JP7415878B2 - X線検査装置及びx線検査装置の劣化判定方法 - Google Patents
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Description
図1は、X線検査装置1の構成図である。
X線検査装置1は、X線照射部10と、表示部60と、操作部70と、通信部80と、制御装置100とを備える。また、X線照射部10は、X線発生部20、X線検出部30、ステージ40及び移動機構50を備える。X線照射部10は、X線遮蔽部材より構成されるケーシングの内部に配設される。
ここで、図2を参照しながらX線発生部20の構成について説明する。
X線発生部20は、筐体203と蓋体205とから構成されるチャンバー201内に、X線管210と高圧電源220とを収納した構成である。チャンバー201内には、絶縁油が充填されている。また、チャンバー201内には、絶縁油のチャンバー201外への漏れを防止するゴム部材250が設けられている。ゴム部材250は、ゴムベローズであり、絶縁油に接している。ゴム部材250は、熱膨張による絶縁油の体積変化を吸収し、チャンバー201内での絶縁油の圧力調整を行う。
陰極部215は、端子235、配線体237及び端子239を介して高圧電源220に接続される。
高圧電源220は、陽極部213及び陰極部215のそれぞれに所定の電圧を供給し、陽極部213と陰極部215との間に電位差(以下、管電圧という)を生じさせる。また、高圧電源220は、陰極部215にフィラメント電流を供給する。陽極部213と陰極部215との間に所定の電位差が生じている状態で、陰極部215にフィラメント電流が供給されると、陰極部215が加熱され、陰極部215から熱電子が放出される。陰極部215から放出された熱電子が陽極部213に衝突することでX線が生じる。生じたX線は、不図示のX線照射窓を介してX線管210の外部に射出される。
表示部60は、表示パネル65を備える。表示部60は、制御装置100から入力される表示データに基づく画像を表示パネル65に表示する。この表示データに基づく画像には、X線検出部30により検出されたX線画像が含まれる。
操作部70は、複数の操作ボタンを備える。操作部70は、操作を受け付けた操作ボタンに対応した操作信号を制御装置100に出力する。
通信部80は、有線又は無線によりインターネット等のネットワークNに接続される。通信部80は、ネットワークNに接続されたサーバ装置300と相互にデータ通信を行う。
X線照射制御部134は、例えば、ステージ40上にワークWが載置され、操作部70により検査開始の指示を受け付けた場合に、高圧電源220に第1制御信号を出力する。また、X線照射制御部134は、ワークWへのX線の照射が完了すると、高圧電源220に第2制御信号を出力して、X線の照射を終了させる。
本実施形態の判定部135は、第1制御信号を検出後、第2制御信号が検出された場合に、第1カウント値111及び第2カウント値113を1加算する。メモリ110には、判定部135がカウントした第1カウント値111及び第2カウント値113が記憶される。
判定部135は、第1カウント値が予め設定された第1しきい値以上になった場合、ゴム部材250を劣化状態と判定し、通信制御部136に、サーバ装置300への通知動作を実行させる。また、判定部135は、ゴム部材250が交換され、操作部70により所定の操作を受け付けると、第1カウント値111をリセットする。
図3は、制御装置100の動作を示すフローチャートである。
図3を参照しながら制御装置100の動作について説明する。
まず、制御装置100は、第1制御信号を高圧電源220に出力したか否かを判定する(ステップS1)。制御装置100は、第1制御信号を高圧電源220に出力していない場合(ステップS1/NO)、ステップS1の判定に戻る。
上述した本実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
第1態様に係るX線検査装置は、X線を発生するX線管と、前記X線管に管電圧を供給してX線を発生させる高圧電源と、前記高圧電源に管電圧の供給を開始させる第1制御信号と、前記高圧電源に管電圧の供給を停止させる第2制御信号とを出力して前記高圧電源を制御するX線照射制御部と、前記X線照射制御部から前記高圧電源に出力される前記第1制御信号及び前記第2制御信号の少なくとも一方をカウントし、カウントしたカウント値と、予め設定されたしきい値とを比較して、前記X線管を構成する構成部品の劣化状態を判定する判定部と、を備える。
第1項に記載のX線検査装置において、前記判定部は、前記X線照射制御部から前記高圧電源に出力される前記第1制御信号及び前記第2制御信号の少なくとも一方をカウントし、カウントしたカウント値が、前記しきい値に含まれる第1しきい値以上である場合に、前記X線管の管内に充填された絶縁油の熱膨張による増加分を吸収するゴム部材を劣化状態と判定する。
第1項に記載のX線検査装置において、前記判定部は、前記X線照射制御部から前記高圧電源に出力される前記第1制御信号及び前記第2制御信号の少なくとも一方をカウントし、カウントしたカウント値が、前記しきい値に含まれる第2しきい値以上である場合に、前記X線管に含まれるフィラメントを劣化状態と判定する。
