KR101866397B1 - 공정 폐가스 처리용 제습기 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 내부가 중공인 박스 형상으로 형성되며, 폐가스 유입구와 폐가스 배출구와 제 1 하부 연결구 및 제 1 상부 연결구를 구비하는 외부 하우징과, 내부가 중공인 박스 형상으로 형성되며, 내부 폐가스 유입구와 내부 폐가스 배출구와 제 1 내부 하부 연결구와 제 1 내부 상부 연결구 및 제 1 튜브 관통구를 구비하고, 상기 외부 하우징의 내부에 위치하는 내부 하우징과, 상기 내부 하우징의 내부에서 상기 내부 폐가스 유입구를 통하여 유입되어 상승하는 폐가스가 상부 방향으로 제 1 상부 냉각 튜브와 제 1 하부 냉각 튜브와 접촉하면서 지그재그 방향으로 흐르도록 하여 폐가스에 포함되어 있는 수분을 냉각시켜 포집하는 제 1 냉각 튜브 유닛 및 상기 제 1 하부 연결구에 결합되며 상기 제 1 상부 냉각 튜브와 상기 제 1 하부 냉각 튜브의 일측단이 결합되는 제 1 하부 연결 플랜지와, 상기 제 1 상부 연결구에 결합되며, 상기 제 1 상부 냉각 튜브와 상기 제 1 하부 냉각 튜브의 타측단이 결합되는 제 1 상부 연결 플랜지를 구비하는 제 1 연결 유닛을 포함하는 공정 폐가스 처리용 제습기를 개시한다.
Description
본 발명은 반도체 제조 공정, 평판 디스플레이 장치 제조 공정, 태양 전지 패널 제조 공정과 같은 제조 공정에서 발생되는 폐가스를 처리하는데 사용되는 공정 폐가스 처리용 제습기에 관한 것이다.
반도체 제조 공정, 평판 디스플레이 장치 제조 공정, 태양 전지 패널 제조 공정과 같은 제조 공정에서 발생되는 폐가스는 공정 장비에서 발생되어 배출되는 산성 가스와 같은 유해 가스, 반응 부산물 입자, 수분등을 포함하고 있다. 상기 폐가스는 공정 장비의 후단에 설치되는 스크러버에서 연소 과정 및 수처리 과정을 통하여 유해 성분이 제거되어 공정 라인의 배기 배관으로 배출된다.
상기 스크러버에서 배출되는 폐가스는 가스 성분 및 반응 부산물 입자와 함께 수분을 포함하고 있고 있다. 상기 수분은 배기 배관의 내부 온도보다 높은 온도와 습도를 가지므로 배기 배관 내부에서 온도가 낮아지면서 응축되며, 반응 부산물 입자도 포집한다. 상기 배기 배관에 응축되는 수분은 산성을 띄게 되어 배기 배관을 손상시켜 배기 배관의 교체 주기를 단축시키며, 배기 배관의 교체시에 산성 물질이 유출되어 위험을 증가시킨다.
본 발명은 스크러버에서 배출되는 폐가스에 포함되어 있는 수분을 효율적으로 포집하여 제거할 수 있는 공정 폐가스 처리용 제습기를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 공정 폐가스 처리용 제습기는 내부가 중공인 박스 형상으로 형성되며, 폐가스 유입구와 폐가스 배출구와 제 1 하부 연결구 및 제 1 상부 연결구를 구비하는 외부 하우징과, 내부가 중공인 박스 형상으로 형성되며, 내부 폐가스 유입구와 내부 폐가스 배출구와 제 1 내부 하부 연결구와 제 1 내부 상부 연결구 및 제 1 튜브 관통구를 구비하고, 상기 외부 하우징의 내부에 위치하는 내부 하우징과, 상기 내부 하우징의 내부에서 상기 내부 폐가스 유입구를 통하여 유입되어 상승하는 폐가스가 상부 방향으로 제 1 상부 냉각 튜브와 제 1 하부 냉각 튜브와 접촉하면서 지그재그 방향으로 흐르도록 하여 폐가스에 포함되어 있는 수분을 냉각시켜 포집하는 제 1 냉각 튜브 유닛 및 상기 제 1 하부 연결구에 결합되며 상기 제 1 상부 냉각 튜브와 상기 제 1 하부 냉각 튜브의 일측단이 결합되는 제 1 하부 연결 플랜지와, 상기 제 1 상부 연결구에 결합되며, 상기 제 1 상부 냉각 튜브와 상기 제 1 하부 냉각 튜브의 타측단이 결합되는 제 1 상부 연결 플랜지를 구비하는 제 1 연결 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 공정 폐가스 처리용 제습기는 스크러버에서 배출되는 폐가스가 상하로 엇갈려 이격되는 저온의 냉각 튜브 사이로 통과하도록 하여 냉각 튜브와 폐가스의 접촉 면적을 증가시킴으로써 냉각 튜브의 표면에 수분이 응축시켜 효율적으로 제거하는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 공정 폐가스 처리용 제습기는 스크러버에서 배출되는 폐가스를 메쉬 형태를 이루는 저온의 냉각 튜브 사이로 통과시킴으로써 냉각 튜브의 표면에 수분이 응축시켜 효과적으로 제거하는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 공정 폐가스 처리용 제습기는 냉각 튜브의 표면에 응축되는 물방울 입자가 하부로 낙하되도록 함으로써 폐가스의 흐름을 원활하게 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 공정 폐가스 처리용 제습기는 폐가스를 이슬점 이하로 냉각시켜 배출하므로 배기 배관에서 응축되는 현상을 감소시키는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 폐가스 처리용 제습기의 일측 방향과 전측 방향 사이에서 바라본 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 폐가스 처리용 제습기의 일측 방향과 후측 방향 사이에서 바라본 사시도이다.
도 3은 도 1의 외부 하우징의 내부에 위치하는 내부 하우징의 사시도이다.
도 4는 도 1의 A-A에 대한 수직 단면도이다.
도 5는 도 1의 B-B에 대한 수직 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 내부 하우징의 사시도이다.
도 7은 도 6의 "B"에 대한 확대도이다.
도 8은 도 6에서 제 1 튜브 지지 블록과 제 2 튜브 지지 블록을 제거한 상태의 내부 하우징의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 폐가스 처리용 제습기의 일측 방향과 후측 방향 사이에서 바라본 사시도이다.
도 3은 도 1의 외부 하우징의 내부에 위치하는 내부 하우징의 사시도이다.
도 4는 도 1의 A-A에 대한 수직 단면도이다.
도 5는 도 1의 B-B에 대한 수직 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 내부 하우징의 사시도이다.
도 7은 도 6의 "B"에 대한 확대도이다.
도 8은 도 6에서 제 1 튜브 지지 블록과 제 2 튜브 지지 블록을 제거한 상태의 내부 하우징의 사시도이다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 폐가스 처리용 제습기를 첨부된 도면을 통하여 상세히 설명한다.
먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 폐가스 처리용 제습기의 구조에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 폐가스 처리용 제습기의 일측 방향과 전측 방향 사이에서 바라본 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 폐가스 처리용 제습기의 일측 방향과 후측 방향 사이에서 바라본 사시도이다. 도 3은 도 1의 외부 하우징의 내부에 위치하는 내부 하우징의 사시도이다. 도 4는 도 1의 A-A에 대한 수직 단면도이다. 도 5는 도 1의 B-B에 대한 수직 단면도이다.
이하의 설명에서 일측면 또는 일측단은 도 1에서 -x 방향을 의미하며, 타측면 또는 타측단은 x 방향을 의미한다. 또한, 전측면 또는 전측단은 -y 방향을 의미하며, 후측면 또는 후측단은 y 방향을 의미한다. 상면 또는 상부 방향은 +z 방향을 의미하며, 하면 또는 하부 방향은 z 방향을 의미한다. 다만, 상기와 같은 방향은 상대적인 것으로 서로 바뀔 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 공정 폐가스 처리용 제습기는, 도 1 내지 도 5를 참조하면, 외부 하우징(100)과 내부 하우징(200)과 제 1 냉각 튜브 유닛(300)과 제 1 연결 유닛(400) 및 물 분사 유닛(500)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 공정 폐가스 처리용 제습기는 제 2 냉각 튜브 유닛(600) 및 제 2 연결 유닛(700)을 더 포함하여 형성될 수 있다.
