JP6940939B2 - パターン形成方法及び凹凸構造体の製造方法 - Google Patents
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Description
第1面11及びそれに対向する第2面12を有する基材10を準備し、当該基材10の第1面11上に樹脂製凹凸パターン31を形成する(図1のS01,図2(A)〜(C)参照)。
インプリント工程(図1のS01,図2(A),(B))により形成された樹脂製の凹凸パターン31の凹部31bの底部には、所定の厚さ(1〜20nm程度、好ましくは5〜10nm程度)の残膜部31cが存在する(図2(C)参照)。この残膜部31cを有する樹脂製凹凸パターン31を後述するガス暴露工程(図1のS03〜S06,図3(A),(B)参照)に付すと、樹脂製凹凸パターン31が変形してしまう。そこで、本実施形態においては、ガス暴露工程(図1のS03〜S06,図3(A),(B)参照)を実施するよりも前に、残膜部31cを除去する(図2(D)参照)。これにより、基材10上に、残膜部31cが除去された凹凸パターン32が形成される。
次に、凹凸パターン32を有する基材10を所定のガスに曝す(図1のS03〜S06)。具体的には、まず、ルイス酸性を示す無機化合物を含有し、キャリアガスとして窒素(N2)等の不活性ガスを含有する第1ガスに凹凸パターン32を所定の条件で曝す(第1ガス暴露工程,図1のS03)。凹凸パターン32を第1ガスに曝すことで、凹凸パターン32内部において、凹凸パターン32を構成する樹脂材料の化学構造中の反応性官能基と無機化合物とを化学反応させることができる。なお、第1ガス暴露工程(図1のS03)における「所定の条件」は、凹凸パターン32の寸法、凹凸パターン32を構成する樹脂材料の種類、第1ガスに含有される無機化合物の種類、エッチング耐性が向上した凹凸パターン33をマスクとしてエッチングするハードマスク層20や基材10を構成する材料の種類等、様々な条件を考慮して条件出しを行い、適宜設定され得る。
反応性官能基としてのカルボニル基を有する電子線レジスト(ZEP520A,日本ゼオン社製)をシリコンウェハの一方面(第1面)上にスピンコートで塗布し、膜厚70nmのレジスト膜を形成した。ALD装置(ウルトラテック社製,製品名:SavannahS200)のチャンバに当該シリコンウェハをセットしてガス暴露工程(図1、S03〜S06)を実施した。
キャリアガス:窒素(N2)
処理圧力条件:466.6Pa(3.5Torr)
処理時間:1200秒
ガス流量:3.38×10-3Pa・m3/sec(20sccm)
チャンバ内温度:85℃
処理圧力条件:933.2Pa(7.0Torr)
処理時間:500秒
ガス流量:3.38×10-3Pa・m3/sec(20sccm)
チャンバ内温度:85℃
一連のガス暴露工程を5サイクル実施した以外は、実施例1と同様にしてシリコンウェハの第1面上のレジスト膜厚(エッチング前及びエッチング後)を測定した。レジスト膜厚測定結果を図5にあわせて示す。
一連のガス暴露工程を10サイクル実施した以外は、実施例1と同様にしてシリコンウェハの第1面上のレジスト膜厚(エッチング前及びエッチング後)を測定した。レジスト膜厚測定結果を図5にあわせて示す。
一連のガス暴露工程を1サイクル実施した以外は、実施例1と同様にしてシリコンウェハの第1面上のレジスト膜厚(エッチング前及びエッチング後)を測定した。レジスト膜厚測定結果を図5にあわせて示す。
第1ガスを供給する処理時間を100秒とした以外は、実施例2と同様にしてシリコンウェハの第1面上のレジスト膜厚(エッチング前及びエッチング後)を測定した。レジスト膜厚測定結果を図5にあわせて示す。
第1ガスを供給する処理時間を100秒とした以外は、実施例3と同様にしてシリコンウェハの第1面上のレジスト膜厚(エッチング前及びエッチング後)を測定した。レジスト膜厚測定結果を図5にあわせて示す。
第1ガスを供給する処理時間を100秒とした以外は、比較例1と同様にしてシリコンウェハの第1面上のレジスト膜厚(エッチング前及びエッチング後)を測定した。レジスト膜厚測定結果を図5にあわせて示す。
第1ガスを供給する処理時間を100秒とした以外は、実施例1と同様にしてシリコンウェハの第1面上のレジスト膜厚(エッチング前及びエッチング後)を測定した。レジスト膜厚測定結果を図5にあわせて示す。
一連のガス暴露工程後のシリコンウェハ(実施例2)の第1面側からの深さ方向における組成を、飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF−SIMS装置,ionTOF社製,製品名:TOF−SIMS5)を用いて分析した。結果を図6に示す。
反応性官能基としてのアクリロイル基を有する、下記組成の紫外線硬化型樹脂組成物を石英ガラス基板10(152mm×152mm)の第1面11側のハードマスク層20上にインクジェットで塗布した。凹凸パターン41(ラインアンドスペース状、寸法:60nm)を有するインプリントモールド40を準備し、当該インプリントモールド40を用いて凹凸パターン41をハードマスク層20上の紫外線硬化型樹脂組成物の液滴に接触させることで、当該紫外線硬化型樹脂組成物をハードマスク層20上に展開させ、インプリント樹脂膜30を形成した。その状態で紫外線を照射してインプリント樹脂膜30を硬化させ、インプリントモールド40を引き離すことによりハードマスク層20上に樹脂製凹凸パターン31を形成した。
