JP7125326B2 - 基板保持部材 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハなど基板を真空吸着保持するために用いられる基板保持部材に関する。

平板状の基体の上面から上方に突出する複数の上方凸部と、基体の下面から窪んでいる溝と、溝に連通し、かつ、基体の上面に開口部を有する通気孔と、を備えている基板保持部材が知られている。基板が複数の上方凸部のうち少なくとも一部により支持され、かつ、基体の下面側がステージに載置された状態で溝に負圧領域が形成されることにより、基体の上面と基板の下面とにより挟まれている空隙に負圧領域が形成され、基板に対して基体に向かう引力（真空吸着力）が作用する。この際、溝の上方にある肉薄領域において基体、ひいては基板が局所的に下方に凹む場合があるが、この凹みを抑制するため、溝に下方に突出する下方凸部を形成することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１７－２１２３４３号公報

しかし、基体の肉薄領域のうち下方凸部から外れた箇所または下方凸部が設けられていない箇所において、当該基体が局所的に下方に凹む場合がある。溝に代えて中空空間が基体の内部に設けられている場合、当該中空空間の上方にある肉薄領域を下側から支持するための構造を設けることが困難であり、当該基体が局所的に凹む場合がある。

そこで、本発明は、基体に負圧形成のための局所的な肉薄領域が存在する場合、肉薄領域直上の基板の局所的な平坦度の低下を抑制することによって基板の全体的な平坦度の向上を図ることができる基板保持部材を提供することを目的とする。

本発明の第１態様および第２態様のそれぞれの基板保持部材は、上面および下面を有する平板状の基体と、前記基体の上面から上方に向って突出する複数の上面凸部と、前記基体の下面から窪んでいる凹部により構成される通気路と、前記通気路に連通し、かつ、前記基体の上面に開口部を有する一または複数の通気孔と、を備えている。

本発明の第１態様の基板保持部材は、前記基体の上面に垂直な一または複数の指定断面において、前記通気路の上方における前記基体の天井部が、当該天井部のなかで厚さが極小となる極小箇所と、当該天井部の端部において厚みが極大となる極大箇所とを有し、前記天井部は、前記極小箇所から前記極大箇所まで連続的または断続的に厚みが増大している天井肥厚部を有していることを特徴とする。

本発明の第２態様の基板保持部材は、前記基体の上面に垂直な一または複数の指定断面において、前記通気路の上方における前記基体の天井部が、当該天井部のなかで厚さが極小となる極小箇所と、前記天井部のなかで厚さが前記極小箇所から連続的または断続的に増大することにより極大となる極大箇所と、を有し、かつ、前記極大箇所の下端部が前記基体の下面または下端部よりも上方に位置していることを特徴とする。

本発明の第３態様および第４態様のそれぞれの基板保持部材は、上面および下面を有する平板状の基体と、前記基体の上面から上方に向って突出する複数の上面凸部と、前記基体の内部において前記基体の上面に対して平行に直線状または曲線状に延在する中空空間により構成される通気路と、前記通気路に連通し、かつ、前記基体の上面に開口部を有する一または複数の通気孔と、を備えている。

本発明の第３態様の基板保持部材は、前記通気路の延在方向に対して垂直な指定断面において、前記通気路が前記基体の少なくとも一部に直線状部を有する内壁面により画定され、前記通気路の上方における前記基体の天井部が、当該天井部のなかで厚さが極小となる極小箇所と、当該天井部の端部において厚みが極大となる極大箇所とを有し、前記天井部は、前記極小箇所から前記極大箇所まで連続的または断続的に厚みが増大している天井肥厚部を有していることを特徴とする。

本発明の第４態様の基板保持部材は、前記通気路の延在方向に対して垂直な指定断面において、前記通気路が円形状であり、かつ前記通気路の上方における前記基体の天井部が、前記天井部のなかで厚さが極小となる極小箇所を有し、当該極小箇所の厚さが前記上面と平行な方向における前記通気路の最大幅よりも小さいことを特徴とする。

本発明の第１～第４態様のそれぞれの基板保持部材によれば、基体がその下面側において台に支持され、かつ、その上面側にウエハなどの基板が載置された状態で、通気路が真空吸引される。これにより、通気路に連通する通気孔を介して基体の上面および基板の下面により上下が挟まれた空間に負圧領域が形成され、基板に対して基体に向かう吸引力が作用する。

