JP6965728B2 - X線分析装置、及び、x線検出器の交換時期判定方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るX線分析装置の構成例を示したブロック図である。このX線分析装置は、例えば波長分散型蛍光X線装置であり、試料SにX線を照射することにより発生する蛍光X線を分光結晶(図示せず)により分光して測定を行う。このX線分析装置は、例えばX線管球1、X線高圧回路2、検出器3、検出器高圧回路4、プリアンプ5、MCA(Multi Channel Analyzer)6、制御回路7、データ処理装置8及び記憶部9などを備えている。
図4は、本発明の第2実施形態に係るX線分析装置において検出器3の交換時期を判定する際のデータ処理装置8による処理の一例を示したフローチャートである。本実施形態では、定期的又は不定期に標準試料を測定することにより記憶部9に記憶された検出器高圧の履歴に基づいて、検出器3の交換時期が判定される。このとき、記憶部9は、制御回路7により調整された後の電圧値の履歴を記憶する履歴記憶部として機能する。
図5は、本発明の第3実施形態に係るX線分析装置において検出器3の交換時期を判定する際のデータ処理装置8による処理の一例を示したフローチャートである。本実施形態では、定期的又は不定期に標準試料を測定することにより、標準試料に基づく波高分布曲線のデータをデータ取得部81で取得しながら、そのデータに基づいて検出器3の交換時期がリアルタイムで判定される。このとき、検出器3には検出器高圧回路4により高圧が印加され(ステップS301)、取得される波高分布曲線のデータに含まれるピークの位置が確認される(ステップS302)。
図6は、本発明の第4実施形態に係るX線分析装置において検出器3の交換時期を判定する際のデータ処理装置8による処理の一例を示したフローチャートである。本実施形態では、定期的又は不定期に標準試料を測定することにより記憶部9に記憶された波高分布曲線のデータに含まれるピークの位置の履歴に基づいて、検出器3の交換時期が判定される。このとき、記憶部9は、波高分布曲線のデータに含まれるピークの位置の履歴を記憶する履歴記憶部として機能する。
図7は、本発明の第5実施形態に係るX線分析装置において検出器3の交換時期を判定する際のデータ処理装置8による処理の一例を示したフローチャートである。本実施形態では、定期的又は不定期に標準試料を測定することにより、標準試料に基づく波高分布曲線のデータをデータ取得部81で取得しながら、そのデータに基づいて検出器3の交換時期がリアルタイムで判定される。このとき、検出器3には検出器高圧回路4により高圧が印加され(ステップS501)、取得される波高分布曲線のデータに含まれるピークの一定区間LL〜ULにおける面積値(図2にハッチングを施した部分の面積値)が確認される(ステップS502)。
図8は、本発明の第6実施形態に係るX線分析装置において検出器3の交換時期を判定する際のデータ処理装置8による処理の一例を示したフローチャートである。本実施形態では、定期的又は不定期に標準試料を測定することにより記憶部9に記憶された波高分布曲線のデータに含まれるピークの一定区間LL〜ULにおける面積値(図2にハッチングを施した部分の面積値)の履歴に基づいて、検出器3の交換時期が判定される。このとき、記憶部9は、波高分布曲線のデータに含まれるピークの一定区間LL〜ULにおける面積値の履歴を記憶する履歴記憶部として機能する。
以上の実施形態では、検出器3からの検出信号に基づいて、試料に固有のピークを有する波高分布曲線のデータを取得するデータ取得ステップと、標準試料を測定することによりデータ取得ステップで取得した波高分布曲線のデータに含まれるピークに基づいて、検出器3の交換時期を判定する交換時期判定ステップと、標準試料を測定することによりデータ取得ステップが取得した波高分布曲線のデータに含まれるピークの位置が一定の基準位置となるように、検出器高圧回路4が検出器3に印加する電圧を調整する電圧調整ステップとが、それぞれX線分析装置において自動で行われるような構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、データ取得ステップ、交換時期判定ステップ及び電圧調整ステップの少なくとも1つが、ユーザにより手動で行われてもよい。
2 X線高圧回路
3 検出器
4 検出器高圧回路
5 プリアンプ
6 MCA
7 制御回路
8 データ処理装置
9 記憶部
81 データ取得部
82 交換時期判定部
Claims (6)
- 試料に向けてX線を照射するX線光源と、
試料に照射された後のX線を検出するX線検出器と、
前記X線検出器に電圧を印加する電圧印加部と、
前記X線検出器からの検出信号に基づいて、試料に固有のピークを有する波高分布曲線のデータを取得するデータ取得部と、
標準試料を測定することにより前記データ取得部が取得した波高分布曲線のデータに含まれるピークに基づいて、前記X線検出器の交換時期を判定する交換時期判定部とを備え、
前記交換時期判定部は、標準試料を測定することにより前記データ取得部が取得した波高分布曲線のデータに含まれるピークの一定区間内における面積値の変化に基づいて、前記X線検出器の交換時期を判定することを特徴とするX線分析装置。 - 前記交換時期判定部は、標準試料を測定することにより前記データ取得部が取得した波高分布曲線のデータに含まれるピークの一定区間内における面積値の変化量を閾値と比較することにより、前記X線検出器の交換時期を判定することを特徴とする請求項1に記載のX線分析装置。
- 標準試料を測定することにより前記データ取得部が取得した波高分布曲線のデータに含まれるピークの一定区間内における面積値の履歴を記憶する履歴記憶部をさらに備え、
前記交換時期判定部は、前記履歴記憶部に記憶されているピークの面積値の履歴に基づいて、前記X線検出器の交換時期を判定することを特徴とする請求項1に記載のX線分析装置。 - 試料に向けてX線を照射するX線光源と、試料に照射された後のX線を検出するX線検出器と、前記X線検出器に電圧を印加する電圧印加部とを備えるX線分析装置における前記X線検出器の交換時期を判定する方法であって、
前記X線検出器からの検出信号に基づいて、試料に固有のピークを有する波高分布曲線のデータを取得するデータ取得ステップと、
標準試料を測定することにより前記データ取得ステップで取得した波高分布曲線のデータに含まれるピークに基づいて、前記X線検出器の交換時期を判定する交換時期判定ステップとを含み、
前記交換時期判定ステップでは、標準試料を測定することにより前記データ取得ステップで取得した波高分布曲線のデータに含まれるピークの一定区間内における面積値の変化に基づいて、前記X線検出器の交換時期を判定することを特徴とするX線検出器の交換時期判定方法。 - 前記交換時期判定ステップでは、標準試料を測定することにより前記データ取得ステップで取得した波高分布曲線のデータに含まれるピークの一定区間内における面積値の変化量を閾値と比較することにより、前記X線検出器の交換時期を判定することを特徴とする請求項4に記載のX線検出器の交換時期判定方法。
- 標準試料を測定することにより前記データ取得ステップで取得した波高分布曲線のデータに含まれるピークの一定区間内における面積値の履歴を履歴記憶部に記憶する履歴記憶ステップをさらに含み、
前記交換時期判定ステップでは、前記履歴記憶部に記憶されているピークの面積値の履歴に基づいて、前記X線検出器の交換時期を判定することを特徴とする請求項4に記載のX線検出器の交換時期判定方法。
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