・イソボルニルアクリレート 38質量%
・エチレングリコールジアクリレート 20質量%
・ブチルアクリレート 38質量%
・2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン 2質量%
・2−ペルフルオロデシルエチルアクリレート 1質量%
・メチルペルフルオロオクタノレート 1質量%
キャリアガス:窒素(N2)
処理圧力条件:466.6Pa(3.5Torr)
処理時間:1200秒
ガス流量:3.38×10-3Pa・m3/sec(20sccm)
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処理圧力条件:933.2Pa(7.0Torr)
処理時間:500秒
ガス流量:3.38×10-3Pa・m3/sec(20sccm)
チャンバ内温度:85℃
樹脂製凹凸パターン31の残膜部31cを除去することなく、合成石英基板をガス暴露工程に付した以外は、実施例1と同様にしてガス暴露工程後の凹凸パターンを観察した。当該凹凸パターンのSEM画像を図8に示す。
比較例4の凹凸パターンが軟化するようにして変形したことから、ガス暴露工程(図1,S03〜S06)における加熱が凹凸パターンの変形の要因であるか否かを確かめるために、以下のようにして耐熱試験を行った。
10…基材
11…第1面
12…第2面
20…ハードマスク層
21…ハードマスクパターン
31…樹脂製凹凸パターン(樹脂パターン)
31a…凸部
31b…凹部
31c…残膜部
32…凹凸パターン
40…インプリントモールド
41…凹凸パターン
Claims (10)
- 第1面及びそれに対向する第2面を有する基材と、凹凸パターンが形成されてなるパターン形成面を有するインプリントモールドとを準備し、前記基材の第1面と前記インプリントモールドの凹凸パターン形成面との間に活性エネルギー線硬化型樹脂を介在させてインプリント処理を行い、複数の凸部、複数の凹部及び前記凹部の底部に位置する残膜部を有する樹脂パターンを前記基材の前記第1面上に形成するパターン形成工程と、
前記樹脂パターンの前記残膜部を除去する残膜部除去工程と、
ルイス酸性を示す無機化合物を含有する第1ガスに前記残膜部が除去された前記樹脂パターンを所定の条件で曝すことで、前記無機化合物と前記樹脂パターンを構成する前記活性エネルギー線硬化型樹脂とを前記樹脂パターン内部にて化学反応させる第1ガス暴露工程と、
前記第1ガス暴露工程後、酸化剤を含有する第2ガスに前記樹脂パターンを曝す第2ガス暴露工程と
を有することを特徴とするパターン形成方法。 - 前記第1ガス暴露工程及び前記第2ガス暴露工程を含むガス暴露工程を複数回繰り返し行うことを特徴とする請求項1に記載のパターン形成方法。
- 前記第1ガス暴露工程において前記第1ガスに前記樹脂パターンを曝す時間が、前記第2ガス暴露工程において前記第2ガスに前記樹脂パターンを曝す時間よりも長いことを特徴とする請求項2に記載のパターン形成方法。
- 前記第1ガス暴露工程において前記第1ガスに前記樹脂パターンを曝す時間が、前記第2ガス暴露工程において前記第2ガスに前記樹脂パターンを曝す時間よりも短く、
前記ガス暴露工程を5回以上繰り返し行うことを特徴とする請求項2に記載のパターン形成方法。 - 前記残膜部の厚さが1〜20nmであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記樹脂パターンの寸法が、ハーフピッチで5nm以上30nm未満であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記樹脂パターンのアスペクト比が、0.5〜2.5であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記基材が、石英ガラス基板又はシリコン基板であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のパターン形成方法。
- 請求項1〜8のいずれかに記載のパターン形成方法により、前記基材の前記第1面上にパターンを形成し、
前記パターンをマスクとして、前記基材の前記第1面側をエッチングすることを特徴とする凹凸構造体の製造方法。 - 前記第1面上にハードマスク層が形成されてなる前記基材における前記ハードマスク層上に、請求項1〜8のいずれかに記載のパターン形成方法によりパターンを形成し、
前記パターンをマスクとして前記ハードマスク層をエッチングすることで、ハードマスクパターンを形成し、
前記ハードマスクパターンをマスクとして、前記基材の前記第1面側をエッチングすることを特徴とする凹凸構造体の製造方法。
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