指定断面において通気路の上方における天井部（基体の局所的な肉薄部分）の厚さを、極小箇所から極大箇所まで連続的または断続的に増加させている部分である天井肥厚部の存在により天井部の機械的な強度の向上が図られている。指定断面における天井部の極大箇所および極小箇所のそれぞれにおける「箇所」は「点」または「直線線分」を意味する。特に本発明の第１、第３および第４態様のそれぞれの基板保持部材によれば、極大箇所が天井部の端部または端点（第４態様に関して、半円形状の下縁を有する天井部については当該下縁の両端部）に存在するので、当該天井肥厚部が斜材のように、当該天井部を下方から支持する補強構造として機能する。

これにより、通気路における負圧領域の形成により、基体の天井部に対して下方に吸引力が作用した際、天井部の凹み、ひいてはそこに配置された上面凸部の下方への変位が抑制または防止される。このため、基板を天井部に配置されている上面凸部を含む全ての上面凸部の頂面に均一に当接させることができ、基板保持部材に吸着保持されている際の基板の平面度の向上が図られる。

本発明の第１態様および第３態様のそれぞれの基板保持部材において、前記指定断面における前記天井部の形状が、前記基体の上面に垂直な方向に沿って前記天井部の一対の前記端部の中間を通る中心線を基準として鏡映対称性を有するように、前記通気路が前記基体に形成されていることが好ましい。

当該構成の基板保持部材によれば、通気路の上方にある天井部の厚さを極小箇所から極大箇所まで増加させている、斜材のような補強構造として機能する部分により、当該天井部が均等に下方から支持されうる。これにより、基体の天井部が下方から不均等に支持される場合と比較して、通気路において負圧領域が形成された際の天井部の凹み、ひいては当該天井部に配置された上面凸部の下方への変位が抑制または防止される。このため、基板を天井部に配置されている上面凸部を含む全ての上面凸部の頂面に均一に当接させることができ、基板保持部材に吸着保持されている際の基板の平面度の向上が図られる。

本発明の第１態様の基板保持部材において、前記天井肥厚部が、前記通気路の幅以上の所定距離にわたって前記通気路の延在方向に連続していることが好ましい。

当該構成の基板保持部材によれば、通気路の上方にある天井部の厚さを極小箇所から極大箇所まで増加させている、斜材のような補強構造として機能する天井肥厚部により、当該天井部が通気路の延在方向に沿って、通気路の幅以上の所定距離にわたって連続的に下方から支持されうる。これにより、長尺状に延在する通気路において負圧領域が形成された際の基体の肉薄部分の凹み、ひいては当該肉薄部分に配置された上面凸部の下方への変位が抑制または防止される。このため、基板を通気路の上方に配置されている上面凸部を含む全ての上面凸部の頂面に均一に当接させることができ、基板保持部材に吸着保持されている際の基板の平面度の向上が図られる。

本発明の第１態様、第３態様および第４態様のそれぞれの基板保持部材において、前記基体の上面において、前記通気路の上方における前記極小箇所から外れるように前記上面凸部が配置されていることが好ましい。

当該構成の基板保持部材によれば、通気路の上方における天井部（基体の局所的な肉薄部分）のうち、比較的下方に凹む可能性が高い極小箇所から外れるように上面凸部が配置されている。このため、基体において天井部に配置された上面凸部のうち少なくとも一部が、天井部から外れて配置された他の上面凸部よりも下方に変位する事態が回避または抑制される。このため、基板を通気路の上方に配置されている上面凸部を含む全ての上面凸部の頂面に均一に当接させることができ、基板保持部材に吸着保持されている際の基板の平面度の向上が図られる。

