JP2014165453A - 接合装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 より簡易な構成で、接合時の角度を調整しながら部材同士を接合させることのできる接合装置を提供する。
【解決手段】 接合装置1は、第1の部材Hを保持する第1の部材ホルダ10と、第1の部材ホルダ10に並設され、第2の部材Kを第1の部材Hに対向するように保持する第2の部材ホルダ20と、第1および第2の部材ホルダ10、20を互いに接近させることにより、第1および第2の部材H、Kを接合するためのホルダ駆動機構24と、を備え、第1の部材ホルダ10は、基台14と、基台14よりも第2の部材ホルダ20側に配置され、第1の部材Hが取り付けられたテーブル(16)と、曲面形状を有し、曲面形状を介して基台14およびテーブル16の少なくとも一方に当接した状態でテーブル16および基台14の間に介在し、テーブル16を傾動可能に支持する支持部材30と、を有している。
【選択図】図3
Description
本発明は、接合の際に角度調整を要求される部材同士を接合するための接合装置に関するものである。
従来の接合装置として、例えば特許文献1に開示されたものが知られている。この接合装置は、第1および第2の部品を、それらの間の傾きを調整しながら接合するためのものである。この接合装置では、第1および第2の部品が、互いに対向するように第1の部品ホルダ、およびその下方に配置された第2の部品ホルダによってそれぞれ保持される。また、第2の部品ホルダはゴニオステージに搭載されている。第1の部品は、ソレノイドなどで駆動される押圧軸によって、第1の部品とともに第2の部品ホルダ側に押圧される。
それにより、第1の部品によって第2の部品が押圧されたときに、第2の部品に作用するZ軸方向の力とXおよびY軸回りのモーメントが、第2の部品ホルダに設けられた6軸力覚センサによって検出される。コンピュータで構成された制御部は、Z軸方向の力が一定になるように押圧軸を駆動するとともに、X軸およびY軸回りのモーメントが0になるようにゴニオステージを駆動することによって、第2の部品の角度を調整する。
これにより、第1および第2の部品の接合面が互いに平行な状態になり、第1および第2の部品は、それぞれの接合面同士が密着した状態で押圧されることによって、互いに接合される。
しかし、上述した特許文献に係る接合装置では、第1および第2の部品の接合面同士を密着させるために部品間の角度調整が能動的に行われており、そのために部品間に作用する力を検出するためのセンサや、その検出結果に応じてゴニオステージを駆動するための制御装置および駆動機構などが必要になる。したがって、接合装置全体としての構成が複雑化するととともに、接合装置を構築するためのコストが高くなってしまう。
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたものであり、より簡易な構成で、接合時の角度を調整しながら部材同士を接合させることのできる接合装置を提供することを目的としている。
上記の目的を達成するために、本発明に係る接合装置は、第1および第2の部材間の角度を調整しながら、当該第1および第2の部材を互いに接合するための接合装置であって、前記第1の部材を保持する第1の部材ホルダと、当該第1の部材ホルダに並設され、前記第2の部材を前記第1の部材に対向するように保持する第2の部材ホルダと、前記第1および第2の部材ホルダを互いに接近させて前記第1および第2の部材を互いに押圧することにより、前記第1および第2の部材を接合させるためのホルダ駆動機構と、を備え、前記第1の部材ホルダは、基台と、当該基台よりも前記第2の部材ホルダ側に配置され、前記第1の部材が取り付けられたテーブルと、曲面形状を有し、当該曲面形状を介して前記基台および前記テーブルの少なくとも一方に当接した状態で前記テーブルおよび前記基台の間に介在し、前記テーブルを傾動可能に支持する支持部材と、を有していることを特徴とする。
