JP4865356B2 - パターン形成方法 - Google Patents
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Description
A−B
で表される。本実施例でのギャップ平坦度は、32nmである。
H1<(H1/H3)×(R1’/R2’)×H2
を満たすことが条件となる。
まず、図3(a)で示す基板10を準備し、基板10上に下地層11と中間層12をこの順で形成する(図3(b),ステップ51)。下地層11の材料としては、本実施例では、通常のフォトリソグラフィで用いられるKrF用のBARK材料を用いる。また、中間層12の材料としては、SOG(Spin On Glass)やHSQ(Hydrogen Silsequioxane)等のSi含有材料を用いる。
C−D
で表される。本実施例でのギャップ平坦度は、32nmである。
2,11 下地層
3,12 中間層
4,13 UV硬化樹脂
5,14 テンプレート
6,15 UV光
4′,13′ インプリント層
9,19 エッチングバリア
16 反転層
Claims (10)
- 基板上にパターンを形成する方法であって、
前記基板上に、第1および第2の層をこの順で形成し、該第2の層上に液体状の樹脂を塗布する第1ステップと、
前記パターンに対応するモールドを前記樹脂に接触させ、該樹脂を硬化させる第2ステップと、
硬化した前記樹脂、前記第1および第2の層をエッチングして、前記パターンを形成する第3ステップとを有し、
前記第3ステップにおいて、
前記パターンに対応する部分の前記第2の層上に前記樹脂が残存し、かつ他の部分の前記第1の層が露出した状態となるまで第1のエッチングを行い、
前記残存した樹脂と前記露出した第1の層に対して第2のエッチングを行うことを特徴とするパターン形成方法。 - 前記第1および第2のエッチングにおいて、前記第2の層のエッチングレートが前記樹脂および前記第1の層のエッチングレートよりも低く、
かつ前記第2のエッチングにおける前記第2の層の前記樹脂および前記第1の層に対するエッチングレート比が、前記第1のエッチングにおける該エッチングレート比よりも低いことを特徴とする請求項1に記載のパターン形成方法。 - 前記第1および第2のエッチングにおける前記樹脂のエッチングレートが、前記第1の層のエッチングレートよりも高いことを特徴とする請求項2に記載のパターン形成方法。
- 以下の条件を満足することを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
H1<(H1/H3)×(R1’/R2’)×H2
但し、H1は前記モールドに形成されたモールドパターンの高さ、H2は前記第1の層の厚さ、R1’は前記第2のエッチングにおける前記樹脂のエッチングレート、R2’は前記第2のエッチングにおける前記第1の層のエッチングレート、H3は前記モールドパターンによって前記樹脂に形成された樹脂パターンの高さである。 - 基板上にパターンを形成する方法であって、
前記基板上に、第1および第2の層をこの順で形成し、該第2の層上に液体状の樹脂を塗布する第1ステップと、
前記パターンに対応するモールドを前記樹脂に接触させ、該樹脂を硬化させる第2ステップと、
硬化した前記樹脂上に第3の層を形成し、該第3の層をエッチバックする第3ステップと、
前記樹脂および前記第1から第3の層をエッチングして、前記基板上に前記パターンを形成する第4ステップとを有し、
前記第4ステップにおいて、
前記パターンに対応する部分の前記樹脂上に前記第3の層が残存し、かつ他の部分に前記第2の層が露出した状態となるまで第1のエッチングを行い、
前記パターンに対応する部分の前記第2の層上に前記樹脂が残存し、かつ他の部分の前記第1の層が露出した状態となるまで第2のエッチングを行い、
前記残存した樹脂と前記露出した第1の層に対する第3のエッチングを行うことを特徴とするパターン形成方法。 - 前記第1のエッチングにおいて、前記第2の層および前記第3の層のエッチングレートが前記樹脂のエッチングレートより低く、
前記第2のエッチングにおいて、前記第1の層のエッチングレートが前記樹脂のエッチングレートより低く、
前記第3のエッチングにおいて、前記第2の層のエッチングレートが前記樹脂および前記第1の層のエッチングレートより低く、
かつ前記第3のエッチングにおける前記第2の層の前記樹脂および前記第1の層に対するエッチングレート比が、前記第2のエッチングにおける該エッチングレート比よりも低いことを特徴とする請求項5に記載のパターン形成方法。 - 前記第2および第3のエッチングにおける前記樹脂のエッチングレートが前記第1の層のエッチングレートよりも高いことを特徴とする請求項6に記載のパターン形成方法。
- 請求項1から7のいずれか1つに記載のパターン形成方法を使用してパターンを有する基板を製造することを特徴とする基板製造システム。
- 請求項1から7のいずれか1つに記載のパターン形成方法を使用して、パターンを有する基板を製造することを特徴とする基板製造方法。
- 請求項1から7のいずれか1つに記載のパターン形成方法を使用して、基板上にパターンを形成するステップと、
該基板をエッチングするステップと、
該エッチングされた基板を用いてデバイスを製造するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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