本発明の第１実施形態としての基板保持部材の上面図。 図１のＩＩ－ＩＩ線に沿った基板保持部材の部分的な縦断面図。 図１のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った基板保持部材の部分的な縦断面図。 本発明の第２実施形態としての基板保持部材の図２対応の部分的縦断面図。 本発明の第２実施形態としての基板保持部材の図３対応の部分的縦断面図。 本発明の第１実施形態としての基板保持部材の通気路の断面形状の例示図。 本発明の第１実施形態としての基板保持部材の通気路の断面形状の例示図。 本発明の第１実施形態としての基板保持部材の通気路の断面形状の例示図。 本発明の第１実施形態としての基板保持部材の通気路の断面形状の例示図。 本発明の第１実施形態としての基板保持部材の通気路の断面形状の例示図。 本発明の第１実施形態としての基板保持部材の通気路の断面形状の例示図。 本発明の第１実施形態としての基板保持部材の通気路の断面形状の例示図。 本発明の第１実施形態としての基板保持部材の通気路の断面形状の例示図。 本発明の第２実施形態としての基板保持部材の通気路の断面形状の例示図。

（第１実施形態）

（構成）
図１～図３に示されている本発明の第１実施形態としての基板保持部材は、基体１と、基体１の上面１０１から上方に向って突出する複数の上面凸部１１０と、基体１の上面１０１から上方に向って突出し、かつ、複数の上面凸部１１０を囲うように環状に延在する環状上面凸部１１４と、基体１の下面１０２から下方に向って突出する複数の下面凸部１２０と、基体１の下面１０２から窪んでいる凹部により構成されている通気路２２と、通気路２２に連通し、かつ、基体１の上面１０１に開口部を有する通気孔２１と、基体１の下面１０２から下方に向かって突出し、かつ、通気路２２を吸気する際の気密シールのために通気路２２の下面開口を囲うように環状に延在する内側環状下面凸部１２２と、基体１の下面１０２の外縁部から下方に向かって突出し、かつ、複数の下面凸部１２０を囲うように環状に延在する外側環状下面凸部１２４と、を備えている。

各構成要素の配置態様を説明するため、基体１に対して固定された基体座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）が適宜用いられる。基体座標系のＸ－Ｙ平面は、基体１の上面１０１および下面１０２のそれぞれに対して平行になるように定義されている。基体座標系のＺ軸は、基体１の厚さ方向に対して平行になるように定義されている。

基体１は、例えばＺ軸に沿って当該基体１を見た際に略円形状であり、略平板状のＳｉＣ、ＡｌＮ、Ａｌ₂Ｏ₃等のセラミックス焼結体からなる。複数の上面凸部１１０、環状上面凸部１１４、複数の下面凸部１２０、内側環状下面凸部１２２、外側環状下面凸部１２４、通気孔２１および通気路２２のそれぞれは、研削加工、ブラスト加工、ミリング加工もしくはレーザー加工またはこれらの組み合わせにより形成される。基体１の上面１０１および下面１０２のそれぞれは略平面状に形成されている。

複数の上面凸部１１０は、基体１の上面１０１において三角格子もしくは正方格子等の格子様に配置されるほか、複数の同心円のそれぞれに沿って配置され、あるいは、中心から延在する複数の放射線のそれぞれに沿って規則的に配置される等、規則的に配置されてもよく、不規則的に配置されていてもよい。複数の上面凸部１１０のうち、一の群を構成する上面凸部１１０（例えば通気路２２の上方にある天井部２２１に配置された複数の上面凸部１１０）の配置態様または規則性と、当該一の群とは異なる他の群（例えば天井部２２１から外れた位置に配置された複数の上面凸部１１０）を構成する上面凸部１１０の配置態様または規則性と、が相違していてもよい。

上面凸部１１０のそれぞれは、略柱状、略錘台状、柱状体または錘台状体の端面または上底に、小面積の底面または下底を有する柱状体、半球、半楕円球または錘台状体が載ったような複数の段差付きの略柱状など、様々な形状に形成されていてもよい。上面凸部１１０の上端面１１００は、基体１の上面１０１と略平行な平面状に形成されている。基体１の上面１０１を基準とした複数の上面凸部１１０の突出量は、互いに同じである。

基板保持部材の縦断面図において環状上面凸部１１４の形状が略矩形状のほか、略台形状、半楕円形状、半円形状、または、矩形と当該矩形の一辺を直径とする半円形とが組み合わせられた形状など、様々な形状であってもよい。なお、環状上面凸部１４が省略されてもよい。基体１の上面１０１を基準とした環状上面凸部１１４の上端面１１４０の高さ位置（上面１０１からの突出量）が、上面凸部１１０の上端面１１００の高さ位置よりも低いまたは同一に設計されている。