この接合装置によれば、第1の部材を保持する第1の部材ホルダと、第2の部材を第1の部材に対向するように保持する第2の部材ホルダは、ホルダ駆動機構によって互いに接近することにより、第1および第2の部材を接合する。第1の部材は第1の部材ホルダのステージに取り付けられており、このステージは、基台との間に介在する支持部材によって支持されている。ステージおよび基台の少なくとも一方には、支持部材の曲面が当接しており、したがって、第1および第2の部材が接触し、第1の部材が第2の部材によって押圧されたときに、第1および第2の部材の接触部位の形状に応じてステージが支持部材を中心として傾動する。
その結果、第1および第2の部材が互いに密着し、この状態で第2の部材が第1の部材によって押圧されるので、第1および第2の部材を確実に接合することができる。また、基台とステージの間に曲面形状を有する支持部材を介在させただけの簡易な構成で部材同士を角度調整して密着させられるので、様々な種類の部材を第1および第2の部材として接合させることができる。したがって、例えば試作品の製造ラインなど、汎用性を要求される用途にも本発明による接合装置を用いることができる。
以下、本発明の第1実施形態に係る接合装置1について、図面を参照しながら説明する。本実施形態では、接合装置1は、半導体基板K(第2の部材)にヒートシンクH(第1の部材)を貼り付けるために用いられる。図1は接合装置1の平面図であり、以下、同図の上側および下側を、それぞれ接合装置1の前側および後側として、また、同図の左側および右側を、それぞれ半導体装置1の左側および右側として、説明する。図1〜図3に示すように、接合装置1は、ヒートシンクHを取り付けた第1の部材ホルダ10と、その上方に並設され、半導体基板(以下、単に「基板」という)Kを取り付けた第2の部材ホルダ20を有している。
基板Kはシリコンを主体に構成されており、この基板Kには、所定の半導体プロセスなどを用いて素子や配線(図示せず)が形成されている。また、ヒートシンクHは、セラミックスで板状に形成されており、基板Kを駆動させたときに放熱を行うために設けられるものである。
第1の部材ホルダ10は、ベース12、ハウジング14(基台)およびテーブル16などを有しており、これらは例えばアルミニウムで構成されている。ベース12は図示しない治具などによって固定されている。ベース12およびハウジング14は、互いにほぼ同じサイズで方形の板状に形成されており、ハウジング14は、ベース12の上側に配置されている。また、ベース12とハウジング14の間には、計4つの圧縮ばね18(弾性体)が設けられている。ベース12には、上方に開口する計4つの凹部12aが形成されており、ハウジング14には、凹部12aにそれぞれ対向するように、下方に開口する計4つの凹部14aが形成されている。各圧縮ばね18は、コイルばねによって構成されており、上下の凹部12a、14aに取り付けられ、ベース12およびハウジング14によって狭持された状態で、ハウジング14などを支持している。なお、コイルばねに代えて、所要の弾性を有するゴムブロックや空気ばねを圧縮ばね18として用いてもよい。
ハウジング14の前端部および後端部の下面側には、左右方向にわたって延びる切欠き14b、14bがそれぞれ形成されており、このようなハウジング14、およびベース12の前端部および後端部の角部に、計4つのガイド機構40が設けられている。各ガイド機構40は、リニアガイド42、支持ロッド44などを有している。リニアガイド42は断面円形の管状に形成され、その下端部には径のより大きなつば部42aが形成されている。リニアガイド42は、ハウジング14を上下方向に貫通する貫通孔14cにハウジング14の下側から通され、つば部42aをハウジング14に当接させた状態で、ハウジング14にねじなど(図示せず)によって固定されている。
また、支持ロッド44は、円柱状に形成され、ベース12の四隅にそれぞれ取り付けられている。各支持ロッドは44は、ベース12に対して垂直に上下方向に延びており、ベース12の下面側から通されたねじ48によって、ベース12に固定されている。また、支持ロッド44は、リニアガイド42を上下方向に貫通する貫通孔42bとほぼ同じ径を有し、その高さはリニアガイド42よりも大きく、貫通孔42bに通されている。さらに、リニアガイド42の上端から突出する支持ロッド44の上端部には、上方からねじ46がねじ込まれており、このねじ46の座面には、リニアガイド42よりも径の大きなつば部46aが設けられている。
