenn solch ein Alarmmittel aktiviert wird, wird ein Inert-Gas eines vorbestimmten Drucks durch das Gaszufuhrrohr 1553, das in dem vierten Turm 1550 bereitgestellt ist, zugeführt, so dass der Impuls durch das Inert-Gas dazu ausgebildet ist, auf die Aufprallplatten 1551, den dritten Filter 1541, den zweiten Filter 1531 und den ersten Filter 1521 übertragen zu werden, wodurch die Partikel von den Prallplatten 1551 und Filtern 1521, 5131, 1541 entfernt werden.
  • Wenn die Druckdifferenz zwischen den oberen und unteren Teilen zu hoch ist, obwohl das Gas durch das Gaszufuhrrohr 1553 zugeführt wird, bedeutet dies, dass die Zeit zum Separieren und Reinigen wenigstens eines des ersten Turms 1520, des zweiten Turms 1530, des dritten Turms 1540 und des vierten Turms 1550 nahe ist. Solch ein Zustand wird dem Benutzer durch ein Alarmmittel (nicht gezeigt) angezeigt und der Betrieb der Vorrichtung wird angehalten.
  • Die 15a bis 15d sind eine Draufsicht, Ansicht von links, eine Vorderansicht und eine Ansicht von rechts, die den Wasserreservoirtank 1600 des Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers 1000, teilweise im Schnitt, zeigen.
  • Der Wasserreservoirtank 1600 umfasst eine äußere Wand 1610, die im Wesentlichen in einer quadratischen Gestalt im Querschnitt gebildet ist, eine Bodenwand 1611, um die Unterseite der äußeren Wand zu schließen, und eine obere Abdeckung 1612, um die obere Seite der äußeren Wand 1610 zu schließen. Das heißt, dass der Wasserreservoirtank 1600 im allgemeinen eine Form eines hohlen rechteckigen Parallelepipeds annimmt und eine gewisse Menge an Wasser enthält.
  • Zusätzlich umfasst der Wasserreservoirtank 1600 einen ersten Bereich 1613, mit welchem die Brennkammer 1300 und der Nassturm 1500 über die unteren Verbindungsrohre 1354 bzw. 1514 verbunden sind, einen zweiten Bereich 1614, der von dem ersten Bereich 1613 durch eine Teilung 1615 mit einer Öffnung 1616 separiert ist, und einen Filterabschnitt 1617, der in der Öffnung 1616 eingebaut ist. Die unteren Verbindungsrohre 1354 und 1514 sind mit der oberen Abdeckung 1612 des Wasserreservoirtanks 1600 in Kommunikation und um eine vorbestimmte Tiefe in dem Wasser, das in dem Wasserreservoirtank 1600 enthalten ist, abgesenkt.
  • Zusätzlich ist eine Abflusspumpe 1620 an dem oberen Bereich des hinteren Bereichs der oberen Abdeckung 1612 des Wasserreservoirtanks 1600 bereitgestellt. Die Abflusspumpe 1620 hat einen Flüssigkeitseinlassanschluss 1621 und einen Flüssigkeitsauslassanschluss 1623, so dass Wasser und Partikel gemeinsam angesogen und abgelassen werden können. Ferner ist die Abflusspumpe 1620 auch mit einem Lufteinlassanschluss 1624 und einem Luftauslassanschluss 1625 versehen, so dass ein pneumatischer Druck der Abflusspumpe 1620 zugeführt wer den kann oder von der Abflusspumpe 1620 abgelassen werden kann, um die Abflusspumpe 1620 zu betreiben. Hier ist der Flüssigkeitseinlassanschluss 1621 an dem oberen Bereich der hinteren Seite der Abflusspumpe 1620 gebildet. Ein Einlassrohr 1622 ist mit dem Flüssigkeitseinlassanschluss 1621 verbunden, worin sich das Einlassrohr 1622 bis zu dem Boden des Wasserreservoirtanks 1600 erstreckt und in dem ersten Bereich 1613 festgelegt ist, so dass es die Partikeln und Wasser von dem Wasserreservoirtank 1600 ansaugen kann. Zusätzlich können die Partikel und Wasser vollständig nach außen abgelassen werden, weil der Flüssigkeitsauslassanschluss 1623 im Wesentlichen an dem oberen Ende der Abflusspumpe 1620 gebildet ist. Obwohl es in der Zeichnung nicht gezeigt ist, ist ein Auslassrohr mit dem Flüssigkeitsauslassanschluss 1623 verbunden. In der Zeichnung sind die Luft a, das Wasser w und die Partikel p bezeichnet.
  • Der Lufteinlassanschluss 1624 ist vorne an der Abflusspumpe 1620 und einem Luftzufuhrrohr (nicht gezeigt) gebildet, welches zuvor in einer Halbleiter-Abgas-Leitung bereitgestellt ist, welche mit dem Lufteinlassanschluss 1624 verbunden ist. Zusätzlich ist der Luftauslassanschluss 1625 an dem unteren Ende der hinteren Seite der Abflusspumpe 1620 gebildet, und ein Blasenrührwerk 1630 ist mit dem Luftauslassanschluss 1625 durch ein Rohr 1625a verbunden. Das Blasenrührwerk 1630 ist in dem ersten Bereich 1613 des Wasserreservoirtanks 1600 angeordnet, erstreckt sich durch die obere Abdeckung 1612 und ist um eine vorbestimmte Tiefe in dem Wasser des Wasserreservoirtanks 1600 abgesenkt.
  • Mit der voranstehend beschriebenen Konstruktion wird die Luft, die zur Zeit des Betriebs der Abflusspumpe 1620 verbraucht wird, an das Blasenrührwerk 1630 durch den Luftauslassanschluss 1625 und das Rohr 1625a übertragen, wodurch ein vorbestimmtes Impulsniveau periodisch der Luft in dem ersten Bereich 1613 des Wasserreservoirtanks 1600 zugeführt wird. Daher fließen die Partikel, die dazu neigen, sich in dem ersten Bereich 1613 abzusetzen und abzulagern, immer in dem Was ser. Daher werden die Partikel, die auf diese Weise fließen, leicht zusammen mit Wasser durch das Einlassrohr 1622, den Flüssigkeitseinlassanschluss 1621 und den Flüssigkeitsauslassanschluss 1623 nach außen abgelassen, wenn die Abflusspumpe 1620 betrieben wird. Das heißt, dass sich die Partikel auf dem Boden des Wasserreservoirtanks 1600 um mehr als Dicke weder absetzen noch ablagern. Das Blasenrührwerk 1630 kann aus einem Geräuschminderer o. dgl. gebildet sein, der in der Lage ist, Geräusche von der Abflusspumpe 1620 zu mindern und ein vorbestimmtes Niveau an Impuls an das Wasser zu liefern. Obwohl die Zeichnung nur ein Blasenrührwerk 1630 zeigt, das mit der oberen Abdeckung 1612 verbunden ist, ist es bevorzugt, wenigstens drei Blasenrührwerke 1630 bereitzustellen, die mit der oberen Abdeckung 1612 verbunden sind und von dieser oberen Abdeckung 1612 beabstandet sind, was dem ersten Bereich 1613 entspricht, so dass das Absetzen oder Ablagern von Partikeln über den gesamten Bereich 1613 des Wasserreservoirtanks 1600 verhindert werden kann.
  • Die Teilung 1615, die den Wassertank 1600 in den ersten und zweiten Bereich 1613, 1614 unterteilt, ist auch mit einem Filterabschnitt 1617 versehen, der in einer rechteckigen Form gebildet ist, wie in der Draufsicht nach 15a gezeigt, und von dem jede Seite einen Filter aufweist. Wenn das Wasser in dem ersten Bereich 1613 zum zweiten Bereich 1614 fließt, fließt das Wasser daher nach dem die Partikel durch den Filterabschnitt 1617 filtriert sind.
  • Entsprechend ist das Wasser in dem ersten Bereich 1613 relativ schlammig, da dieses Partikel enthält, und das Wasser in dem zweiten Bereich 1613 ist relativ rein, da die Partikel gefiltert wurden.
  • Weil der erste Bereich 1613 Wasser und Partikel enthält, ist die Brennkammer 1300 mit dem ersten Bereich 1613 durch ein unteres Verbindungsrohr 1354 verbunden. Der Nassturm 1500 ist mit dem ersten Bereich 1613 durch ein anderes Verbindungsrohr 1514 verbunden. Zusätzlich sind das Blasenrührwerk 1630 und das Einlassrohr 1622, das mit dem Luftauslassanschluss 1625 der Abflusspumpe 1620 verbunden ist, auch in dem ersten Bereich 1613 aufgrund des oben stehenden Grundes verbunden.
  • Ein Natriumhydroxid-Einlass 1618 ist in der oberen Abdeckung 1612 gebildet, welche dem zweiten Bereich 1614 des Wasserreservoirtanks 1600 entspricht. Zusätzlich ist ein pH-Sensor an einer Seite des Natriumhydroxid-Einlasses 1618 angeschlossen, um den pH-Wert des Wassers, das in dem Reservoirtank 1600 enthalten ist, zu erfassen. In der Zeichnung (15c) ist nur eine Sensorklammer 1619 zur Befestigung des pH-Sensors gezeigt. Im Allgemeinen vergrößern die Partikel, die erzeugt werden, nachdem das Halbleiter-Abgas verbrannt ist, den Säuregrad des Wassers, nachdem sie in dem Wasser aufgefangen sind. Das heißt, dass die Partikel das Wasser sauer machen. Daher wird der Säuregrad des Wassers durch den pH-Sensor – wie oben beschrieben – gemessen, und eine Menge an Natriumhydroxid wird durch den Natriumhydroxid-Einlass 1618 in das Wasser eingebracht. Dadurch wird das in dem Wasserreservoirtank 1600 enthaltene Wasser immer bei dem neutralen Zustand gehalten. Auf diese Weise ist es auch möglich, zu verhindern, dass verschiedene Strukturen, die in dem Wasserreservoirtank 1600 zusammengebaut sind, durch das Wasser korrodiert werden.
  • Eine Umwälzpumpe 1640 ist mit der rückseitigen Wand 1600 des Wasserreservoirtanks 1600 verbunden. Die Umwälzpumpe 1640 weist auch einen Einlassanschluss 1641 und einen Auslassanschluss 1642 auf. Der Einlassanschluss 1641 der Umwälzpumpe 1640 ist auch mit der äußeren Wand 1610 entsprechend dem zweiten Bereich 1614 des Wasserreservoirtanks 1600 verbunden. Zusätzlich ist der Auslassanschluss 1642 der Umwälzpumpe 1640 mit einem Wärmetauscher 1650 verbunden. Daher erhöht sich die Temperatur des Wassers des Wasserreservoirtanks 1600 durch das Wasser zum Kühlen der Brennkammer 1300 oder der Partikel, die durch die Brennkammer 1300 hindurchgehen, worin das Wasser durch die Umwälzpumpe 1640 und den Wärmeaustauscher 1650 gekühlt wird. Zusätzlich wird das Wasser, das durch den Wärmetauscher 1650 hindurchgeht, dem Nassturm 1500 zugeführt und dann wieder zu dem ersten Bereich 1613 des Wasserreservoirtanks 1600 durch das untere Verbindungsrohr 1514 fallengelassen. Daher werden die feinen Partikel, die als Ganzes vom Nassturm 1500 aufgefangen wurden, vollständig in dem Wasser aufgefangen, das in dem ersten Bereich 1613 des Wasserreservoirtanks 1600 enthalten ist. Das Wasser wird auch durch die Umwälzpumpe 1640 und den Wärmeaustauscher 1650 gekühlt. Die Verbindung zwischen der Umwälzpumpe 1640 und dem Wärmeaustauscher 1650 ist ausführlich in 16 gezeigt.
  • Mit der voranstehend beschriebenen Konstruktion wird die Partikel-Ablassvorrichtung des Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers 1000 wie folgt betrieben.
  • Wie es bekannt ist, werden Partikel erzeugt, wenn ein Halbleiter-Abgas durch den Brenner 1200 und die Brennkammer 1300 verbrannt werden. Unter den erzeugten Partikeln fallen relativ schwere Partikel aufgrund ihres Gewichts durch das untere Verbindungsrohr 1354 zum ersten Bereich 1613 des Wasserreservoirtanks 1600. Die Partikel, welche dadurch heruntergefallen sind, werden im Wasser aufgefangen, das in dem ersten Bereich 1613 enthalten ist.
  • Die relativ leichten und feinen Partikel werden zum Nassturm 1500 durch die Zwischenverbindungsrohre 1353, 1513 ohne Herunterfallen übertragen. Der Nassturm 1500 ist jedoch so entworfen, dass Wasser von dem oberen Teil zu seinem unteren Teil fällt, und ist mit einer Mehrzahl von Filtern (nicht gezeigt) versehen. Die feinen Partikel fallen auch in den ersten Bereich 1613 des Wasserreservoirtank 1600 durch das untere Verbindungsrohr 1514. Daher werden die feinen Partikel, welche heruntergefallen sind, auch in dem Wasser, das in dem ersten Bereich 1613 enthalten ist, aufgefangen.
  • Als nächstes wird das Wasser des ersten Bereiches 1613 durch die Partikel, welche hineingefallen und darin aufgefangen sind, verunreinigt. Daher wird die Abflusspumpe 1620 so betrieben, dass diese das verunreinigte Wasser (Partikel und Wasser) in einer vorbestimmten Menge zu einer Zeit nach außen ablässt.