상기 외부 하우징(100)은 폐가스 유입구(110)와 폐가스 배출구(120)와 제 1 하부 연결구(130)와 제 1 상부 연결구(140) 및 노즐 연결구(150)를 포함하여 형성된다. 또한, 상기 외부 하우징(100)은 제 2 하부 연결구(160) 및 제 2 상부 연결구(170)를 더 포함하여 형성될 수 있다.
상기 외부 하우징(100)은 내부가 중공인 박스 형상으로 형성되며, 원통 형상 또는 사각통 형상, 육각통 형상과 같은 다각형 통 형상으로 형성된다. 상기 외부 하우징(100)은 바람직하게는 사각통 형상으로 형성될 수 있다. 상기 외부 하우징(100)은 형성되는 경우에 상면과 하면과 일측면과 타측면과 전측면 및 후측면을 포함하여 형성될 수 있다.
상기 폐가스 유입구(110)는 외부 하우징(100)의 하면에 관통 홀 형상으로 형성되며, 유입되는 폐가스의 양에 따라 소정 직경으로 형성된다. 상기 폐가스 유입구(110)는 별도의 공급 배관(미도시)에 의하여 스크러버와 연결되며, 스크러버에서 처리된 폐가스가 유입되는 경로를 제공한다.
상기 폐가스 배출구(120)는 외부 하우징(100)의 상면에 관통 홀 형상으로 형성된다. 상기 폐가스 배출구(120)는 바람직하게는 외부 하우징(100)의 하부에 위치하는 폐가스 유입구(110)와 상하 방향으로 대응되는 위치에 형성된다. 상기 폐가스 배출구(120)는 내부 하우징(200)에서 수분이 제거된 폐가스가 배기 배관(미도시)으로 배출되는 경로를 제공한다.
상기 제 1 하부 연결구(130)는 외부 하우징(100)의 일측면의 하부에 관통 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 1 하부 연결구(130)는 제 1 냉각 튜브 유닛(300)과 연결되며, 제 1 냉각 튜브 유닛(300)으로 공급되는 냉각수의 유입 경로를 제공한다.
상기 제 1 상부 연결구(140)는 외부 하우징(100)의 일측면의 상부에 관통 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 1 상부 연결구(140)는 바람직하게는 외부 하우징(100)의 일측면 하부에 위치하는 제 1 하부 연결구(130)와 상하 방향으로 동일 직선 상에 형성된다. 상기 제 1 상부 연결구(140)는 제 1 냉각 튜브 유닛(300)과 연결되며, 제 1 냉각 튜브 유닛(300)을 흐른 냉각수의 유출 경로를 제공한다.
상기 노즐 연결구(150)는 외부 하우징(100)의 후면에 관통 홀 형상으로 형성되며, 복수 개로 형성된다. 상기 노즐 연결구(150)는 바람직하게는 복수 개가 상하 방향으로 서로 이격되어 배열되며, 외부 하우징(100)의 높이가 증가할수록 개수가 증가된다. 상기 노즐 연결구(150)에는 물 분사 유닛(500)이 결합되며, 외부 하우징(100) 내부로 분사되는 물의 공급 경로를 제공한다.
상기 제 2 하부 연결구(160)는 외부 하우징(100)의 전면의 하부에 관통 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 2 하부 연결구(160)는 제 2 냉각 튜브 유닛(600)과 연결되며, 제 2 냉각 튜브 유닛(600)으로 공급되는 냉각수의 유입 경로를 제공한다.
상기 제 2 상부 연결구(170)는 외부 하우징(100)의 전면의 상부에 관통 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 2 상부 연결구(170)는 바람직하게는 외부 하우징(100)의 전면 하부에 위치하는 제 2 하부 연결구(160)와 상하 방향으로 동일 직선상에 형성된다. 상기 제 2 상부 연결구(170)는 제 2 냉각 튜브 유닛(600)과 연결되며, 제 2 냉각 튜브 유닛(600)을 흐른 냉각수의 유출 경로를 제공한다.
상기 내부 하우징(200)은 내부 폐가스 유입구(210)와 내부 폐가스 배출구(220)와 제 1 내부 하부 연결구(230)와 제 1 내부 상부 연결구(240)와 제 1 튜브 관통구(250) 및 물 분사구(260)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 내부 하우징(200)은 제 2 내부 하부 연결구(270)와 제 2 내부 상부 연결구(280) 및 제 2 튜브 관통구(290)를 더 포함하여 형성될 수 있다.
상기 내부 하우징(200)은 내부가 중공인 박스 형상으로 형성되며, 원통 형상 또는 사각통 형상, 육각통 형상과 같은 다각형 통 형상으로 형성된다. 상기 내부 하우징(200)은 바람직하게는 외부 하우징(100)과 동일한 형상으로 형성된다. 예를 들면, 상기 내부 하우징(200)은, 도 3을 참조하면, 사각 통 형상으로 형성될 수 있다. 상기 내부 하우징(200)은 형성되는 경우에 상면과 하면과 일측면과 타측면과 전측면 및 후측면을 포함하여 형성될 수 있다. 이때, 상기 전측면과 후측면은 복수 개의 블록이 상하 방향으로 배열되어 형성될 수 있다.
상기 내부 하우징(200)은 외부 하우징(100)의 내부에 수용되는 부피로 형성된다. 상기 내부 하우징(200)은 수평 면적이 외부 하우징(100)의 수평 면적보다 작게 형성될 수 있다. 또한, 상기 내부 하우징(200)은 높이가 외부 하우징(100)의 높이보다 작은 높이 또는 대응되는 높이로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 내부 하우징(200)은 외면이 외부 하우징(100)의 내면과 이격되도록 형성된다. 또한, 상기 내부 하우징(200)은 상면이 외부 하우징(100)의 상면과 접촉되고, 하면이 외부 하우징(100)의 하면과 접촉되도록 형성된다.
상기 내부 하우징(200)은 외부 하우징(100)의 내부에 위치하며, 제 1 냉각 튜브 유닛(300)과 제 2 냉각 튜브 유닛(600)을 구성하는 냉각 튜브들이 외부 하우징(100)의 내부에서 서로 정해진 일정한 간격을 유지하도록 고정한다.
상기 내부 폐가스 유입구(210)는 내부 하우징(200)의 하면에 관통 홀 형상으로 형성되며, 사각형 또는 원형 형상으로 형성된다. 상기 내부 폐가스 유입구(210)는 외부 하우징(100)의 폐가스 유입구(110)와 동일한 중심축을 가지도록 형성된다. 상기 내부 폐가스 유입구(210)는 폐가스 유입구(110)와 동일 면적 또는 작은 면적으로 형성된다. 상기 내부 폐가스 유입구(210)는 외부 하우징(100)의 폐가스 유입구(110)를 통과한 폐가스가 내부 하우징(200)의 내부로 유입되는 경로를 제공한다.
상기 내부 폐가스 배출구(220)는 내부 하우징(200)의 상면에 관통 홀 형상으로 형성되며, 사각형 또는 원형 형상으로 형성된다. 상기 내부 폐가스 배출구(220)는 외부 하우징(100)의 폐가스 배출구(120)와 동일 중심 축을 가지도록 형성된다. 상기 내부 폐가스 배출구(220)는 폐가스 배출구(120)와 동일 직경 또는 작은 직경으로 형성된다. 상기 내부 폐가스 배출구(220)는 내부 하우징(200)의 내부를 통과한 폐가스가 외부 하우징(100)의 폐가스 배출구(120)로 배출되는 경로를 제공한다.
상기 제 1 내부 하부 연결구(230)는 내부 하우징(200)의 일측면의 하부에 관통 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 1 내부 하부 연결구(230)는 제 1 하부 연결구(130)와 연결되도록 형성된다.
상기 제 1 내부 상부 연결구(240)는 내부 하우징(200)의 일측면의 상부에 관통 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 1 내부 상부 연결구(240)는 바람직하게는 내부 하우징(200)의 일측면 하부에 위치하는 제 1 내부 하부 연결구(230)와 상하 방향으로 동일 직선상에 형성된다. 또한, 상기 제 1 내부 상부 연결구(240)는 제 1 상부 연결구(140)와 연결되도록 형성된다.
