JP7049182B2 - 磁気記録媒体および磁気記憶装置 - Google Patents
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Description
前記磁性層は、グラニュラー構造を有し、炭素の水素化物、ホウ素の水素化物または窒化ホウ素の水素化物を含み、
前記炭素の水素化物、ホウ素の水素化物または窒化ホウ素の水素化物は、アモルファス構造を有し、構成する原子の一部が水素原子で置換されていることを特徴とする磁気記録媒体。
(2)前記磁性層は、前記炭素の水素化物、ホウ素の水素化物または窒化ホウ素の水素化物の含有量が3体積%以上60体積%以下であることを特徴とする(1)に記載の磁気記録媒体。
(3)前記磁性層は、厚さが1nm以上10nm以下であることを特徴とする(1)または(2)に記載の磁気記録媒体。
(4)前記磁性層は、磁性粒子の粒界部に、前記炭素の水素化物、ホウ素の水素化物または窒化ホウ素の水素化物を含むことを特徴とする(1)~(3)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(5)前記磁性粒子は、FePt合金またはCoPt合金を含むことを特徴とする(4)に記載の磁気記録媒体。
(6)(1)~(5)の何れか1項に記載の磁気記録媒体を有することを特徴とする磁気記憶装置。
図1に、本実施の形態における磁気記録媒体の一例を示す。
本実施の形態における磁気記憶装置は、前述の本実施の形態における磁気記録媒体を有していれば、特に限定されない。
以下に示す製造方法により、60体積%(52at%Fe-48at%Pt)-40体積%Cの組成を有するスパッタリングターゲット1を製造した。
以下に示す製造方法により、60体積%(52at%Fe-48at%Pt)-40体積%Bの組成を有するスパッタリングターゲット2を製造した。
以下に示す製造方法により、60体積%(52at%Fe-48at%Pt)-40体積%BNの組成を有するスパッタリングターゲット3を製造した。
最初に、2.5インチのガラス基板上に、下地層を成膜した。具体的には、2.5インチのガラス基板上に、第1の下地層として、膜厚50nmの50Co-50Ti(50at%のCoと50at%のTiとの合金(以下、同様))膜を成膜した後、ガラス基板を300℃で加熱した。次に、第2の下地層として、膜厚12nmの80Cr-20V膜、第3の下地層として、膜厚40nmのW膜、第4の下地層として、膜厚3nmのMgO膜をこの順で成膜した。なお、下地層を成膜する際には、DCマグネトロンスパッタ装置を用い、スパッタガスとしては、Arを用いた。
スパッタリングターゲット1の代わりに、スパッタリングターゲット2を用いた以外は、実施例1と同様にして、磁気記録媒体を製造した。
スパッタリングターゲット1の代わりに、スパッタリングターゲット3を用いた以外は、実施例1と同様にして、磁気記録媒体を製造した。
スパッタガス(Arと水素の混合ガス)の体積比を10:1に変更した以外は、実施例3と同様にして、磁気記録媒体を製造した。
スパッタガス(Arと水素の混合ガス)の体積比を15:1に変更した以外は、実施例3と同様にして、磁気記録媒体を製造した。
スパッタガス(Arと水素の混合ガス)の体積比を3:1に変更した以外は、実施例3と同様にして、磁気記録媒体を製造した。
磁性層を成膜する際に、スパッタガスとして、Arのみを導入した以外は、実施例1~3と同様にして、磁気記録媒体を製造した。
図3の磁気ヘッドを用いて、磁気記録媒体のSNRを測定した。
2 下地層
3 磁性層
4 保護層
100 磁気記録媒体
101 磁気記録媒体駆動部
102 磁気ヘッド
103 磁気ヘッド駆動部
104 記録再生信号処理系
201 主磁極
202 補助磁極
203 コイル
204 レーザーダイオード(LD)
205 レーザー光
206 近接場光発生素子
207 導波路
208 記録ヘッド
209 シールド
210 再生素子
211 再生ヘッド
Claims (6)
- 基板と、下地層と、(001)配向しており、L10構造を有する磁性層をこの順で有し、
前記磁性層は、グラニュラー構造を有し、炭素の水素化物、ホウ素の水素化物または窒化ホウ素の水素化物を含み、
前記炭素の水素化物、ホウ素の水素化物または窒化ホウ素の水素化物は、アモルファス構造を有し、構成する原子の一部が水素原子で置換されていることを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記磁性層は、前記炭素の水素化物、ホウ素の水素化物または窒化ホウ素の水素化物の含有量が3体積%以上60体積%以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記磁性層は、厚さが1nm以上10nm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体。
- 前記磁性層は、磁性粒子の粒界部に、前記炭素の水素化物、ホウ素の水素化物または窒化ホウ素の水素化物を含むことを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記磁性粒子は、FePt合金またはCoPt合金を含むことを特徴とする請求項4に記載の磁気記録媒体。
- 請求項1~5の何れか1項に記載の磁気記録媒体を有することを特徴とする磁気記憶装置。
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