  • Die Abflusspumpe 1620 ist eine Membranpumpe, die pneumatisch betrieben wird. Daher werden das in dem ersten Bereich 1613 enthaltene Pulver und die Partikel durch den Flüssigkeitseinlassanschluss 1621 angesogen und durch den Flüssigkeitsauslassanschluss 1623 nach außen abgelassen. Zusätzlich wird die Luft, die durch den Lufteinlassanschluss 1624 angesogen wird, nach Betreiben der Abflusspumpe 1620 durch den Luftauslassanschluss 1625 abgelassen. Die abgelassene Luft wird dem Blasenrührwerk 1630 durch das Rohr 1625a zugeführt. Daher wird ein vorbestimmtes Impulsniveau auf das in dem ersten Bereich 1613 enthaltene Wasser durch das Blasenrührwerk 1630 angewandt, solange die Abflusspumpe 1620 betrieben wird.
  • Daher fließen die in dem ersten Bereich 1613 aufgefangenen Partikel kontinuierlich in dem Wasser, ohne sich auf dem Boden 1611 des Wasserreservoirtanks 1600 abzusetzen oder abzulagern. Entsprechend werden die fließenden Partikel und das Wasser durch das Flüssigkeitseinlassrohr 1622 und den Flüssigkeitseinlassanschluss 1621 der Abflusspumpe 1620 zugeführt und dann nach außen durch den Flüssigkeitsauslassanschluss 1623 abgelassen, wodurch die Partikel in dem Wasserreservoirtank 1600 leicht nach außen zusammen mit dem Wasser abgelassen werden. Sogar, wenn diese sich mit einer vorbestimmten Dicke auf dem Boden 1611 des Wassertanks 1600 ablagern, werden die Partikel durch die Blasen und den Impuls, welche durch das Blasenrührwerk 1630 erzeugt werden, aufgebrochen und fließen in dem Wasser. Falls eine Mehrzahl von Blasenrührwerken 1630 (z. B. drei Blasenrührwerke 1630) in dem ersten Bereich 1613 bereitgestellt und voneinander beabstandet sind, ist es zusätzlich möglich, zu verhindern, das sich die Partikel ablagern oder an einem besonderen Bereich in dem ersten Bereich 1613 verhärten.
  • Als nächstes saugt die Umwälzpumpe 1640 an der hinteren Seite der äußeren Wand 1610 des Wasserreservoirtanks 1600 Wasser vom zweiten Bereich 1614 und pumpt das Wasser an den Wärmeaustauscher 1650, welcher wiederum das Wasser an den Nassturm 1500 liefert. Daher fließt das Wasser in dem ersten Bereich 1613 des Wasserreservoirtanks 1600 natürlicherweise zu dem zweiten Bereich 1614 durch den Filterabschnitt 1617, der zwischen dem ersten Bereich 1613 und dem zweiten Bereich 1614 installiert ist. Weil die in dem ersten Bereich 1613 fließenden Partikel nicht durch den Filterabschnitt 1617 hindurch treten konnten, wird dem zweiten Bereich 1614 nur relativ reines Wasser zugeführt. Jedoch fällt das Wasser wieder von dem Nassturm 1500 durch das untere Verbindungsrohr 1514 zu dem ersten Bereich 1613 des Wassertanks 1600. Als ein Ergebnis hiervon werden die kleinen Partikel in dem Nassturm 1500 wieder in dem ersten Bereich 1613 des Wasserreservoirtanks 1600 aufgefangen.
  • Der pH-Sensor misst den Säuregrad des Wassers in dem Wasserreservoirtank 1600, wie oben beschrieben. Falls sich aus der pH-Messung ergibt, dass der Säuregrad einen vorbestimmten Bereich überschreitet, wird Natriumhydroxid dem Wasserreservoirtank 1600 durch den Natriumhydroxid-Einlass 1618 hinzugefügt. Das Natriumhydroxid kann dem Wasserreservoirtank 1600 auch automatisch durch eine mechanische und elektrische Anordnung oder manuell durch eine Bedienperson zugefügt werden.
  • Wie oben beschrieben, kann der Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäscher 1000 Abgas, welches in einem Halbleiterherstellungsprozess erzeugt wurde, nach einer Verbrennung und sicherem Filtern des Abgases an die Atmosphäre ablassen. Zusätzlich gestattet der Wäscher 1000, dass die Installation leicht gewartet und repariert werden kann. Ferner ist es mit dem Wäscher 1000 möglich, ein Hindernis der Installation zu reduzieren, welches von dem Einschluss von gefilterten Partikeln in die Installation während des Absetzens bzw. der Filtration der Partikel nach der Verbrennung des Abgases herrührt.
  • Mit dem Brenner 1200 des Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers 1000 ist es möglich, das Mischen von Brennstoff und Sauerstoff zu erleichtern, zu verhindern, dass das Mischgas von Brennstoff und Sauerstoff mit dem Abgas gemischt wird, und ein Vermischen der Abgasströme zu verhindern, bevor das Abgas verbrannt wird, wodurch die Effizienz der Verbrennung des Abgases vergrößert werden kann.
  • Mit der Brennkammer 1300 des Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers 1000 und der Partikel entfernenden Vorrichtung, die in der Brennkammer 1300 angebracht ist, wird ein Inert-Gas (z. B. Stickstoff-Gas) dem Inneren der Brennkammer 1300 in einer gepulsten Form zugeführt, so dass das Inert-Gas ein vorbestimmtes Impulsniveau der inneren Wand der Brennkammer 1300 zuführt, wodurch es möglich ist, zu verhindern, dass sich Partikel an der inneren Wand der Brennkammer 1300 ablagern.
  • Es sind mehrere Einspritzdüsen 1522, 1532, 1542 zum Einspritzen von Inert-Gas derart bereitgestellt, dass sie mit Abstand voneinander angeordnet sind und um einen vorbestimmten Winkel mit Bezug auf die vertikale Richtung der Brennkammer 1300 gekippt sind, so dass das Inert-Gas in die Brennkammer 1300 natürlicherweise in einer Wirbelform zugeführt wird. Daher können die Partikel effektiver von der inneren Wand der Brennkammer 1300 entfernt und separiert werden. Es kann bestätigt werden, dass mit der Zufuhr von Inert-Gas der Reinigungszyklus der Brennkammer 1300 von einmal alle drei oder vier Tage auf einmal alle drei oder vier Monate vergrößert wurde.
  • Zusätzlich kann Inert-Gas dem Inneren der Brennkammer 1300 in verschiedenen Formen zugeführt werden, wodurch eine unnötige Verschwendung von Inert-Gas verhindert werden kann. Wenn das in die Brennkammer 1300 eingeführte Abgas z. B. eine große Menge an Silizium enthält, wird das Inert-Gas kontinuierlich in einer gepulsten Form während des Betriebs des Brenners 1300 zugeführt. Wenn das Abgas eine geringe Menge an Silizium enthält, wird das Inert-Gas periodisch für eine vorbestimmte Zeitlänge zugeführt oder nur zugeführt, wenn der Druck in der Brennkammer 1300 sich dem Atmosphärendruck annähert, wodurch die Verwendung von Inert-Gas minimiert werden kann.