以上の構成により、ハウジング14は、上方から押圧されると、4つの圧縮ばね18の弾性力に抗して下方のベース12側にリニアガイド42とともに移動する。その際、ハウジング14の移動方向は、リニアガイド42および支持ロッド44によって垂直方向に規制され、ハウジング14とベース12の間の角度は一定に維持される。
テーブル16はほぼ正方形の板状に形成されており、ハウジング14よりも上方の第2の部材ホルダ20側に配置されている。また、ハウジング14の上面側の中央には、円柱状の下球体受け32が埋め込まれている。この下球体受け32は、ハウジング14よりも硬質の焼入れ鋼で構成されており、下球体受け32には、上方に開口する円錐状の凹部32aが形成されている。また、テーブル16の下面側の中央には、下球体受け32と同じ構成の上球体受け34が埋め込まれており、その凹部34aは下方に開口し、下方の凹部42aに対向している。
また、テーブル16とハウジング14の間には支持球体30が介在しており、支持球体30の球面が凹部34a、32aの内周面にそれぞれ当接した状態で、テーブル16などが支持球体30によって支持されている。また、支持球体30の直径は、このような状態において、テーブル16とハウジング14の間に若干の隙間が生じるように設定されている。
また、テーブル16の周縁部の上面側には、計4つの切欠き16aが形成されており、各切欠き16aは、テーブル16の各辺の中央付近に配置されている。また、各切欠き16aにはストッパ機構50が設けられおり、ストッパ機構50は、支持ロッド52およびテーブルストッパ54などを有している。
支持ロッド52は、円柱状に形成され、切欠き16aの直下において、基板12に対して垂直に上下方向に延びており、基板12の下面側から通されたねじ58によって、基板52に固定されている。また、テーブル16の切欠き16aの底部、およびその直下に相当するハウジング14の部位には、これらを上下方向に貫通するとともに、支持ロッド52よりも径の大きな貫通孔16b、14dがそれぞれ形成されている。支持ロッド52は、貫通孔14dに通されるとともに、その上端部が貫通孔16bに挿入されている。
また、支持ロッド52の上端部には、ねじ56が、テーブルストッパ54を介して上方からねじ込まれている。テーブルストッパ54は、リング状に形成されており、ねじ56の座面に取り付けられている。また、テーブルストッパ54は、テーブル16の貫通孔16bよりも大きな外径を有していて、ねじ56の頭部とテーブル16によって狭持されている。これにより、支持球体30は、テーブル16およびハウジング14によって狭持されている。
また、テーブル16の下面にはガイドピン60が設けられており、このガイドピン60は、テーブル16の右側の切欠き16aよりも若干、中央寄りに配置されている。また、ガイドピン60は、テーブル16の上面側から通されたねじ62によってテーブル16に固定されており、ガイドピン60の下端部が下方のハウジング14側に突出している。また、ガイドピン60の下端部の外周面は、外側に向かって凸の曲面状に形成されている。
また、ガイドピン60の直下にはブロック状のピン受け64が設けられている。このピン受け64はハウジング14の上面側に埋め込まれ、図示しないねじなどによってハウジング14に固定されている。また、ピン受け64は、ハウジング14よりも硬質の焼入れ鋼で構成されており、その上面側の中央にはガイド溝64aが形成されている。ガイド溝64aは、支持球体30の中心を通る直線に沿って左右方向に延び、上方のテーブル16側に開放している。このガイド溝64aの幅は、ガイドピン60の前後方向の幅とほぼ同じに設定されており、ガイドピン60の下端部がガイド溝64aに係合している。また、この状態では、ガイドピン60の曲面状の外周面が、ガイド溝64aの前後の壁面に接しており、ガイドピン60の下端部と支持球体30は、ほぼ同じ高さに位置している。
