JP6196481B2 - 排ガス処理装置 - Google Patents
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Description
成分が熱交換チューブの伝熱面に付着することを抑制できる。その結果、熱交換チューブの熱交換効率の低下を抑制できるとともに、熱交換チューブのメンテナンス(清掃)負荷を低減できる。
図1は、第1実施例としての排ガス処理装置10の概略構成を示す。本実施例では、排
ガス処理装置10は、半導体製造工程において排出される排ガスを、大気に放出する前に処理する装置である。排ガス処理装置10は、排ガス処理部15と、循環部70と、熱交換部80とを備える。排ガス処理部15は、燃焼処理部20と、冷却部30と、洗浄部40とを備えており、循環水W1用を使用して、排ガス処理を行う。循環水W1は、単なる水であってもよいし、所定の添加物(例えば、酸性ガスを中和するアルカリ剤)が添加された水であってもよい。循環部70は、循環水貯留部50と、循環配管71,73と、循環ポンプ72とを備えており、循環水W1を循環させる。熱交換部80は、循環水W1と冷却水W5との熱交換を行う。
副生成物としての固体成分(粉塵)が多量に含まれる。また、比較的大型の固体成分は、自重によって、第1室52に落下する。第1室52では、循環水W1に含まれる固体成分が沈殿する。また、第1室52には、堰51の近傍に第1のフィルタ54が設けられている。堰51に貯留された循環水W1の高さが堰51の高さを超えると、第1のフィルタ54を透過した循環水W1が堰51を越えてオーバフローし、第2室53に流入する。このため、第1室52の水位LV1は、第2室53の水位LV2よりも高くなっている。上述の説明からも明らかなように、第1室52に貯留される循環水W1に含まれる固体成分は、その大半が沈殿によって除去され、さらに、残りのほとんどが第1のフィルタ54によって除去された後に、第2室53に流入する。堰51は、第1のフィルタ54のろ過負荷、換言すれば、清掃頻度を低減する効果がある。なお、第1室52の側面には、開閉可能な点検窓を設けてもよい。こうすれば、固体成分の沈殿状況や第1のフィルタ54の付着状況を確認できると共に、必要に応じて容易に清掃できる。
58を介して、貯留室57から熱交換チューブ設置空間60に流入する。第2室53には、洗浄部40の下端部に接続される洗浄部接続短管44が挿入されている。このように第2室53を仕切ることによって、第2室53の容量を立体的に有効利用できるので、熱交換チューブ82の設置自由度が向上する。なお、第2室53は、上下に3室以上に仕切られていてもよい。この場合、熱交換チューブ設置空間60は、3室以上の室のうちの一部の任意の室に確保されていてもよい。
、隙間87に循環水W1が入り込むことによって、熱交換効率を向上できる。しかも、チューブ溶着部85によって循環水W1の流れが乱流になるので、熱交換効率を高めることができる。また、2つのチューブ溶着部85の間には、複数のチューブ分散板が設けられる。チューブ分散板には、複数の貫通穴が設けられており、これらの貫通穴の各々には、チューブ84が1体1の対応関係で挿入される。かかるチューブ分散板によれば、チューブ84の延長に亘って隙間87を好適に確保でき、チューブ溶着部85と同様の効果を奏する。
図5は、第2実施例としての排ガス処理装置の構成の一部分を示す。図5において、第1実施例(図1)と同一の構成要素については、図1と同一の符号を付している。第2実施例の排ガス処理装置は、第1実施例の熱交換チューブ82に代えて、熱交換器282を備えている点が第1実施例と異なっており、その他の点については、第1実施例と同様である。以下、第1実施例と異なる点について説明する。熱交換器282は、熱交換チューブ82と循環水管288とを備えている。循環水管288の内部には、熱交換チューブ82が収容される。循環水管288は、蛇行流路を形成するように水平方向に湾曲した形状を有しており、熱交換チューブ82も循環水管288に追従した形状を有している。循環水管288は、循環ポンプ72の吸込口に接続される。なお、循環水管288の形状は、特に限定されるものではなく、鉛直方向に延びて形成された渦巻き形状であってもよい。また、循環水管288は、内部に仕切構造を備えることによって、その内部に蛇行流路が形成されてもよい。
図6は、第3実施例としての排ガス処理装置の構成の一部分を示す。第3実施例の排ガス処理装置は、第1実施例の熱交換チューブ82に代えて、第1のチューブ群384aと、第2のチューブ群384bと、ヘッダ管381a,382a,381b,382bとを備えている点が第1実施例と異なっており、その他の点については、第1実施例と同様である。以下、第1実施例と異なる点について説明する。ヘッダ管381a,382aは、第1のチューブ群384aの端部と接続されている。同様に、ヘッダ管381b,382bは、第2のチューブ群384bの端部と接続されている。
水W1が乱流となるため、より効率的な熱交換が可能である。なお、第1のチューブ群384aおよび第2のチューブ群384bは、相互に独立して、その内部に冷却水W5を流通させるものであってもよい。また、チューブ群は、2以上設けられていればよく、例えば、3つ設けられていてもよい。
C−1.変形例1:
循環水W1の循環路内には、温度センサが設けられていてもよい。温度センサによって、循環水W1の温度を監視すれば、熱交換チューブ82に微細な固体成分が付着し、熱交換効率が低下することを検知できる。その結果、作業員は、熱交換チューブ82のメンテナンス(清掃等)のタイミングを好適に判断することができ、また、排ガス処理装置10の安全性が向上する。
上述した実施例は、熱エネルギーを利用して排ガスを処理し、処理された排ガスを循環水によって冷却する種々の排ガス処理装置に適用可能であり、例えば、燃焼式、触媒式、プラズマ式の排ガス処理装置に提供可能である。
15…排ガス処理部
20…燃焼処理部
21…水流フランジ部
22…燃焼室
23…内壁面
24…燃焼部接続短管
30…冷却部
31…ノズル
40…洗浄部
41…ノズル
43…第2のフィルタ
44…洗浄部接続短管
50…循環水貯留部
51…堰
52…第1室
53…第2室
54…第1のフィルタ
55…沈殿スペース
56…仕切壁
57…貯留室
58…連通穴
59…水位計
60…熱交換チューブ設置空間
61〜63…仕切壁
70…循環部
71,73…循環配管
72…循環ポンプ
74…供給口
75…排出口
80…熱交換部
81…冷却配管
82…熱交換チューブ
84…チューブ
85…チューブ溶着部
86…貫通穴
87…隙間
282…熱交換器
288…循環水管
384a…第1のチューブ群
384b…第2のチューブ群
381a,382a,381b,382b…ヘッダ管
W1,W2,W3…循環水
W4…補給水
W5…冷却水
LV1,LV2…水位
Claims (10)
- 排ガス処理装置であって、
熱エネルギーを利用して排ガスを処理する排ガス処理部であって、処理された排ガスを、液体を使用して冷却する排ガス処理部と、
前記液体を循環液として循環路内を循環させる循環部と、
前記循環液を冷却するための熱交換チューブであって、該熱交換チューブの内部に流れる冷却液と、該熱交換チューブの外部に流れる前記循環液との間で熱交換を行う熱交換チューブと、
前記循環液を貯留する循環液貯留部と
を備え、
前記熱交換チューブは、前記循環液貯留部の内部の少なくとも一部に確保された熱交換チューブ設置空間に配置され、
さらに、前記排ガス処理部で使用された前記循環液をろ過するフィルタを備え、
前記熱交換チューブ設置空間には、前記フィルタを透過した前記循環液が導かれ、
前記循環液貯留部は、堰によって、第1室と第2室とに分離されており、
前記排ガス処理部で使用される前記液体のうちの、前記排ガスの流通経路の上流側で使用された前記液体が前記第1室に流入し、前記排ガスの前記流通経路の下流側で使用された前記液体が前記第2室に流入し、
前記第2室には、前記第1室から前記堰を越えてオーバフローして前記循環液が流入し、
前記熱交換チューブ設置空間は、前記第2室に確保され、
前記第1室には、前記フィルタとしての第1のフィルタが設けられ、
前記第1室に流入した前記液体は、前記第1のフィルタを透過した後に、前記第2室に流入する
排ガス処理装置。 - 排ガス処理装置であって、
熱エネルギーを利用して排ガスを処理する排ガス処理部であって、処理された排ガスを
、液体を使用して冷却する排ガス処理部と、
前記液体を循環液として循環路内を循環させる循環部と、
前記循環液を冷却するための熱交換チューブであって、該熱交換チューブの内部に流れる冷却液と、該熱交換チューブの外部に流れる前記循環液との間で熱交換を行う熱交換チューブと、
前記循環液を貯留する循環液貯留部と
を備え、
前記熱交換チューブは、前記循環液貯留部の内部の少なくとも一部に確保された熱交換チューブ設置空間に配置される、
さらに、前記排ガス処理部で使用された前記循環液をろ過するフィルタを備え、
前記熱交換チューブ設置空間には、前記フィルタを透過した前記循環液が導かれ、
前記循環液貯留部は、堰によって、第1室と第2室とに分離されており、
前記排ガス処理部で使用される前記液体のうちの、前記排ガスの流通経路の上流側で使用された前記液体が前記第1室に流入し、前記排ガスの前記流通経路の下流側で使用された前記液体が前記第2室に流入し、
前記第2室には、前記第1室から前記堰を越えてオーバフローして前記循環液が流入し、
前記熱交換チューブ設置空間は、前記第2室に確保され、
前記第2室の上方には、前記フィルタとしての第2のフィルタが設けられ、
前記排ガスの前記流通経路の前記下流側で使用された前記液体は、前記第2のフィルタを透過した後に、前記第2室に流入する
排ガス処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の排ガス処理装置であって、
前記熱交換チューブは、前記冷却液が前記循環液と反対の方向に流れるように構成された
排ガス処理装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の排ガス処理装置であって、
前記熱交換チューブは、該熱交換チューブの内部を流れる前記冷却液と、前記循環液貯留部を流れる前記循環液との間で熱交換を行う
排ガス処理装置。 - 請求項4に記載の排ガス処理装置であって、
前記熱交換チューブ設置空間は、前記循環液が蛇行して流れる蛇行流路として形成されており、
前記熱交換チューブは、前記蛇行流路に沿って配置される
排ガス処理装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の排ガス処理装置であって、
さらに、前記熱交換チューブを内部に収容する循環液管であって、前記熱交換チューブと前記循環液管との間に前記循環液を流通させるための循環液管を備え、
前記熱交換チューブは、該熱交換チューブの内部を流れる前記冷却液と、前記循環液貯留部から前記循環液管に流入した前記循環液との間で熱交換を行い、
前記循環液管は、前記循環液が蛇行して流れる蛇行流路として形成されている
排ガス処理装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の排ガス処理装置であって、
前記熱交換チューブは、複数のチューブがプレート状に配列されて構成されるチューブ群を複数有しており、
前記複数のチューブ群は、相互に離間して前記熱交換チューブ設置空間に配置され、
前記熱交換チューブ設置空間は、前記複数のチューブ群によって仕切られて、前記循環液が蛇行して流れる蛇行流路として形成される
排ガス処理装置。 - 請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の排ガス処理装置であって、
前記循環液貯留部は、少なくとも一部分が、仕切壁によって上下方向に仕切られた2以上の室であって、隣り合う室同士が連通する2以上の室を有し、
前記熱交換チューブ設置空間は、前記2以上の室のうちの一部の室に確保された
排ガス処理装置。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の排ガス処理装置であって、
前記熱交換チューブは、樹脂材料を含んで形成される
排ガス処理装置。 - 請求項2に記載の排ガス処理装置であって、
前記第1室には、前記フィルタとしての第1のフィルタが設けられ、
前記第1室に流入した前記液体は、前記第1のフィルタを透過した後に、前記第2室に流入する
排ガス処理装置。
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