KR102330326B1 - 습식 타워용 냉각 어셈블리 - Google Patents

Abstract

냉각 어셈블리가 개시된다. 본 발명은, 통과하는 폐가스의 흐름을 제어하여 급속 냉각시킴으로써 폐가스에서 수증기를 최대한 제거할 수 있는 냉각 어셈블리에 관한 것이다.

Description

습식 타워용 냉각 어셈블리{COOLING ASSEMBLY FOR WET TOWER}

본 발명은 냉각 어셈블리에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 폐가스의 흐름을 제어하여 급속 냉각시킴으로써, 수증기를 최대한 제거한 폐가스를 배출할 수 있는 냉각 어셈블리에 관한 것이다.

반도체 생산 공정, LCD 생산 공정 또는 OLED 생산 공정과 같은 전자 산업 공정에서는 폐가스가 발생된다. 폐가스는 스크러버를 적용하여 처리하고 있다. 예를 들어, 가열 방식의 스크러버는, 불꽃을 생성하여 폐가스를 가열하는 버너부, 버너부의 하부에 장착되어 폐가스의 연소 및 반응을 진행시켜 부산물 입자를 생성하는 리액터(Reactor), 그리고 리액터의 하부에 위치하여 부산물 입자와 수용성 폐가스를 포집하는 수조 탱크를 포함할 수 있다. 또한, 상기 가열 방식의 스크러버는, 수조 탱크의 타측의 상부에 결합된 후처리 장치를 포함할 수 있다. 후처리 장치는, 수조 탱크를 통과하여 유입된 폐가스에 포함된 부산물 입자와 수용성 가스를 포집한다. 상기 후처리 장치는 하부에서 상부로 배출되는 폐가스에 물을 분사하여 폐가스의 부산물 입자를 포집할 수 있다. 예를 들어, CF4, Cl2와 같은 F 계열, Cl 계열의 가스 사용량이 많은 공정에는, 폐가스를 효과적으로 처리하기 위해 후처리 장치로서 습식 타워(Wet Tower)를 적용할 수 있다. 습식 타워(10)에서 배출된 폐가스에 포함된 부산물 입자와 수증기가 덕트에 축적되어, 덕트의 막힘 현상을 유발할 수 있다. 따라서 습식 타워를 가동할 때, 폐가스의 냉각, 수증기의 배출량 제어, 부식 제어가 중요하다. 특히, 수증기는 부식성 분자를 포함하고 있어, 수증기의 배출량 제어가 습식 타워의 가동에서 가장 중요하다.

습식 타워에 대한 종래의 기술로는, 한국 등록특허공보 제10-0711940호(특허문헌 1), 한국 공개특허공보 제10-2009-0075091호(특허문헌 2), 한국 등록특허공보 제10-0669501호(특허문헌 3), 한국 공개특허공보 제10-2020-0136757호(특허문헌 4)와 같은 기술이 있다. 종래에는 물이나 용매를 노즐로 분사하고, 폴링(Pall-ring), 패킹(packing)을 이용하여 폐가스의 부산물을 제거한다. 폴링은 내부 순환수와 폐가스의 접촉 비표면적을 향상시켜 수용성 가스 처리 효율 극대화한다. 일 예의 종래 기술로는, 포집 가스를 분사하여 폐가스의 수증기를 포집함으로써 수증기를 감소시키는 기술, 폐가스가 지나는 공간에 배치된 코일을 냉각시켜 분진이나 수증기를 냉각시키는 기술이 있다. 특허문헌 1은, 스크러버 내에서 폐가스를 냉각하는 유로가 짧고, 폐가스가 코일 근처를 지나지 않을 확률이 매우 높아 수증기 제거율이 좋지 못할 것이다. 특허문헌 2는 폐가스가 좌측에서 우측으로 이동해야 한다. 즉, 폐가스의 흐름이 자연스럽게 우측으로 이동하기 어려우므로, 부산물 제거 및 수증기 제거 효율이 좋지 못할 수 있다. 특허문헌 3과 특허문헌 4는 스크러버 내에서 폐가스의 경로가 짧아 수증기 제거율이 좋지 못하다.

한국 등록특허공보 제10-0711940호 한국 공개특허공보 제10-2009-0075091호 한국 등록특허공보 제10-0669501호 한국 공개특허공보 제10-2020-0136757호

본 발명은 전술한 문제 및 다른 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 폐가스의 흐름을 제어하여 급속 냉각시켜 수증기를 최대한 제거하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.

본 발명은 폐가스에 포함된 수증기 양을 제어하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.

본 발명은 폐가스의 기류를 효율적으로 제어하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.

상기 또는 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 습식 타워(Wet tower)에 설치되며, 통과하는 폐가스를 냉각시키는 습식 타워용 냉각 어셈블리로서, 냉매(冷媒)가 유동하는 냉매 유로를 구비하는 냉매 유닛; 그리고 상기 냉매 유닛을 상하 방향으로 관통하여 배치되는 폐가스 통과 유닛을 포함하며, 상기 폐가스 통과 유닛은, 상기 폐가스가 통과하는 복수의 통과 모듈을 포함하며, 상기 복수의 통과 모듈은, 상기 냉매 유로에 위치하며, 상기 복수의 통과 모듈 중 적어도 하나는, 상기 폐가스를 상기 폐가스 통과 유닛의 아래에서 상기 폐가스 통과 유닛의 위로 통과시키고, 상기 복수의 통과 모듈 중 다른 하나는, 상기 폐가스를 상기 폐가스 통과 유닛의 위에서 아래로 통과시키는, 냉각 어셈블리가 제공될 수 있다.

본 발명에 따른 냉각 어셈블리의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 폐가스에 포함된 수증기 양을 제어할 수 있는 냉각 어셈블리가 제공될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 통과하는 폐가스를 급속 냉각시켜 수증기를 제거하는 냉각 어셈블리가 제공될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 기류 전환 유닛으로 폐가스의 기류를 효율적으로 제어하여, 냉각 성능이 극대화된 냉각 어셈블리가 제공될 수 있다.

본 발명의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 본 발명의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 본 발명의 바람직한 실시예와 같은 특정 실시예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다.

도 1은, 본 발명의 습식 타워가 적용될 수 있는 스크러버를 도시한 도면.
도 2는, 본 발명의 일 실시예를 따른 습식 타워의 측면을 도시한 도면.
도 3은, 도 2에 도시된 C-C 단면을 도시한 도면.
도 4는, 제1 타워 어셈블리의 일부와 냉각 어셈블리를 도시한 도면.
도 5는, 충돌 유닛과 냉각 어셈블리를 설명하기 위한 도면.
도 6은, 도 3에 도시된 A 부분의 확대도.
도 7은, 도 3에 도시된 B 부분의 확대도.
도 8은, 냉각 어셈블리의 일부를 도시한 사시도.
도 9는, 도 8에 도시된 A-A 단면을 도시한 도면.
도 10은, 도 8에 도시된 B-B 단면을 도시한 도면.

첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시예를 쉽게 이해할 수 있도록 하 기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제1 , 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는 데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들의 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수도 있다.

일 실시예에서 제1 은 냉각 어셈블리(200)를 기준으로 하측에 배치되는 구성을 의미할 수 있고, 제2 는 냉각 어셈블리(200)를 기준으로 상측에 배치되는 구성을 의미할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 습식 타워(10)가 적용될 수 있는 습식 스크러버를 간략하게 도시한 도면이다.

도 1을 참조하면, 습식 타워(10)(Wet tower)는, 불꽃을 생성하여 폐가스를 가열하는 버너부(20), 버너부(20)의 하부에 장착되어 폐가스를 연소시키는 리액터(30, reactor)와 상기 리액터(30)에 연결되는 수조 탱크(Tank, 40)와 함께 습식 스크러버(Scrubber)를 이룰 수 있다. 습식 타워(10)는 폐가스에서 부산물을 포집하여 배출할 수 있다. 부산물은 수용성 가스, 파우더, 수분 등을 포함할 수 있다.

도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른 습식 타워(10)의 측면을 도시한 도면이다.