  • Mit dem Nassturm 1500 des Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers 1000 ist es möglich, die Positionen des ersten und des zweiten Turms 1520, 1530 auszuwechseln oder die Positionen des dritten und des vierten Turms 1540, 1550 auszuwechseln, wodurch es möglich ist, den Nassturm 1500 zu betreiben, während der Nassturm 1500 wahlweise in verschiedenen Formen entsprechend den verschiedenen Prozess- und Installationsbedingungen gewechselt wird.
  • Aus diesem Grunde ist es möglich, einen gewünschten Turm 1520, 1530, 1540, 1550 von dem Nassturm 1500 auszuwählen und zu separieren. Als ein Ergebnis ist es möglich, wahlweise einen gewünschten Turm 1520, 1530, 1540, 1550 zu reinigen, wodurch die für die Reinigung erforderte Zeitspanne extrem reduziert werden kann.
  • Falls der Innendruck vergrößert ist, weil die Filter 1521, 1531, 1541 und die Prallplatten 1551 durch Partikel blockiert sind, wird ein Inert-Gas mit einem vorbestimmten Druck durch das Gaszufuhrrohr 1553 nach unten zugeführt, wodurch es möglich ist, die blockierenden Erscheinungen, die durch die Partikel verursacht werden, zu eliminieren oder zu mindern, und den Reinigungszyklus zu vergrößern.
  • Aus diesem Grunde kann Wasser simultan dem in dem ersten Turm 1520 installierten ersten Filter 1521 von den oberhalb des ersten Filters 1521 angeordneten ersten Einspritzdüsen 1522 und den zweiten unterhalb der ersten Einspritzdüsen 1522 angeordneten zweiten Einspritzdüsen 1532 eingespritzt werden, wodurch die Menge an Partikeln, die sich in dem ersten Filter 1521 ablagern oder ansammeln, minimiert werden kann. Der Reinigungszyklus kann durch diese Lösung weiter vergrößert werden.
  • Zusätzlich sind der erste und der zweite Turm 1520, 1530 mit den ersten bzw. zweiten transparenten Fenstern 1523, 1533 versehen, so dass die ersten und zweiten Filter 1521, 1531 der ersten und zweiten Türme 1520, 1530 visuell gesehen werden können. Als ein Ergebnis kann die Zeit zum Reinigen der ersten und zweiten Filter 1521, 1531 genau bestimmt werden.
  • Der Wasserreservoirtank 1600 des Halbleiter-Abgas-Behandlungs-Wäschers 1000 und die darin installierte, Partikel entfernende Vorrichtung erzeugen periodisch Blasen in dem Wasserreservoirtank 1600. Daher können sich Partikel nicht auf dem Boden des Wasserreservoirtanks 1600 ablagern. Sogar, wenn die Partikel sich bereits auf dem Boden des Wasserreservoirtanks 1600 abgelagert oder angesammelt haben, können die Partikel durch die Blasen aufgebrochen und durch die Blasen kann bewirkt werden, dass die Partikel in dem Wasser fließen, und die Partikel können dann nach außen zusammen mit dem Wasser abgelassen werden, wenn die Abflusspumpe 1620 betrieben wird. Mit diesem Betrieb ist es auch möglich, die Zyklen für Wartung und Reparatur oder Reinigung des Wasserreservoirtanks 1600 zu vergrößern.
  • Weiterhin kann die Luft, die beim Betrieb der Abflusspumpe 1620 verbraucht wird, wieder verwendet werden, ohne dass ein Mechanismus oder ein Instrument hinzugefügt wird, wodurch die Herstellungskosten nicht zusätzlich vergrößert werden.
    • 1000
    Wäscher zur Behandlung von Halbleiter-Abgas
    2000
    Wäscher zur Behandlung von Halbleiter-Abgas
    1100
    Zufuhrabschnitt
    1111
    Abgas-Zufuhrrohr
    1112
    Umgehungs-Abgas-Zufuhrrohr
    1113
    Dreiwegeventil
    1114
    Sensoreinheit
    1115
    Brennstoff-Zufuhrrohr
    1116
    Sauerstoff-Zufuhrrohr
    1200
    Brenner
    1210
    Hauptkörper
    1211
    Abgas-Zufuhrdurchlass
    1212
    Brennstoff-Zufuhrdurchlass
    1212a
    Auslass
    1213
    Sauerstoff-Zufuhrdurchlass
    1213a
    Auslass
    1214
    konische Oberfläche
    1215
    Sperrwand
    1216
    Erweiterung
    1216a
    Nut
    1216b
    Brennstoffzuführdüse
    1216c
    Brennstoffzuführraum
    1217
    erster Flansch
    1217a
    Stufenbereich
    1218
    zweiter Flansch
    1218a
    Ausnehmung
    1220
    Brennstoff-Düsenkörper
    1221
    Mittenöffnung
    1222
    Erweiterung
    1222a
    Nut
    1222b
    Sauerstoffdüse
    1222c
    Sauerstoffraum
    1223
    geneigte Oberfläche
    1230
    Sauerstoff-Düsenkörper
    1231
    mittlere Öffnung
    1232
    Erweiterung
    1233
    Stufenbereich
    1234
    geneigte Oberfläche
    1235
    Kühlmitteldurchflussraum
    1236
    Kühlmittelrohrleitung
    1240
    Einbaukörper
    1241
    mittlere Öffnung
    1242
    Erweiterung
    1300
    Brennkammer
    1310
    obere Abdeckung
    1320
    innere Kammer
    1321
    obere innere Kammer
    1322
    untere innere Kammer
    1330
    äußere Kammer
    1331
    obere äußere Kammer
    1332
    untere äußere Kammer
    1341
    Dichtring
    1342
    Gummiring
    1343
    Kühlrohr
    1343a
    Durchgangsöffnung
    1344
    Pilotbrenner
    1345
    UV-Sensor
    1346
    Verankerungselement
    1350
    untere Kammer
    1351
    Partikelführungsteil
    1352
    Inertgasrohr
    1353
    Verbindungsrohr
    1354
    Verbindungsrohr
    1355
    Walze
    1360
    Gaszufuhrabschnitt (z. Entfernen v. Partikeln)
    1361
    Gaszufuhrrohr
    1362
    Gasrohr
    1363
    Gasdüse
    1363a
    gerader Teil
    1363b
    kurvenförmiger Teil
    1400
    Kammerhalterungsabschnitt
    1410
    Halteplatte
    1420
    Führungsschiene
    1430
    Führungsblock
    1440
    Haltestück
    1441
    horizontale Oberfläche
    1442
    abfallende Oberfläche
    1450
    Haltestab
    1500
    Nassturm
    1510
    Basisturm
    1511
    Basiseinspritzdüse
    1511a
    Einspritz-Durchgangsöffnungen
    1512
    zwischenliegendes Verbindungsrohr
    1513
    unteres Verbindungsrohr
    1514
    Verbindungsrohr
    1515
    Druckerfassungsanschluss
    1520
    erster Turm
    1521
    erster Filter
    1522
    erste Einspritzdüse
    1523
    erstes transparentes Fenster
    1530
    zweiter Turm
    1531
    zweiter Filter
    1532
    zweite Einspritzdüse
    1532a
    Einspritzdüsen-Durchgangsöffnungen
    1533
    zweites transparentes Fenster
    1540
    dritter Turm
    1541
    dritter Filter
    1542
    dritte Einspritzdüse
    1550
    vierter Turm
    1551
    Prallplatte
    1552
    Durchgangsöffnung
    1553
    Gaszufuhrrohr
    1554
    Schraube
    1555
    Abstandshalter
    1560
    offene Abdeckung
    1561
    erstes Abgasrohr
    1562
    Kühlluft-Zufuhranschluss
    1563
    Druckerfassungsanschluss
    1564
    Temperaturerfassungsanschluss
    1600
    Wasserreservoirtank
    1610
    äußere Wand
    1611
    Bodenwand
    1612
    obere Abdeckung
    1613
    erster Bereich
    1614
    zweiter Bereich
    1615
    Teilung
    1616
    Öffnung
    1617
    Filterabschnitt
    1618
    Natriumhydroxid-Einlass
    1619
    Sensorklammer
    1620
    Abflusspumpe
    1621
    Flüssigkeitseinlassanschluss
    1622
    Einlassrohr
    1623
    Flüssigkeitsauslassanschluss
    1624
    Lufteinlassanschluss
    1625
    Luftauslassanschluss
    1625a
    Rohr
    1630
    Blasen-Rührwerk
    1640
    Umwälzpumpe
    1641
    Einlassanschluss
    1642
    Auslassanschluss
    1650
    Wärmetauscher
    1655
    zweites Abgasrohr
    1566
    Abgasmengenkontrollteil
    1700
    1701
    Gehäuse
    1702
    Bedienfläche
    1703
    Rollfüße
    1704
    Verbindungsrohr

Claims (45)

  1. Wäscher zur Behandlung von Halbleiter-Abgas, umfassend: einen Zufuhrabschnitt (1100) zur gesteuerten Zufuhr von Halbleiter-Abgas, Brennstoff und Sauerstoff; einen Brenner (1200), der mit dem Zufuhrabschnitt (1100) verbunden ist, um das Halbleiter-Abgas durch eine Flamme zu verbrennen; eine Brennkammer (1300), die mit Einrichtungen zur Verhinderung des Festsetzens erzeugter Partikel versehen und mit dem Brenner (1200) verbunden ist, um zu bewirken, dass die während der Verbrennung des Halbleiter-Abgases erzeugten Partikel herunterfallen; einen Nassturm (1500), der an einer Seite der Brennkammer (1300) installiert ist und das noch mit Partikeln beladene Verbrennungsabgas reinigt, um zu bewirken, dass die Partikel, welche von der Brennkammer (1300) transportiert werden, nachdem die Partikeln unter Verwendung von Wasser adsorbiert wurden, herunterfallen; einen Wasserreservoirtank (1600), der mit der Brennkammer (1300) und dem Nassturm (1500) verbunden ist, um die Partikel, welche von der Brennkammer (1300) und dem Nassturm (1500) heruntergefallen sind, aufzufangen; wobei der Zufuhrabschnitt (1100) umfasst: wenigstens ein Abgaszufuhrrohr (1111), das mit dem Brenner (1200) verbunden ist, um dem Brenner (1200) ein Halbleiter-Abgas zuzuführen; wenigstens ein Umgehungs-Abgaszufuhrrohr (1112), das mit dem Abgaszufuhrrohr (1111) verbunden ist, um das Halbleiter-Abgas zu umgehen; wenigstens ein Brennstoffzufuhrrohr (1115), das mit dem Brenner (1200) verbunden ist, um dem Brenner (1200) Brennstoff zuzuführen; und wenigstens ein Sauerstoffzufuhrrohr (1116), das mit dem Brenner (1200) verbunden ist, um dem Brenner (1200) Sauerstoff zuzuführen.
  2. Wäscher nach Anspruch 1 ferner umfassend: einen Kammerhalterungsabschnitt (1400), der unter dem unteren Ende der Brennkammer (1300) vorgesehen ist, um die Brennkammer (1300) zu halten.
  3. Wäscher nach Anspruch 1, worin der Brenner (1200) umfasst: einen Hauptkörper (1200) mit wenigstens einem Halbleiter-Abgas-Zufuhrdurchlass (1211), mit wenigstens einem Brennstoff-Zufuhrdurchlass (1212) und mit wenigstens einem Sauerstoff-Zufuhrdurchlass (1213); einen Brennstoffdüsenkörper (1220), der an der Umfangskante des Hauptkörpers (1210) eingebaut ist, wodurch ein Brennstoffzufuhrraum (1216c) und eine Brennstoffzufuhrdüse (1216b) gebildet sind; und einen Sauerstoffdüsenkörper (1230), der an den Umfangskanten des Hauptkörpers (1210) und des Brennstoffdüsenkörpers (1220) eingebaut ist, wodurch ein Sauerstoffzufuhrraum (1222c) und eine Sauerstoffzufuhrdüse (1222b) gebildet sind; und einen Einbaukörper (1240), der an den Umfangskanten des Hauptkörpers (1210) und des Sauerstoffdüsenkörpers (1230) eingebaut ist, wodurch ein Kühlmittel-Durchflussraum (1235) gebildet ist, wobei der Einbaukörper (1240) mit der Brennkammer (1300) verbunden ist.
  4. Wäscher nach Anspruch 3, worin der Hauptkörper (1210) umfasst: eine Erweiterung (1216), welche sich im wesentlichen von dem unteren Ende des Hauptkörpers (1210) in einem vorbestimmten Ausmaß horizontal und radial nach außen erstreckt und wenigstens eine Nut (1216a) aufweist, die auf der Umfangsoberfläche gebildet ist; einen ersten Flansch (1217), der oberhalb der Erweiterung (1216) angeordnet ist, wobei sich der erste Flansch (1217) von dem Hauptkörper (1210) in einem größeren Ausmaß als die Erweiterung (1216) horizontal und radial nach außen erstreckt; und einen zweiten Flansch (1218), der oberhalb des ersten Flansches (1217) angeordnet ist, wobei sich der zweite Flansch (1218) von dem Hauptkörper (1210) in einem größeren Ausmaß als der erste Flansch (1217) horizontal und radial nach außen erstreckt, und worin der wenigstens eine Halbleiter-Abgas-Zufuhrdurchlass (1211) sich im wesentlichen vertikal durch den Hauptkörper (1210) erstreckt, der wenigstens eine Brennstoff-Zufuhrdurchlass (1212) sich vertikal durch den Hauptkörper (1210) so erstreckt, dass der Auslass (1212a) des Brennstoff-Zufuhrdurchlasses (1212) zwischen der Erweiterung (1216) und dem ersten Flansch (1217) gebildet ist und der wenigstens eine Sauerstoff-Zufuhrdurchlass (1213) sich vertikal durch den Hauptkörper (1210) erstreckt, so dass der Auslass des Sauerstoff-Zufuhrdurchlasses (1213) zwischen dem ersten und dem zweiten Flansch (1217 bzw. 1218) gebildet ist.
