TWI646279B

TWI646279B - 管路系統

Info

Publication number: TWI646279B
Application number: TW106118072A
Authority: TW
Inventors: 盧彭潭; 周俊杰; 黃俊評; 張良智; 林志南
Original assignee: 華邦電子股份有限公司
Priority date: 2017-06-01
Filing date: 2017-06-01
Publication date: 2019-01-01
Also published as: TW201903315A

Abstract

本發明提供一種管路系統，連接複數個設置於一支撐結構上的洗滌塔，前述管路系統包括一收集管以及一排液管，其中收集管具有一本體以及複數個凸出部，且本體具有一外表面及一第一中心軸，該些凸出部凸出於外表面，第一中心軸垂直於支撐結構，收集管藉由該些凸出部分別地連接相通於該些洗滌塔，排液管設置於支撐結構下方並具有一第二中心軸，其中收集管穿過支撐結構以連接排液管，且第一中心軸垂直於第二中心軸。

Description

管路系統

本揭露係關於一種管路系統，特別係關於一種包括具有複數個凸出部之收集管的管路系統。

在半導體產業中，半導體製程所使用的化學物質品種繁雜，其廢氣處理也可區分成許多不同性質的處理方式，其中例如被廣泛採用的濕式洗滌設備，以吸收廢氣中之污染物質，進而達到清洗與洗滌之目的。多種不同化學物質之清洗需對應至不同的洗滌塔，這些複數個洗滌塔清洗後的廢棄液體會先流至一收集用之排水幹管，經由此排水幹管收集複數個洗滌塔產生之廢液後，再排放至主要幹管以進入廢水處理作業。對於洗滌塔與排水幹管的連接與配置而言，往往會受到空間的限制，而需要使用軟性或具可撓性的連接管作連接，然而，這些軟管容易因排水用的加壓馬達加壓而破裂，進而產生洩漏之現象，或者也有可能因為受到空間限制而讓管路的配置不當而造成管內堵塞，且過於分散之管路配置亦會造成維修不易、檢查困難的情形發生。

本發明提供一種管路系統，連接複數個洗滌塔，其中該些洗滌塔設置於一支撐結構上，並用以容納一洗滌液。前述管路系統包括一收集管以及一排液管，其中收集管設置於支撐結構上，且具有一本體以及複數個凸出部，本體具有一外表面及一第一中心軸，且該些凸出部凸出於外表面，第一中心軸垂直於支撐結構。收集管藉由該些凸出部分別地連接相通於該些洗滌塔。排液管設置於支撐結構下方，收集管穿過支撐結構並連接排液管，其中排液管具有一第二中心軸，前述第一中心軸垂直於第二中心軸。

於一實施例中，前述本體與凸出部為一體成形。

於一實施例中，前述凸出部環繞排列於收集管的外表面。

於一實施例中，前述收集管具有4-6吋的直徑，且凸出部具有0.5-1.5吋的直徑。

於一實施例中，前述凸出部具有透明材質。

於一實施例中，前述凸出部的其中之一包含相互連通之一主幹及一支幹，支幹凸出於主幹之一側，且主幹連通收集管。

於一實施例中，前述收集管具有聚氯乙烯、聚丙烯或酚醛樹脂之材質。

於一實施例中，前述管路系統更包括複數個連接管，分別連接該些洗滌塔與收集管，且該些連接管具有垂直於支撐結構之一垂直流道段。

於一實施例中，前述管路系統更包括一柵欄，固定於支撐結構上並圍繞收集管，以保護收集管。

於一實施例中，前述管路系統更包括一容納槽，設置於排液管的下方，用以盛接自排液管洩漏之洗滌液。

10、10’、10R‧‧‧收集管

11、11R‧‧‧本體

12、12R‧‧‧凸出部

20‧‧‧排液管

30‧‧‧連接管

40‧‧‧容納槽

41‧‧‧溝

50‧‧‧柵欄

51‧‧‧中空結構

101、151、201‧‧‧通管

C1‧‧‧第一中心軸

C2‧‧‧第二中心軸

R‧‧‧主幹

R1、R2‧‧‧支幹

S‧‧‧支撐結構

SR‧‧‧孔洞

T‧‧‧洗滌塔

d1、d2‧‧‧直徑

第1圖係表示本發明一實施例之管路系統的示意圖。

第2A圖係表示第1圖中之收集管的示意圖。

第2B圖係表示本發明另一實施例之收集管的示意圖。

第3圖係表示第1圖中之容納槽的局部示意圖。

第4圖係表示本發明另一實施例之收集管的示意圖。

第5圖係表示第2A圖中之收集管連接複數個連接管與配置一柵欄的示意圖。

以下說明本發明實施例之管路系統。然而，可輕易了解本發明實施例提供許多合適的發明概念而可實施於廣泛的各種特定背景。所揭示的特定實施例僅僅用於說明以特定方法使用本發明，並非用以侷限本發明的範圍。