複数の下面凸部１２０は、基体１の下面１０２において三角格子もしくは正方格子等の格子様に配置されるほか、複数の同心円のそれぞれに沿って配置され、あるいは、中心から延在する複数の放射線のそれぞれに沿って規則的に配置される等、規則的に配置されてもよく、不規則的に配置されていてもよい。下面凸部１２０のそれぞれは、上面凸部１１０と同様に、様々な形状に形成されていてもよい。下面凸部１２０の下端面１２００は、基体１の下面１０２と略平行な平面状に形成されている。

基体１の下面１０２を基準とした下面凸部１２０の下端面１２００の高さ位置（突出量）は、基体１の上面１０１を基準とした上面凸部１１０の突出量および環状上面凸部１１４の突出量のうち少なくとも一部と同一であってもよく、これらのすべてよりも小さくてもよく、これらのすべてよりも大きくてもよい。基体１の下面１０２を基準とした内側環状下面凸部１２２の下端面１２２０の高さ位置（突出量）および外側環状下面凸部１２４の下端面１２４０（突出量）のそれぞれは、基体１の下面１０２を基準とした下面凸部１２０の突出量と同じであってもよく、下面凸部１２０の当該突出量より小さくてもよい。複数の下面凸部１２０がすべて省略されてもよい。内側環状下面凸部１２２および外側環状下面凸部１２４のうち少なくとも一方が省略されてもよい。

通気路２２は、例えば、基体１の下面１０２から基体１の厚み方向に窪んでいる、基体１の中心から外れた領域で径方向（Ｘ方向）に延在する直線状凹部と、当該直線状凹部の内側端部に連続して周方向（Ｘ²＋Ｙ²が一定である条件下でθ＝ａｒｃｔａｎ（Ｙ／Ｘ）が変化する方向）に延在する円弧状凹部と、により構成されている（図１参照）。

また、通気路２２の延在態様はさまざまに変更されてもよい。通気路２２は直線状凹部から複数の円弧状凹部が分岐していてもよく、基体１の周方向に延びるリング状の凹部であってもよく、リング状の凹部に直線状凹部が接続されていてもよい。また、直線状凹部がなくてもよい。

基体１の上面１０１に垂直な一または複数の指定断面において、通気路２２の上方における基体１の天井部２２１が、当該天井部２２１のなかで厚さが極小となる極小箇所２２１１と、当該天井部２２１の端部において厚みが極大となる極大箇所２２１２とを有している。天井部２２１は、極小箇所２２１１から前記極大箇所２２１２まで連続的または断続的に厚みが増大している天井肥厚部１２１を有している。

例えば、図２に示されている、Ｙ－Ｚ平面に平行な基体１の指定断面において、通気路２２は、幅Ｌ₁の横長の長方形と当該長方形の上辺を下底とする等脚台形とが組み合わせられたような形状を有している。換言すると、指定断面において、通気路２２は長方形の上辺の両端部のそれぞれが合同の略三角形状に切り欠かれたような形状を有している。天井部２２１は、当該合同の２つの三角形に相当する天井肥厚部１２１を有している。

当該等脚台形の上底（直線線分）が天井部２２１の極小箇所２２１１を構成し、当該長方形の上辺の両端点が天井部２２１の極大箇所２２１２を構成する。天井肥厚部１２１は、極小箇所２２１１（等脚台形の各脚の上端部）から極大箇所２２１２（等脚台形の各脚の下端部）まで連続的に厚みが増大している。指定断面における天井部２２１の形状が、基体１の上面１０２に垂直な方向に沿って天井部２２１の一対の端部を構成する極大箇所２２１２の中間を通る中心線を基準として鏡映対称性を有している。天井部２２１の下端部である極大箇所２２１２が基体１の下面１０２よりも上方にある。

図２は、通気路２２を構成する直線状凹部の延在方向を垂線方向とする、通気孔２１を除く箇所における基体１の断面に相当するが、通気路２２を構成する円弧状凹部の延在方向を垂線方向とする、通気孔２１を除く箇所における基体１の断面においても、通気路２２は図２と同様の形状を有している。