상기 제 1 튜브 관통구(250)는 내부 하우징(200)의 일측면과 타측면에 복수 개의 관통 홀(250a)로 형성된다. 상기 제 1 튜브 관통구(250)는 제 1 상부 튜브 관통구(251)와 제 1 하부 튜브 관통구(253)를 포함하여 형성된다. 상기 제 1 상부 튜브 관통구(251)와 제 1 하부 튜브 관통구(253)는 내부 하우징(200)에서 형성되는 위치에서 차이가 있을 뿐이며, 동일한 구조로 형성된다.
상기 제 1 상부 튜브 관통구(251)는 상하 방향으로 서로 이격되는 복수 개의 제 1 상부 관통구 단위(251a)로 형성된다. 상기 제 1 상부 관통구 단위(251a)는 내부 하우징(200)의 일측면과 타측면에 소정의 수평 거리(Dh)로 서로 이격되는 복수 개의 관통 홀(250a)로 형성된다. 상기 제 1 상부 관통구 단위(251a)는 일측면과 타측면에서 동일한 높이 또는 서로 다른 높이에 형성될 수 있다. 상기 수평 거리(Dh)는 관통 홀(250a)의 직경 또는 제 1 냉각 튜브 유닛(300)을 구성하는 냉각 튜브의 직경보다 작은 거리로 형성된다. 또한, 상기 제 1 상부 관통구 단위(251a)는 내부 하우징(200)의 일측면과 타측면에서 상하 방향으로 소정의 수직 거리(Dv)로 이격되어 형성된다. 다만, 상기 제 1 상부 관통구 단위(251a)는 대향하는 측면에 제 1 내부 하부 연결구(230) 또는 제 1 내부 상부 연결구(240)가 형성되는 영역에는 형성되지 않는다.
상기 제 1 하부 튜브 관통구(253)는 복수 개의 제 1 하부 관통구 단위(253a)로 형성된다. 상기 제 1 하부 관통구 단위(253a)는 제 1 상부 관통구 유닛(251a)과 동일하게 형성된다. 즉, 상기 제 1 하부 관통구 단위(253a)는 내부 하우징(200)의 일측면과 타측면에 소정의 수평 거리(Dh)로 서로 이격되는 복수 개의 관통 홀(250a)로 형성된다. 또한, 상기 제 1 하부 관통구 단위(253a)는 일측면과 타측면에서 동일한 높이 또는 서로 다른 높이에 형성될 수 있다. 상기 수평 거리(Dh)는 관통 홀(250a)의 직경 또는 제 1 냉각 튜브 유닛(300)을 구성하는 냉각 튜브의 직경보다 작은 거리로 형성된다. 또한, 상기 제 1 하부 관통구 단위(253a)는 내부 하우징(200)의 일측면과 타측면에서 상하 방향으로 소정의 수직 거리(Dv)로 이격되어 형성된다. 다만, 상기 제 1 상부 관통구 단위(251a)는 대향하는 측면에 제 1 내부 하부 연결구(230) 또는 제 1 내부 상부 연결구가 형성되는 영역에는 형성되지 않는다.
또한, 상기 제 1 하부 관통구 단위(253a)는 제 1 상부 관통구 단위(251a)와 한 쌍을 이루어 형성된다. 또한, 상기 제 1 하부 관통구 단위(253a)는 제 1 상부 관통구 단위(251a)의 하부에 위치하며, 제 1 상부 관통구 단위(251a)와 소정의 상하 거리(Dud)로 이격된다. 상기 상하 거리(Dud)는 관통 홀의 직경보다 크게 형성된다. 또한, 상기 제 1 하부 관통구 단위(253a)의 관통 홀(250a)은 제 1 상부 관통구 단위(251a)의 관통 홀(250a)과 수평 방향으로 서로 엇갈리게 위치한다.
상기 물 분사구(260)는 내부 하우징(200)의 후면에 관통 홀 형상으로 형성되며, 노즐 연결구(150)와 관통되도록 형성된다. 상기 물 분사구(260)는 바람직하게는 노즐 연결구(150)와 동일 중심축으로 형성될 수 있다. 상기 물 분사구(260)는 물 분사 유닛(500)에서 분사되는 물이 내부 하우징(200)의 내부로 분사되는 경로를 제공한다. 또는 상기 물 분사구(260)는 물 분사 유닛(500)의 배관 또는 노즐이 내부 하우징(200)의 내부로 연장되는 경로를 제공한다.
상기 제 2 내부 하부 연결구(270)는 내부 하우징(200)의 전면의 하부에 관통 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 2 내부 하부 연결구(270)는 제 2 하부 연결구(160)와 관통되도록 형성된다.
상기 제 2 내부 상부 연결구(280)는 내부 하우징(200)의 전면의 상부에 관통 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 2 내부 상부 연결구(280)는 바람직하게는 외부 하우징(100)의 전면 하부에 위치하는 제 2 내부 하부 연결구(270)와 상하 방향으로 동일 직선 상에 형성된다. 또한, 상기 제 2 내부 상부 연결구(280)는 제 2 상부 연결구(170)와 관통되도록 형성된다.
상기 제 2 튜브 관통구(290)는 내부 하우징(200)의 전측면과 후측면에 복수 개의 관통 홀(290a)로 형성된다. 상기 제 2 튜브 관통구(290)는 제 2 상부 튜브 관통구(291)와 제 2 하부 튜브 관통구(293)를 포함하여 형성된다. 상기 제 2 상부 튜브 관통구(291)와 제 2 하부 튜브 관통구(293)는 내부 하우징(200)에서 형성되는 위치에서 차이가 있을 뿐이며, 동일한 구조로 형성된다.
상기 제 2 상부 튜브 관통구(291)는 복수 개의 제 2 상부 관통구 단위(291a)로 형성된다. 상기 제 2 상부 관통구 단위(291a)는 내부 하우징(200)의 전측면과 후측면에 복수 개의 관통 홀(290a)이 소정의 수평 거리(Dh)로 서로 이격되어 형성된다. 상기 제 2 상부 관통구 단위(291a)는 바람직하게는 전측면과 후측면에서 동일한 높이에 형성될 수 있다. 상기 수평 거리(Dh)는 관통 홀(290a)의 직경 또는 제 2 냉각 튜브 유닛(600)을 구성하는 냉각 튜브의 직경보다 작은 거리로 형성된다. 또한, 상기 제 2 상부 관통구 단위(291a)는 내부 하우징(200)의 전측면과 후측면에서 상하 방향으로 소정의 수직 거리(Dv)로 이격되어 형성된다. 다만, 상기 제 2 상부 관통구 단위(291a)는 대향하는 측면에서 제 2 내부 하부 연결구(270) 또는 제 2 내부 상부 연결구(280)가 형성되는 영역에는 형성되지 않는다.
상기 제 2 하부 튜브 관통구(293)는 복수 개의 제 2 하부 관통구 단위(293a)로 형성된다. 상기 제 2 하부 관통구 단위(293a)는 제 2 상부 관통구 유닛과 동일하게 형성된다. 즉, 상기 제 2 하부 관통구 단위(293a)는 내부 하우징(200)의 전측면과 후측면에 복수 개의 관통 홀(290a)이 소정의 수평 거리(Dh)로 서로 이격되어 형성된다. 또한, 상기 제 2 하부 관통구 단위(293a)는 바람직하게는 전측면과 후측면에서 동일한 높이에 형성될 수 있다. 상기 수평 거리(Dh)는 관통 홀(290a)의 직경 또는 제 2 냉각 튜브 유닛(600)을 구성하는 냉각 튜브의 직경보다 작은 거리로 형성된다. 또한, 상기 제 2 하부 관통구 단위(293a)는 내부 하우징(200)의 전측면과 후측면에서 상하 방향으로 소정의 수직 거리(Dv)로 이격되어 형성된다. 다만, 상기 제 2 상부 관통구 단위(291a)는 대향하는 측면에 제 2 내부 하부 연결구(270) 또는 제 2 내부 상부 연결구(280)가 형성되는 영역에는 형성되지 않는다.
