JP4802799B2 - インプリント法、レジストパターン及びその製造方法 - Google Patents
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Appl. Phys. Lett.,vol.67, p.3314(1995) ナノインプリント技術徹底解説 Electric Journa1 2004年11月22日発行 P20-38 J. Photopolym. Sci. Techno., Vol. 14(2001)pp. 457-462
一方、図1(b)に示すように、基板11上にインプリント用のレジストとして非晶質カーボン膜12を成膜する。このように、レジストとして非晶質カーボン膜12を用いることで、従来の高分子材料では達成できなかった、100 nm以下の膜厚への薄膜化が可能となる。その結果、特にナノオーダーヘのリソグラフィーヘの適応が容易となる。
本発明においては、インプリントの方法やモールド材料は限定されないが、本実施例では、熱インプリント用のシリコンモールドを製造した。本実施例に係るモールドの製造方法を図2(a)〜(e)に示す。
Claims (11)
- 所定のパターンの凹凸面を有するモールドと、表面にレジスト膜が形成された基板とを、前記凹凸面とレジスト膜とが対向するように重ね合わせ、前記モールドの凹凸面の凹凸形状を前記レジスト膜に転写するインプリント方法において、前記レジスト膜は、非晶質カーボン膜であることを特徴とするインプリント法。
- 前記非晶質カーボン膜が水素化非晶質カーボン膜であることを特徴とする請求項1に記載のインプリント法。
- 前記非晶質カーボン膜は、炭化水素ガスを原料とするプラズマ化学気相成長法により成膜されたことを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント法。
- 前記非晶質カーボン膜の表面が、フッ素原子で終端されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のインプリント法。
- 前記非晶質カーボン膜の表面が、フッ素プラズマ処理されることによりフッ素原子で終端されていることを特徴とする請求項4に記載のインプリント法。
- 前記フッ素プラズマ処理は、CF4、C2F6、C3F8、C4F8、CHF3、CH2F2、CH3F、F2、BF3、NF3、ClF3、PF3、SF6、及びSiF4からなる群から選択された少なくとも1種を含むガスを用いて行われることを特徴とする請求項5に記載のインプリント法。
- 前記プラズマ処理は、誘導結合(ICP)型、容量結合(CCP)型、表面波(SWP.)型、電子サイクロトロン共鳴(ECR)型、及びヘリコン波(HWP)型からなる群から選ばれたプラズマ発生方式のプラズマ処理により行われることを特徴とする請求項5又は6に記載のインプリント法。
- 前記モールドと基板を重ね合わせる前に前記レジスト膜を加熱し、重ね合わせた後に、前記モールドを基板に押圧し、前記レジスト膜を冷却し、前記モールドを基板から剥離することを特徴とする請求項1〜7に記載のインプリント法。
- 前記モールドを基板から剥離した後、前記基板の凹凸面を酸素プラズマにより処理することを特徴とする請求項8に記載のインプリント法。
- 所定のパターンの凹凸面を有するモールドと、表面にレジスト膜が形成された基板とを、前記凹凸面とレジスト膜とが対向するように重ね合わせ、前記モールドの凹凸面の凹凸形状を前記レジスト膜に転写するインプリント法によりレジストパターンを製造する方法において、前記レジスト膜は、非晶質カーボン膜であることを特徴とするレジストパターンの製造方法。
- 基板上に形成された非晶質カーボンからなるレジストパターンにおいて、所定のパターンの凹凸面を有するモールドと、表面にレジスト膜が形成された基板とを、前記凹凸面とレジスト膜とが対向するように重ね合わせ、前記モールドの凹凸面の凹凸形状を前記レジスト膜に転写するインプリント方法により形成され、前記非晶質カーボン膜の表面が、フッ素原子で終端されていることを特徴とするレジストパターン。
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