도 2를 참조하면, 습식 타워(10)는, 하측이 상기 수조 탱크(40, 도 1 참조)에 연결되어 상기 폐가스가 유입되는 제1 타워 어셈블리(140)를 포함할 수 있다. 제1 타워 어셈블리(140)의 상부는 개방될 수 있다. 제1 타워 어셈블리(140)는 하부에 배치되는 유입 모듈(141)을 포함할 수 있다. 유입 모듈(141)의 하부는 수조 탱크(40, 도 1 참조)에 연결될 수 있다. 제1 타워 어셈블리(140)는 유입 모듈(141)의 상부에 배치되는 포집 모듈(143)을 포함할 수 있다. 포집 모듈(143)에는 풀콘 노즐(150)이 설치될 수 있다. 포집 모듈(143)에는 바 노즐(160)이 설치될 수 있다. 바 노즐(160)은 풀콘 노즐(150)의 상부에 배치될 수 있다. 풀콘 노즐(150)과 바 노즐(160)에서 용매를 분사할 수 있다. 제1 타워 어셈블리(140)는 측부에 형성되는 배출홀(180)을 포함할 수 있다. 배출홀(180)은 포집 모듈(143)에 포함될 수 있다. 배출홀(180)은 바 노즐(160)의 상부에 배치될 수 있다. 배출홀(180)은 배관(미도시)을 통해 수조 탱크(40, 도 1 참조)와 연결될 수 있다. 제1 타워 어셈블리(140)는, 포집 모듈(143)의 상단을 둘러싸는 제1 조립 파트(274)를 포함할 수 있다. 제1 조립 파트(274)는 링(Ring) 형상으로 형성될 수 있다. 제1 조립 파트(274)의 외경은 포집 모듈(143)의 외경보다 클 수 있다.

습식 타워(10)는, 하측이 제1 타워 어셈블리(140)의 상부에 배치되는 제2 타워 어셈블리(110)를 포함할 수 있다. 제2 타워 어셈블리(110)는 개방된 상부로 상기 폐가스를 배출할 수 있다. 배출된 폐가스는 덕트(Duct, 미도시)로 공급될 수 있다. 제2 타워 어셈블리(110)는, 냉각 어셈블리(200)의 상부에 배치되는 충돌 유닛(120)을 포함할 수 있다. 제2 타워 어셈블리(110)는, 충돌 유닛(120)의 상부에 결합되는 이음쇠 유닛(113)을 포함할 수 있다. 이음쇠 유닛(113)은 관 형상일 수 있다. 이음쇠 유닛(113)은 상부로 갈수록 직경이 작아지는 형상으로 형성될 수 있다. 제2 타워 어셈블리(110)는, 이음쇠 유닛(113)의 상부에 결합되는 배출 유닛(111)을 포함할 수 있다. 배출 유닛(111)에는 온도 센서(도면 부호 미도시), 압력 센서(도면 부호 미도시)가 설치될 수 있다. 제2 타워 어셈블리(110)는, 충돌 유닛(120)의 하단을 둘러싸는 제2 조립 파트(273)를 포함할 수 있다. 제2 조립 파트(273)는 링(ring) 형상으로 형성될 수 있다. 제2 조립 파트(273)의 외경은 충돌 유닛(120)의 외경보다 클 수 있다. 제2 조립 파트(273)는 제1 조립 파트(274)와 동일한 형상일 수 있다.

습식 타워(10)는, 제1 타워 어셈블리(140)의 상부에 위치되는 냉각 어셈블리(200)를 포함할 수 있다. 냉각 어셈블리(200)는 제1 타워 어셈블리(140)와 제2 타워 어셈블리(110) 사이에 배치될 수 있다. 냉각 어셈블리(200)는, 습식 타워(10)에 설치되며, 통과하는 폐가스를 냉각시킬 수 있다. 냉각 어셈블리(200)의 측면에는 냉매(미도시)를 공급하는 냉매 유입 노즐(201)이 연결될 수 있다. 냉각 어셈블리(200)의 측면에는 냉매를 배출하는 냉매 배출 노즐(203)이 연결될 수 있다. 냉각 어셈블리(200)에서 폐가스가 접촉되는 부분은 부식 방지 코팅이 적용될 수 있다. 냉각 어셈블리(200)는 성능에 맞춰 높이 조절이 가능하다.

상기 제1 타워 어셈블리(140), 냉각 어셈블리(200), 그리고 제2 타워 어셈블리(110)는, 클램프(CL)에 의해 일체로 결합될 수 있다. 클램프(CL)는 습식 타워(10)의 좌측과 우측에 설치될 수도 있다. 제1 타워 어셈블리(140), 냉각 어셈블리(200), 그리고 제2 타워 어셈블리(110)는, 순서대로 쌓아진 상태에서 클램프(CL)에 의해 일체로 결합될 수 있다. 클램프(CL)를 풀면 냉각 어셈블리(200), 제1 타워 어셈블리(140), 그리고 제2 타워 어셈블리(110)의 조립이 해제될 수 있다. 따라서, 제1 타워 어셈블리(140), 냉각 어셈블리(200), 그리고 제2 타워 어셈블리(110)를 조립 및 분리하는 것이 용이하다.

도 3은, 도 2에 도시된 C-C 단면을 도시한 도면이다.

도 3을 참조하면, 폐가스는, 제1 타워 어셈블리(140)의 하부에서 유입 모듈(141)로 유입된 후, 배출 모듈에서 배출될 수 있다. 폐가스의 기류는 화살표로 도시하였다.

제1 타워 어셈블리(140)는, 포집 모듈(143)의 하부와 유입 모듈(141)에 수용되는 복수의 폴링(151)(Pall ring), 즉 패킹(Packing)을 포함할 수 있다. 제1 타워 어셈블리(140)는, 폴링(151)의 상부에 배치되는 풀콘 노즐(150)(Full-cone nozzle)을 포함할 수 있다. 풀콘 노즐(150)은 내부 순환수를 항시 공급하여 폐가스에 포함된 수용성 가스를 물에 녹여 처리할 수 있다. 풀콘 노즐(150)은 폴링(151) 위로 순환수를 분사할 수 있다. 따라서, 제1 타워 어셈블리(140)는, 기체와 액체의 접촉 비표면적을 증가시켜 수용성 가스를 처리할 수 있다.

제1 타워 어셈블리(140)는, 상기 풀콘 노즐(150)의 상부에 배치되는 데미스터(173)(Demister)를 포함할 수 있다. 데미스터(173)는, 풀콘 노즐(150)에서 분사되어 비산되는 액적의 통과를 차단하기 위해 사란 필터가 적용될 수 있다.

제1 타워 어셈블리(140)는, 상기 데미스터(173)의 상부에 배치되는 바 노즐(160)(Bar nozzle)을 포함할 수 있다. 바 노즐(160)은 상기 냉각 어셈블리(200)의 하부에 배치될 수 있다. 바 노즐(160)로 인해 젖은 데미스터(173)에서 폐가스에 포함된 굵은 물 입자를 1차적으로 제거할 수 있다. 액적 비산이 적은 바 노즐(160)로 데미스터(173)를 항시 습윤한 상태 유지시킬 수 있다. 따라서, 데미스터(173)가 액적 통과를 효과적으로 차단할 수 있다.

제1 타워 어셈블리(140)는, 상면에 데미스터(173)가 놓이는 지지 파트(172)를 포함할 수 있다. 지지 파트(172)에는 관통공(도면부호 미도시)이 형성될 수 있다.

도 4는, 제1 타워 어셈블리(140)의 일부와 냉각 어셈블리(200)를 도시한 도면이다.

도 4를 참조하면, 제1 타워 어셈블리(140)는, 바 노즐(160)의 상부에 배치되는 제1 설치 파트(171)를 포함할 수 있다. 제1 설치 파트(171)는 링(ring) 형상일 수 있다. 제1 설치 파트(171)는 내주면에 둘러싸여 형성되는 제1 관통공(171a)을 포함할 수 있다. 제1 관통공(171a)의 수평 단면은 원형일 수 있다. 제1 설치 파트(171)는 포집 모듈(143)에 지지될 수 있다. 제1 설치 파트(171)의 외주면은 포집 모듈(143)의 내주면에 연결될 수 있다.

제1 설치 파트(171)의 상부에 냉각 어셈블리(200)가 배치될 수 있다. 냉각 어셈블리(200)는, 통과하는 폐가스를 냉각하는 냉매 유닛(210)을 포함할 수 있다. 냉각 어셈블리(200)는, 냉매 유닛(210)을 상하방향으로 관통하여 배치되는 폐가스 통과 유닛(220)을 포함할 수 있다. 폐가스 통과 유닛(220)은 수용 모듈(211)을 관통할 수 있다. 냉매 유닛(210)은, 폐가스 통과 유닛(220)이 설치되는 수용 모듈(211)을 포함할 수 있다. 수용 모듈(211)의 내부에 냉매가 유동할 수 있다.