  5. Wäscher nach Anspruch 4, worin die auf dem Hauptkörper (1210) gebildete Nut (1216a) derart geneigt ist, dass die virtuelle Verlängerungslinie seines unteren Endes die Mittelachse des Hauptkörpers (1210) kreuzt, und worin sich der Hauptkörper (1210) in engem Kontakt mit dem Brennstoffdüsenkörper (1220) befindet, so dass die Nut (1216a) eine Brennstoffdüse (1216b) bildet, und sich der Brennstoffdüsenkörper (1220) in engem Kontakt mit der Erweiterung (1216) und dem ersten Flansch (1217) befindet, so dass ein Brennstoffraum (1216c) zwischen dem Hauptkörper (1210) und dem Brennstoffdüsenkörper (1220) gebildet ist.
  6. Wäscher nach Anspruch 5, worin der Brennstoffdüsenkörper (1220) umfasst: eine Mittenöffnung (1221), welche durch den mittleren Teil des Brennstoffdüsenkörpers (1220) gebildet ist, in welche Mittenöffnung (1221) hinein der Hauptkörper (1210) eingebaut ist, und eine Erweiterung (1222), welche um das untere Ende der Umfangsoberfläche des Brennstoffdüsenkörpers (1220) gebildet ist und sich radial in einem vorbestimmten Ausmaß erstreckt, worin die wenigstens eine Nut (1222a) auf der Umfangsoberfläche der Erweiterung (1222) gebildet ist.
  7. Wäscher nach Anspruch 6, worin die wenigstens eine Nut (1222a), welche auf der Erweiterung (1222) des Brennstoffdüsenkörpers (1220) gebildet ist, unter einem Win kel geneigt ist, der größer als der Hauptkörper (1210) gebildet ist, der Brennstoffdüsenkörper (1220) sich in engem Kontakt mit dem Sauerstoffdüsenkörper (1230) befindet, so dass die wenigstens eine Nut (1222a) auf der Erweiterung (1222) des Brennstoffdüsenkörpers (1220) wenigstens eine Sauerstoffdüse (1222b) bildet, und sich der Sauerstoffdüsenkörper (1230) in engem Kontakt mit dem zweiten Flansch (1218) des Hauptkörpers (1210) und der wenigs tens einen Nut (1222a) des Brennstoffdüsenkörpers (1220) befindet, so dass ein oder mehrere Sauerstoffräume (1222c) zwischen dem ersten und zweiten Flansch (1217, 1218) und zwischen dem Brennstoffdüsenkörper (1220) und dem Sauerstoffdüsenkörper (1230) gebildet sind.
  8. Wäscher nach Anspruch 4, worin der Sauerstoffdüsenkörper (1230) umfasst: eine Mittenöffnung (1231), die durch den mittleren Teil des Sauerstoffdüsenkörpers (1230) gebildet ist, in welche Mittenöffnung (2131) hinein der Brennstoffdüsenkörper (1220) eingebaut ist, und eine Erweiterung (1232), die um das untere Ende der Umfangsoberfläche des Sauerstoffdüsenkörpers (1230) herum gebildet ist und sich radial nach außen in einem vorbestimmten Ausmaß erstreckt.
  9. Wäscher nach Anspruch 8, worin der Einbaukörper (1240) eine mittlere Öffnung (1241) umfasst, die durch den mittleren Teil des Einbaukörpers (1240) gebildet ist, in welche Öffnung (1241) hinein der Sauerstoffdüsenkörper (1230) eingebaut ist, und ein Kühlmittel-Durchflussraum (1335) zwischen der äußeren Umfangsoberfläche des Sauerstoffdüsenkörpers (1230) und der inneren Umfangsoberfläche des Einbaukörpers (1240) gebildet ist, wobei eine Kühlmittelrohrleitung (1236) mit dem Kühlmittel-Durchflussraum (1235) verbunden ist.
  10. Wäscher nach Anspruch 4, worin der Hauptkörper (1210) eine umgekehrte konische Oberfläche (1214) aufweist, von welcher der Scheitelpunkt das untere Ende des Hauptkörpers (1210) bildet und eine Sperrwand (1215) sich nach unten um eine vorbestimmte Länge um die konische Oberfläche (1214) herum erstreckt.
  11. Wäscher nach Anspruch 1, worin die Brennkammer (1300) umfasst: eine obere Abdeckung (1310), in deren Mitte hinein der Brenner (1200) eingebaut ist; eine innere Kammer (1320), die von der Bodenseite von der oberen Abdeckung (1310) um den Brenner (1200) herum abhängt; und eine äußere Kammer (1330), die von der Bodenseite der oberen Abdeckung (1310) um die innere Kammer (1320) herum abhängt.
  12. Wäscher nach Anspruch 11, worin ein Kühlrohr (1343) in einem Raum zwischen der oberen Abdeckung (1310) und der äußeren Kammer (1330) zur Zufuhr eines Kühlmittels vorgesehen ist, und wenigstens eine Durchgangsöffnung (1343a) in dem Kühlrohr (1343) gebildet ist, so dass das Kühlmittel in den Raum zwischen der inneren Kammer (1320) und der äußeren Kammer (1330) eingespritzt wird.
  13. Wäscher nach Anspruch 11, worin die innere Kammer (1320) aus einer oberen inneren Kammer (1321) und einer unteren inneren Kammer (1322) besteht, welche voneinander lösbar sind, und die äußere Kammer (1330) auch aus einer oberen äußeren Kammer 1331) und einer unteren äußeren Kammer (1332) besteht, welche voneinander lösbar sind.
  14. Wäscher nach Anspruch 12, worin die Brennkammer (1300) umfasst: einen Pilotbrenner (1344), der an dem unteren Ende des Brenners (120) durch die äußere Kammer (1330) und die innere Kammer (1320) angeordnet ist, um die Startzündung durchzuführen; einen UV-Sensor (1345), der an dem unteren Ende des Brenners (1200) durch die äußere Kammer (1330) und die innere Kammer (1320) angeordnet ist, um zu erfassen, ob die Startzündung erfolgreich durchgeführt wurde.