또한, 상기 제 2 하부 관통구 단위(293a)는 제 2 상부 관통구 단위(291a)와 한 쌍을 이루어 형성된다. 또한, 상기 제 2 하부 관통구 단위(293a)는 제 2 상부 관통구 단위(291a)의 하부에 위치하며, 제 2 상부 관통구 유닛과 소정의 상하 거리(Dv)로 이격된다. 상기 상하 거리(Dv)는 관통 홀(290a)의 직경보다 크게 형성된다. 또한, 상기 제 2 하부 관통구 단위(293a)의 관통 홀(290a)은 제 2 상부 관통구 단위(291a)의 관통 홀과 수평 방향으로 서로 엇갈리게 위치한다.
상기 제 1 냉각 튜브 유닛(300)은 제 1 상부 냉각 튜브(310)와 제 1 하부 냉각 튜브(320)를 포함하여 형성된다. 상기 제 1 상부 냉각 튜브(310)와 제 1 하부 냉각 튜브(320)는 전체적으로 동일한 구조로 형성되며, 내부 하우징(200)에 상하로 위치한다.
상기 제 1 상부 냉각 튜브(310)와 제 1 하부 냉각 튜브(320)는 상하 방향을 기준으로 상하로 이격되면서 수평 방향을 기준으로 서로 엇갈리게 배치되어 평면을 기준으로 보면 내부 하우징(200)의 평면을 차폐한다. 따라서, 상기 제 1 냉각 튜브 유닛(300)은 내부 하우징(200)의 내부에서 내부 폐가스 유입구(210)를 통하여 유입되어 상승하는 폐가스가 상부 방향으로 제 1 상부 냉각 튜브(310)와 제 1 하부 냉각 튜브(320)와 접촉하면서 지그재그 방향으로 흐르도록 하여 폐가스에 포함되어 있는 수분을 냉각시켜 포집한다.
상기 제 1 상부 냉각 튜브(310)는 복수 개로 형성되며, 각각 내부 하우징(200)의 하부로부터 상부 방향으로 지그재그 형상을 이루도록 제 1 상부 관통구 단위(251a)의 관통 홀(250a)을 순차적으로 관통하면서 연장된다. 또한, 상기 제 1 상부 냉각 튜브(310)는 복수 개가 수평 방향으로 서로 이격되어 위치한다. 상기 제 1 상부 냉각 튜브(310)는 바람직하게는 제 1 상부 관통구 단위(251a)의 관통 홀(250a)의 개수에 대응되는 개수로 형성된다.
상기 제 1 상부 냉각 튜브(310)는 제 1 상부 유입부(311)와 제 1 상부 직선부(313)와 제 1 상부 연결부(315) 및 제 1 상부 유출부(317)를 구비하여 형성된다. 상기 제 1 상부 냉각 튜브(310)는 제 1 상부 유입부(311)가 하부에 위치하고 복수 개의 제 1 상부 직선부(313)가 상하 방향으로 수직 거리(Dv)로 이격되어 위치하며, 상부에 제 1 상부 유출부(317)가 위치한다. 또한, 상기 제 1 상부 냉각 튜브(310)는 복수 개의 제 1 상부 연결부(315)가 제 1 상부 유입부(311)와 복수 개의 제 1 상부 직선부(313) 및 제 1 상부 유출부(317)의 측단에 교대로 연결되어 전체적으로 지그재그 형상을 이루도록 형성된다.
보다 구체적으로는, 상기 제 1 상부 유입부(311)는 일측단이 모두 제 1 내부 하부 연결구(230)를 관통하여 제 1 하부 연결구(130)로 연장되며, 타측단이 타측의 가장 아래에 위치하는 제 1 상부 연결부(315)의 하단에 연결된다. 상기 제 1 상부 직선부(313)는 가장 아래에 위치하는 제 1 상부 직선부(313)의 타측단이 제 1 상부 연결부(315)의 상단과 결합되어 제 1 상부 유입부(311)와 연결된다. 상기 제 1 상부 직선부(313)는 수평으로 위치하거나 일측단 또는 타측단이 상대적으로 높도록 경사지게 위치할 수 있다. 상기 제 1 상부 직선부(313)는 경사지게 형성되는 경우에 포집된 수분이 경사진 표면을 따라 흐르면서 응집되도록 하여 표면에서 수분이 보다 효율적으로 제거되도록 한다. 또한, 상기 제 1 상부 직선부(313)는 일측단이 일측의 가장 하부에 위치하는 제 1 상부 연결부(315)의 하단과 연결되고 제 1 상부 연결부(315)의 상단이 바로 상부에 위치하는 제 1 상부 직선부(313)의 일측단과 연결되면서 제 1 상부 직선부(313)와 연결된다. 상기 제 1 상부 유출부(317)는 타측단이 타측의 가장 상부에 위치하는 제 1 상부 연결부(315)의 상단에 결합되며, 일측단이 모두 제 1 내부 상부 연결구를 관통하여 제 1 상부 연결구(140)로 연장된다. 이와 같은 방식에 의하여 상기 제 1 상부 냉각 튜브(310)는 제 1 상부 직선부(313)들과 제 1 상부 직선부(313)들의 양측에 교대로 위치하는 제 1 상부 연결부(315)들이 지그재그 형상을 이루도록 결합된다. 또한, 상기 제 1 상부 냉각 튜브(310)는 하부에 제 1 상부 유입부(311)가 형성되며, 상부에 제 1 상부 유출부(317)가 형성된다. 한편, 상기 제 1 상부 유입부(311)와 제 1 상부 유출부(317)는 상하 위치가 서로 바뀔 수 있다.
또한, 상기 제 1 상부 직선부(313)는 복수 개가 내부 하우징(200)의 양측면에 형성되는 제 1 상부 튜브 관통구(251)의 관통 홀(250a)을 각각 관통하여 결합된다. 이때, 상기 제 1 상부 직선부(313)는 제 1 상부 관통 단위(251a)의 관통 홀(250a)의 개수에 대응되는 복수 개가 수평 방향으로 수평 거리(Dh)로 이격되면서 제 1 상부 관통 단위(251a)의 관통 홀(250a)에 결합되어 동일 높이에서 평면을 이루도록 형성된다.
상기 제 1 하부 냉각 튜브(320)는 제 1 상부 냉각 튜브(310)와 동일한 구조로 형성된다. 즉, 상기 제 1 하부 냉각 튜브(320)는 제 1 하부 유입부(321)와 제 1 하부 직선부(323)와 제 1 하부 연결부(325) 및 제 1 하부 유출부(327)를 구비하여 형성된다. 즉, 상기 제 1 하부 냉각 튜브(320)는 제 1 하부 직선부(323)들과 제 1 하부 직선부(323)들의 양측에 교대로 위치하는 제 1 하부 연결부(325)들이 지그재그 형상을 이루도록 결합된다. 또한, 상기 제 1 하부 냉각 튜브(320)는 하부에 제 1 하부 유입부(321)가 형성되며, 상부에 제 1 하부 유출부(327)가 형성된다. 한편, 상기 제 1 하부 유입부(321)와 제 1 하부 유출부(327)는 위치가 서로 바뀔 수 있다.
상기 제 1 하부 직선부(323)는 복수 개가 내부 하우징(200)의 양측면에 형성되는 제 1 하부 튜브 관통구(253)의 관통 홀(250a)을 관통하여 결합된다. 이때, 상기 제 1 하부 직선부(323)는 제 1 하부 관통 단위(253a)의 관통 홀(250a)의 개수에 대응되는 복수 개가 수평 방향으로 수평 거리로 이격되면서 제 1 하부 관통 단위(253a)의 관통 홀(250a)에 결합되어 동일 높이에서 평면을 이루도록 형성된다. 상기 제 1 하부 직선부(323)는 수평으로 위치하거나 일측단 또는 타측단이 상대적으로 높도록 경사지게 위치할 수 있다. 상기 제 1 하부 직선부(323)는 경사지게 형성되는 경우에 포집된 수분이 경사진 표면을 따라 흐르면서 응집되도록 하여 표면에서 수분이 보다 효율적으로 제거되도록 한다. 또한, 상기 제 1 하부 직선부(323)는 제 1 하부 관통 단위(253a)의 관통 홀(250a)의 위치에 따라 제 1 상부 직선부(313)와 수평 방향으로 수평 거리(Dh)의 반만큼 이격되어 위치한다. 상기 제 1 하부 직선부(323)는 하부에서 볼 때 상부에 위치하는 제 1 상부 직선부(313) 사이의 간극을 차폐한다. 따라서, 상기 제 1 하부 직선부(323)의 하부에서 상승하는 폐가스는 제 1 상부 직선부(313) 사이의 공간을 직접 통과하지 않으므로 흐름 속도가 감소되며, 제 1 하부 직선부(323)의 외주면을 접촉하고 다시 제 1 상부 직선부(313)의 외주면을 접촉하므로, 포함되어 있는 수분이 보다 효율적으로 제거된다.