냉각 어셈블리(200)는, 기류 전환 유닛(241,242,251,252)을 포함할 수 있다. 기류 전환 유닛(241,242,251,252)은 냉각 어셈블리(200)의 하부에 배치되는 제1 전환 모듈(252)을 포함할 수 있다. 제1 전환 모듈(252)은 폐가스 통과 유닛(220)의 하측에 배치될 수 있다. 제1 전환 모듈(252)은 제1 설치 파트(171)의 상면에 설치될 수 있다. 제1 전환 모듈(252)제1 전환 모듈(252)은, 체결부재(미도시)로 제1 설치 파트(171)와 체결될 수 있다. 제1 전환 모듈(252)은, 상기 제1 타워 어셈블리(140)에 연결되는 제1-1 전환 파트(257)를 포함할 수 있다. 제1-1 전환 파트(257)는 상기 제1 타워 어셈블리(140)에 지지될 수 있다. 제1-1 전환 파트(257)는 냉매 유닛(210)과 상하로 이격될 수 있다. 제1-1 전환 파트(257)의 수평 단면은 활꼴 형상일 수 있다. 제1 관통공(171a)은 일부분이 제1-1 전환 파트(257)에 가려질 수 있다. 제1 관통공(171a)은, 절반 이하의 면적만 개방될 수 있다. 제1 전환 모듈(252)은, 상기 제1-1 전환 파트(257)에서 상기 냉매 유닛(210) 방향으로 연장되어 형성되는 제1-2 전환 파트(254)를 포함할 수 있다. 제1-2 전환 파트(254)는 상기 제1 타워 어셈블리(140)에 이격될 수 있다.

제1-2 전환 파트(254)를 기준으로 분리된 공간이 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1-2 전환 파트(254)를 기준으로 좌측에 유입 유로(147a)가 형성될 수 있다. 유입 유로(147a)는, 제1-2 전환 파트(254)와 상기 제1 타워 어셈블리(140)의 내면 사이에 형성될 수 있다. 유입 유로(147a)는, 상기 제1-2 전환 파트(254)의 좌측면과 상기 제1 타워 어셈블리(140)의 내주면, 그리고 냉매 유닛(210)에 둘러싸여 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1-2 전환 파트(254)를 기준으로 우측에 2차 통과로(225)가 형성될 수 있다. 2차 통과로(225)는, 상기 제1-2 전환 파트(254)의 우측면, 제1-1 전환 파트(257), 상기 제1 타워 어셈블리(140)의 내주면, 그리고 냉매 유닛(210)에 둘러싸여 형성될 수 있다.

도 5는, 충돌 유닛(120)과 냉각 어셈블리(200)를 설명하기 위한 도면이다.

도 5를 참조하면, 제2 타워 어셈블리(110)는 냉매 유닛(210)의 상부에 배치되는 충돌 유닛(120)을 포함할 수 있다. 충돌 유닛(120)은, 수용 모듈(211)의 상부에 배치되는 충돌관(126)을 포함할 수 있다. 충돌관(126)은 원형 관 형상으로 형성될 수 있다. 충돌 유닛(120)은, 충돌관(126)의 내부에 설치되는 제2 설치 파트(121)를 포함할 수 있다. 제2 설치 파트(121)는 링(Ring) 형상일 수 있다. 제2 설치 파트(121)는 충돌관(126)의 내주면에 연결될 수 있다. 제2 설치 파트(121)는 내측에 형성되는 제2 관통공(121a)을 포함할 수 있다. 제2 관통공(121a)은 상하로 관통된 형상일 수 있다. 제2 관통공(121a)의 수평 단면은 원형일 수 있다.

기류 전환 유닛(241,242,251,252)은, 상기 냉각 어셈블리(200)의 상부에 배치되는 제2 전환 모듈(242)을 포함할 수 있다. 제2 전환 모듈(242)은 상기 폐가스 통과 유닛(220)의 상측에 배치될 수 있다. 제2 전환 모듈(242)은, 제2 설치 파트(121)와 냉매 유닛(210) 사이에 배치될 수 있다. 제2 전환 모듈(242)은, 체결부재(미도시)로 제2 설치 파트(121)에 체결될 수 있다.

제2 전환 모듈(242)은, 상기 제2 타워 어셈블리(110)에 연결되며, 상기 냉매 유닛(210)과 이격되는 제2-1 전환 파트(247)를 포함할 수 있다. 제2-1 전환 파트(247)는, 상기 제2 타워 어셈블리(110)에 지지될 수 있다. 제2-1 전환 파트(247)는, 제2 타워 어셈블리(110)의 좌측에 배치될 수 있다. 제2-1 전환 파트(247)의 수평 단면은 활꼴 형상일 수 있다. 제2-1 전환 파트(247)는, 제2 관통공(121a)은 일부분이 제2-1 전환 파트(247)에 가려질 수 있다. 제2 관통공(121a)은 절반 이하의 면적만 개방될 수 있다.

제2 전환 모듈(242)은, 상기 제2-1 전환 파트(247)에서 상기 냉매 유닛(210) 방향으로 연장되어 형성되는 제2-2 전환 파트(244)를 포함할 수 있다. 제2-2 전환 파트(244)와 상기 제2 타워 어셈블리(110)가 서로 이격될 수 있다. 제2-2 전환 파트(244)를 기준으로 좌측과 우측에 분리된 공간이 형성될 수 있다. 제2-2 전환 파트(244)의 우측에 배출 유로(127a)가 형성될 수 있다. 예를 들어, 배출 유로(127a)는, 상기 제2-2 전환 파트(244)와 상기 제2 타워 어셈블리(110)의 내면 사이에 형성될 수 있다. 배출 유로(127a)는, 상기 제2-2 전환 파트(244)의 우측면과 충돌관(126)의 내주면에 둘러싸여 형성될 수 있다. 제2-2 전환 파트(244)의 좌측에 1차 통과로(224)가 형성될 수 있다. 예를 들어, 1차 통과로(224)는 상기 제2-2 전환 파트(244)의 좌측면, 제2-1 전환 파트(247), 그리고 충돌관(126)의 내주면에 둘러싸여 형성될 수 있다.

충돌 유닛(120)은, 서로 상하로 이격되며, 충돌관(126)의 내부에 배치되는 복수의 충돌 모듈(122,123,124,125)을 포함할 수 있다. 복수의 충돌 모듈(122,123,124,125)은, 충돌관(126)의 내주면에 설치될 수 있다. 충돌 모듈(122,123,124,125)은 3차 통과 모듈(223)의 상부에 이격되는 제2-1 충돌 파트(122)를 포함할 수 있다. 충돌 모듈(122,123,124,125)은 제2-1 충돌 파트(122)의 상부에 이격되는 제2-2 충돌 파트(123)를 포함할 수 있다. 충돌 모듈(122,123,124,125)은 제2-2 충돌 파트(123)의 상부에 이격되는 제2-3 충돌 파트(124)를 포함할 수 있다. 충돌 모듈(122,123,124,125)은 제2-3 충돌 파트(124)의 상부에 이격되는 제2-4 충돌 파트(125)를 포함할 수 있다. 제2-1 충돌 파트(122)는 제2-2 전환 파트(244)와 동일한 형상으로 형성될 수 있다. 제2-2 충돌 파트(123)는 제2-2 전환 파트(244)와 동일한 형상으로 형성될 수 있다. 제2-3 충돌 파트(124)는 제2-2 전환 파트(244)와 동일한 형상으로 형성될 수 있다. 제2-4 충돌 파트(125)는 제2-2 전환 파트(244)와 동일한 형상으로 형성될 수 있다. 복수의 충돌 모듈(122,123,124,125) 중 적어도 하나는, 일측(一側) 단부가 상기 제2 타워 어셈블리(110)의 내면과 이격될 수 있다. 제2-1 충돌 파트(122)의 좌측 단부가 충돌관(126)의 내면과 이격될 수 있다. 제2-2 충돌 파트(123)의 우측 단부가 충돌관(126)의 내면과 이격될 수 있다. 제2-3 충돌 파트(124)의 좌측 단부가 충돌관(126)의 내면과 이격될 수 있다. 제2-4 충돌 파트(125)의 우측 단부가 충돌관(126)의 내면과 이격될 수 있다.