除非另外定義，在此使用的全部用語(包括技術及科學用語)具有與此篇揭露所屬之一般技藝者所通常理解的相同涵義。能理解的是這些用語，例如在通常使用的字典中定義的用語，應被解讀成具有一與相關技術及本揭露的背景或上下文一致的意思，而不應以一理想化或過度正式的方式解讀，除非在此特別定義。

第1圖係表示本發明一實施例之管路系統連接複數個洗滌塔T的示意圖，如圖所示，前述管路系統可配置設於半導體製程廠內並連接複數個洗滌塔T，其中洗滌塔T例如為半導體製程中處理廢氣汙染物之設備，可為濕式洗滌塔(Wet Scrubber)或交叉流式洗滌塔(Cross Flow Scrubber)。半導體製程中常見的廢氣或廢液，例如含有硫酸(H₂SO₄)和乙酸(CH₃COOH)之酸性氣體、含有氫氧化鉀(KOH)和氫氧化鈉(NaOH)之鹼性氣體、含有氰化氫(HCN)和乙硼烷(B₂H₆)之毒性氣體以及含有甲苯(C₆H₅-CH₃)和丙酮(C₃H₆O)之有機溶劑等，可被傳輸至洗滌塔T內並使用適當的洗滌液、吸收液或清洗液將其洗滌，藉以達成半導體污染物防治之目的。

請繼續參閱第1圖，前述管路系統主要包括一收集管10、一排液管20以及連接至不同洗滌塔T的複數個連接管30，前述洗滌塔T係設置於一支撐結構S上，收集管10則穿過支撐結構S上之一穿孔SR以連接設置於支撐結構S下方的排液管20，支撐結構S係位於洗滌塔T與排液管20之間。前述支撐結構S例如是可作為間隔樓層用之樓板，換言之，支撐結構S的上方為上樓層，下方則為下樓層。於本實施例中，洗滌塔T是設置在上樓層，排液管20設置在下樓層，收集管10則貫穿支撐結構S，於上樓層連接洗滌塔T，並在下樓層連接排液管20。

當執行製程廢氣的洗滌作業時，廢氣由通管101進入洗滌塔T，接著將一洗滌液、清洗液、吸收液或適當之洗滌化學用品從通管201輸入洗滌塔T以對前述廢氣進行洗滌。之後，可將洗滌後的廢氣從通管151排出，而使用過後之化學用品廢液(或包含結晶體)則可經由連接管30流至收集管10，其中可藉由一加壓馬達或幫浦施加壓力，以使廢液順利地流至收集管10。

請一併參閱第1-2A圖，其中第2A圖為收集管10的示意圖。前述收集管10實質上為一硬管，具有一本體11與複數個凸出部12，其中本體11實質上為一中空的圓管狀結構，並具有第一中心軸C1，凸出部12則凸出於本體11的外表面，並環繞排列地設置於本體11的外表面。於本實施例中，在垂直本體11之第一中心軸C1的一參考平面上，設置有四個環繞排列於本體11的凸出部12。如此一來，位於支撐結構S上的洗滌塔T可根據其原本配置的位置，而藉由連接管30以最短或最佳的路徑選擇性地連接到收集管10上的凸出部12，以節省連接管30所佔據的空間。

此外，本體11的第一中心軸C1係大致垂直於排液管20的第二中心軸C2，換言之，收集管10與排液管20係以大致垂直的方式連接，如此一來，相較於傳統平行的連接方式，當收集管10內的流體或化學物品流至排液管20時，因收集管10實質上為垂直於水平面之流道段，故可大幅降低流體或微粒堆積在管內的情況發生，且可減少加壓馬達施力的負擔或是無法負荷收集管10之流道段過長的情形。另外，請一併參閱第1、3圖所示，前述管路系統更包括一容納槽40，配置於排液管20的下方，並具有一長條的溝41，當排液管20有任何微小的裂縫而使得流體外漏時，設置於其下方的容納槽40可及時回收該流體，並可讓操作人員容易地發現排液管20的某一處位置有破裂情形，得以立即處理。

於第2A圖中，前述收集管10的本體11具有一6吋之直徑d1，凸出部則具有一4吋之直徑d2。於其他實施例中，本體的直徑d1可為4~6吋，凸出部的直徑d2可為0.5~1.5吋。此外，如第2A圖所示，凸出部12係以可拆卸式的方式連接於本體11，舉例而言，凸出部12為一由令接頭(Union joint)，其一端與本體11連接，另一端則與連接管30連接(如第1圖所示)，且連接管30具有垂直於支撐結構S的垂直流道段。於另一實施例中，本體11也可與凸出部12為一體成形。

另外，前述收集管10可具有聚氯乙烯(Polyvinyl Chloride，PVC)、聚丙烯(Polypropylene，PP)或酚醛樹脂(Phenol Formaldehyde Resin，PF)等材質，其可依據各個洗滌塔T所排出的化學用品之廢液、化學品而作選擇，例如，選擇具有PP材質之收集管10可抵抗有機溶劑；選擇具有PVC材質之收集管10可耐強酸、強鹼以及高溫液體。凸出部12可具有透明材質，如此可讓操作人員方便地檢視連接管30與收集管10的連接處是否有堵塞的情形。於本實施例中，當前述凸出部12未與任何連接管30連接時，可將其從本體11的外表面拆卸下來，並使用一蓋體蓋住本體11的接口，或者，也可以直接將蓋體蓋住凸出部12的接口。

