JP2008119870A - インプリントモールド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のインプリントモールドは、基板に、大開口凹パターンが設けられ、前記大開口凹パターンの底面に微細な凹凸パターンが設けられていることを特徴とする。これにより、本発明のインプリントモールドを用いたパターン形成を行うとき、基板とモールドを圧着させる工程において、微細なパターン部分と基板が物理的に接触することを防ぐことが出来る。このため、接触したインプリントモールドのパターン部が荷重の集中により破壊されることを防ぐことが出来る。
【選択図】 図4
Description
また、光の回折現象によるパターンボケや複雑な機構を必要とする装置コストの問題は、半導体デバイスの製造のみならず、ディスプレイや記録メディア、バイオチップ、光デバイスなど様々なパターン形成においてもフォトリソグラフィ法を用いるため同様であり、マスクパターンを忠実に転写することは出来ない。
近年、インプリント法と呼ばれる微細パターンの転写技術が提案されている(非特許文献1参照)。代表的なインプリント法として、主に熱インプリントおよび光インプリントがある。
以下、熱インプリント法の一例について図1を用いながら説明を行う。
まず、凹凸を有する金属等のモールド110を形成する(図1(a))。
次に、パターンを形成しようとする基板111上に、PMMAなどの樹脂材料を塗布し樹脂層112を形成する(図1(b))。
次に、樹脂層112を形成した基板111を約120〜200℃程度に加熱し、樹脂層112を軟化させる。
次に、基板111の樹脂層の塗布面側にモールドの凹凸面側が対向するようにモールド110と基板111とを重ね合わせ、およそ3〜20MPa程度の圧力で接触させる(図1(c))。
次に、モールド110を基板111に接触した状態で温度を約100℃以下まで降温して樹脂層112を硬化させ、モールドを剥離する。
以上より、基板111上の樹脂層112には、モールド110の凹凸パターンに対応するパターンが形成される(図1(d))。
また、基板111上には、モールド110の凸部に相当する部分が薄い残膜として残るため、O2RIE法(酸素ガスによる反応性イオンエッチング)により、これを除去してもよい(図1(e))。
しかしながら、熱インプリント法の原理的課題は、昇温・冷却過程の熱サイクルを伴うために処理時間が長いこと、また、高いプレス圧力を要することがあげられる。
上述の熱インプリント法の課題を克服するために光インプリント法が提案されている(特許文献1参照)。
以下、光インプリント法の一例について図2を用いながら説明を行う。
まず、図2(a)に示すように、石英などの透光性を有する材料からなる基板を電子ビームリソグラフィ法などとエッチングにより表面に凹凸の形状を有するモールド120を作製する。
次に、図2(b)に示すように、基板上に粘度の低い液体状の光硬化性樹脂(樹脂122)を塗布し、図2(c)に示すように、モールド120を光硬化性樹脂(樹脂122)に接触させる。このときのプレス圧力は0.01〜5MPa程度と小さくて良い。
次に、モールド120と基板を圧着させた状態で、モールド120の裏面から光を照射し、光硬化性樹脂(樹脂122)を硬化させ、モールド120を剥離する。
次に、図2(d)に示すように、モールド120のパターンが転写された光硬化性樹脂(樹脂122)の薄い残膜をO2RIE法などにより除去する。
以上より、図2(e)に示すように、樹脂パターンが得られる。
なお、ここで凹凸パターンとは、矩形状の溝パターンに限らず、任意の形状の段差を有するパターンであるものとする。
これにより、本発明のインプリントモールドを用いたパターン形成を行うとき、基板とモールドを圧着させる工程において、微細なパターン部分と基板が物理的に接触することを防ぐことが出来る。このため、接触したインプリントモールドのパターン部が荷重の集中により破壊されることを防ぐことが出来る。よって、インプリント法において、これまで欠点であったインプリントモールドのパターン破壊およびそれによるパターン欠陥や異物の発生を防止することが出来る。また、これによってインプリントモールドの長寿命化が可能となるため、大幅なコストダウンが可能となる。
本発明のインプリントモールドは、
基板に、大開口凹パターンが設けられ、
前記大開口凹パターンの底面に微細な凹凸パターンが設けられていること
を特徴とするインプリントモールド
である。
このとき、140はモールドであり、141は基板上に設けた大開口凹パターンであり、142は基板上に設けた微細な凹凸パターンである。また、微細な凹凸パターン142は、大開口凹パターン141の領域内に形成されている。
また、パターン高さや広さは転写するパターンに応じて適宜設計可能であり、特に限定されるものではない。
なお、本発明のインプリントモールド、インプリントモールドの製造方法および、インプリントモールドを用いたパターン形成方法は下記実施例に限定されず、類推することのできる他の公知の方法をも含むものとする。例えば、具体的には、基板にシリコンを用いてモールドを製造し、熱インプリント法行うなどが挙げられる。
インプリントモールドの製造方法を図5に示す。
インプリントモールドの元となる基板として、Cr100nm、レジスト400nm厚を有する6025サイズのフォトマスク用基板を使用した(図5(b))。電子線描画装置にて、100nmのLine&Space(パターン密度5:1、1:1、1:5)、Dot、Holeパターンをそれぞれ描画した。
次に、有機現像によりレジストパターンを形成した(図5(c))。このときの条件は、描画時のドーズを100μC/cm2、現像時間を2分とした。
実施例1で製造された石英モールドを用いて、光インプリント装置にて光インプリントを実施し、パターンを形成した。
次に、図6(b)に示すように、インプリントの対象となる基板として基板161を用意し、前記基板上に、パターン形成材料として、光硬化性樹脂PAK−01(東洋合成工業)162を300nm厚でコートした。
111…基板
112…樹脂
120…石英モールド
121…基板
122…樹脂
130…モールド
131…基板
132…樹脂
133…パターン破壊
140…モールド
141…大開口凹パターン
142…微細な凹凸パターン
150…石英基板
151…クロム
152…レジスト
160…モールド
161…基板
162…樹脂
Claims (4)
- 微細な凹凸パターンが形成されたインプリントモールドにおいて、
基板に、大開口凹パターンが設けられ、
前記大開口凹パターンの底面に微細な凹凸パターンが設けられていること
を特徴とするインプリントモールド。 - 請求項1に記載のインプリントモールドを用いたパターン形成方法。
- 微細な凹凸パターンが形成されたインプリントモールドの製造方法において、
基板に、大開口凹パターンを設ける第一の工程と、
前記大開口凹パターンの底面に微細な凹凸パターンを設ける第二の工程と、
を行うことを特徴とするインプリントモールド製造方法。 - 微細な凹凸パターンが形成されたインプリントモールドの製造方法において、
基板に、微細な凹凸パターンを設ける第一の工程と、
前記凹凸パターン領域外に、凸パターンを形成する第二の工程と
を行うことを特徴とするインプリントモールド製造方法。
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