제2-1 충돌 파트(122)는 충돌관(126)의 우측에 연결될 수 있다. 제2-1 충돌 파트(122)는 제2 관통공(121a)의 상부에 위치될 수 있다. 제2-1 충돌 파트(122)는 배출 유로(127a)의 상부에 위치될 수 있다. 제2-1 충돌 파트(122)는 상기 3차 통과 모듈(223)의 상측과 마주할 수 있다.

제2-2 충돌 파트(123)는 충돌관(126)의 좌측에 배치될 수 있다. 제2-2 충돌 파트(123)는 제2-1 충돌 파트(122)의 상부에 배치될 수 있다. 제2-2 충돌 파트(123)는 제2-1 충돌 파트(122)에 이격될 수 있다. 제2-2 충돌 파트(123)는 제2-2 전환 파트(244)와 상하로 나란하게 배치될 수 있다.

제2-3 충돌 파트(124)는 충돌관(126)의 우측에 배치될 수 있다. 제2-3 충돌 파트(124)는 제2-2 충돌 파트(123)의 상부에 배치될 수 있다. 제2-3 충돌 파트(124)는 제2-2 충돌 파트(123)에 이격될 수 있다. 제2-3 충돌 파트(124)는 제2-1 전환 파트(247)와 상하로 나란하게 배치될 수 있다.

제2-4 충돌 파트(125)는 충돌관(126)의 좌측에 배치될 수 있다. 제2-4 충돌 파트(125)는 제2-3 충돌 파트(124)의 상부에 배치될 수 있다. 제2-4 충돌 파트(125)는 제2-3 충돌 파트(124)에 이격될 수 있다. 제2-4 충돌 파트(125)는 제2-2 전환 파트(244)와 상하로 나란하게 배치될 수 있다.

상기 복수의 충돌 모듈(122,123,124,125) 중 적어도 하나는, 상기 일측 단부에서 하측을 향하여 연장되는 연장 멤버(123a,124a)를 포함할 수 있다. 연장 멤버(123a,124a)는, 제2-2 충돌 파트(123)의 일측 단부에서 하측을 향하여 연장되는 제2-2 연장 멤버(123a)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2-2 연장 멤버(123a)는 제2-2 충돌 파트(123)의 좌측 단부에서 하측을 향하여 연장될 수 있다. 제2-2 연장 멤버(123a)는 제2-1 충돌 파트(122)의 상부에 배치될 수 있다. 제2-2 연장 멤버(123a)는 제2-1 충돌 파트(122)와 이격될 수 있다. 제2-2 연장 멤버(123a)는 충돌관(126)의 내주면과 이격될 수 있다. 연장 멤버(123a,124a)는, 제2-3 충돌 파트(124)의 일측 단부에서 하측을 향하여 연장되는 제2-3 연장 멤버(124a)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2-3 연장 멤버(124a)는 제2-3 충돌 파트(124)의 우측 단부에서 하측을 향하여 연장될 수 있다. 제2-3 연장 멤버(124a)는 제2-2 충돌 파트(123)의 상부에 배치될 수 있다. 제2-3 연장 멤버(124a)는 제2-2 충돌 파트(123)와 이격될 수 있다. 제2-3 연장 멤버(124a)는 충돌관(126)의 내주면과 이격될 수 있다.

도 6은, 도 3에 도시된 A 부분의 확대도이다.

도 6을 참조하면, 수용 모듈(211)은, 상기 수용 모듈(211)의 바닥을 형성하는, 바닥 파트(211b)를 포함할 수 있다. 수용 모듈(211)은, 상기 바닥 파트(211b)의 상부에 위치하며, 상기 바닥 파트(211b)에 이격되는, 천장 파트(211c)를 포함할 수 있다. 수용 모듈(211)은, 수용 모듈(211)의 외주면을 형성하는, 외벽 파트(211a)를 포함할 수 있다. 외벽 파트(211a)는, 상기 바닥 파트(211b)에서 연장되어 상기 천장 파트(211c)로 연결되는 형상을 형성할 수 있다. 천장 파트(211c)는 외벽 파트(211a)의 상면에 형성된 홈(도면부호 미도시)에 위치될 수 있다.

습식 타워(10)는, 외벽 파트(211a)의 상부 및 하부에 배치되는 클램프 모듈(271)을 포함할 수 있다. 클램프 모듈(271)은 상기 제1 조립 파트(274)와 상기 제2 조립 파트(273)를 포함할 수 있다. 제1 조립 파트(274)는 외벽 파트(211a)의 하부에 배치될 수 있다. 상기 제2 조립 파트(273)는 외벽 파트(211a)의 상부에 배치될 수 있다. 냉매 유닛(210)은, 냉매 유닛(210)과 상기 제1 타워 어셈블리(140) 사이에 위치되는 제1 패킹(278)을 포함할 수 있다. 제1 패킹(278)은 외벽 파트(211a)의 하면과 제1 조립 파트(274) 사이에 위치될 수 있다. 제1 패킹(278)은 외벽 파트(211a)와 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 상기 냉매 유닛(210)은, 상기 제2 실링홈(214a)에 삽입되어 상기 냉매 유닛(210)과 상기 제2 타워 어셈블리(110) 사이에 위치되는 제2 패킹(277)을 포함할 수 있다. 제2 패킹(277)은 외벽 파트(211a)의 상면과 제2 조립 파트(273) 사이에 위치될 수 있다. 제2 패킹(277)은 외벽 파트(211a)와 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 제1 패킹(278)과 제2 패킹(277)을 포함해 밀봉 모듈(275)이라 할 수 있다. 제1 타워 어셈블리(140), 상기 제1 패킹(278), 상기 냉각 어셈블리(200), 상기 제2 패킹(277), 그리고 상기 제2 타워 어셈블리(110)는, 상기 클램프(CL, 도 2 참조)에 의해 일체로 결합될 수 있다.

폐가스 통과 유닛(220)은, 폐가스가 통과하는 복수의 통과 모듈(221,222,223)을 포함할 수 있다. 복수의 통과 모듈(221,222,223)은 수용 모듈(211)을 관통할 수 있다. 폐가스 통과 유닛(220)은 천장 파트(211c)와 바닥 파트(211b)를 상하방향으로 관통할 수 있다. 폐가스 통과 유닛(220)의 측면 일부는 외벽 파트(211a)에 둘러싸일 수 있다.

복수의 통과 모듈(221,222,223)은, 상기 제1 타워 어셈블리(140)와 연결되는 1차 통과 모듈(221)을 포함할 수 있다. 상기 1차 통과 모듈(221)은 하측이 유입 유로(147a)와 연결될 수 있다. 1차 통과 모듈(221)은 상측이 1차 통과로(224)에 연결될 수 있다. 1차 통과 모듈(221)은 상측이 제2-1 전환 파트(247)와 마주할 수 있다.

복수의 통과 모듈(221,222,223)은, 상기 제2 타워 어셈블리(110)와 연결되는 3차 통과 모듈(223)을 포함할 수 있다. 상기 3차 통과 모듈(223)은 하측이 상기 2차 통과로(225)에 연결될 수 있다. 3차 통과 모듈(223)은 상측이 배출 유로(127a)와 연결될 수 있다.

복수의 통과 모듈(221,222,223)은, 상기 1차 통과 모듈(221)과 상기 2차 통과 모듈(222) 사이에 배치되는 2차 통과 모듈(222)을 포함할 수 있다. 상기 2차 통과 모듈(222)은 상측이 1차 통과로(224)에 연결될 수 있다. 2차 통과 모듈(222)은 하측이 상기 2차 통과로(225)에 연결될 수 있다. 상기 2차 통과 모듈(222)의 하측은 제1-2 전환 파트(254)와 마주할 수 있다. 2차 통과 모듈(222)의 상측은 제2-2 전환 파트(244)와 마주할 수 있다. 상기 3차 통과 모듈(223)의 하측은 제1-2 전환 파트(254)와 마주할 수 있다.

상기 제2 전환 모듈(242)은 폐가스 통과 유닛(220)의 상측에 배치될 수 있다. 상기 제2 전환 모듈(242)은 적어도 일부가 상기 1차 통과 모듈(221)과 상기 2차 통과 모듈(222)을 마주할 수 있다. 상기 제1 전환 모듈(252)은 폐가스 통과 유닛(220)의 하측에 배치될 수 있다. 제1 전환 모듈(252)은 적어도 일부가 상기 2차 통과 모듈(222)과 상기 3차 통과 모듈(223)을 마주할 수 있다.