図３に示されている、基体１のＸ－Ｚ平面に平行な縦断面において、天井肥厚部１２１が、通気路２２の幅Ｌ₁（図２参照）以上の所定距離Ｌ₂にわたって通気路２２の延在方向に連続している。通気路２２の延在方向について、複数の天井肥厚部１２１のうち少なくとも１つの天井肥厚部１２１の連続距離が、当該延在方向に垂直な方向についての通気路２２の幅（図２／幅Ｌ₁参照）未満であってもよい。当該連続距離が通気路２２の幅より短い天井肥厚部１２１を含む一群の天井肥厚部１２１が、当該幅と同程度の間隔で通気路２２の延在方向に並べられて配置されていてもよい。

基体１における通気路２２の数は単数であってもよく複数であってもよく、Ｚ軸に沿って基体１を見た際に、複数の通気路２２が基体１の中心に配置される、あるいは、当該中心を基準とした回転対称性を有するように配置されるなど配置態様は任意に設計変更されてもよい。

基体１の厚さに対する天井部２２１（肉薄部分）の厚さの比率は、例えば０．２０～０．７０の範囲に含まれている。例えば、基体１の厚さが１ｍｍである場合、極小領域２２１１における天井部２２１の厚さは０．２０ｍｍ以上であり、極大領域２２１２における天井部２２１の厚さは０．７０ｍｍ以下である。

基体１において通気路２２の上方にある天井部２２１に配置されている複数の上面凸部１１０のうち、例えば、一部の上面凸部１１０、好ましくは全部の上面凸部１１０が極小箇所２２１１から外れる、または上下方向に重ならないように配置されている。

通気孔２１は、基体１の上面１０１から通気路２２に達するまで、基体１を貫通する略円柱状の孔により構成されている。一の通気路２２に連通する通気孔２１の数は単数であってもよく複数であってもよく、基体１の上面１０１における通気孔２１の個数および配置態様は任意に設計変更されてもよい。例えば、Ｚ軸に沿って基体１を見た際に、複数（例えば６つ）の通気孔２１が基体１の中心回りの回転対称性（例えば６回対称性）を有するように配置されてもよく（図１参照）、複数の通気孔２１が非対称性を有するように配置されてもよい。

なお、図面では基板保持部材が概略的に表されており、当該基板保持部材の構成要素のアスペクト比、間隔、個数などは、原則的に実際の設計値とは異なっている。これは、すべての実施形態において同様である。

（機能）
本発明の第１実施形態としての基板保持部材によれば、基体１が複数の下面凸部１２０のそれぞれを載置台４の上面に当接させた状態で、当該載置台４により支持される。基体１の下面１０２における内側環状下面凸部１２２の内側に、載置台４に形成されている通気路４２の開口部が含まれるように基体１が載置台４に対して位置合わせされる。

複数の上面凸部１１０のうち少なくとも一部の上面凸部１１０の上端面１１００において基板Ｗが載置された状態で、載置台４の通気路４２に接続された真空吸引装置（図示略）により、当該通気路４２が吸気され、基体１の通気路２２に負圧領域が形成される。これにより、通気路２２に連通する通気孔２１を介して基体１の上面１０１および基板Ｗの下面により上下が挟まれた空間に負圧領域が形成され、基板Ｗに対して基体１に向かう吸引力が作用する。通気路２２に負圧領域が形成されることにより、基体１の上面１０１側において通気路２２が形成されている分だけ厚さが局所的に小さい天井部２２１に局所的に下方への力が作用する。

しかるに、指定断面において通気路２２の上方における天井部２２１（基体の局所的な肉薄部分）の厚さを、極小箇所２２１１から極大箇所２２１２まで連続的または断続的に増加させている部分である天井肥厚部１２１の存在により天井部２２１の機械的な強度の向上が図られている。極大箇所２２１２が天井部の端部に存在するので、天井肥厚部１２１が斜材のように、天井部２２１を下方から支持する補強構造として機能する。

これにより、通気路２２における負圧領域の形成により、基体１の天井部２２１に対して下方に吸引力が作用した際、天井部２２１の凹み、ひいては当該天井部２２１に配置された上面凸部１１０の下方への変位が抑制または防止される。また、基体１の天井部２２１のうち、比較的下方に凹む可能性が高い極小箇所２２１１から外れている箇所に、天井部２２１に配置された複数の上面凸部１１０のうち少なくとも一部の上面凸部１１０が配置されている。