第2B圖為本發明另一實施例之收集管10’的示意圖，與前述收集管10主要不同的是：於本實施例中的凸出部12係以錯位的方式排列，如此一來可充分利用空間，且能更有彈性地配置連接管路。

第4圖為本發明另一實施例之收集管10R，其與第2A圖之收集管10主要的差異為：收集管10R的凸出部12R不同於收集管10的凸出部12。如圖所示，設置於收集管10R之本體 11R上的凸出部12R具有三叉結構，包含主幹R以及支幹R1、R2，其中支幹R1、R2係連通於主幹R，並分別設置於主幹R的相反側，連接管30可選擇性地連接凸出部12R的主幹R與支幹R1、R2的其中之一，並封閉或蓋住其餘二者，然而凸出部12R亦可僅包含一個支幹R1或R2；或者，主幹R與支幹R1、R2分別連接不同的連接管30。此外，於另一實施例中，主幹R與支幹R1、R2可對應地連接另一具有三叉結構的連接管。如此一來，當使用連接管30連接洗滌塔T與收集管10R時，可選擇最適當的連接位置以作連接，因而可配置較佳的管路路徑，以達節省空間以及減少管內粒狀物顆粒的堆積的情形。

第5圖係表示第2A圖中之收集管10連接複數個連接管30並配置一柵欄50的示意圖。本實施例之管路系統可包括柵欄50，設置並固定於支撐結構S上並圍繞收集管10，可用以保護收集管10以及連接管30，以防止兩者被外物撞擊。前述柵欄50具有一中空結構51，藉此可方便操作人員沿水平方向看到連接管30與凸出部12之連接處，進而可更容易地檢視、拆卸或維修連接管30與收集管10。

綜上所述，本發明提供一種管路系統，連接複數個設置於一支撐結構上的洗滌塔，前述管路系統包括一收集管以及一排液管，其中收集管具有一本體以及複數個凸出部，本體具有一外表面及一第一中心軸，且該些凸出部凸出於外表面。藉由收集管之複數個凸出部，可提升且改善洗滌塔與收集管的管路連接配置，使其具有集中管理、檢視方便與省時的優點。此外，由於收集管穿過支撐結構並連接一排液管，且收集管的第一中心軸係垂直於排液管的第二中心軸，藉此可讓收集管管內之流體或化學用品之粒狀晶體、廢棄物不易堆積或沉積，進而可大幅減少管內無法通暢地流動的情形，亦可降低加壓馬達推動之負荷，以提升整體洗滌程序之效能。

在本說明書以及申請專利範圍中的序數，例如「第一」、「第二」等等，彼此之間並沒有順序上的先後關係，其僅用於標示區分兩個具有相同名字之不同元件。

上述之實施例以足夠之細節敘述使所屬技術領域之具有通常知識者能藉由上述之描述實施本創作所揭露之裝置，以及必須了解的是，在不脫離本創作之精神以及範圍內，當可做些許更動與潤飾，因此本創作之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

Claims

一種管路系統，連接複數個洗滌塔，其中該些洗滌塔設置於一支撐結構上，並用以容納一洗滌液，包括：一收集管，該收集管具有一本體以及複數個凸出部，其中該本體具有一外表面及一第一中心軸，且該些凸出部凸出於該外表面，該第一中心軸垂直於該支撐結構，其中該收集管藉由該些凸出部分別連通該些洗滌塔，且該些凸出部環繞排列於該收集管的該外表面；以及一排液管，設置於該支撐結構下方並具有一第二中心軸，其中，該支撐結構位於該些洗滌塔與該排液管之間，該收集管穿過該支撐結構並連接該排液管，且該第一中心軸垂直於該第二中心軸。
如申請專利範圍第1項所述之管路系統，其中該本體與該些凸出部為一體成形。
如申請專利範圍第1項所述之管路系統，其中該收集管具有4-6吋的直徑，且該些凸出部具有0.5-1.5吋的直徑。
如申請專利範圍第1項所述之管路系統，其中該些凸出部具有透明材質。
如申請專利範圍第1項所述之管路系統，其中該些凸出部的其中之一包含相互連通之一主幹及一支幹，該支幹凸出於該主幹之一側，且該主幹連通該收集管。
如申請專利範圍第1項所述之管路系統，其中該收集管具有聚氯乙烯、聚丙烯或酚醛樹脂之材質。
如申請專利範圍第1項所述之管路系統，其中該管路系統更包括複數個連接管，分別連接該些洗滌塔與該收集管，且該些連接管具有垂直於該支撐結構之一垂直流道段。
如申請專利範圍第1項所述之管路系統，其中該管路系統更包括一柵欄，固定於該支撐結構上並圍繞該收集管。
如申請專利範圍第1項所述之管路系統，其中該管路系統更包括一容納槽，設置於該排液管的下方，用以盛接自該排液管洩漏之該洗滌液。