상기 복수의 통과 모듈 중 적어도 하나는, 상기 폐가스를 상기 폐가스 통과 유닛(220)의 아래에서 위로 통과시킬 수 있다. 예를 들어, 1차 통과 모듈(221)은 폐가스를 아래에서 위로 통과시킬 수 있다. 예를 들어, 3차 통과 모듈(223)은 폐가스를 아래에서 위로 통과시킬 수 있다. 상기 복수의 통과 모듈 중 다른 하나는, 상기 폐가스를 상기 폐가스 통과 유닛(220)의 위에서 아래로 통과시킬 수 있다. 예를 들어, 2차 통과 모듈(222)은 폐가스를 위에서 아래로 통과시킬 수 있다.

상기 1차 통과로(224)는 1차 통과 모듈(221)과 상기 2차 통과 모듈(222)과 상기 제2 전환 모듈(242)에 둘러싸여 형성될 수 있는 공간이다. 상기 1차 통과 모듈(221)은 상기 1차 통과로(224)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 1차 통과로(224)는 상기 제2 전환 모듈(242)과 상기 제2 타워 어셈블리(110)와 상기 1차 통과 모듈(221)과 상기 2차 통과 모듈(222)에 둘러싸여 형성될 수 있다. 예를 들어, 1차 통과로(224)는 충돌관(126)의 내주면, 제2 전환 모듈(242), 1차 통과 모듈(221), 2차 통과 모듈(222)에 둘러싸여 형성될 수 있다.

2차 통과로(225)는 상기 2차 통과 모듈(222)과 상기 3차 통과 모듈(223)과 상기 제1 전환 모듈(252)에 둘러싸여 형성되는 공간일 수 있다. 예를 들어, 상기 2차 통과로(225)는 상기 제1 전환 모듈(252)과 상기 제1 타워 어셈블리(140)와 상기 2차 통과 모듈(222)과 상기 3차 통과 모듈(223)에 둘러싸여 형성될 수 있다. 예를 들어,2차 통과로(225)는 포집 모듈(143)의 내주면, 제1 전환 모듈(252), 2차 통과 모듈(222), 3차 통과 모듈(223)에 둘러싸여 형성될 수 있다.

포집 모듈(143)의 폐가스는, 유입 유로(147a), 1차 통과 모듈(221), 1차 통과로(224), 2차 통과 모듈(222), 2차 통과로(225), 3차 통과 모듈(223), 배출 유로(127a)를 순차적으로 통과할 수 있다. 폐가스는, 1차 통과 모듈(221)을 통과하면서 냉각될 수 있다. 이후, 폐가스는, 1차 통과로(224)에 유입되면, 제2-1 전환 파트(247)에 막혀 우측으로 이동할 수 있다. 이후, 폐가스는, 제2-2 전환 파트(244)에 막혀 하측으로 이동한 후, 2차 통과 모듈(222)로 유입될 수 있다. 폐가스는, 2차 통과 모듈(222)을 통과하면서 냉각될 수 있다. 이후, 폐가스는, 제1-2 전환 파트(254)와 제1-1 전환 파트(257)에 막혀 우측으로 이동할 수 있다. 이후, 폐가스는, 포집 모듈(143)에 막혀 상측으로 이동한 후 3차 통과 모듈(223)로 유입될 수 있다. 이후, 폐가스는, 3차 통과 모듈(223)을 통과하면서 냉각될 수 있다. 이후, 폐가스는 배출 유로(127a)로 유입될 수 있다. 이와 같이, 냉각 어셈블리(200)는, 기류 전환 유닛(241,242,251,252)으로 폐가스의 기류를 제어하여 폐가스의 냉각 성능을 극대화할 수 있다. 폐가스는 폐가스 통과 유닛(220)을 통과하면서 온도가 이슬점 이하로 냉각되고, 폐가스에 포함된 수증기는 응결, 제거될 수 있다. 예를 들어, 폐가스가 폐가스 통과 유닛(220)을 3 번 통과하면서 급속 냉각되므로, 상기 수증기는 응결되어 폐가스로부터 효과적으로 분리될 수 있다. 본 발명은 폐가스를 최소의 공간에서 최대한 냉각시킴으로써, 폐가스에서 수증기를 효과적으로 분리할 수 있다.

상기 배출홀(180)은 상기 2차 통과로(225)에 연통될 수 있다. 배출홀(180)은 제1 타워 어셈블리(140)의 측부에 형성될 수 있다. 냉각 어셈블리(200)와 충돌 유닛(120)에 의해 폐가스로부터 분리된 액체가 배출홀(180)로 배출될 수 있다. 액체가 2차 통과로(225)에 고이면, 폐가스가 2차 통과로(225)를 통과하는데 문제가 발생될 수 있다. 배출홀(180)은 상시 개방된 상태일 수 있다. 따라서, 습식 타워(10)의 내부 압력과 리액터(30)의 내부 압력간에 차이, 즉 차압이 발생되지 않을 수 있다. 2차 통과로(225) 내의 수위가 상승되면, 차압이 발생되어 습식 스크러버(도 1 참조)의 가동이 중단될 수 있다.

제1-2 전환 파트(254)의 상면에 제1 홈(255)이 형성될 수 있다. 냉매 유닛(210)은, 상기 제1 홈(255)에 삽입되는 제1 설치 가이드(251)를 포함할 수 있다. 상기 제1 설치 가이드(251)가 상기 1차 통과 모듈(221)과 상기 2차 통과 모듈(222) 사이에 위치될 수 있다. 제1 설치 가이드(251)는 바닥 파트(211b)의 하면에 배치될 수 있다. 제2-2 전환 파트(244)의 하면에 제2 홈(245)이 형성될 수 있다. 냉매 유닛(210)은, 상기 제2 홈(245)에 삽입되는 제2 설치 가이드(241)를 포함할 수 있다. 상기 제2 설치 가이드(241)는 상기 2차 통과 모듈(222)과 상기 3차 통과 모듈(223) 사이에 위치될 수 있다. 제2 설치 가이드(241)는 천장 파트(211c)의 상면에 배치될 수 있다. 습식 타워(10)를 조립할 때, 제1 설치 가이드(251)가 제1 홈(255)에 삽입되도록 위치시키고, 제2 설치 가이드(241)가 제2 홈(245)에 삽입되도록 위치시킬 수 있다. 따라서 냉각 어셈블리(200)의 탈부착이 용이하다. 수용 모듈(211)이 좌우로 이동하는 것이 방지될 수 있다.

도 7은, 도 3에 도시된 B 부분의 확대도이다.

도 7을 참조하면, 습식 타워(10)에는 상기 제2 타워 어셈블리(110)의 내면과 상기 충돌 유닛(120)에 둘러싸인 제2 타워 유로(127)가 형성될 수 있다. 제2 타워 유로(127)는 제2 타워 어셈블리(110) 내부에 형성될 수 있다. 제2 타워 유로(127)는, 적어도 일부분이 지그재그 형상으로 형성될 수 있다.

폐가스는, 점선 및 화살표 방향과 같이 이동할 수 있다. 예를 들어, 3차 통과 모듈(223)을 통과한 폐가스는, 배출 유로(127a)를 거쳐 충돌관(126) 내부의 제2 타워 유로(127)를 거쳐 이음쇠 유닛(113)으로 유입될 수 있다. 이 과정에서, 폐가스는 배출 유로(127a)에서 상측으로 이동하다가 제2-1 충돌 파트(122)에 충돌할 수 있다. 이후, 폐가스는 좌측으로 이동하다가 충돌관(126)에 막혀 상측으로 이동할 수 있다. 이후, 폐가스는 제2-2 충돌 파트(123)에 충돌할 수 있다. 이후, 폐가스는 우측으로 이동하다가 제2-2 연장 멤버(123a)에 충돌할 수 있다. 이후, 폐가스는 하측으로 이동한 후 우측으로 이동하다가 충돌관(126)에 막혀 상측으로 이동할 수 있다. 이후, 폐가스는 제2-3 충돌 파트(124)에 충돌할 수 있다. 이후, 폐가스는 좌측으로 이동하다가 제2-3 연장 멤버(124a)에 충돌할 수 있다. 이후, 폐가스는 하측으로 이동한 후 좌측으로 이동하다가 충돌관(126)에 막혀 상측으로 이동할 수 있다. 이후, 폐가스는 제2-4 충돌 파트(125)에 충돌할 수 있다. 이후, 폐가스는 우측으로 이동하다가 이음쇠 유닛(113)으로 유입될 수 있다. 폐가스가 충돌 유닛(120)에 관성 충돌하면, 폐가스에 포함된 입자화된 수증기가 분리될 수 있다. 분리된 수증기는 하측으로 이동하여 배출 유로(127a)로 유입될 수 있다. 분리된 수증기는 2차 통과로(225)로 유입될 수 있다. 2차 통과로(225)에 유입된 수증기는 배출홀(180)을 통해 배출될 수 있다. 폐가스는, 제1 타워 어셈블리(140)와 냉각 어셈블리(200)와 제2 타워 어셈블리(110)를 통과하면서 수증기가 최대한 제거된 후 배출될 수 있다.