  15. Wäscher nach Anspruch 11, worin die Brennkammer (1300) ferner einen Gaszufuhrabschnitt (1360) zum Entfernen von Partikeln umfasst, welcher ein Gas mit vorbestimmtem Druck zuführt, so dass sich die Partikel nicht an der inneren Wand der Brennkammer (1300) ansammeln.
  16. Wäscher nach Anspruch 15, worin der Gaszufuhrabschnitt (1360) zum Entfernen von Partikeln umfasst: ein Gaszufuhrrohr (1361), das mit der Außenseite der oberen Abdeckung (1310) der Brennkammer (1300) verbunden ist; ein Gasrohr (1362), das mit dem Gaszufuhrrohr (1361) verbunden ist, wobei das Gasrohr (1362) in einer Ringform entlang des Raumes zwischen der oberen Abdeckung (1310) und der inneren Kammer (1320) gebildet ist; (1362) zusammengefügt ist und sich in der inneren Kammer (1320) mit einer vorbestimmten Länge erstreckt.
  17. Wäscher nach Anspruch 16, worin die Gasdüse (1363) umfasst: einen geraden Teil (1363a), der sich parallel zu der inneren Wand der Brennkammer (1300) erstreckt, und einen kurvenförmigen Teil (1363b) in Richtung der inneren Wand der Brennkammer (1300) von dem Ende des geraden Teils (1363a), so dass das Gas der inneren Wand der inneren Kammer (1320) einen Impuls zuführen kann.
  18. Wäscher nach Anspruch 16, worin vier Gasdüsen (1363) vorgesehen sind, welche so angeordnet sind, dass diese in der Mitte der inneren Kammer (1320) zentriert sind und voneinander in einem Winkelabstand von 90 Grad beabstandet sind.
  19. Wäscher nach Anspruch 16, worin die Gasdüsen (1363) mit Bezug auf die vertikale Richtung der inneren Kammer (1320) geneigt sind, so dass das Gas in Form eines Wirbels in der inneren Kammer (1320) zugeführt werden kann.
  20. Wäscher nach Anspruch 16, wobei das Gas, das durch den Gaszufuhrabschnitt (1360) zum Entfernen von Partikeln zugeführt wird, ein Inertgas ist.
  21. Wäscher nach Anspruch 16, worin das Gas, das durch den Gaszufuhrabschnitt (1360) zum Entfernen von Partikeln zugeführt wird, in einer gepulsten Form zugeführt wird.
  22. Wäscher nach Anspruch 16, worin eine im wesentlichen trichterförmige untere Kammer (1350) lösbar an dem unteren Teil der äußeren Kammer (1330) der Brennkammer (1300) befestigt ist und ein Partikelführungsteil (1351) im Inneren der unteren Kammer (1350) aufgenommen ist, der Partikelführungsteil (1351) im wesentlichen trichterförmig in Richtung des unteren Endes der unteren Kammer (1350) ist, um so die erzeugten Partikel nach dem Verbrennen des Abgases zu dem Nassturm (1500) und dem Wasserreservoirtank (1600) zu leiten.
  23. Wäscher nach Anspruch 22, worin das Partikelführungsteil (1351) ferner ein Inertgasrohr (1352) zum Einspritzen von Inertgas umfasst, um zu verhindern, dass ein Dampf, welcher in dem Wasserreservoirtank (1600) erzeugt wird, in die Brennkammer (1300) eingeführt wird.
  24. Wäscher nach Anspruch 22, worin die untere Kammer (1350) mit einem Kammerhalteabschnitt (1400) versehen ist, um die Brennkammer (1300) zu halten und es zu gestatten, dass die Brennkammer (1300) abgeteilt wird.
  25. Wäscher nach Anspruch 24, worin der Kammerhalteabschnitt (1400) umfasst: ein Paar von Führungsschienen (1420), die linear auf einer Halteplatte (1410) installiert sind; ein Paar von Führungsblöcken (1430), die auf den Führungsschienen (1420) so angebracht sind, dass diese in der Lage sind, sich in der horizontalen Richtung hin und her zu bewegen; ein Paar von Haltestücken (1440), die an den Führungsblöcken (1430) angebracht sind und sich über eine vorbestimmte Distanz nach oben erstrecken, wobei jedes der Haltestücke (1440) eine horizontale Oberfläche (1441), die an seinem oberen Bereich gebildet ist, sowie eine abfallende Oberfläche (1442), die sich unter einem vorbestimmten Winkel von der horizontalen Oberfläche (1441) nach unten erstreckt, aufweist; und einen oder mehrere Haltestäbe (1450) zum Verbinden der Haltestücke (1440) miteinander, wobei die untere Kammer (1350) mit Walzen (1355) versehen ist, welche dazu angebracht sind, entlang den horizontalen Oberflächen (1441) oder den abfallenden Oberflächen (1442) der Haltestücke (1440) verschiebbar zu sein.
  26. Wäscher nach Anspruch 1, worin der Nassturm (1500) umfasst: einen zylindrischen Basisturm (1510) mit Basis-Einspritzdüsen (1511); einen zylindrischen ersten Turm (1520), der abnehmbar am oberen Teil des Basisturms (1510) angebracht ist, wobei in dem ersten Turm (1520) ein erster Filter (1521) und erste Düsen (1522) vorgesehen sind; einen zylindrischen zweiten Turm (1530), der abnehmbar am oberen Teil des ersten Turms (1520) angebracht ist, wobei in dem zweiten Turm (1530) ein zweiter Filter (1531) und zweite Düsen (1532) vorgesehen sind; einen zylindrischen dritten Turm (1540), der abnehmbar am oberen Teil des zweiten Turms (1530) angebracht ist, wobei in dem dritten Turm (1540) ein dritter Filter (1541) und dritte Düsen (1542) vorgesehen sind; einen zylindrischen vierten Turm (1550), der abnehmbar am oberen Teil des dritten Turms (1540) angebracht ist, wobei mehrere Prallplatten (1551) und ein Gaszufuhrrohr (1553) in dem vierten Turm (1550) vorgesehen sind; worin der erste Turm (1520) und der zweite Turm (1530) in variierender Reihenfolge zusammengebaut werden können und der dritte Turm (1540) und der vierte Turm (1550) auch in variierender Reihenfolge zusammengebaut werden können.
  27. Wäscher nach Anspruch 26, worin der erste Turm (1520) und der zweite Turm (1530) in Höhe und Durchmesser miteinander identisch sind und der dritte Turm (1540) und der vierte Turm (1550) in Höhe und Durchmesser miteinander identisch sind, und der Durchmesser des ersten und zweiten Turms (1520, 1530) von dem des dritten und vierten Turms (1540, 1550) unterschiedlich ist.
  28. Wäscher nach Anspruch 26, worin die Porositäten des ersten Filters (1521), des zweiten Filters (1531) und des dritten Filters (1541) in der Reihenfolge des ersten Filters (1521), des zweiten Filters (1531) und des dritten Filters (1541) abnehmen.