상기 제 1 연결 유닛(400)은 제 1 하부 연결 플랜지(410)와 제 1 상부 연결 플랜지(420)를 포함하여 형성된다.
상기 제 1 하부 연결 플랜지(410)는 일반적인 플랜지 형상으로 형성되며, 제 1 하부 튜브 결합홀(411)을 포함하여 형성된다. 상기 제 1 하부 연결 플랜지(410)는 제 1 하부 연결구(130)에 결합된다.
상기 제 1 하부 튜브 결합홀(411)은 제 1 하부 연결 플랜지(410)의 일측면에서 타측면으로 관통되어 형성된다. 상기 제 1 하부 튜브 결합홀(411)의 타측단에는 제 1 상부 냉각 튜브(310)와 제 1 하부 냉각 튜브(320)의 하부에 각각 위치하는 제 1 상부 유입부(311)와 제 1 하부 유입부(321)의 일측단이 모두 결합된다. 상기 제 1 하부 튜브 결합홀(411)의 일측단에는 외부의 냉각수 공급관(미도시)가 결합된다. 따라서, 상기 제 1 하부 튜브 결합홀(411)은 제 1 상부 냉각 튜브(310)와 제 1 하부 냉각 튜브(320)로 냉각수가 공급되는 경로를 제공한다.
상기 제 1 상부 연결 플랜지(420)는 제 1 하부 연결 플랜지(410)와 동일한 구조로 형성되며, 제 1 상부 튜브 결합홀(421)을 포함하여 형성된다. 상기 제 1 상부 연결 플랜지(420)는 제 1 상부 연결구(140)에 결합된다.
상기 제 1 상부 튜브 결합홀(421)은 제 1 상부 연결 플랜지(420)의 일측면에서 타측면으로 관통되어 형성된다. 상기 제 1 상부 튜브 결합홀(421)의 타측단에는 제 1 상부 냉각 튜브(310)와 제 1 하부 냉각 튜브(320)의 상부에 위치하는 제 1 상부 유출부(317)와 제 1 하부 유출부(327)의 일측단이 모두 결합된다. 상기 제 1 상부 튜브 결합홀(421)의 일측단에는 외부의 냉각수 배출관(미도시)가 결합된다. 따라서, 상기 제 1 상부 튜브 결합홀(421)은 제 1 상부 냉각 튜브(310)와 제 1 하부 냉각 튜브(320)로 흐르는 냉각수가 외부로 배출되는 경로를 제공한다.
상기 물 분사 유닛(500)은 분사 노즐(510)과 분사 배관(520)을 포함하여 형성된다. 상기 물 분사 유닛(500)은 내부 하우징(200)의 내부에 위치하는 제 1 상부 냉각 튜브(310)와 제 1 하부 냉각 튜브(320)의 표면에 물을 분사하여 표면에 부착되어 있는 이물질을 제거한다. 상기 제 1 상부 냉각 튜브(310)와 제 1 하부 냉각 튜브(320)는 폐가스와 접촉하면서 폐가스에 포함되어 있는 이물 입자가 표면에 부착되며 열전도도가 저하되어 폐가스의 냉각 효율과 수분 포집 효율도 저하된다.
상기 분사 노즐(510)은 물을 분사하는데 사용되는 일반적인 노즐로 형성된다. 상기 분사 노즐(510)은 외부 하우징(100)의 노즐 연결구(150)에 결합된다. 상기 분사 노즐(510)은 내부 하우징(200)의 물 분사구(260)로 연장되어 형성될 수 있다. 상기 분사 노즐(510)은 노즐 연결구(150)에 대응되는 개수로 형성된다. 또한, 상기 분사 노즐(510)은 외부 하우징(100)의 높이가 증가하면 물 분사구(260)의 개수와 함께 개수가 증가된다.
상기 분사 배관(520)은 상기 분사 노즐(510)의 개수에 대응되는 개수로 형성되며, 일단이 분사 노즐(510)에 연결되고 타단이 하나로 결합된 후에 물 공급 배관(미도시)에 연결된다. 상기 분사 배관(520)은 타단이 각각 물 공급 배관에 연결되도록 형성될 수 있다.
상기 제 2 냉각 튜브 유닛(600)은 제 2 상부 냉각 튜브(610) 및 제 2 하부 냉각 튜브(620)를 포함하여 형성된다. 상기 제 2 냉각 튜브 유닛(600)은 제 1 냉각 튜브 유닛(300)과 전체적으로 동일한 구조로 형성된다. 상기 제 2 상부 냉각 튜브(610) 및 제 2 하부 냉각 튜브(620)는 구조 및 결합 관계에 있어서 제 1 상부 냉각 튜브(310) 및 제 1 하부 냉각 튜브(320)와 동일 또는 유사하게 형성된다. 상기 제 2 상부 냉각 튜브(610)는 제 2 상부 유입부(611)와 제 2 상부 직선부(613)와 제 2 상부 연결부(615) 및 제 2 상부 유출부(617)를 포함하여 형성된다. 또한, 상기 제 2 하부 냉각 튜브(620)는 제 2 하부 유입부(621)와 제 2 하부 직선부(623)와 제 2 하부 연결부(625) 및 제 2 하부 유출부(627)를 포함하여 형성된다. 다만, 상기 제 2 상부 냉각 튜브(610)의 제 2 상부 직선부(613) 및 제 2 하부 냉각 튜브(620)의 제 2 하부 직선부(623)는 제 1 상부 냉각 튜브(310)의 제 1 상부 직선부(313) 및 제 1 하부 냉각 튜브(320)의 제 1 하부 직선부(323)의 상부 또는 하부에 위치한다. 또한, 상기 제 2 상부 냉각 튜브(610)의 제 2 상부 직선부(613) 및 제 2 하부 냉각 튜브(620)의 제 2 하부 직선부(623)는 제 1 상부 냉각 튜브(310)의 제 1 상부 직선부(313) 및 제 1 하부 냉각 튜브(320)의 제 1 하부 직선부(323)와 수평면을 기준으로 직각 방향으로 설치되는 점에서 차이가 있다. 즉, 상기 제 2 상부 냉각 튜브(610)의 제 2 상부 직선부(613) 및 제 2 하부 냉각 튜브(620)의 제 2 하부 직선부(623)는 도 1에서 y축 방향으로 연장되며, 제 1 상부 냉각 튜브(310)의 제 1 상부 직선부(313) 및 제 1 하부 냉각 튜브(320)의 제 1 하부 직선부(323)는 x축 방향으로 연장되도록 설치된다. 상기 제 2 상부 냉각 튜브(610)의 제 2 상부 직선부(613) 및 제 2 하부 냉각 튜브(620)의 제 2 하부 직선부(623)는 제 1 상부 냉각 튜브(310)의 제 1 상부 직선부(313) 및 제 1 하부 냉각 튜브(320)의 제 1 하부 직선부(323)와 함께 수평면을 기준으로 메쉬 구조를 형성하여 하부로부터 상승하는 폐가스가 제 1 냉각 튜브 유닛(300)과 제 2 냉각 튜브 유닛(600)과 접촉하는 시간을 증가시킨다. 따라서, 상기 제 1 냉각 튜브 유닛(300)과 제 2 냉각 튜브 유닛(600)은 폐가스를 보다 효율적으로 냉각시켜 수분 포집 효율이 증가된다.