도 8은, 폐가스 통과 유닛(220)과 제2 설치 가이드(241)가 설치된 냉매 유닛(210)을 도시한 사시도이다.

도 8을 참조하면, 복수의 통과 모듈(221,222,223)은 수용 모듈(211)에 일정 간격으로 배열될 수 있다.

제2 설치 가이드(241)의 상단은 폐가스 통과 유닛(220)의 상단보다 높이 위치될 수 있다.

냉매 유닛(210)은, 외벽 파트(211a)에 형성되며, 서로 이격되는 냉매 유입구(213)와 냉매 배출구(215)를 포함할 수 있다. 외벽 파트(211a)는 링(Ring) 형상일 수 있다. 외벽 파트(211a)는, 냉매 유입구(213)와 냉매 배출구(215)가 형성되는 부분이 외측을 향하여 돌출되어 형성될 수 있다.

도 9는, 도 8에 도시된 A-A 단면을 도시한 도면이다.

도 9를 참조하면, 1차 통과 모듈(221)은 수용 모듈(211)의 좌측에 3열로 배치될 수 있다. 3차 통과 모듈(223)은 수용 모듈(211)의 우측에 3열로 배치될 수 있다. 2차 통과 모듈(222)은 1차 통과 모듈(221)과 2차 통과 모듈(222) 사이에 2열로 배치될 수 있다.

냉매 유닛(210)은, 상기 복수의 통과 모듈(221,222,223) 사이에 배치되는 냉매 안내 모듈(260)을 포함할 수 있다. 냉매 안내 모듈(260)은 상기 수용 모듈(211)에 설치될 수 있다. 냉매 유닛(210)은, 상기 수용 모듈(211)과 상기 냉매 안내 모듈(260)에 의해 형성되는 냉매 유로(212a,212b)를 구비할 수 있다. 냉매 유로(212a,212b)는 냉매 유닛(210)의 내부에 형성될 수 있다. 상기 복수의 통과 모듈은, 상기 냉매 유로(212a,212b)에 위치될 수 있다.

냉매 안내 모듈(260)은, 상기 수용 모듈(211)에 위치하는 중앙 안내 파트(261)를 포함할 수 있다. 중앙 안내 파트(261)는, 상기 수용 모듈(211)을 가로지르도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 중앙 안내 파트(261)는 좌우 방향으로 길이가 길게 배치될 수 있다. 중앙 안내 파트(261)는 냉매 유입구(213)와 냉매 배출구(215) 사이에 배치될 수 있다. 중앙 안내 파트(261)는, 일단(一端)이 상기 냉매 유입구(213)와 상기 냉매 배출구(215)의 사이에 위치할 수 있다. 예를 들어, 중앙 안내 파트(261)의 우측 단부가 냉매 유입구(213)와 상기 냉매 배출구(215)의 사이에 위치할 수 있다. 중앙 안내 파트(261)의 일단은 외벽 파트(211a)에 연결될 수 있다. 중앙 안내 파트(261)의 우측 단부는 외벽 파트(211a)에 연결될 수 있다. 중앙 안내 파트(261)의 타단(他端)은 외벽 파트(211a)와 이격될 수 있다. 중앙 안내 파트(261)의 좌측 단부는 외벽 파트(211a)와 이격될 수 있다. 서로 이격된 중앙 안내 파트(261)의 좌측 단부와 외벽 파트(211a) 사이로 냉매가 통과할 수 있다.

냉매 안내 모듈(260)은, 상기 중앙 안내 파트(261)의 일면(一面)과 상기 외벽 파트(211a)의 사이에 배치되는 제3 안내 파트(280)를 포함할 수 있다. 제3 안내 파트(280)는, 중앙 안내 파트(261)의 후면과 상기 외벽 파트(211a)의 사이에 배치될 수 있다. 냉매 안내 모듈(260)은, 상기 중앙 안내 파트(261)의 타면과 상기 외벽 파트(211a)의 사이에 배치되는 제4 안내 파트(290)를 포함할 수 있다. 제4 안내 파트(290)는, 중앙 안내 파트(261)의 전면과 상기 외벽 파트(211a)의 사이에 배치될 수 있다.

제3 안내 파트(280)와 제4 안내 파트(290)는, 상기 중앙 안내 파트(261)의 좌측 단부와 외벽 파트(211a) 사이에서 연결될 수 있다. 제3 안내 파트(280)와 상기 제4 안내 파트(290) 중 적어도 하나는, 내측 안내 멤버(282,284,286,292,294,296)를 포함할 수 있다. 내측 안내 멤버(282,284,286,292,294,296)는, 상기 중앙 안내 파트(261)에 연결되고, 상기 외벽 파트(211a)와 이격될 수 있다. 제3 안내 파트(280)와 상기 제4 안내 파트(290) 중 적어도 하나는, 외측 안내 멤버(281,283,285,287,291,293,295,297)를 포함할 수 있다. 외측 안내 멤버(281,283,285,287,291,293,295,297)는 상기 중앙 안내 파트(261)와 이격되고, 상기 외벽 파트(211a)에 연결될 수 있다. 내측 안내 멤버(282,284,286,292,294,296)와 상기 외측 안내 멤버(281,283,285,287,291,293,295,297)는 번갈아 배치될 수 있다. 따라서, 상기 냉매 유로(212a,212b)의 적어도 일부가 지그재그 형상으로 형성될 수 있다.

제3 안내 파트(280)는, 외벽 파트(211a)에 연결되고 중앙 안내 파트(261)에 이격되는 제3-1 외측 안내 멤버(281)를 포함할 수 있다. 제3 안내 파트(280)는, 외벽 파트(211a)에 연결되고 중앙 안내 파트(261)에 이격되는 제3-2 외측 안내 멤버(283)를 포함할 수 있다. 제3 안내 파트(280)는, 외벽 파트(211a)에 연결되고 중앙 안내 파트(261)에 이격되는 제3-3 외측 안내 멤버(285)를 포함할 수 있다. 제3 안내 파트(280)는, 외벽 파트(211a)에 연결되고 중앙 안내 파트(261)에 이격되는 제3-4 외측 안내 멤버(287)를 포함할 수 있다. 제3-1 외측 안내 멤버(281)는 제3 안내 파트(280) 중에서 가장 냉매 유입구(213)와 가까운 위치에 배치될 수 있다. 제3-4 외측 안내 멤버(287)는 제3 안내 파트(280) 중에서 가장 좌측에 배치될 수 있다.

제3 안내 파트(280)는, 중앙 안내 파트(261)에 연결되고 외벽 파트(211a)에 이격되는 제3-1 내측 안내 멤버(282)를 포함할 수 있다. 제3 안내 파트(280)는, 중앙 안내 파트(261)에 연결되고 외벽 파트(211a)에 이격되는 제3-2 내측 안내 멤버(284)를 포함할 수 있다. 제3 안내 파트(280)는, 중앙 안내 파트(261)에 연결되고 외벽 파트(211a)에 이격되는 제3-3 내측 안내 멤버(286)를 포함할 수 있다. 제3-1 내측 안내 멤버(282)는, 제3-1 외측 안내 멤버(281)와 제3-2 외측 안내 멤버(283) 사이에 배치될 수 있다. 제3-2 내측 안내 멤버(284)는, 제3-2 외측 안내 멤버(283)와 제3-3 외측 안내 멤버(285) 사이에 배치될 수 있다. 제3-3 내측 안내 멤버(286)는, 제3-3 외측 안내 멤버(285)와 제3-4 외측 안내 멤버(287) 사이에 배치될 수 있다.