第1項に記載のX線検査装置において、前記判定部は、前記X線照射制御部から前記高圧電源に出力される前記第1制御信号及び前記第2制御信号の少なくとも一方をカウントし、カウントしたカウント値が、前記しきい値に含まれる第1しきい値以上である場合に、前記X線管の管内に充填された絶縁油の熱膨張による増加分を吸収するゴム部材を劣化状態と判定し、前記第1制御信号及び前記第2制御信号の少なくとも一方をカウントし、カウントしたカウント値が、前記しきい値に含まれ、前記第1しきい値とは異なる第2しきい値以上である場合に、前記X線管に含まれるフィラメントを劣化状態と判定する。
第1項から第4項のいずれか一項に記載のX線検査装置において、通信部と、前記通信部を制御してネットワーク接続されたサーバ装置と通信を行う通信制御部と、を備え、前記通信制御部は、前記判定部が劣化状態を判定した場合に、前記サーバ装置に、劣化状態と判定された構成部品を通知する。
第1態様に係るX線検査装置の劣化判定方法は、X線を発生するX線管と、前記X線管に管電圧を供給してX線を発生させる高圧電源と、を備えるX線検査装置の劣化判定方法であって、前記高圧電源に管電圧の供給を開始させる第1制御信号と、前記高圧電源に管電圧の供給を停止させる第2制御信号との少なくとも一方をカウントするステップと、カウントしたカウント値と、予め設定されたしきい値とを比較して、前記X線管を構成する構成部品の劣化状態を判定するステップと、を有する。
なお、本実施形態に係るX線検査装置1は、あくまでも本発明に係るX線検査装置の態様の例示であり、本発明の主旨を逸脱しない範囲において任意に変形および応用が可能である。
例えば、本実施形態では、X線検査装置1の制御装置100が、画像処理部131、表示制御部132、移動制御部133、X線照射制御部134、判定部135及び通信制御部136を備えるが、本発明の実施形態は、これに限定されない。例えば、制御装置100を、X線検査装置1とは別体で構成してもよい。また、X線検査装置1の制御装置100が一部の機能を実行し、X線検査装置1とは別体で設けた制御装置に、X線検査装置1の制御装置100が実行する機能以外の機能を実行させてもよい。例えば、X線検査装置1とは別体で設けた制御装置に、判定部135及び通信制御部136の機能を実行させてもよい。
10 X線照射部
20 X線発生部
30 X線検出部
40 ステージ
50 移動機構
70 操作部
80 通信部
100 制御装置
110 メモリ
111 第1カウント値
113 第2カウント値
115 識別情報
130 プロセッサ
131 画像処理部
133 移動制御部
134 X線照射制御部
135 判定部
136 通信制御部
201 チャンバー
203 筐体
205 蓋体
210 X線管
211 ガラス管体
213 陽極部
215 陰極部
220 高圧電源
231 端子
233 配線
235 端子
237 配線体
239 端子
250 ゴム部材
300 サーバ装置
F フィラメント
Claims (6)
- X線を発生するX線管と、
前記X線管に管電圧を供給してX線を発生させる高圧電源と、
前記高圧電源に管電圧の供給を開始させる第1制御信号と、前記高圧電源に管電圧の供給を停止させる第2制御信号とを出力して前記高圧電源を制御するX線照射制御部と、
前記X線照射制御部から前記高圧電源に出力される前記第1制御信号及び前記第2制御信号の少なくとも一方をカウントし、カウントしたカウント値と、予め設定されたしきい値とを比較して、前記X線管を構成する構成部品の劣化状態を判定する判定部と、を備える、X線検査装置。 - 前記判定部は、前記X線照射制御部から前記高圧電源に出力される前記第1制御信号及び前記第2制御信号の少なくとも一方をカウントし、カウントしたカウント値が、前記しきい値に含まれる第1しきい値以上である場合に、前記X線管の管内に充填された絶縁油の熱膨張による増加分を吸収するゴム部材を劣化状態と判定する、請求項1記載のX線検査装置。
- 前記判定部は、前記X線照射制御部から前記高圧電源に出力される前記第1制御信号及び前記第2制御信号の少なくとも一方をカウントし、カウントしたカウント値が、前記しきい値に含まれる第2しきい値以上である場合に、前記X線管に含まれるフィラメントを劣化状態と判定する、請求項1記載のX線検査装置。
- 前記判定部は、前記X線照射制御部から前記高圧電源に出力される前記第1制御信号及び前記第2制御信号の少なくとも一方をカウントし、カウントしたカウント値が、前記しきい値に含まれる第1しきい値以上である場合に、前記X線管の管内に充填された絶縁油の熱膨張による増加分を吸収するゴム部材を劣化状態と判定し、
前記第1制御信号及び前記第2制御信号の少なくとも一方をカウントし、カウントしたカウント値が、前記しきい値に含まれ、前記第1しきい値とは異なる第2しきい値以上である場合に、前記X線管に含まれるフィラメントを劣化状態と判定する、請求項1記載のX線検査装置。 - 通信部と、
前記通信部を制御してネットワーク接続されたサーバ装置と通信を行う通信制御部と、を備え、
前記通信制御部は、前記判定部が劣化状態を判定した場合に、前記サーバ装置に、劣化状態と判定された構成部品を通知する、請求項2から4のいずれか一項に記載のX線検査装置。 - X線を発生するX線管と、前記X線管に管電圧を供給してX線を発生させる高圧電源と、を備えるX線検査装置の劣化判定方法であって、
前記高圧電源に管電圧の供給を開始させる第1制御信号と、前記高圧電源に管電圧の供給を停止させる第2制御信号との少なくとも一方をカウントするステップと、
カウントしたカウント値と、予め設定されたしきい値とを比較して、前記X線管を構成する構成部品の劣化状態を判定するステップと、を有する、X線検査装置の劣化判定方法。
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