상기 제 2 상부 냉각 튜브(610)는 제 2 상부 유입부(611)가 하부에 위치하고 복수 개의 제 2 상부 직선부(613)가 상부 방향으로 수직 거리로 이격되어 위치하며, 상부에 제 2 상부 유출부(617)가 위치한다. 또한, 상기 제 2 상부 냉각 튜브(610)는 복수 개의 제 2 상부 연결부(615)가 제 2 상부 유입부(611)와 복수 개의 제 2 상부 직선부(613) 및 제 2 상부 유출부(617)의 측단에 교대로 연결되어 전체적으로 지그재그 형상을 이루도록 형성된다.
상기 제 2 상부 직선부(613)는 일측단이 일측의 가장 하부에 위치하는 제 2 상부 연결부(615)의 하단과 연결되고 제 2 상부 연결부(615)의 상단이 바로 상부에 위치하는 제 2 상부 직선부(613)의 일측단과 연결되면서 제 2 상부 직선부(613)와 연결된다.
상기 제 2 상부 유입부(611)는 일측단이 모두 제 2 내부 하부 연결구(230)를 관통하여 제 1 하부 연결구(130)로 연장되며, 타측단이 타측의 가장 하부에 위치하는 제 2 상부 연결부(615)의 하단에 결합된다. 상기 제 2 상부 유출부(617)는 타측단이 타측의 가장 상부에 위치하는 제 2 상부 연결부(615)의 상단에 결합되며, 일측단이 모두 제 2 내부 상부 연결구(240)를 관통하여 제 1 상부 연결구(140)로 연장된다.
또한, 상기 제 2 상부 직선부(613)는 복수 개가 내부 하우징(200)의 전측면과 후측면에 형성되는 제 2 상부 튜브 관통구(291)의 관통 홀(290a)을 관통하여 결합된다. 이때, 상기 제 2 상부 직선부(613)는 제 2 상부 관통 단위(291a)의 관통 홀(290)의 개수에 대응되는 복수 개가 수평 방향으로 수평 거리로 이격되면서 제 2 상부 관통 단위(291a)의 관통 홀(290)에 결합되어 동일 높이에서 평면을 이루도록 형성된다. 상기 제 2 상부 직선부(613)는 수평으로 위치하거나 일측단 또는 타측단이 상대적으로 높도록 경사지게 위치할 수 있다. 상기 제 2 상부 직선부(613)는 경사지게 형성되는 경우에 포집된 수분이 경사진 표면을 따라 흐르면서 응집되도록 하여 표면에서 수분이 보다 효율적으로 제거되도록 한다.
상기 제 2 하부 냉각 튜브(620)는 제 2 하부 직선부(623)들과 제 2 하부 직선부(623)들의 양측에 교대로 위치하는 제 2 하부 연결부(625)들이 지그재그 형상을 이루도록 결합된다. 또한, 상기 제 2 하부 냉각 튜브(620)는 하부에 제 2 하부 유입부(621)가 형성되며, 상부에 제 2 하부 유출부(627)가 형성된다. 또한, 상기 제 2 하부 직선부(623)는 복수 개가 내부 하우징(200)의 양측면에 형성되는 제 2 하부 튜브 관통구(293)의 관통 홀(290a)을 관통하여 결합된다. 이때, 상기 제 2 하부 직선부(623)는 제 2 하부 관통 단위(293a)의 관통 홀(290a)의 개수에 대응되는 복수 개가 수평 방향으로 수평 거리로 이격되면서 제 2 하부 관통 단위(293a)의 관통 홀(290)에 결합되어 동일 높이에서 평면을 이루도록 형성된다. 상기 제 2 하부 직선부(623)는 수평으로 위치하거나 일측단 또는 타측단이 상대적으로 높도록 경사지게 위치할 수 있다. 상기 제 2 하부 직선부(623)는 경사지게 형성되는 경우에 포집된 수분이 경사진 표면을 따라 흐르면서 응집되도록 하여 표면에서 수분이 보다 효율적으로 제거되도록 한다. 또한, 상기 제 2 하부 직선부(623)는 제 2 하부 관통 단위(293a)의 관통 홀(290)의 위치에 따라 제 2 상부 직선부(613)와 수평 방향으로 수평 거리(Dh)의 반만큼 이격되어 위치한다. 상기 제 2 하부 직선부(623)는 하부에서 볼 때 상부에 위치하는 제 2 상부 직선부(613) 사이의 간극을 차폐한다. 따라서, 상기 제 2 하부 직선부(623)의 하부에서 상승하는 폐가스는 제 2 상부 직선부(613) 사이의 공간을 직접 통과하지 않으므로 흐름 속도가 감소되며, 제 2 하부 직선부(623)의 외주면을 접촉하고 다시 제 2 상부 직선부(613)의 외주면을 접촉하므로, 포함되어 있는 수분이 보다 효율적으로 제거된다.
상기 제 2 연결 유닛(700)은 제 2 하부 연결 플랜지(710)와 제 2 상부 연결 플랜지(720)를 포함하여 형성된다.
상기 제 2 하부 연결 플랜지(710)는 일반적인 플랜지 형상으로 형성되며, 제 2 하부 튜브 결합홀(711)을 포함하여 형성된다. 상기 제 2 하부 연결 플랜지(710)는 제 2 하부 연결구(160)에 결합된다.
상기 제 2 하부 튜브 결합홀(711)은 제 2 하부 연결 플랜지(710)의 일측면에서 타측면으로 관통되어 형성된다. 상기 제 2 하부 튜브 결합홀(711)의 타측단에는 제 2 상부 냉각 튜브(610)와 제 2 하부 냉각 튜브(620)의 하부에 위치하는 제 2 상부 유입부(611)와 제 2 하부 유입부(621)의 일측단이 모두 결합된다. 상기 제 2 하부 튜브 결합홀(711)의 일측단에는 외부의 냉각수 공급관(미도시)가 결합된다. 따라서, 상기 제 2 하부 튜브 결합홀(711)은 제 2 상부 냉각 튜브(610)와 제 2 하부 냉각 튜브(620)로 냉각수가 공급되는 경로를 제공한다.
상기 제 2 상부 연결 플랜지(720)는 제 2 하부 연결 플랜지(710)와 동일한 구조로 형성되며, 제 2 상부 튜브 결합홀(721)을 포함하여 형성된다. 상기 제 2 상부 연결 플랜지(720)는 제 2 상부 연결구(170)에 결합된다.
상기 제 2 상부 튜브 결합홀(721)은 제 2 상부 연결 플랜지(720)의 일측면에서 타측면으로 관통되어 형성된다. 상기 제 2 상부 튜브 결합홀(721)의 타측단에는 제 2 상부 냉각 튜브(610)와 제 2 하부 냉각 튜브(620)의 상부에 위치하는 제 2 상부 유출부(617)와 제 2 하부 유출부(627)의 일측단이 모두 결합된다. 상기 제 2 상부 튜브 결합홀(721)의 일측단에는 외부의 냉각수 배출관(미도시)이 결합된다. 따라서, 상기 제 2 상부 튜브 결합홀(721)은 제 2 상부 냉각 튜브(610)와 제 2 하부 냉각 튜브(620)로 흐르는 냉각수가 외부로 배출되는 경로를 제공한다.
다음으로, 본 발명의 공정 폐가스 처리용 제습기에 적용되는 다른 실시예의 내부 하우징에 대하여 설명한다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 내부 하우징의 사시도이다. 도 7은 도 6의 "B"에 대한 확대도이다. 도 8은 도 6에서 제 1 튜브 지지 블록과 제 2 튜브 지지 블록을 제거한 상태의 내부 하우징의 사시도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 내부 하우징(1200)은, 도 6 내지 도 8을 참조하면, 도 3의 내부 하우징(200)과 대비하여 제 1 튜브 관통구(1250)와 제 2 튜브 관통구(1290)의 구조가 다르게 형성된다. 또한, 상기 내부 하우징(1200)은 제 1 튜브 지지 블록(1300) 및 제 2 튜브 지지 블록(1400)을 더 포함하여 형성된다.
