JP3876323B2 - 窒化インジウムアルミニウム半導体の結晶成長方法 - Google Patents
窒化インジウムアルミニウム半導体の結晶成長方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3876323B2 JP3876323B2 JP2004078231A JP2004078231A JP3876323B2 JP 3876323 B2 JP3876323 B2 JP 3876323B2 JP 2004078231 A JP2004078231 A JP 2004078231A JP 2004078231 A JP2004078231 A JP 2004078231A JP 3876323 B2 JP3876323 B2 JP 3876323B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum nitride
- semiconductor crystal
- inaln
- producing
- indium aluminum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 54
- AUCDRFABNLOFRE-UHFFFAOYSA-N alumane;indium Chemical compound [AlH3].[In] AUCDRFABNLOFRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 22
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 title description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 69
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 33
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 claims description 29
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 claims description 20
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 150000002831 nitrogen free-radicals Chemical class 0.000 claims description 8
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 40
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 21
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 20
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 18
- NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N azanylidyneindigane Chemical compound [In]#N NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 6
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen(.) Chemical compound [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- -1 nitride compound Chemical class 0.000 description 4
- 210000004180 plasmocyte Anatomy 0.000 description 4
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 description 4
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 3
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000000171 gas-source molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
下のようにすればよい。InAlN層をトランジスタ(ヘテロ構造FETなど)の障壁として用いる場合などでは、InAlN層の膜厚として1nm〜100nmが挙げられ、好ましくは5nm〜50nm、10nm〜100nm、20nm〜100nm、25nm〜50nm、10nm〜25nm、5nm〜50nmなどから用途に応じて適宜選択すればよい。InAlN層を発光ダイオードやレーザーダイオードに用いる場合などでは、InAlN層の膜厚として1nm〜10000nmが挙げられ、好ましくは5nm〜5000nm、100nm〜5000nm、7nm〜1000nm、10nm〜500nm、100nm〜3000nm、500nm〜2000nmなどから用途に応じて適宜選択すればよい。なお、膜厚は、例えば結晶の成長時間を制御する方法など、公知の方法によって調整できる。
2 加熱手段
3 サファイア基板(単結晶基板)
4a Inセル
4b Alセル
4c Gaセル
4d RFプラズマセル
5 シャッター
11 サファイア基板
12 AlNバッファ層
13 GaN層
14 InAlN層
Claims (4)
- 窒化ガリウムもしくは窒化インジウムガリウム上に、
RFプラズマにより窒素を含む原料ガスを分解して得た窒素ラジカルを窒素源として用いる分子線エピタキシー成長法により、一般式InxAl1-xN(0.05<x<0.25)で表される窒化インジウムアルミニウムを200℃以上450℃以下において成長させる、
窒化インジウムアルミニウム半導体結晶の製造方法。 - 請求項1に記載の窒化インジウムアルミニウム半導体結晶の製造方法を用いるトランジスタの製造方法。
- 請求項1に記載の窒化インジウムアルミニウム半導体結晶の製造方法を用いる発光ダイオードの製造方法。
- 請求項1に記載の窒化インジウムアルミニウム半導体結晶の製造方法を用いるレーザーダイオードの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004078231A JP3876323B2 (ja) | 2004-03-18 | 2004-03-18 | 窒化インジウムアルミニウム半導体の結晶成長方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004078231A JP3876323B2 (ja) | 2004-03-18 | 2004-03-18 | 窒化インジウムアルミニウム半導体の結晶成長方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005268495A JP2005268495A (ja) | 2005-09-29 |
JP3876323B2 true JP3876323B2 (ja) | 2007-01-31 |
Family
ID=35092731
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004078231A Expired - Lifetime JP3876323B2 (ja) | 2004-03-18 | 2004-03-18 | 窒化インジウムアルミニウム半導体の結晶成長方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3876323B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4940928B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2012-05-30 | 日立電線株式会社 | 窒化物半導体の製造方法 |
JP4840482B2 (ja) | 2008-10-14 | 2011-12-21 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
JP2012134328A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Sharp Corp | 半導体発光素子、半導体層の形成方法、半導体発光素子の製造方法および電気機器 |
JP6319975B2 (ja) * | 2013-09-11 | 2018-05-09 | 学校法人 名城大学 | 窒化物半導体混晶の製造方法 |
CN110541158A (zh) * | 2019-09-11 | 2019-12-06 | 大同新成新材料股份有限公司 | 一种氮化物半导体材料的制备方法 |
JPWO2022004146A1 (ja) * | 2020-06-30 | 2022-01-06 |
-
2004
- 2004-03-18 JP JP2004078231A patent/JP3876323B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005268495A (ja) | 2005-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4189386B2 (ja) | 窒化物半導体結晶層の成長方法および窒化物半導体発光素子の製法 | |
US10192737B2 (en) | Method for heteroepitaxial growth of III metal-face polarity III-nitrides on substrates with diamond crystal structure and III-nitride semiconductors | |
TW200901513A (en) | Method for producing group III nitride semiconductor light emitting device, group III nitride semiconductor light emitting device, and lamp | |
JP2010010678A (ja) | 量子ドットデバイスおよびその製造方法 | |
JP2008177525A (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法、及びiii族窒化物半導体発光素子、並びにランプ | |
JP2010056555A (ja) | 半導体構造物及びそれを製造する方法 | |
US20060189019A1 (en) | Growth process of a crystalline gallium nitride based compound and semiconductor device including gallium nitride based compound | |
JP2012015303A (ja) | 半導体基板および半導体装置 | |
JP5257967B2 (ja) | 半導体光素子 | |
JP3876323B2 (ja) | 窒化インジウムアルミニウム半導体の結晶成長方法 | |
CN113506777A (zh) | 半导体元件用外延基板和半导体元件 | |
JP5561629B2 (ja) | 半導体光素子 | |
JP2003332234A (ja) | 窒化層を有するサファイア基板およびその製造方法 | |
JP2008115463A (ja) | Iii族窒化物半導体の積層構造及びその製造方法と半導体発光素子とランプ | |
JP3671215B2 (ja) | サファイア基板上への窒化インジウム積層方法 | |
WO2011099469A1 (ja) | 構造体、及び半導体基板の製造方法 | |
JP2008098224A (ja) | Iii族窒化物化合物半導体積層構造体の成膜方法 | |
JP2016154221A (ja) | 半導体基板および半導体装置 | |
JP2007103955A (ja) | 窒化物半導体素子および窒化物半導体結晶層の成長方法 | |
JP2008098245A (ja) | Iii族窒化物化合物半導体積層構造体の成膜方法 | |
JP2007201151A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体の製造方法 | |
JP2016082079A (ja) | 窒化物半導体結晶成長方法 | |
TWI596710B (zh) | 半導體元件的製備方法 | |
US20240153766A1 (en) | Method of manufacturing nitrogen-face nitride semiconductor and nitrogen-face nitride semiconductor device manufactured using the same | |
JP4873705B2 (ja) | 窒化インジウム(InN)あるいは高インジウム組成を有する窒化インジウムガリウム(InGaN)エピタキシャル薄膜の形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060718 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060816 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060926 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3876323 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |