JP6955537B2 - 多結晶仕上げを有する半導体ウエハを処理する方法 - Google Patents
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Description
本願は、米国仮特許出願(第62/168247号、2015年5月29日出願)の優先権を主張しており、この開示は参照により全体としてここに組み込まれる。
Claims (14)
- シリコン層を有する半導体ウエハを研磨する方法であって、
シリコン層の外側表面を研磨パッドと接触させる前に、半導体ウエハを検査して、初期ウエハプロファイルを判断するステップと、
半導体ウエハを研磨装置に位置決めするステップであって、研磨装置は、パッド表面を有する研磨パッドを含み、パッド表面は、中心エリアおよびエッジエリアを定義する、ステップと、
シリコン層の外側表面をパッド表面と接触させるステップと、
スラリーをシリコン層の外側表面に塗布するステップと、
パッド表面がシリコン層の外側表面に接触しつつ、該パッドを回転させるステップであって、その結果、シリコン層の一部が除去され、シリコン層の滑らかな表面を提供し、厚さが、シリコンウエハの内側表面と滑らかな表面との間に定義され、厚さは、シリコン層全体に渡って実質的に均等である、ステップと、
シリコン層の一部の除去後、半導体ウエハを検査して、研磨後ウエハプロファイルを判断するステップと、
初期ウエハプロファイルを研磨後ウエハプロファイルと比較して、プロファイル間の変動を判断し、初期ウエハプロファイルと研磨後ウエハプロファイルとの間の変動に基づいて、パッド表面の中心エリアおよびエッジエリアの一方がドレッシングされる 、その結果、ドレッシングされたパッド表面は、初期ウエハプロファイルと研磨後ウエハプロファイルとの間の変動が減少するように他の半導体ウエハを研磨する、ステップとを含む、方法。 - 半導体ウエハの初期ウエハプロファイルに基づいて、パッド表面の中心エリアおよびエッジエリアの少なくとも一方をドレッシングするステップをさらに含む請求項1記載の方法。
- 中心エリアおよびエッジエリアの一方が、初期ウエハプロファイルに基づいてドレッシングされ、ドレッシングされたパッド表面は、初期ウエハプロファイルに一致するように半導体ウエハを研磨する請求項2記載の方法。
- エッジエリアは、ドレッシングされ、
パッド表面は、円形形状を有し、
エッジエリアは、研磨パッドの外側エッジから2.5cmと5cmの間で内向きに放射状に延びている、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。 - 中心エリアは、ドレッシングされ、
パッド表面は、円形形状を有し、
中心エリアは、研磨パッドの外側エッジから15cmと20cmの間に内向きに放射状に間隔を空けている、請求項1〜4のいずれかに記載の方法。 - シリコン層は、多結晶シリコン層であり、
該層は、研磨後に減少した粗さを有し、
多結晶粒子境界は、研磨によって減少している、請求項1〜5のいずれかに記載の方法。 - スラリーは、研磨粒子および塩基を含む、請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 中心エリアおよびエッジエリアを定義するパッド表面を含む研磨パッドをドレッシングする方法であって、
シリコン層の外側表面を研磨パッドと接触させる前に、シリコン層を含む半導体ウエハを検査して、初期ウエハプロファイルを判断するステップと、
パッド表面を用いてシリコン層の外側表面を研磨するステップと、
シリコン層の一部の除去後、半導体ウエハを検査して、研磨後ウエハプロファイルを判断するステップと、
初期ウエハプロファイルを研磨後ウエハプロファイルと比較して、プロファイル間の変動を判断するステップと、
初期ウエハプロファイルと研磨後ウエハプロファイルとの間の変動に基づいて、パッド表面の中心エリアおよびエッジエリアの少なくとも一方をドレッシング部材と接触させる 、その結果、ドレッシングされたパッド表面は、初期ウエハプロファイルと研磨後ウエハプロファイルとの間の変動が減少するように他の半導体ウエハを研磨する、ステップとを含む、方法。 - 半導体ウエハの初期ウエハプロファイルに基づいて、パッド表面の中心エリアおよびエッジエリアの少なくとも一方をドレッシング部材と接触させるステップをさらに含む請求項8記載の方法。
- 中心エリアおよびエッジエリアの一方が、初期ウエハプロファイルに基づいてドレッシング部材と接触し、ドレッシングされたパッド表面は、初期ウエハプロファイルに一致するように半導体ウエハを研磨する請求項9記載の方法。
- エッジエリアは、ドレッシング部材と接触し、
パッド表面は、円形形状を有し、
エッジエリアは、研磨パッドの外側エッジから2.5cmと5cmの間で内向きに放射状に延びている、請求項8〜10のいずれかに記載の方法。 - 中心エリアは、ドレッシング部材と接触し、
パッド表面は、円形形状を有し、
中心エリアは、研磨パッドの外側エッジから15cmと20cmの間に内向きに放射状に間隔を空けている、請求項8〜11のいずれかに記載の方法。 - ドレッシング部材は、ダイヤモンド含浸ドレッシング部材である、請求項8〜12のいずれかに記載の方法。
- ドレッシング部材は、30mmと10mmの間の直径を有するドレッシング表面を含む、請求項8〜13のいずれかに記載の方法。
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