JP6935112B2 - 基板接合装置 - Google Patents
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Description
第1基板と第2基板とを接合する基板接合装置であって、
前記第1基板を支持する第1支持台と、
前記第2基板の接合面を前記第1基板の接合面に対向させた状態で前記第2基板を支持する第2支持台と、
前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部を保持する第1保持部と、
前記第1保持部を駆動する保持部駆動部と、
前記第1支持台により前記第1基板の中央部が前記第1基板の周部に対して前記第2基板側に突出するように前記第1基板が撓んだ状態で支持され、前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させて前記第1基板の接合面と前記第2基板の接合面とを全面で張り合わせる際、前記第1保持部による前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記第1支持台は、透光性を有するガラスから形成され、
前記第1保持部は、前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台における前記第1基板の周部に対向する第1領域に設けられた第1静電チャックを有し、
前記保持部駆動部は、前記第1静電チャックへ電圧を印加することにより前記第1静電チャックを駆動し、
前記第1静電チャックは、
第1端子電極と、
第2端子電極と、
前記第1端子電極に電気的に接続された複数の第1電極子と、
前記第2端子電極に電気的に接続された複数の第2電極子と、を有し、
前記複数の第1電極子と前記複数の第2電極子とは、前記第1領域において第1方向に沿って交互に並ぶように配置され、
前記第1端子電極と前記第2端子電極と前記第1電極子と前記第2電極子とのうちの少なくとも1つは、透明導電膜から形成され、
前記制御部は、
前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させる際、前記第1静電チャックによる前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御し、
前記第1方向において隣り合う第1電極子と第2電極子との間の距離は、2mm以下である。
第1基板と第2基板とを接合する基板接合装置であって、
前記第1基板を支持する第1支持台と、
前記第2基板の接合面を前記第1基板の接合面に対向させた状態で前記第2基板を支持する第2支持台と、
前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部を保持する第1保持部と、
前記第1保持部を駆動する保持部駆動部と、
前記第1支持台により前記第1基板の中央部が前記第1基板の周部に対して前記第2基板側に突出するように前記第1基板が撓んだ状態で支持され、前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させて前記第1基板の接合面と前記第2基板の接合面とを全面で張り合わせる際、前記第1保持部による前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記第1保持部は、第1端子電極と、第2端子電極と、を有し且つ前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台における前記第1基板の周部に対向する第1領域に設けられた第1静電チャックを有し、
前記保持部駆動部は、前記第1静電チャックへ電圧を印加することにより前記第1静電チャックを駆動し、
前記制御部は、
前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させる際、前記第1端子電極と前記第2端子電極との間に極性の異なるパルス電圧を交互に印加しつつ、前記パルス電圧の振幅を漸減させることで、前記第1静電チャックによる前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御する。
第1基板と第2基板とを接合する基板接合装置であって、
前記第1基板を支持する第1支持台と、
前記第2基板の接合面を前記第1基板の接合面に対向させた状態で前記第2基板を支持
する第2支持台と、
前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部を保持する第1保持部と、
前記第1保持部を駆動する保持部駆動部と、
前記第1支持台により前記第1基板の中央部が前記第1基板の周部に対して前記第2基
板側に突出するように前記第1基板が撓んだ状態で支持され、前記第1基板の接合面の中
央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を
前記第2基板の周部に接触させて前記第1基板の接合面と前記第2基板の接合面とを全面
で張り合わせる際、前記第1保持部による前記第1基板の周部の保持を解除するように前
記保持部駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記第1支持台は、透光性を有するガラスから形成され、
前記第1保持部は、前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台に
おける前記第1基板の周部に対向する第1領域に設けられた第1静電チャックを有し、
前記第1静電チャックは、
第1端子電極と、
第2端子電極と、
前記第1端子電極に電気的に接続された第1電極子と、
前記第2端子電極に電気的に接続された第2電極子と、を有し、
前記第1端子電極と前記第2端子電極と前記第1電極子と前記第2電極子とのうちの少なくとも1つは、透明導電膜から形成され、
前記保持部駆動部は、前記第1静電チャックへ電圧を印加することにより前記第1静電
チャックを駆動し、
前記制御部は、
前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態にお
いて、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させる際、前記第1静電チャック
による前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御し、
前記第1支持台は、前記第1基板の周部に対向する第1領域よりも内側に位置する第2領域に凹部が設けられている。
以下、本発明の実施の形態に係る基板接合装置について、図を参照しながら説明する。本実施の形態に係る基板接合装置は、2つの基板同士を予め設定された基準真空度以上の真空度の真空チャンバ内で、互いに接合される接合面に対して活性化処理および親水化処理が施された2つの基板同士を接触させて加圧および加熱することにより、2つの基板を接合する。ここで、活性化処理では、基板の接合面に特定のエネルギ粒子を当てることにより基板の接合面を活性化する。また、親水化処理では、活性化処理により活性化した基板の接合面近傍に水等を供給することにより基板の接合面を親水化する。
本実施の形態に係る基板接合装置は、大気圧下で、互いに接合される接合面に対して活性化処理および親水化処理が施された2つの基板301、302同士を接触させて加圧および加熱することにより、2つの基板301、302を接合する。図12に示すように、本実施の形態に係る基板接合装置2100は、真空チャンバを備えていない点で実施の形態1に係る基板接合装置100と相違する。なお、図12において、実施の形態1と同様の構成については図1と同一の符号を付している。なお、以下の説明では、本実施の形態に係る基板接合装置について実施の形態1に係る基板接合装置100と同様の構成について、図1乃至図9に示す符号と同じ符号を用いて説明する。
本実施の形態に係る基板接合装置は、図1に示す実施の形態1で説明した基板接合装置100と同様である。但し、本実施の形態に係る基板接合装置は、実施の形態1に係るステージ401、ヘッド402の代わりに図18Aおよび図18Bに示すようなステージ3401、ヘッド3402を備える点で実施の形態1で説明した基板接合装置100と相違する。なお、以下の説明では、本実施の形態に係る基板接合装置について実施の形態1に係る基板接合装置100と同様の構成について、図1乃至図9Cに示す符号と同じ符号を用いて説明する。また、図18Aおよび図18Bにおいて、実施の形態1と同様の構成については図3Aおよび図3Bと同一の符号を付している。
Claims (26)
- 第1基板と第2基板とを接合する基板接合装置であって、
前記第1基板を支持する第1支持台と、
前記第2基板の接合面を前記第1基板の接合面に対向させた状態で前記第2基板を支持する第2支持台と、
前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部を保持する第1保持部と、
前記第1保持部を駆動する保持部駆動部と、
前記第1支持台により前記第1基板の中央部が前記第1基板の周部に対して前記第2基板側に突出するように前記第1基板が撓んだ状態で支持され、前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させて前記第1基板の接合面と前記第2基板の接合面とを全面で張り合わせる際、前記第1保持部による前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記第1支持台は、透光性を有するガラスから形成され、
前記第1保持部は、前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台における前記第1基板の周部に対向する第1領域に設けられた第1静電チャックを有し、
前記保持部駆動部は、前記第1静電チャックへ電圧を印加することにより前記第1静電チャックを駆動し、
前記第1静電チャックは、
第1端子電極と、
第2端子電極と、
前記第1端子電極に電気的に接続された複数の第1電極子と、
前記第2端子電極に電気的に接続された複数の第2電極子と、を有し、
前記複数の第1電極子と前記複数の第2電極子とは、前記第1領域において第1方向に沿って交互に並ぶように配置され、
前記第1端子電極と前記第2端子電極と前記第1電極子と前記第2電極子とのうちの少なくとも1つは、透明導電膜から形成され、
前記制御部は、
前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させる際、前記第1静電チャックによる前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御し、
前記第1方向において隣り合う第1電極子と第2電極子との間の距離は、2mm以下である、
基板接合装置。 - 第1基板と第2基板とを接合する基板接合装置であって、
前記第1基板を支持する第1支持台と、
前記第2基板の接合面を前記第1基板の接合面に対向させた状態で前記第2基板を支持する第2支持台と、
前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部を保持する第1保持部と、
前記第1保持部を駆動する保持部駆動部と、
前記第1支持台により前記第1基板の中央部が前記第1基板の周部に対して前記第2基板側に突出するように前記第1基板が撓んだ状態で支持され、前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させて前記第1基板の接合面と前記第2基板の接合面とを全面で張り合わせる際、前記第1保持部による前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記第1保持部は、第1端子電極と、第2端子電極と、を有し且つ前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台における前記第1基板の周部に対向する第1領域に設けられた第1静電チャックを有し、
前記保持部駆動部は、前記第1静電チャックへ電圧を印加することにより前記第1静電チャックを駆動し、
前記制御部は、
前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させる際、前記第1端子電極と前記第2端子電極との間に極性の異なるパルス電圧を交互に印加しつつ、前記パルス電圧の振幅を漸減させることで、前記第1静電チャックによる前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御する、
基板接合装置。 - 前記第1静電チャックは、
前記第1端子電極に電気的に接続された複数の第1電極子と、
前記第2端子電極に電気的に接続された複数の第2電極子と、を有し、
前記複数の第1電極子と前記複数の第2電極子とは、前記第1領域において第1方向に沿って交互に並ぶように配置されている、
請求項2に記載の基板接合装置。 - 前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部の内側を保持する第2保持部を更に備え、
前記第2保持部は、前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台における前記第1基板の周部に対向する第1領域よりも内側に位置する第2領域に設けられた第2静電チャックを有し、
前記保持部駆動部は、前記第2静電チャックへ電圧を印加することにより前記第2静電チャックを駆動し、
前記第2静電チャックは、
第3端子電極と、
第4端子電極と、
前記第3端子電極に電気的に接続された複数の第3電極子と、
前記第4端子電極に電気的に接続された複数の第4電極子と、を有し、
前記複数の第3電極子と前記複数の第4電極子とは、前記第2領域において第2方向に沿って交互に並ぶように配置され、
前記制御部は、前記第1基板の中央部と前記第2基板の中央部とを接触させる際、前記第2静電チャックによる前記第1基板の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御する、
請求項1から3のいずれか1項に記載の基板接合装置。 - 第1基板と第2基板とを接合する基板接合装置であって、
前記第1基板を支持する第1支持台と、
前記第2基板の接合面を前記第1基板の接合面に対向させた状態で前記第2基板を支持
する第2支持台と、
前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部を保持する第1保持部と、
前記第1保持部を駆動する保持部駆動部と、
前記第1支持台により前記第1基板の中央部が前記第1基板の周部に対して前記第2基
板側に突出するように前記第1基板が撓んだ状態で支持され、前記第1基板の接合面の中
央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を
前記第2基板の周部に接触させて前記第1基板の接合面と前記第2基板の接合面とを全面
で張り合わせる際、前記第1保持部による前記第1基板の周部の保持を解除するように前
記保持部駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記第1支持台は、透光性を有するガラスから形成され、
前記第1保持部は、前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台に
おける前記第1基板の周部に対向する第1領域に設けられた第1静電チャックを有し、
前記第1静電チャックは、
第1端子電極と、
第2端子電極と、
前記第1端子電極に電気的に接続された第1電極子と、
前記第2端子電極に電気的に接続された第2電極子と、を有し、
前記第1端子電極と前記第2端子電極と前記第1電極子と前記第2電極子とのうちの少なくとも1つは、透明導電膜から形成され、
前記保持部駆動部は、前記第1静電チャックへ電圧を印加することにより前記第1静電
チャックを駆動し、
前記制御部は、
前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態にお
いて、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させる際、前記第1静電チャック
による前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御し、
前記第1支持台は、前記第1基板の周部に対向する第1領域よりも内側に位置する第2領域に凹部が設けられている、
基板接合装置。 - 前記凹部は、前記第2領域全体に亘って形成されている、
請求項5に記載の基板接合装置。 - 前記第1支持台は、前記第2領域に設けられた前記凹部の中央部に配設された突出部を有する、
請求項5に記載の基板接合装置。 - 前記第1支持台は、前記第1支持台における前記第1基板の周部に対向する第1領域の内側の第2領域に設けられた凹部の中央部から前記凹部の周縁に亘って延在し前記第1基板に当接する少なくとも1つのリブを有する、
請求項5または7に記載の基板接合装置。 - 第1基板と第2基板とを接合する基板接合装置であって、
前記第1基板を支持する第1支持台と、
前記第2基板の接合面を前記第1基板の接合面に対向させた状態で前記第2基板を支持
する第2支持台と、
前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部を保持する第1保持部と、
前記第1保持部を駆動する保持部駆動部と、
前記第1支持台により前記第1基板の中央部が前記第1基板の周部に対して前記第2基
板側に突出するように前記第1基板が撓んだ状態で支持され、前記第1基板の接合面の中
央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を
前記第2基板の周部に接触させて前記第1基板の接合面と前記第2基板の接合面とを全面
で張り合わせる際、前記第1保持部による前記第1基板の周部の保持を解除するように前
記保持部駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記第1保持部は、前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台に
おける前記第1基板の周部に対向する第1領域に設けられた第1静電チャックを有し、
前記第1静電チャックは、
第1端子電極と、
第2端子電極と、
前記第1端子電極に電気的に接続された第1電極子と、
前記第2端子電極に電気的に接続された第2電極子と、を有し、
前記保持部駆動部は、前記第1静電チャックへ電圧を印加することにより前記第1静電
チャックを駆動し、
前記制御部は、
前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態にお
いて、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させる際、前記第1静電チャック
による前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御し、
前記第1支持台は、前記第1基板の周部に対向する第1領域よりも内側に位置する第2領域に凹部が設けられ、
前記第1領域は、円環状であり、
前記第1支持台は、
前記第1領域の周部に沿って配設された複数の円弧状の第1突出部と、
長尺であり前記第2領域に形成された前記凹部の内側に設けられた複数のリブと、
円環状であり、前記第2領域の中央部に設けられるとともに、前記複数のリブの長手方向における一端部に連続する第2突出部と、を更に有し、
前記第1静電チャックは、前記複数の第1突出部それぞれに配設され、
前記複数のリブそれぞれの長手方向における他端部と、前記第1突出部と、の間には隙間が形成されている、
基板接合装置。 - 前記第1支持台は、透光性を有するガラスから形成され、
前記第1端子電極と前記第2端子電極と前記第1電極子と前記第2電極子とのうちの少なくとも1つは、透明導電膜から形成されている、
請求項3または9に記載の基板接合装置。 - 前記第1支持台は、透光性を有するガラスから形成され、
前記第3端子電極と前記第4端子電極と前記第3電極子と前記第4電極子とのうちの少なくとも1つは、透明導電膜から形成されている、
請求項4に記載の基板接合装置。 - 第1基板と第2基板とを接合する基板接合装置であって、
前記第1基板を支持する第1支持台と、
前記第2基板の接合面を前記第1基板の接合面に対向させた状態で前記第2基板を支持する第2支持台と、
前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部を保持する第1保持部と、
前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部の内側を保持する第2保持部と、
前記第1保持部および前記第2保持部を駆動する保持部駆動部と、
前記第1支持台により前記第1基板の中央部が前記第1基板の周部に対して前記第2基板側に突出するように前記第1基板が撓んだ状態で支持され、前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させて前記第1基板の接合面と前記第2基板の接合面とを全面で張り合わせる際、前記第1保持部による前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記第1支持台は、透光性を有するガラスから形成され、
前記第1保持部は、前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台における前記第1基板の周部に対向する第1領域に設けられた第1静電チャックを有し、
前記第2保持部は、前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台における前記第1基板の周部に対向する第1領域よりも内側に位置する第2領域に設けられた第2静電チャックを有し、
前記保持部駆動部は、前記第1静電チャックへ電圧を印加することにより前記第1静電チャックを駆動するとともに、前記第2静電チャックへ電圧を印加することにより前記第2静電チャックを駆動し、
前記第1静電チャックは、
第1端子電極と、
第2端子電極と、
前記第1端子電極に電気的に接続された複数の第1電極子と、
前記第2端子電極に電気的に接続された複数の第2電極子と、を有し、
前記複数の第1電極子と前記複数の第2電極子とは、前記第1領域において第1方向に沿って交互に並ぶように配置され、
前記第2静電チャックは、
第3端子電極と、
第4端子電極と、
前記第3端子電極に電気的に接続された複数の第3電極子と、
前記第4端子電極に電気的に接続された複数の第4電極子と、を有し、
前記複数の第3電極子と前記複数の第4電極子とは、前記第2領域において第2方向に沿って交互に並ぶように配置され、
前記制御部は、
前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させる際、前記第1静電チャックによる前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御するとともに、前記第1基板の中央部と前記第2基板の中央部とを接触させる際、前記第2静電チャックによる前記第1基板の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御する、
前記第1方向において隣り合う第1電極子と第2電極子との間の距離は、2mm以下であり、
前記第3端子電極と前記第4端子電極と前記第3電極子と前記第4電極子とのうちの少なくとも1つは、透明導電膜から形成されている、
基板接合装置。 - 前記第1支持台における前記第1基板が支持される側とは反対側または前記第2支持台における前記第2基板が支持される側とは反対側に配置された撮像部と、
前記第1支持台と前記第2支持台との少なくとも一方を他方に対して前記第1支持台と前記第2支持台とが対向する方向と交差する方向へ相対的に移動させる第1支持台駆動部と、を更に備え、
前記第1基板は、第1アライメントマークが設けられ、
前記第2基板は、第2アライメントマークが設けられ、
前記撮像部は、前記第1支持台または前記第2支持台を透過して前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークを撮像し、
前記制御部は、更に、前記撮像部により撮像された前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークの撮影画像に基づいて、前記第1基板の前記第2基板に対する相対的な位置ずれ量が小さくなるように前記第1支持台と前記第2支持台との少なくとも一方を移動させるよう前記第1支持台駆動部を制御する、
請求項1から12のいずれか1項に記載の基板接合装置。 - 第1基板と第2基板とを接合する基板接合装置であって、
前記第1基板を支持する第1支持台と、
前記第2基板の接合面を前記第1基板の接合面に対向させた状態で前記第2基板を支持する第2支持台と、
前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部を保持する第1保持部と、
前記第1保持部を駆動する保持部駆動部と、
前記第1支持台における前記第1基板が支持される側とは反対側または前記第2支持台における前記第2基板が支持される側とは反対側に配置された撮像部と、
前記第1支持台と前記第2支持台との少なくとも一方を他方に対して前記第1支持台と前記第2支持台とが対向する方向と交差する方向へ相対的に移動させる第1支持台駆動部と、
前記第1支持台により前記第1基板の中央部が前記第1基板の周部に対して前記第2基板側に突出するように前記第1基板が撓んだ状態で支持され、前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させて前記第1基板の接合面と前記第2基板の接合面とを全面で張り合わせる際、前記第1保持部による前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記第1基板は、第1アライメントマークが設けられ、
前記第2基板は、第2アライメントマークが設けられ、
前記撮像部は、前記第1支持台または前記第2支持台を透過して前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークを撮像し、
前記第1保持部は、前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台における前記第1基板の周部に対向する第1領域に設けられた第1静電チャックを有し、
前記保持部駆動部は、前記第1静電チャックへ電圧を印加することにより前記第1静電チャックを駆動し、
前記第1静電チャックは、
第1端子電極と、
第2端子電極と、
前記第1端子電極に電気的に接続された複数の第1電極子と、
前記第2端子電極に電気的に接続された複数の第2電極子と、を有し、
前記複数の第1電極子と前記複数の第2電極子とは、前記第1領域において第1方向に沿って交互に並ぶように配置され、
前記制御部は、
前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させる際、前記第1静電チャックによる前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御するとともに、前記撮像部により撮像された前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークの撮影画像に基づいて、前記第1基板の前記第2基板に対する相対的な位置ずれ量が小さくなるように前記第1支持台と前記第2支持台との少なくとも一方を移動させるよう前記第1支持台駆動部を制御し、
前記第1方向において隣り合う第1電極子と第2電極子との間の距離は、2mm以下である、
基板接合装置。 - 第1基板と第2基板とを接合する基板接合装置であって、
前記第1基板を支持する第1支持台と、
前記第2基板の接合面を前記第1基板の接合面に対向させた状態で前記第2基板を支持
する第2支持台と、
前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部を保持する第1保持部と、
前記第1保持部を駆動する保持部駆動部と、
前記第1支持台における前記第1基板が支持される側とは反対側または前記第2支持台における前記第2基板が支持される側とは反対側に配置された撮像部と、
前記第1支持台と前記第2支持台との少なくとも一方を他方に対して前記第1支持台と前記第2支持台とが対向する方向と交差する方向へ相対的に移動させる第1支持台駆動部と、
前記第1支持台により前記第1基板の中央部が前記第1基板の周部に対して前記第2基
板側に突出するように前記第1基板が撓んだ状態で支持され、前記第1基板の接合面の中
央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を
前記第2基板の周部に接触させて前記第1基板の接合面と前記第2基板の接合面とを全面
で張り合わせる際、前記第1保持部による前記第1基板の周部の保持を解除するように前
記保持部駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記第1基板は、第1アライメントマークが設けられ、
前記第2基板は、第2アライメントマークが設けられ、
前記撮像部は、前記第1支持台または前記第2支持台を透過して前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークを撮像し、
前記第1保持部は、前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台に
おける前記第1基板の周部に対向する第1領域に設けられた第1静電チャックを有し、
前記第1静電チャックは、
第1端子電極と、
第2端子電極と、
前記第1端子電極に電気的に接続された第1電極子と、
前記第2端子電極に電気的に接続された第2電極子と、を有し、
前記保持部駆動部は、前記第1静電チャックへ電圧を印加することにより前記第1静電
チャックを駆動し、
前記制御部は、
前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態にお
いて、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させる際、前記第1静電チャック
による前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御するとともに、前記撮像部により撮像された前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークの撮影画像に基づいて、前記第1基板の前記第2基板に対する相対的な位置ずれ量が小さくなるように前記第1支持台と前記第2支持台との少なくとも一方を移動させるよう前記第1支持台駆動部を制御し、
前記第1支持台は、前記第1基板の周部に対向する第1領域よりも内側に位置する第2領域に凹部が設けられている、
基板接合装置。 - 前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で、前記第1支持台と前記第1基板との間に気体を吐出する気体吐出部を更に備え、
前記制御部は、更に、前記第1支持台の前記第1領域の内側に位置する第2領域と前記第1基板との間に気体を吐出して前記第1基板を前記第1保持部から離脱させるように前記気体吐出部を制御する、
請求項1から15のいずれか1項に記載の基板接合装置。 - 前記気体は、イオンを含んだ気体または水を含んだ気体である、
請求項16に記載の基板接合装置。 - 前記第1支持台は、前記第1基板を支持した状態で前記第1基板に対向する基板接触領域の少なくとも内側に凹凸が形成されている、
請求項1から17のいずれか1項に記載の基板接合装置。 - 前記第1支持台と前記第2支持台との少なくとも一方を、前記第1支持台と前記第2支持台とが互いに近づく方向へ移動させる第2支持台駆動部を更に備え、
前記制御部は、前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させる際、前記第1支持台と前記第2支持台との少なくとも一方が前記第1支持台と前記第2支持台とが互いに近づく方向へ移動するように前記第2支持台駆動部を制御する、
請求項1から18のいずれか1項に記載の基板接合装置。 - 前記制御部は、前記第1基板と前記第2基板との接触部分の面積が増加するにつれて前記第1基板と前記第2基板との間の距離が小さくなるように、前記第1支持台と前記第2支持台との少なくとも一方が前記第1支持台と前記第2支持台とが互いに近づく方向へ移動するように前記第2支持台駆動部を制御する、
請求項19に記載の基板接合装置。 - 前記制御部は、前記第1基板と前記第2基板との接触部分の周縁における前記第1基板の接合面と前記第2基板の接合面とのなす角度が予め設定された基準角度以下となるように、前記第1支持台と前記第2支持台との少なくとも一方が前記第1支持台と前記第2支持台とが互いに近づく方向へ移動するように前記第2支持台駆動部を制御する、
請求項19に記載の基板接合装置。 - 前記第1基板と前記第2基板とが配置される領域を予め設定された基準真空度以上の真空度で維持する真空チャンバを更に備える、
請求項1から21のいずれか1項に記載の基板接合装置。 - 前記第2支持台が前記第2基板を支持した状態で前記第2基板の周部を保持する第3保持部を更に備え、
前記制御部は、前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第2基板の周部を前記第1基板の周部に接触させる際、前記第3保持部による前記第2基板の周部の保持を解除するように前記第3保持部を制御する、
請求項1から22のいずれか1項に記載の基板接合装置。 - 前記第2支持台に設けられ前記第2基板の周部の内側を保持する第4保持部を更に備え、
前記制御部は、前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とを接触させる際、前記第4保持部による前記第2基板の保持を解除するように前記第4保持部を制御する、
請求項23に記載の基板接合装置。 - 第1アライメントマークが設けられた第1基板と第2アライメントマークが設けられた第2基板とを接合する基板接合装置であって、
前記第1基板を支持する第1支持台と、
前記第2基板の接合面を前記第1基板の接合面に対向させた状態で前記第2基板を支持する第2支持台と、
前記第1支持台に設けられ前記第1基板の周部を保持する第1保持部と、
前記第1保持部を駆動する保持部駆動部と、
前記第1支持台における前記第1基板が支持される側とは反対側または前記第2支持台における前記第2基板が支持される側とは反対側に配置され、前記第1支持台または前記第2支持台を介して前記第1アライメントマークと前記第2アライメントマークとを撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された前記第1アライメントマークの画像と前記第2アライメントマークの画像とに基づいて、前記第1基板と前記第2基板との位置合わせを行った後、前記第1支持台により前記第1基板の中央部が前記第1基板の周部に対して前記第2基板側に突出するように前記第1基板が撓んだ状態で支持され、前記第1基板の接合面の中央部と前記第2基板の接合面の中央部とが接触した状態において、前記第1基板の周部を前記第2基板の周部に接触させて前記第1基板の接合面と前記第2基板の接合面とを全面で張り合わせる際、前記第1保持部による前記第1基板の周部の保持を解除するように前記保持部駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記第1保持部は、前記第1支持台が前記第1基板を支持した状態で前記第1支持台における前記第1基板の周部に対向する第1領域に設けられた第1静電チャックを有し、
前記保持部駆動部は、前記第1静電チャックへ電圧を印加することにより前記第1静電チャックを駆動し、
前記第1静電チャックは、
第1端子電極と、
第2端子電極と、
前記第1端子電極に電気的に接続された複数の第1電極子と、
前記第2端子電極に電気的に接続された複数の第2電極子と、を有し、
前記複数の第1電極子と前記複数の第2電極子とは、前記第1領域において第1方向に沿って交互に並ぶように配置され、
前記第1支持台は、透光性を有するガラスから形成され、
前記第1端子電極と前記第2端子電極と前記第1電極子と前記第2電極子とのうちの少なくとも1つは、透明導電膜から形成されている、
基板接合装置。 - 前記第1支持台と前記第2支持台との少なくとも一方を他方に対して前記第1支持台と前記第2支持台とが対向する方向と交差する方向へ相対的に移動させる第1支持台駆動部を更に備え、
前記制御部は、更に、前記撮像部により撮像された前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークの撮影画像に基づいて、前記第1基板の前記第2基板に対する相対的な位置ずれ量が小さくなるように前記第1支持台と前記第2支持台との少なくとも一方を移動させるよう前記第1支持台駆動部を制御する、
請求項25に記載の基板接合装置。
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