JP6967428B2 - モジュールの製造方法 - Google Patents
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Description
1.第1のモジュールの製造方法
本発明のモジュールの製造方法の第1実施形態である第1のモジュール1の製造方法を、図1および図2A〜図2Hを参照して説明する。
図2Aに示すように、第1工程では、第1剥離層2の上面(厚み方向一方面の一例)に配置されたシード層19を準備する。
図2Dに示すように、第2工程では、シード層19から給電するめっきにより、コイルパターン5をシード層19の上面(厚み方向一方面の一例)に形成する。具体的には、アディティブ法によって、コイルパターン5を形成する。
図2Fに示すように、第3工程では、コイルパターン5を、第1接着層11に押し込む。
PS1:シード層19の第1剥離層2に対する感圧接着力
PS2:第1接着層11のコイルパターン5に対する感圧接着力
PS3:シード層19の第1接着層11に対する感圧接着力
これにより、図2Dに示すように、剥離層10の下面に配置された第1接着層11を形成する。
図2Hに示すように、第4工程では、コイルパターン5および第1接着層11の下面を露出する。
第5工程では、図2Gに示すように、第1剥離層2をシード層19から剥離する。
第6工程では、図2Hに示すように、シード層19を除去する。
第1のモジュール1の製造方法により得られた第1のモジュール1は、例えば、無線電力伝送(無線給電)、無線通信、センサなどに用いられる。この第1のモジュール1は、コイルパターン5の下面が露出していることから、好ましくは、無線電力伝送、無線通信に用いられる。
(1)この第1のモジュール1の製造方法によれば、特許文献1のような第1絶縁層を備えない第1のモジュール1を製造することができる。そのため、第1のモジュール1の薄型化を図ることができる。
この変形例において、第1実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第2実施形態において、第1実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図4Bに示すように、第8工程では、コイルパターン5の下面を第2接着層12によって被覆する。
図4Dに示すように、第9工程では、2つの磁性層18のそれぞれを、接着層13の上面および下面のそれぞれに配置する。
第2実施形態の第2のモジュール31は、コイルパターン5が接着層13に埋設されていることから、好ましくは、センサに用いられる。
第2実施形態によれば、第1実施形態と同様の作用効果を奏することができる((8)、(9)、(12)および(13)の作用効果)。
この変形例において、第1および第2実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第3実施形態において、第1および第2実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。第3実施形態は、上記と同一の作用効果を奏することができる。
第1接着層11がBステージであり、第3のモジュール33を加熱して、第1接着層11をCステージにするときに、コイルパターン5に第1接着層11から応力(熱収縮力)や加圧による外部からの応力が付与され、そのため、コイルパターン5の面方向における位置ずれを生じ易い。この場合には、コイルパターン5の位置ずれに起因して、当初設計していたインダクタンスからずれたインダクタンスを有する第3のモジュール33となる。
第4実施形態において、第1〜第3実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。第4実施形態は、上記と同一の作用効果を奏することができる。
(第2実施形態に対応する実施例)
(第1工程)
図2Aに示すように、ステンレス(SUS304)からなる厚み50μmの第1剥離層2の上面に、電解めっきによって、銅からなる厚み1.5μmのシード層19を形成した。
次いで、図2Dに示すように、シード層19から給電するめっきによって、コイルパターン5を形成した。
図2Fに示すように、次いで、コイルパターン5を第1接着層11に押し込んだ。
(第5工程および第6工程)
第4工程において、図2Gおよび図2Hに示すように、コイルパターン5および第1接着層11の下面を露出させた。
次いで、図4Bに示すように、第2接着層12によって、端子部7の下面を露出させるように、コイルパターン5の下面を被覆した。
図4Dに示すように、磁性層18を接着層13の上面および下面に配置した。
接着樹脂組成物を表1に従って変更した以外は、実施例1と同様に処理して、第1のモジュール1を製造し、続いて、第2のモジュール31を製造した。
図6Aに示すように、剥離層45の上面に、サブトラクティブ法で、コイルパターン5を形成した以外は、実施例1と同様に処理して、第2のモジュール31を製造した。
Fe−Si−Cr合金粒子 軟磁性粒子、日本アトマイズ加工社製、平均粒子径8μm、製品名(鉄合金粉 SFR−FeSiCr)
Fe−Si−Al系合金粒子 軟磁性粒子、扁平状、磁化容易方向の保磁力:3.9(Oe)、平均粒子径40μm、平均厚み1μm
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂 エポキシ当量199g/eq.、ICI粘度(150℃)0.4Pa・s、比重1.21、商品名「KI−3000−4」、東都化成社製
