JP7029715B2 - 窒化物半導体膜の形成方法 - Google Patents
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Description
ステップS105のスパッタ処理では、ウェハWの温度を560℃以上650℃以下とする。ウェハWの温度が560℃未満では、ウェハWの表面に供給されたガリウムの蒸発量が減少し相対的に堆積量は増加する。過剰なガリウムに対して窒化が不足することで未窒化のガリウム元素が残留し、表面拡散によりウェハW上で凝集しやすい。ガリウムの凝集が生じると、窒化ガリウム膜中で窒素が相対的に不足する。すなわち、窒化ガリウム膜に窒素欠損による点欠陥が生じやすい。この結果、結晶性が低く、十分な光学特性が得られない。従って、ウェハWの温度は560℃以上とし、好ましくは570℃以上とする。一方、ウェハWの温度が650℃超では、ウェハW上で窒化ガリウムの熱分解が促進され、窒化ガリウム膜の表面に荒れが生じやすい。この結果、十分な平坦性が得られない。また、窒化ガリウムの熱分解に伴って成膜速度が低下することもある。従って、ウェハWの温度は650℃以下とし、好ましくは630℃以下とし、より好ましくは610℃以下とする。
ステップS105のスパッタ処理では、窒素の流量とアルゴンの流量との和に対する窒素の流量の割合RN2を6%以上18%以下とする。割合RN2が6%未満では、ガリウムと反応する窒素が不足し、ガリウムがウェハW上で凝集し、窒化ガリウム膜に窒素欠損による点欠陥が生じやすい。この結果、十分な結晶性が得られない。従って、割合RN2は6%以上とし、好ましくは8%以上とする。一方、割合RN2が18%超では、ガリウムがウェハWの表面上で拡散しにくく、窒化ガリウム膜の表面に荒れが生じやすい。この結果、十分な平坦性が得られない。従って、割合RN2は18%以下とし、好ましくは15%以下とする。窒素の流量とアルゴンの流量との和は、例えば50sccm~1000sccmとする。
ステップS105のスパッタ処理では、好ましくは真空チャンバ11内の圧力(スパッタ圧力)を1.0Pa以上とする。スパッタ圧力が1.0Pa未満では、ターゲットTから飛散したスパッタ粒子が過度に高速でウェハWに衝突し、ウェハWにダメージが生じ、結晶欠陥が生じることがある。窒化ガリウム膜中の結晶欠陥が多いほど、イエローバンド波長帯のフォトルミネッセンス強度が高くなる。従って、真空チャンバ11内の圧力は好ましくは1.0Pa以上とし、より好ましくは5.0Pa以上、更に好ましくは10.0Pa以上とする。
ステップS105のスパッタ処理では、好ましくは出力密度を2W/cm2以上40W/cm2以下とする。出力密度が2W/cm2未満では、ターゲットTの周囲にプラズマを維持することが困難になることがある。従って、出力密度は好ましくは2W/cm2以上とし、より好ましくは5W/cm2以上とする。一方、出力密度が40W/cm2超では、ターゲットTの温度が過度に高くなることがある。従って、出力密度は好ましくは40W/cm2以下とし、より好ましくは15W/cm2以下とする。なお、例えば、パルスオン時間を300μ秒以上、その割合(デューティー比)を50%以下とすることで、出力密度を2W/cm2~40W/cm2とすることができる。
ターゲットTに含まれる不純物として、酸素(O)及び炭素(C)が挙げられる。これらのうちの少なくとも一方の濃度が2.0×1018原子/cm3超であると、形成される窒化ガリウム膜中の不純物濃度も高くなり、イエローバンド波長帯のフォトルミネッセンス強度が高くなる。従って、ターゲットTの酸素及び炭素の濃度は、各々好ましくは2.0×1018原子/cm3以下であり、より好ましくは1.0×1017原子/cm3以下であり、更に好ましくは1.0×1016原子/cm3以下である。
真空チャンバ11としては、成長温度において1×10-5Pa以下の真空度が達成できるものを用いることが好ましい。真空チャンバ11内で発生する不純物の窒化ガリウム膜への混入を抑制するためである。
ウェハWとしては、窒化ガリウム膜が形成される面に、単結晶の窒化ガリウム層を備えるものを用いることが好ましい。結晶性が良好な窒化ガリウム膜を形成するためである。このようなウェハWとしては、例えば、窒化ガリウムの単結晶基板、窒化ガリウム単結晶テンプレート付きサファイア基板又は窒化ガリウム単結晶テンプレート付きシリコン基板を用いることができる。
11 真空チャンバ
12 ウェハホルダ
13 カソード
14 ヒータ
15 直流電源
21、22 供給ライン
23 排気ライン
30 制御部
V21、V22 バルブ
P ポンプ
Claims (8)
- 窒素及びアルゴンを含む真空チャンバ内で窒化ガリウムのターゲットを間欠的にスパッタする工程と、
前記真空チャンバ内で前記ターゲットから飛散した窒化ガリウムのスパッタ粒子を、温度が560℃以上650℃以下の対象物上に堆積させる工程と、
を有し、
前記ターゲットを間欠的にスパッタする工程における出力密度を2W/cm 2 以上40W/cm 2 以下とし、
前記真空チャンバに供給する窒素の流量とアルゴンの流量との和に対する窒素の流量の割合を6%以上18%以下とする、窒化物半導体膜の形成方法。 - 前記スパッタ粒子を堆積させる際の前記対象物の温度を570℃以上630℃以下とする、請求項1に記載の窒化物半導体膜の形成方法。
- 前記真空チャンバに供給する窒素の流量とアルゴンの流量との和に対する窒素の流量の割合を8%以上15%以下とする、請求項1又は2に記載の窒化物半導体膜の形成方法。
- 前記真空チャンバ内の圧力を1.0Pa以上とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の窒化物半導体膜の形成方法。
- 前記ターゲットの、酸素及び炭素の濃度が、各々1×1017原子/cm3以下である、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の窒化物半導体膜の形成方法。
- 前記ターゲットの前記対象物と対向する面が+c軸に配向している、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の窒化物半導体膜の形成方法。
- 前記対象物は、前記ターゲットと対向する面に単結晶の窒化ガリウム層を有する、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の窒化物半導体膜の形成方法。
- 前記窒化ガリウムのターゲットを間欠的にスパッタする工程に加えて、前記窒化ガリウムに混入させる物質のターゲットを間欠的にスパッタする工程を有する、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の窒化物半導体膜の形成方法。
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