상기 제 1 튜브 관통구(1250)는 제 1 상부 튜브 관통구(1251)와 제 1 하부 튜브 관통구(1253)를 포함하여 형성된다.
상기 제 1 상부 튜브 관통구(1251)는 수평 방향으로 연장되어 폭이 높이보다 긴 관통 홀(1250a)로 형성되며, 일측이 내부 하우징(1200)의 일측단으로 개방되도록 형성된다. 즉, 상기 제 1 상부 튜브 관통구(1251)는 도 3의 내부 하우징(200)에서 제 1 상부 관통 단위(251a)를 형성하는 관통 홀(250a)이 서로 연결되는 형상으로 형성된다. 상기 제 1 상부 튜브 관통구(1251)는 복수 개가 상하 방향으로 수직 거리로 이격되어 형성된다.
상기 제 1 하부 튜브 관통구(1253)는 수평 방향으로 연장되어 폭이 높이보다 긴 관통홀(1250a)로 형성되며, 일측이 내부 하우징(1200)의 일측단으로 개방되도록 형성된다. 즉, 상기 제 1 하부 튜브 관통구(1253)는 도 3의 내부 하우징(200)에서 제 1 하부 관통 단위(253a)를 형성하는 관통 홀(250a)이 서로 연결되는 형상으로 형성된다. 상기 제 1 하부 튜브 관통구(1253)는 복수 개가 상하 방향으로 소정의 수직 거리(Dv)로 이격되어 형성된다. 상기 제 1 하부 튜브 관통구(1253)는 각각 제 1 상부 튜브 관통구(1251)의 하부에 소정의 상하 거리(Dud)로 이격되어 위치한다.
상기 제 2 튜브 관통구(1290)는 제 2 상부 튜브 관통구(1291)와 제 2 하부 튜브 관통구(1293)를 포함하여 형성된다. 상기 제 2 튜브 관통구(1290)는 제 1 튜브 관통구(1250)와 동일한 구조로 형성되며, 내부 하우징(1200)에서 형성되는 위치에 차이가 있을 뿐이다.
상기 제 2 상부 튜브 관통구(1291)는 수평 방향으로 연장되어 폭이 높이보다 긴 관통 홀(1290a)로 형성되며, 일측이 내부 하우징(1200)의 일측단으로 개방되도록 형성된다. 즉, 상기 제 2 상부 튜브 관통구(1291)는 도 3의 내부 하우징(200)에서 제 2 상부 관통 단위(291a)를 형성하는 관통 홀(290a)이 서로 연결되는 형상으로 형성된다. 상기 제 2 상부 튜브 관통구(1291)는 복수 개가 상하 방향으로 수직 거리로 이격되어 형성된다.
상기 제 2 하부 튜브 관통구(1293)는 수평 방향으로 연장되어 폭이 높이보다 긴 관통홀(1290a)로 형성되며, 일측이 내부 하우징(1200)의 일측단으로 개방되도록 형성된다. 즉, 상기 제 2 하부 튜브 관통구(1293)는 도 3의 내부 하우징(200)에서 제 2 하부 관통 단위(293a)를 형성하는 관통 홀(290a)이 서로 연결되는 형상으로 형성된다. 상기 제 2 하부 튜브 관통구(1293)는 복수 개가 상하 방향으로 수직 거리(Dv)로 이격되어 형성된다. 상기 제 2 하부 튜브 관통구(1293)는 각각 제 2 상부 튜브 관통구(1291)의 하부에 소정의 상하 거리(Dud)로 이격되어 위치한다.
상기 제 1 튜브 지지 블록(1300)은 제 1 상부 지지 블록(1310)과 제 1 하부 지지 블록(1320)을 포함하여 형성된다.
상기 제 1 상부 지지 블록(1310)은 제 1 상부 튜브 관통구(1251)의 면적보다 큰 면적을 갖는 블록 형상으로 형성되며, 소정 거리로 이격되는 제 1 상부 튜브 결합 홀(1311)을 포함하여 형성된다. 상기 제 1 상부 지지 블록(1310)은 제 1 상부 튜브 관통구(1251)를 전체적으로 차폐하도록 내부 하우징에 결합된다. 상기 제 1 상부 지지 블록(1310)은 제 1 상부 튜브 관통구(1251)를 관통하는 냉각 튜브가 일정한 간격을 유지하도록 지지한다.
상기 제 1 상부 튜브 결합 홀(1311)은 복수 개가 제 1 상부 지지 블록(1310)의 일면에서 타면으로 관통되면서 하부 방향으로 개방되는 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 1 상부 튜브 결합 홀(1311)은 도 3의 내부 하우징(1200)에서 제 1 상부 관통 단위(251a)를 형성하는 관통 홀(250a)에 대응되는 위치에 형성된다.
상기 제 1 하부 지지 블록(1320)은 제 1 하부 튜브 관통구(1253)의 면적보다 큰 면적을 갖는 블록 형상으로 형성되며, 소정 거리로 이격되는 제 1 하부 튜브 결합 홀(1321)을 포함하여 형성된다. 상기 제 1 하부 지지 블록(1320)은 제 1 하부 튜브 관통구(1253)를 전체적으로 차폐하도록 내부 하우징(1200)에 결합된다. 상기 제 1 하부 지지 블록(1320)은 제 1 하부 튜브 관통구(1253)를 관통하는 냉각 튜브가 일정한 간격을 유지하도록 지지한다.
상기 제 1 하부 튜브 결합 홀(1321)은 복수 개가 제 1 하부 지지 블록(1320)의 일면에서 타면으로 관통되면서 하부 방향 또는 상부 방향으로 개방되는 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 1 하부 튜브 결합 홀(1321)은 도 3의 내부 하우징(200)에서 제 1 하부 관통 단위(253a)를 형성하는 관통 홀(250a)에 대응되는 위치에 형성된다.
상기 제 2 튜브 지지 블록(1400)은 제 2 상부 지지 블록(1410) 및 제 2 하부 지지 블록(1420)을 포함하여 형성된다.
상기 제 2 상부 지지 블록(1410)은 제 2 상부 튜브 관통구(1291)의 면적보다 큰 면적을 갖는 블록 형상으로 형성되며, 소정 거리로 이격되는 제 1 상부 튜브 결합 홀(1411)을 포함하여 형성된다. 상기 제 2 상부 지지 블록(1410)은 제 2 상부 튜브 관통구(1291)를 전체적으로 차폐하도록 내부 하우징에 결합된다. 상기 제 2 상부 지지 블록(1410)은 제 2 상부 튜브 관통구(1291)를 관통하는 냉각 튜브가 일정한 간격을 유지하도록 지지한다.
상기 제 2 상부 튜브 결합 홀(1411)은 복수 개가 제 2 상부 지지 블록(1410)의 일면에서 타면으로 관통되면서 하부 방향으로 개방되는 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 2 상부 튜브 결합 홀(1411)은 도 3의 내부 하우징(200)에서 제 2 상부 관통 단위(291a)를 형성하는 관통 홀(290a)에 대응되는 위치에 형성된다.
상기 제 2 하부 지지 블록(1420)은 제 2 하부 튜브 관통구(1293)의 면적보다 큰 면적을 갖는 블록 형상으로 형성되며, 소정 거리로 이격되는 제 2 하부 튜브 결합 홀(1421)을 포함하여 형성된다. 상기 제 2 하부 지지 블록(1420)은 제 2 하부 튜브 관통구(1293)를 전체적으로 차폐하도록 내부 하우징(1200)에 결합된다. 상기 제 2 하부 지지 블록(1420)은 제 2 하부 튜브 관통구(1293)를 관통하는 냉각 튜브가 일정한 간격을 유지하도록 지지한다.
상기 제 2 하부 튜브 결합 홀(1421)은 복수 개가 제 1 하부 지지 블록(1420)의 일면에서 타면으로 관통되면서 상부 방향 또는 하부 방향으로 개방되는 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 2 하부 튜브 결합 홀(1421)은 도 3의 내부 하우징(200)에서 제 1 하부 관통 단위(293a)를 형성하는 관통 홀(290a)에 대응되는 위치에 형성된다.