제4 안내 파트(290)는, 외벽 파트(211a)에 연결되고 중앙 안내 파트(261)에 이격되는 제4-1 외측 안내 멤버(297)를 포함할 수 있다. 제4 안내 파트(290)는, 외벽 파트(211a)에 연결되고 중앙 안내 파트(261)에 이격되는 제4-2 외측 안내 멤버(295)를 포함할 수 있다. 제4 안내 파트(290)는, 외벽 파트(211a)에 연결되고 중앙 안내 파트(261)에 이격되는 제4-3 외측 안내 멤버(293)를 포함할 수 있다. 제4 안내 파트(290)는, 외벽 파트(211a)에 연결되고 중앙 안내 파트(261)에 이격되는 제4-4 외측 안내 멤버(291)를 포함할 수 있다. 제4 안내 파트(290) 중에서 제4-1 외측 안내 멤버(297)가 가장 냉매 배출구(215)와 가깝게 위치될 수 있다. 제4-4 외측 안내 멤버(291)는 제4 안내 파트(290) 중에서 가장 좌측에 배치될 수 있다.

제4 안내 파트(290)는, 중앙 안내 파트(261)에 연결되고 외벽 파트(211a)에 이격되는 제4-1 내측 안내 멤버(296)를 포함할 수 있다. 제4 안내 파트(290)는, 중앙 안내 파트(261)에 연결되고 외벽 파트(211a)에 이격되는 제4-2 내측 안내 멤버(294)를 포함할 수 있다. 제4 안내 파트(290)는, 중앙 안내 파트(261)에 연결되고 외벽 파트(211a)에 이격되는 제4-3 내측 안내 멤버(292)를 포함할 수 있다. 제4-1 내측 안내 멤버(296)는, 제4-1 외측 안내 멤버(297)와 제4-2 외측 안내 멤버(295) 사이에 배치될 수 있다. 제4-2 내측 안내 멤버(294)는, 제4-2 외측 안내 멤버(295)와 제4-3 외측 안내 멤버(293) 사이에 배치될 수 있다. 제4-3 내측 안내 멤버(292)는, 제4-3 외측 안내 멤버(293)와 제4-4 외측 안내 멤버(291) 사이에 배치될 수 있다.

제3-1 내측 안내 멤버(282), 제3-2 내측 안내 멤버(284), 제3-3 내측 안내 멤버(286), 제4-1 내측 안내 멤버(296), 제4-2 내측 안내 멤버(294), 제4-3 내측 안내 멤버(292)를 통틀어 내측 안내 멤버(282,284,286,292,294,296)라 할 수 있다. 제3-1 외측 안내 멤버(281), 제3-2 외측 안내 멤버(283), 제3-3 외측 안내 멤버(285), 제3-4 외측 안내 멤버(287), 제4-1 외측 안내 멤버(297), 제4-2 외측 안내 멤버(295), 제4-3 외측 안내 멤버(293), 제4-4 외측 안내 멤버(291)를 통틀어 외측 안내 멤버(281,283,285,287,291,293,295,297)라 할 수 있다.

복수의 통과 모듈(221,222,223)은, 상기 내측 안내 멤버(282,284,286,292,294,296)와 상기 외측 안내 멤버(281,283,285,287,291,293,295,297) 사이에 배치될 수 있다. 1차 통과 모듈(221)의 일부는, 제3 외측 안내 멤버(281,283,285,287)와 제3 내측 안내 멤버(282,284,286) 사이에 배치될 수 있다. 1차 통과 모듈(221)의 일부는, 제4 외측 안내 멤버(291,293,295,297)와 제4 내측 안내 멤버(292,294,296) 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 1차 통과 모듈(221)의 일부는, 제3-4 외측 안내 멤버(287)와 제3-3 내측 안내 멤버(286) 사이에 배치될 수 있다. 1차 통과 모듈(221)의 일부는, 제3-3 내측 안내 멤버(286)와 제3-3 외측 안내 멤버(285) 사이에 배치될 수 있다. 1차 통과 모듈(221)의 일부는 제4-4 외측 안내 멤버(291)와 제4-3 내측 안내 멤버(292) 사이에 배치될 수 있다. 1차 통과 모듈(221)의 일부는 제4-3 내측 안내 멤버(292)와 제4-3 외측 안내 멤버(293) 사이에 배치될 수 있다. 2차 통과 모듈(222)의 일부는 제3-3 외측 안내 멤버(285)와 제3-2 내측 안내 멤버(284) 사이에 배치될 수 있다. 2차 통과 모듈(222)의 일부는 제3-2 내측 안내 멤버(284)와 제3-2 외측 안내 멤버(283) 사이에 배치될 수 있다. 2차 통과 모듈(222)의 일부는 제4-3 외측 안내 멤버(293)와 제4-2 내측 안내 멤버(294) 사이에 배치될 수 있다. 2차 통과 모듈(222)의 일부는 제4-2 내측 안내 멤버(294)와 제4-2 외측 안내 멤버(295) 사이에 배치될 수 있다. 3차 통과 모듈(223)의 일부는 제3-2 외측 안내 멤버(283)와 제3-1 내측 안내 멤버(282) 사이에 배치될 수 있다. 3차 통과 모듈(223)의 일부는 제3-1 내측 안내 멤버(282)와 제3-1 외측 안내 멤버(281) 사이에 배치될 수 있다. 3차 통과 모듈(223)의 일부는 제4-2 외측 안내 멤버(295)와 제4-1 내측 안내 멤버(296) 사이에 배치될 수 있다. 3차 통과 모듈(223)의 일부는 제4-1 내측 안내 멤버(296)와 제4-1 외측 안내 멤버(297) 사이에 배치될 수 있다.

냉매 유로(212a,212b)는, 상기 냉매 유입구(213)에 연통되는 제3 냉매 유로(212a)를 포함할 수 있다. 제3 냉매 유로(212a)는, 상기 중앙 안내 파트(261)와 상기 제3 안내 파트(280)와 에 의해 형성될 수 있다. 제3 냉매 유로(212a)는 지그재그 형상으로 형성될 수 있다. 냉매 유로(212a,212b)는, 상기 제3 냉매 유로(212a)와 상기 냉매 배출구(215)에 각각 연통되는 제4 냉매 유로(212b)를 포함할 수 있다. 제4 냉매 유로(212b)는, 상기 중앙 안내 파트(261)와 상기 제4 안내 파트(290)에 의해 형성될 수 있다. 제4 냉매 유로(212b)는 지그재그 형상으로 형성될 수 있다. 제3 냉매 유로(212a)와 제4 냉매 유로(212b)는 동일한 형상일 수 있다. 냉매 유닛(210)은 중앙 안내 파트(261)를 기준으로 전후 대칭이 될 수 있다.

냉매 유입구(213)는, 상기 외벽 파트(211a)를 관통하여 상기 수용 모듈(211)의 내부에 연통될 수 있다. 냉매 유입구(213)는 제3 냉매 유로(212a)에 연통될 수 있다. 냉매 배출구(215)는, 상기 외벽 파트(211a)를 관통하여 상기 수용 모듈(211)의 내부에 연통될 수 있다. 냉매 배출구(215)는 제4 냉매 유로(212b)에 연통될 수 있다. 상기 냉매는, 상기 냉매 유입구(213)를 통해 상기 수용 모듈(211)의 내부로 유입될 수 있다. 냉매는, 상기 냉매 배출구(215)를 통해 상기 수용 모듈(211)의 외부로 배출될 수 있다. 상기 냉매는 냉매 유로(212a,212b)에서 유동할 수 있다. 냉매는 냉각수가 적용될 수 있다. 냉매 유입구(213)로 유입된 냉매는, 제3 냉매 유로(212a)를 지그재그 형상으로 통과한 후, 제4 냉매 유로(212b)를 지그재그 형상으로 통과하면서 복수의 통과 모듈(221,222,223)을 거친 후, 냉매 배출구(215)로 배출될 수 있다. 따라서, 복수의 통과 모듈(221,222,223)이 모두 냉각될 수 있어, 폐가스의 냉각 효율이 좋다. PCW-S는 사용 전 냉매, PCW-R은 사용된 냉매를 표시한 것이다.

도 10은, 도 8에 도시된 B-B 단면을 도시한 도면이다.