ビスフェノールA型エポキシ樹脂 エポキシ当量180g/eq.、ICI粘度(150℃)0.05Pa・s、比重1.15、商品名「エピコートYL980」、三菱化学社製
フェノールビフェニレン樹脂 水酸基当量203g/eq.、ICI粘度(150℃)0.05Pa・s、比重1.18、商品名「MEH−7851SS」、明和化成社製
アクリル樹脂 カルボキシ基およびヒドロキシ基変性のアクリル酸エチル−アクリル酸ブチル−アクリロニトリル共重合体、重量平均分子量900,000、比重1.00、商品名「テイサンレジン SG−70L」(樹脂含有割合12.5質量%)、ナガセケムテックス社製
熱硬化触媒 2−フェニル−1H−イミダゾール4,5−ジメタノール、比重1.33、商品名「キュアゾール2PHZ−PW」、四国化成社製
分散剤 ポリエーテルリン酸エステル、酸価17、比重1.03、商品名「HIPLAAD ED152」、楠本化成社製
表1の記載に従って、接着樹脂組成物を調製した。
各実施例および各比較例(比較例2を除く)の第2のモジュール31について、各項目を評価した。その結果を、表1に示す。
図2Hに示す第3工程におけるコイルパターン5の第1接着層11に対する押込性を、下記の基準で評価した。
○:コイルパターン5を第1接着層11に対して確実に押し込めた。
△:コイルパターン5を第1接着層11に対して押し込めたが、歩留りが50%であった。
透磁率を、インピーダンスアナライザー(KEYSIGHT社製、「E4991B」1GHzモデル)を用いる1ターン法(周波数:10MHz)により測定した。
2 第1剥離層
3 導体層
5 コイルパターン
9 第2剥離層
11 第1接着層
12 第2接着層
13 接着層
18 磁性層
19 シード層19
31 第2のモジュール
Claims (12)
- 第1剥離層の厚み方向一方面に配置されたシード層を準備する第1工程、
前記シード層から給電するめっきにより、導体パターンを前記シード層の厚み方向一方面に形成する第2工程、
前記導体パターンを、第1の磁性粒子を含有する第1接着層に押し込む第3工程、および、
前記導体パターンおよび前記第1接着層の厚み方向他方面を露出する第4工程
を備え、
前記第1接着層における前記第1の磁性粒子の含有割合が、15容量%以上、70容量%以下であることを特徴とする、モジュールの製造方法。 - 前記第3工程では、前記シード層を前記第1接着層に対して圧着して、前記導体パターンを前記第1接着層に押し込み、
前記第4工程は、
前記第1剥離層を前記シード層から剥離する第5工程、および、
前記シード層を除去する第6工程を備えることを特徴とする、請求項1に記載のモジュールの製造方法。 - 前記第6工程では、前記シード層をエッチングすることを特徴とする、請求項2に記載のモジュールの製造方法。
- 前記第1接着層は、第1の樹脂成分を含有し、
前記第1の樹脂成分が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂およびアクリル樹脂であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載のモジュールの製造方法。 - 第2の磁性粒子および第2の樹脂成分を含有する磁性層を、前記第1接着層の前記厚み方向他方面に配置する第7工程
をさらに備えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載のモジュールの製造方法。 - 前記第4工程を、前記導体パターンの前記厚み一方面が前記第1接着層から露出するように実施し、
前記第1の磁性粒子を含有する第2接着層によって前記導体パターンの前記厚み一方面を被覆することにより、前記第1接着層および前記第2接着層を備え、前記導体パターンを埋設する接着層を形成する第8工程
をさらに備えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載のモジュールの製造方法。 - 前記接着層における前記第1の磁性粒子の含有割合が、15容量%以上、80容量%以下であることを特徴とする、請求項6に記載のモジュールの製造方法。
- 前記第1の磁性粒子は、鉄および鉄合金から選択される少なくとも1種からなる粒子であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載のモジュールの製造方法。
- 第2の磁性粒子および第2の樹脂成分を含有する磁性層を、前記接着層の前記厚み方向一方および他方面に配置する第9工程
をさらに備えることを特徴とする、請求項6または7に記載のモジュールの製造方法。 - 前記磁性層における前記第2の磁性粒子の含有割合が、40容量%以上であることを特徴とする、請求項5または9に記載のモジュールの製造方法。
- 前記第2の磁性粒子は、鉄および鉄合金から選択される少なくとも1種からなる粒子であることを特徴とする、請求項5、9および10のいずれかに記載のモジュールの製造方法。
- 前記第2の樹脂成分が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂およびアクリル樹脂であることを特徴とする、請求項5および9〜11のいずれか一項に記載のモジュールの製造方法。
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