このため、基体１の上面１０１において、天井部２２１に配置された上面凸部１１０のうち当該少なくとも一部の上面凸部１１０が、天井部２２１から外れた箇所に配置された他の上面凸部１１０よりも下方に変位する事態が回避される。よって、基板Ｗを天井部２２１に配置されている少なくとも一部の上面凸部１１０および天井部２２１から外れている箇所に配置されている上面凸部１１０のそれぞれの上端面１１００に均一に当接させることができ、基板保持部材に吸着保持されている際の基板Ｗの平面度の向上が図られる。そして、基板Ｗの表面（上面）において、所望のパターンの回路形成のための露光処理など、所定の処理が実施されうる。

（第２実施形態）

（構成）
図４～図５に示されている本発明の第２実施形態としての基板保持部材によれば、通気路２２が、基体１の下面１０２から窪んでいる凹部ではなく、基体１の内部に終端を有し、上方が天井部２２１により画定され、かつ、下方が床部２２２により画定される中空空間により構成されている。具体的には、通気路２２は、基体１の下面１０２における開口部から上方に延在した後、基体１の上面１０１と平行な方向に延在し、基体１の内部で終端している（図１参照）。

２つの略平板状の成形体（または仮焼結体）のそれぞれの接合面に中空空間に相当する溝が形成され、かつ、少なくとも一方の成形体の当該溝の底が肥厚部１２１を有するように形成された上で、当該２つの成形体が接合面同士で接合された状態で焼成一体化されることにより、第２実施形態の基板保持部材が作製される。

通気路２２の構成を除く他の構成は、第１実施形態の基板保持部材と同様なので、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。

（機能）
本発明の第２実施形態としての基板保持部材によれば、通気路２２に負圧領域が形成されることにより、基体１の上面１０１側において通気路２２が形成されている分だけ厚さが局所的に小さい天井部２２１に下方への力が作用しても、第１実施形態と同様の理由により、基板Ｗが天井部２２１に配置されている少なくとも一部の上面凸部１１０および天井部２２１から外れている箇所に配置されている上面凸部１１０のそれぞれの上端面１１００に均一に当接した状態で、基板保持部材に吸着保持され、この際の当該基板Ｗの平面度の向上が図られる。そして、基板Ｗの表面（上面）において、所望のパターンの回路形成のためのエッチング処理など、所定の処理が実施されうる。

（本発明の他の実施形態）

（本発明の第１実施形態の変形形態）

本発明の第１実施形態の基板保持部材において、通気路２２の指定断面における形状は様々に変更されてもよい。天井部２２１の極小箇所２２１１から極大箇所２２１２までの天井部２２１の厚さの増加率が一定ではなく、変化してもよい。例えば、通気路２２の指定断面形状が、図６Ａに示されているように横長の長方形と当該長方形の上辺を長径とする半楕円形とが組み合わせられた形状であってもよい。この場合、天井部２２１の極小箇所２２１１から極大箇所２２１２までの天井部２２１の厚さの増加率が徐々に増加している。

天井部２２１の極小箇所２２１１から極大箇所２２１２まで、天井部２２１の厚さが連続的にではなく断続的に増加してもよい。例えば、通気路２２の指定断面形状が、図６Ｂに示されているように横長の長方形と当該長方形の上辺の一部を長辺とする長方形または矩形とが組み合わせられた形状（上下が反転された略Ｔ字形状）であってもよい。この場合、天井部２２１の極小箇所２２１１から極大箇所２２１２までの天井部２２１の厚さの増加率が徐々に増加している。

天井部２２１の下端部である極大箇所２２１２が基体１の下面１０２と同じ高さ位置にあってもよい。例えば、通気路２２の指定断面形状が、図６Ｃに示されているように略等脚台形状であってもよく、図６Ｄに示されているように略二等辺三角形状であってもよい。

天井部２２１の極大箇所２２１２が、通気路２２の端部または天井部２２１の下縁（天井面）の端部に存在していなくてもよい。例えば、通気路２２の指定断面形状が、図７Ａに示されているように上辺の両端点から離間した一の領域で上部が窪んでいる横長の長方形状（反時計回りに９０°回転された略Ｃ字形状）であってもよい。この場合、天井部２２１の極小箇所２２１１は、当該長方形の上辺において窪みにより分断されている２つの直線線分により構成され、天井部２２１の極大箇所２２１２は、当該窪みの底辺に相当する直線線分により構成されている。天井部２２１は、当該窪みに相当する一の天井肥厚部１２１を有している。

通気路２２の指定断面形状が、図７Ｂに示されているように上辺の両端点から離間した２つの領域のそれぞれで上部が（略矩形状に）窪んでいる横長の長方形状（反時計回りに９０°回転された略Ｅ字形状）であってもよい。この場合、天井部２２１の極小箇所２２１１は、当該長方形の上辺において２つの窪みにより分断されている３つの直線線分により構成され、天井部２２１の極大箇所２２１２は、当該２つの窪みのそれぞれの底辺に相当する２つの直線線分により構成されている。天井部２２１は、当該２つの窪みに相当する２つの天井肥厚部１２１を有している。

通気路２２の指定断面形状が、図７Ｃに示されているように上辺を底辺とする略二等辺三角形状に上部が窪んでいる横長の長方形状であってもよい。この場合、天井部２２１の極小箇所２２１１は、当該長方形の上辺の両端点により構成され、天井部２２１の極大箇所２２１２は、当該三角形の頂点により構成されている。天井部２２１は、当該窪みに相当する略二等辺三角形状の天井肥厚部１２１を有している。

指定断面における天井部２２１の形状が、前記のような鏡映対称性を有していなくてもよい。例えば、通気路２２の指定断面形状が、図７Ｄに示されているように、横に並べられた高さが異なる２つの長方形により構成される形状（反時計回りに９０°回転された略Ｌ字形状）であってもよい。この場合、天井部２２１の極小箇所２２１１は、高い長方形の上辺により構成され、天井部２２１の極大箇所２２１２は、低い長方形の上辺により構成されている。図２に示されている通気路２２の上側が等脚台形状ではなく非等脚台形状であってもよい。

（本発明の第２実施形態の変形形態）

本発明の第２実施形態の基板保持部材において、通気路２２の指定断面における形状は本発明の第２実施形態の基板保持部材と同様に様々に変更されてもよい（図６Ａ～図６Ｄおよび図７Ａ～図７Ｄ参照）。指定断面における床部２２２の上縁（床面）の形状は、直線状のほか、凸曲線状または凹曲線状などの曲線状であってもよい。

そのほか、通気路２２の指定断面における形状が、例えば図８に示されているように径Ｄ２の略円形状であってもよい。この場合、当該円と、当該円に外接する、基体１の上面１０１に平行な辺を有する正方形とにより囲まれた、４つの領域のうち、上側の２つの領域に相当する一対の天井肥厚部１２１を天井部２２１が有している。基体１の上面１０１に垂直な当該円の径の上端点が天井部２２１の極小領域２２１１を構成し、かつ、基体１の上面１０１に平行な当該円の径の両端点が天井部２２１の極大領域２２１２を構成している。極小箇所２２１１における天井部２２１の厚さＤ１が、通気路２２の最大幅Ｄ２よりも小さい。

なお、図６Ｂ～図６Ｄおよび図７Ａ～図７Ｄに示される通気路２２の指定断面について通気路２２を画定する天井面を含む基体１の壁面の角部に面取りが施されていてもよい。このような形状の通気路２２は、通気路２２を形成する機械加工時に用いる工具の角部に平面状（Ｃ形状）または曲面状（Ｒ形状）の面取りを施しておけば容易に形成することができる。

１‥基体、４‥載置台、２１‥通気孔、２２‥通気路、４２‥通気路、１０１‥上面、１０２‥下面、１１０‥上面凸部、１１４‥環状上面凸部、１２０‥下面凸部、１２１‥天井肥厚部、１２２‥内側環状下面凸部、１２４‥外側環状下面凸部、２２１‥天井部、２２２‥床部、２２１１‥極小箇所、２２１２‥極大箇所、Ｗ‥基板（ウエハ）。

Claims (10)