도 10을 참조하면, 냉매 유닛(210)은, 상기 냉매 유닛(210)의 하면에 형성되는 제1 실링홈(214b)을 포함할 수 있다. 제1 실링홈(214b)은, 외벽 파트(211a)의 상면에 형성될 수 있다. 제1 패킹(278)은 상기 제1 실링홈(214b)에 삽입될 수 있다. 냉매 유닛(210)은, 상기 냉매 유닛(210)의 상면에 형성되는 제2 실링홈(214a)을 포함할 수 있다. 제2 실링홈(214a)은, 외벽 파트(211a)의 하면에 형성될 수 있다. 제2 패킹(277)은, 상기 제2 실링홈(214a)에 삽입될 수 있다.

냉매 안내 모듈(260)은, 천장 파트(211c)와 바닥 파트(211b)에 연결될 수 있다. 냉매 안내 모듈(260)은, 복수의 통과 모듈(221,222,223)의 측부에 접촉될 수 있다. 통과 모듈(221,222,223)의 상하 길이는 수용 모듈(211)의 상하 길이보다 길 수 있다.

냉매 유로(212a,212b)는, 수용 모듈(211)의 내면과 냉매 안내 모듈(260)과 통과 모듈(221,222,223)에 둘러싸여, 수용 모듈(211)에 구비될 수 있다.

천장 파트(211c)는 외벽 파트(211a)의 상면에 형성된 홈(도면부호 미도시)에 삽입되어, 외벽 파트(211a)와 결합될 수 있다.

제2-1 충돌 파트(122), 제2-2 충돌 파트(123), 제2-3 충돌 파트(124), 제2-4충돌 파트를 통틀어 제2 충돌 파트(122,123,124)라 할 수 있다. 1차 통과로(224)와 2차 통과로(225)를 통틀어 통과로(224,225)라 할 수 있다. 제1 전환 모듈(252)과 제2 전환 모듈(242)을 통틀어 전환 모듈(242,252)이라 할 수 있다. 제1 설치 가이드(251)와 제2 설치 가이드(241)를 통틀어 설치 가이드(241,251)라 할 수 있다. 내측 안내 멤버(282,284,286,292,294,296)와 외측 안내 멤버(281,283,285,287,291,293,295,297)를 통틀어 안내 멤버(281,283,285,287,282,284,286,292,294,296,291,293,295,297)라 할 수 있다. 제1 타워 유로(147)와 제2 타워 유로(127)를 통틀어 타워 유로(127,147) 라 할 수 있다.

앞에서 설명된 본 발명의 어떤 실시예 또는 다른 실시예들은 서로 배타적이거나 구별되는 것이 아니다. 앞서 설명된 본 발명의 어떤 실시예들 또는 다른 실시예들은 각각의 구성 또는 기능이 병용되거나 조합될 수 있다.

본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음을 당업자에게 자명한다. 상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니 되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.

10 : 습식 타워
40 : 수조 탱크
110 : 제2 타워 어셈블리
120 : 충돌 유닛
121 : 제2 설치 파트
121a : 제2 관통공
123a : 제2-2 연장 멤버
124a : 제2-3 연장 멤버
127a : 배출 유로
140 : 제1 타워 어셈블리
143 : 포집 모듈
150 : 풀콘 노즐
151 : 폴링
160 : 바 노즐
171 : 제1 설치 파트
171a : 제1 관통공
172 : 지지 파트
173 : 데미스터
180 : 배출홀
200 : 냉각 어셈블리
210 : 냉매 유닛
211 : 수용 모듈
212a, 212b : 냉매 유로
213 : 냉매 유입구
214a, 214b : 실링홈
215 : 냉매 배출구
220 : 폐가스 통과 유닛
221 : 1차 통과 모듈
222 : 2차 통과 모듈
223 : 3차 통과 모듈
224 : 1차 통과로
225 : 2차 통과로
242,252 : 전환 모듈
241,251 : 설치 가이드
244, 247 : 제1 전환 파트
254, 257 : 제2 전환 파트
245 : 제2 홈
255 : 제1 홈
260 : 냉매 안내 모듈
261 : 중앙 안내 파트
271 : 클램프 모듈
275 : 밀봉 모듈
280 : 제3 안내 파트
290 : 제4 안내 파트

Claims (6)

1. 습식 타워(Wet tower)에 설치되며, 통과하는 폐가스를 냉각시키는 습식 타워용 냉각 어셈블리로서,
   냉매(冷媒)가 유동하는 냉매 유로를 구비하는 냉매 유닛; 그리고
   상기 냉매 유닛을 상하 방향으로 관통하여 배치되는 폐가스 통과 유닛을 포함하며,
   상기 폐가스 통과 유닛은,
   상기 폐가스가 통과하는 복수의 통과 모듈을 포함하며,
   상기 복수의 통과 모듈은,
   상기 냉매 유로에 위치하며,
   상기 복수의 통과 모듈 중 적어도 하나는,
   상기 폐가스를 상기 폐가스 통과 유닛의 아래에서 상기 폐가스 통과 유닛의 위로 통과시키고,
   상기 복수의 통과 모듈 중 다른 하나는,
   상기 폐가스를 상기 폐가스 통과 유닛의 위에서 상기 폐가스 통과 유닛의 아래로 통과시키는,
   습식 타워용 냉각 어셈블리.
2. 제1항에 있어서,
   상기 냉매 유닛은,
   상기 복수의 통과 모듈이 관통하는 수용 모듈; 그리고
   상기 복수의 통과 모듈 사이에 배치되며, 상기 수용 모듈에 설치되는 냉매 안내 모듈을 포함하고,
   상기 냉매 유로는,
   상기 수용 모듈과 상기 냉매 안내 모듈에 의해 형성되는,
   습식 타워용 냉각 어셈블리.
3. 제2항에 있어서,
   상기 수용 모듈은,
   상기 수용 모듈의 바닥을 형성하는, 바닥 파트;
   상기 바닥 파트의 상부에 위치하며, 상기 바닥 파트에 이격되는, 천장 파트; 그리고
   상기 바닥 파트에서 연장되어 상기 천장 파트로 연결되는 형상을 형성하며, 상기 수용 모듈의 외주면을 형성하는 외벽 파트를 포함하고,
   상기 냉매 유닛은,
   상기 외벽 파트를 관통하여 상기 수용 모듈의 내부에 연통되는, 냉매 유입구; 그리고
   상기 외벽 파트를 관통하여 상기 수용 모듈의 내부에 연통되되 상기 냉매 유입구에 이격되는, 냉매 배출구를 포함하고,
   상기 냉매는,
   상기 냉매 유입구를 통해 상기 수용 모듈의 내부로 유입되고, 상기 냉매 배출구를 통해 상기 수용 모듈의 외부로 배출되는,
   습식 타워용 냉각 어셈블리.
4. 제3항에 있어서,
   상기 냉매 안내 모듈은,
   상기 수용 모듈에 위치하며, 상기 수용 모듈을 가로지르고, 일단(一端)이 상기 냉매 유입구와 상기 냉매 배출구의 사이에 위치하는, 중앙 안내 파트;
   상기 중앙 안내 파트의 일면과 상기 외벽 파트의 사이에 배치되는 제3 안내 파트; 그리고
   상기 중앙 안내 파트의 타면과 상기 외벽 파트의 사이에 배치되는 제4 안내 파트를 포함하고,
   상기 냉매 유로는,
   상기 냉매 유입구에 연통되며, 상기 중앙 안내 파트와 상기 제3 안내 파트에 의해 형성되는 제3 냉매 유로; 그리고
   상기 제3 냉매 유로와 상기 냉매 배출구에 각각 연통되며, 상기 중앙 안내 파트와 상기 제4 안내 파트에 의해 형성되는 제4 냉매 유로를 포함하는,
   습식 타워용 냉각 어셈블리.
5. 제4항에 있어서,
   상기 제3 안내 파트와 상기 제4 안내 파트 중 적어도 하나는,
   상기 중앙 안내 파트에 연결되고, 상기 외벽 파트와 이격되는 내측 안내 멤버; 그리고
   상기 중앙 안내 파트와 이격되고, 상기 외벽 파트에 연결되는 외측 안내 멤버를 포함하고,
   상기 복수의 통과 모듈은,
   상기 내측 안내 멤버와 상기 외측 안내 멤버 사이에 배치되는,
   습식 타워용 냉각 어셈블리.
6. 제5항에 있어서,
   상기 내측 안내 멤버와 상기 외측 안내 멤버가 번갈아 배치되어,
   상기 냉매 유로의 적어도 일부가 지그재그 형상으로 형성되는,
   습식 타워용 냉각 어셈블리.

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