100: 외부 하우징
110: 폐가스 유입구 120: 폐가스 배출구
130: 제 1 하부 연결구 140: 제 1 상부 연결구
150: 노즐 연결구 160: 제 2 하부 연결구
170: 제 2 상부 연결구
200, 1200: 내부 하우징
210: 내부 폐가스 유입구 220: 내부 폐가스 배출구
230: 제 1 내부 하부 연결구 240: 제 1 내부 상부 연결구
250, 1250: 제 1 튜브 관통구 260: 물 분사구
270: 제 2 내부 하부 연결구 280: 제 2 내부 상부 연결구
290, 1290: 제 2 튜브 관통구
300: 제 1 냉각 튜브 유닛
310: 제 1 상부 냉각 튜브 320: 제 1 하부 냉각 튜브
400: 제 1 연결 유닛
410: 제 1 하부 연결 플랜지 420: 제 1 상부 연결 플랜지
500: 물 분사 유닛
510: 분사 노즐 520: 분사 배관
600: 제 2 냉각 튜브 유닛
610: 제 2 상부 냉각 튜브 620: 제 2 하부 냉각 튜브
700: 제 2 연결 유닛
710: 제 2 하부 연결 플랜지 720: 제 2 상부 연결 플랜지
1300: 제 1 튜브 지지 블록
1310: 제 1 상부 지지 블록 1320: 제 1 하부 지지 블록
1400: 제 2 튜브 지지 블록
1410: 제 2 상부 지지 블록 1420: 제 2 하부 지지 블록
110: 폐가스 유입구 120: 폐가스 배출구
130: 제 1 하부 연결구 140: 제 1 상부 연결구
150: 노즐 연결구 160: 제 2 하부 연결구
170: 제 2 상부 연결구
200, 1200: 내부 하우징
210: 내부 폐가스 유입구 220: 내부 폐가스 배출구
230: 제 1 내부 하부 연결구 240: 제 1 내부 상부 연결구
250, 1250: 제 1 튜브 관통구 260: 물 분사구
270: 제 2 내부 하부 연결구 280: 제 2 내부 상부 연결구
290, 1290: 제 2 튜브 관통구
300: 제 1 냉각 튜브 유닛
310: 제 1 상부 냉각 튜브 320: 제 1 하부 냉각 튜브
400: 제 1 연결 유닛
410: 제 1 하부 연결 플랜지 420: 제 1 상부 연결 플랜지
500: 물 분사 유닛
510: 분사 노즐 520: 분사 배관
600: 제 2 냉각 튜브 유닛
610: 제 2 상부 냉각 튜브 620: 제 2 하부 냉각 튜브
700: 제 2 연결 유닛
710: 제 2 하부 연결 플랜지 720: 제 2 상부 연결 플랜지
1300: 제 1 튜브 지지 블록
1310: 제 1 상부 지지 블록 1320: 제 1 하부 지지 블록
1400: 제 2 튜브 지지 블록
1410: 제 2 상부 지지 블록 1420: 제 2 하부 지지 블록
Claims (9)
- 내부가 중공인 박스 형상으로 형성되며, 폐가스 유입구와 폐가스 배출구와 제 1 하부 연결구 및 제 1 상부 연결구를 구비하는 외부 하우징과,
내부가 중공인 박스 형상으로 형성되며, 내부 폐가스 유입구와 내부 폐가스 배출구와 제 1 내부 하부 연결구와 제 1 내부 상부 연결구 및 제 1 튜브 관통구를 구비하고, 상기 외부 하우징의 내부에 위치하는 내부 하우징과,
상기 내부 하우징의 내부에서 상기 내부 폐가스 유입구를 통하여 유입되어 상승하는 폐가스가 제 1 상부 냉각 튜브와 제 1 하부 냉각 튜브와 접촉하면서 상부 방향으로 흐르도록 하여 폐가스를 냉각시켜 수분을 포집하는 제 1 냉각 튜브 유닛 및
상기 제 1 하부 연결구에 결합되며 상기 제 1 상부 냉각 튜브와 상기 제 1 하부 냉각 튜브의 일측단이 결합되는 제 1 하부 연결 플랜지와, 상기 제 1 상부 연결구에 결합되며, 상기 제 1 상부 냉각 튜브와 상기 제 1 하부 냉각 튜브의 타측단이 결합되는 제 1 상부 연결 플랜지를 구비하는 제 1 연결 유닛을 포함하며,
상기 제 1 튜브 관통구는 제 1 상부 튜브 관통구와 제 1 하부 튜브 관통구를 포함하며,
상기 제 1 상부 튜브 관통구는 수평 방향으로 연장되어 폭이 높이보다 긴 관통 홀로 형성되고 일측이 상기 내부 하우징의 일측단으로 개방되도록 형성되며,
상기 제 1 하부 튜브 관통구는 상기 제 1 상부 튜브 관통구의 하부에서 수평 방향으로 연장되어 폭이 높이보다 긴 관통 홀로 형성되고 일측이 상기 내부 하우징의 일측단으로 개방되도록 형성되며,
상기 내부 하우징은 제 1 상부 지지 블록과 제 1 하부 지지 블록을 구비하는 제 1 튜브 지지 블록을 더 포함하며,
상기 제 1 상부 지지 블록은 상기 제 1 상부 튜브 관통구의 면적보다 큰 면적을 갖는 블록 형상으로 형성되고, 소정 거리로 이격되어 형성되며 상기 제 1 상부 튜브가 결합되는 제 1 상부 튜브 결합 홀을 포함하며,
상기 제 1 하부 지지 블록은 상기 제 1 하부 튜브 관통구의 면적보다 큰 면적을 갖는 블록 형상으로 형성되고, 소정 거리로 이격되어 형성되며 상기 제 1 하부 튜브가 결합되는 제 1 하부 튜브 결합 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 폐가스 처리용 제습기. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 내부 하우징의 내부에 위치하는 상기 제 1 상부 냉각 튜브와 상기 제 1 하부 냉각 튜브의 표면에 물을 분사하는 물 분사 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 폐가스 처리용 제습기. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 내부 하우징은 제 2 튜브 관통구를 더 포함하며,
상기 제 2 튜브 관통구는 제 2 상부 튜브 관통구와 제 2 하부 튜브 관통구를 포함하며,
상기 제 2 상부 튜브 관통구는 수평 방향으로 연장되어 폭이 높이보다 긴 관통 홀로 형성되고 일측이 상기 내부 하우징의 일측단으로 개방되도록 형성되며,
상기 제 2 하부 튜브 관통구는 상기 제 2 상부 튜브 관통구의 하부에서 수평 방향으로 연장되어 폭이 높이보다 긴 관통 홀로 형성되고 일측이 상기 내부 하우징의 일측단으로 개방되도록 형성되며,
상기 내부 하우징은 제 2 상부 지지 블록과 제 2 하부 지지 블록을 구비하는 제 2 튜브 지지 블록을 더 포함하며,
상기 제 2 상부 지지 블록은 상기 제 2 상부 튜브 관통구의 면적보다 큰 면적을 갖는 블록 형상으로 형성되고, 소정 거리로 이격되어 형성되며 상기 제 2 상부 튜브가 결합되는 제 2 상부 튜브 결합 홀을 포함하며,
상기 제 2 하부 지지 블록은 상기 제 2 하부 튜브 관통구의 면적보다 큰 면적을 갖는 블록 형상으로 형성되고, 소정 거리로 이격되어 형성되며 상기 제 2 하부 튜브가 결합되는 제 2 하부 튜브 결합 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 폐가스 처리용 제습기.
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| KR1020150173001A KR101866397B1 (ko) | 2015-12-07 | 2015-12-07 | 공정 폐가스 처리용 제습기 |
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| KR1020150173001A KR101866397B1 (ko) | 2015-12-07 | 2015-12-07 | 공정 폐가스 처리용 제습기 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20170066847A KR20170066847A (ko) | 2017-06-15 |
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ID=59217233
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| KR (1) | KR101866397B1 (ko) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102530853B1 (ko) | 2022-07-21 | 2023-05-10 | 아이디에스 주식회사 | 제습기 |
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2015
- 2015-12-07 KR KR1020150173001A patent/KR101866397B1/ko active IP Right Grant
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| Publication number | Publication date |
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| KR20170066847A (ko) | 2017-06-15 |
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