1. 上面および下面を有する平板状の基体と、前記基体の上面から上方に向って突出する複数の上面凸部と、前記基体の下面から窪んでいる凹部により構成される通気路と、前記通気路に連通し、かつ、前記基体の上面に開口部を有する一または複数の通気孔と、を備えている基板保持部材であって、
   前記基体の上面に垂直な一または複数の指定断面において、前記通気路の上方における前記基体の天井部が、当該天井部のなかで厚さが極小となる極小箇所と、当該天井部の端部において厚みが極大となる極大箇所とを有し、前記天井部は、前記極小箇所から前記極大箇所まで連続的または断続的に厚みが増大している天井肥厚部を有していることを特徴とする基板保持部材。
2. 請求項１記載の基板保持部材であって、
   前記指定断面における前記天井部の形状が、前記基体の上面に垂直な方向に沿って前記天井部の一対の前記端部の中間を通る中心線を基準として鏡映対称性を有するように、前記通気路が前記基体に形成されていることを特徴とする基板保持部材。
3. 請求項１または２記載の基板保持部材において、
   前記天井肥厚部が、前記通気路の幅以上の所定距離にわたって前記通気路の延在方向に連続していることを特徴とする基板保持部材。
4. 請求項１～３のうちいずれか１項に記載の基板保持部材において、
   前記基体の上面において、前記通気路の上方における前記極小箇所から外れるように前記上面凸部が配置されていることを特徴とする基板保持部材。
5. 上面および下面を有する平板状の基体と、前記基体の上面から上方に向って突出する複数の上面凸部と、前記基体の内部において前記基体の上面に対して平行に直線状または曲線状に延在する中空空間により構成される通気路と、前記通気路に連通し、かつ、前記基体の上面に開口部を有する一または複数の通気孔と、を備えている基板保持部材であって、
   前記通気路の延在方向に対して垂直な指定断面において、前記通気路が前記基体の少なくとも一部に直線状部を有する内壁面により画定され、前記通気路の上方における前記基体の天井部が、当該天井部のなかで厚さが極小となる極小箇所と、当該天井部の）端部において厚みが極大となる極大箇所とを有し、前記天井部は、前記極小箇所から前記極大箇所まで連続的または断続的に厚みが増大している天井肥厚部を有していることを特徴とする基板保持部材。
6. 請求項５記載の基板保持部材であって、
   前記指定断面における前記天井部の形状が、前記基体の上面に垂直な方向に沿って前記天井部の一対の前記端部の中間を通る中心線を基準として鏡映対称性を有するように、前記通気路が前記基体に形成されていることを特徴とする基板保持部材。
7. 請求項５または６記載の基板保持部材において、
   前記基体の上面において、前記通気路の上方における前記極小箇所から外れるように前記上面凸部が配置されていることを特徴とする基板保持部材。
8. 上面および下面を有する平板状の基体と、前記基体の上面から上方に向って突出する複数の上面凸部と、前記基体の内部において前記基体の上面に対して平行に直線状または曲線状に延在する中空空間により構成される通気路と、前記通気路に連通し、かつ、前記基体の上面に開口部を有する一または複数の通気孔と、を備えている基板保持部材であって、
   前記通気路の延在方向に対して垂直な指定断面において、前記通気路が円形状であり、かつ前記通気路の上方における前記基体の天井部が、前記天井部のなかで厚さが極小となる極小箇所を有し、当該極小箇所の厚さが前記上面と平行な方向における前記通気路の最大幅よりも小さいことを特徴とする基板保持部材。
9. 請求項８に記載の基板保持部材において、
   前記基体の上面において、前記通気路の上方における前記極小箇所から外れるように前記上面凸部が配置されていることを特徴とする基板保持部材。
10. 上面および下面を有する平板状の基体と、前記基体の上面から上方に向って突出する複数の上面凸部と、前記基体の下面から窪んでいる凹部により構成される通気路と、前記通気路に連通し、かつ、前記基体の上面に開口部を有する一または複数の通気孔と、を備えている基板保持部材であって、
    前記基体の上面に垂直な一または複数の指定断面において、前記通気路の上方における前記基体の天井部が、当該天井部のなかで厚さが極小となる極小箇所と、前記天井部のなかで厚さが前記極小箇所から連続的または断続的に増大することにより極大となる極大箇所と、を有し、かつ、前記極大箇所の下端部が前記基体の下面または下端部よりも上方に位置していることを特徴とする基板保持部材。

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