  29. Wäscher nach Anspruch 26, worin frisches Wasser durch die Basis-Einspritzdüsen (1511) zugeführt wird, und gereinigtes Wasser vom Wasserreservoirtank (1600) durch die ersten, zweiten und dritten Einspritzdüsen (1522, 1532, 1542) zugeführt wird.
  30. Wäscher nach Anspruch 26, worin eine oben offene Abdeckung (1560) auf dem oberen Bereich des vierten Turms (1550) eingebaut ist, ein erstes Abgasrohr (1561) einen Druckerfassungsanschluss (1563) aufweist, ein Temperaturerfassungsanschluss (1564) und ein Kühlluft-Zufuhranschluss (1562) mit der Abdeckung (1560) verbunden ist, und ein zweites Abgasrohr (1655) mit dem oberen Ende des ersten Abgasrohrs (1561) verbunden ist, wobei das zweite Abgasrohr (1655) ein Abgasmengen-Regel-Teil umfasst, so dass die Abgasmenge geregelt werden kann.
  31. Wäscher nach Anspruch 26, worin der Basisturm (1510) mit der Brennkammer (1300) und dem Wasserreservoirtank (1600) durch ein dazwischen befindliches Verbindungsrohr (1512) und ein unteres Verbindungsrohr (1513) verbunden ist, und die Basis- Einspritzdüsen (1511) derart angeordnet sind, dass sie in der Lage sind, Wasser nach oben in Richtung des ersten Filters (1521), der in dem ersten Turm (1520) installiert ist, einzuspritzen.
  32. Wäscher nach Anspruch 26, worin der Basisturm (1510) ferner einen Druckerfassungsanschluss (1515) aufweist, um so den Druck in dem Basisturm (1510) zu erfassen.
  33. Wäscher nach Anspruch 26, worin die ersten Einspritzdüsen (1522) des ersten Turms (1520) oberhalb des ersten Filters (1521) derart angeordnet sind, dass diese in der Lage sind, Wasser nach unten in Richtung des ersten Filters (1521) einzuspritzen.
  34. Wäscher nach Anspruch 26, worin der erste Turm (1520) ein transparentes erstes Fenster (1523) umfasst, welches in der Wand des ersten Turms (1520) gebildet ist, so dass der erste Filter (1521) in dem ersten Turm (1520) visuell sichtbar ist.
  35. Wäscher nach Anspruch 26, worin die zweiten Einspritzdüsen (1532) des zweiten Turms (1530) oberhalb des zweiten Filters (1531) derart angeordnet sind, dass diese in der Lage sind, Wasser nach unten in Richtung des zweiten Filters (1531) einzuspritzen.
  36. Wäscher nach Anspruch 26, worin der zweite Turm (1530) ferner ein transparentes zweites Fenster (1533) umfasst, welches in der Wand des zweiten Turms (1530) gebildet ist, so dass der zweite Filter (1531) in dem zweiten Turm (1530) visuell sichtbar ist.
  37. Wäscher nach Anspruch 26, worin die dritten Einspritzdüsen (1542) des dritten Turms (1540) oberhalb des dritten Filters (1541) derart angeordnet sind, dass diese in der Lage sind, Wasser nach unten in Richtung des dritten Filters (1541) einzuspritzen.
  38. Wäscher nach Anspruch 26, worin jede der Aufprallplatten (1551) des vierten Turms (1540) mit mehreren Durchgangsöffnungen (1552) gebildet und so gestapelt sind, dass diese vertikal voneinander beabstandet sind, die Durchgangsöffnungen (1552) in benachbarten zwei Aufprallplatten (1551) voneinander versetzt sind, und das Gaszufuhrrohr (1553) oberhalb der Aufprallplatten (1551) derart angeordnet ist, dass es in der Lage ist, Inertgas nach unten in Richtung der Prallplatten (1551) zuzuführen.
  39. Wäscher nach Anspruch 1, worin der Wasserreservoirtank (1600) umfasst: einen ersten Bereich (1613), der unter der Brennkammer (1300) und dem Nassturm (1500) eingebaut ist, um so Wasser und Partikel aufzufangen, welche von der Brennkammer (1300) und dem Nassturm (1600) heruntergefallen sind, einen zweiten Bereich (1614), der von dem ersten Bereich (1613) durch eine Teilung abgeteilt ist und dem Partikel-gefiltertes Wasser vom ersten Bereich (1613) zugeführt wird, und einen Filterabschnitt (1617), der zwischen dem ersten Bereich (1613) und dem zweiten Bereich (1614) eingefügt ist, um so Partikel aus dem Wasser zu filtern.
  40. Wäscher nach Anspruch 39, worin eine Abflusspumpe (1620) zusätzlich mit dem ersten Bereich (1613) verbunden ist, um das Wasser und die Partikel übereinstimmend abzulassen.
  41. Wäscher nach Anspruch 40, worin die Abflusspumpe (1620) Flüssigkeits-Einlass- und -Auslassanschlüsse (1621, 1623) aufweist, um so Wasser und Partikel anzusaugen und abzulassen, sowie Luft-Einlass- und -Auslassanschlüsse (1624, 1625) aufweist, um der Abflusspumpe (1620) einen pneumatischen Druck zuzuführen, um so die Abflusspumpe (1620) zu betreiben, wobei wenigstens ein Blasen-Rührwerk (1630) mit dem Luft-Auslassanschluss (1625) über ein Rohr (1625a) verbunden ist und auf eine vorbestimmte Tiefe in dem Wasser des ersten Bereiches (1613) des Wasserreservoirtanks (1600) sinkt.
  42. Wäscher nach Anspruch 41, worin die Abflusspumpe (1620) eine pneumatische Membranpumpe ist.
  43. Wäscher nach Anspruch 41, worin das Blasen-Rührwerk (1630) ein Geräuschminderer ist, um die Geräusche von der Abflusspumpe (1620) zu mindern.
  44. Wäscher nach Anspruch 41, worin das Blasen-Rührwerk (1630) zu jeder Zeit, wenn Luft von der Abflusspumpe (1620) abgelassen wird, Blasen in dem Wasser erzeugt, welches in dem Wasserreservoirtank (1600) enthalten ist, so dass die in dem Wasser aufgefangenen Partikel kontinuierlich in dem Wasser umlaufen, ohne dass diese sich auf dem Boden des Wasserreservoirtanks (1600) ablagern oder ansammeln.
  45. Wäscher nach Anspruch 41, worin der Einlassanschluss (1621) einer Umwälzpumpe mit dem zweiten Bereich (1613) des Wasserreservoirtanks (1600) verbunden ist, und der Auslassanschluss (1623) der Umwälzpumpe (1620) mit dem Nassturm (1500) durch einen Wärmeaustauscher (1650) verbunden ist.
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