また、前述したヒートシンクHは、テーブル16の上面の中央に設けられた台座11に、位置決め用の治具(図示せず)によって位置決めされた状態で載置されている。
以上の構成の第1の部材ホルダ10によれば、ストッパ機構50によって、ステージ16とハウジング14との間の角度を調整することができる。すなわち、ねじ56のねじ込み量に応じてステージ16が傾動し、ステージ16のハウジング14に対する傾斜角度が調整される。具体的には、右側のねじ56をねじ込むと、支持球体30の中心を通り、前後方向に水平に延びるY軸を中心として、ステージ14が右下がりに傾斜する。その際、ガイドピン60は下方に移動し、ガイド溝64aの前後の壁面でガイドピン60の前後方向への移動が規制されることによって、支持球体30の中心を通る垂直なZ軸を中心とする、テーブル16の回動が阻止される。同様に、左側のねじ56をねじ込むことにより、ステージ16はY軸を中心として左下がりに傾斜する。
また、ガイドピン60がその曲面状の外周面を介してガイド溝64aに係合しているので、前側および後側のねじ56のねじ込み量を調整することにより、ステージ16を、X軸を中心として前下がりまたは後下がりに、若干、傾斜させることができる。このX軸は、ガイドピン60の下端部と支持球体30の中心を通り、Y軸に直交するように左右方向に延びる軸である。以上のように、各ストッパ機構56のねじ込み量を調整することにより、ステージ14およびこれに載置されたヒートシンクHの傾斜角度が調整される。
第2の部材ホルダ20は、基板Kを保持するための基板保持部22、およびこれを上下方向に移動させるためのホルダ駆動機構24を有している。基板Kは、ヒートシンクHに接合するための平坦な接合面を、第1のホルダ側のヒートシンクHに対向させるように、基板保持部22に吸引されることで取り付けられている。また、ホルダ駆動機構24は、エアシリンダ(図示せず)などを有しており、それによって、基板保持部22を基板KとともにZ軸に沿って上下方向に移動させる。
以上の構成の接合装置1を用いて基板KにヒートシンクHを貼り付けるときには、水平に調整したテーブル16の座台11に、基板Kとの平坦な接合面を上方の第2の部品ホルダ20に対向させるようにヒートシンクHを載置して位置決めする。ヒートシンクHの接合面には、基板Kとの接着のために接着剤が塗布される。そして、ホルダ駆動機構24によって基板保持部22をZ軸に沿って下降させ、基板Kの接合面をヒートシンクHの接合面に接触させ、基板保持部22をさらに下降させることによって、ヒートシンクHを基板Kで下方に押圧する。それにより、図4に示すように、ヒートシンクHを介して、テーブル16、支持球体30およびハウジング14が、押圧されるとともに4つの圧縮ばね18の弾性力に抗してZ軸に沿って下方に押し下げられ、テーブル16とテーブルストッパ54の間に隙間が生じる。このとき、ハウジング14は、ガイド機構40により、ベース12との間の角度を一定に保ったまま下降する一方、テーブル16は、支持球体30を中心として傾動可能に構成されているので、基板KおよびヒートシンクHの接合面に応じ、支持球体30を中心として傾動する。
具体的には、基板KおよびヒートシンクHに微細な反りや歪みが存在し、両者K、Hの接合面が完全な平面ではない場合、ヒートシンクHが押圧されるのに伴って、反りや歪みにより両者K、H間に生じる応力の偏りを是正するようにテーブル16が受動的に傾動する。これにより、基板KおよびヒートシンクHの接合面同士が面接触することによって、両者K、Hは接合面を介して密着した状態で接合される。
以上のように、第1実施形態に係る接合装置1によれば、テーブル16に載置されたヒートシンクHが押圧されるのに伴って、ヒートシンクHおよび基板Kの接合面が密着するようにテーブル16が傾動するので、ヒートシンクHおよび基板Kを、面接触させた状態で確実に接合することができる。また、ハウジング14とテーブル16にそれぞれ設けられた下球体受け32および上球体受け34には、凹部32a、34aが形成され、これらに支持球体30が当接しているので、テーブル16が支持球体30を中心として容易に傾動する。したがって、ヒートシンクHが押圧された際のテーブル16の応答性を向上でき、ヒートシンクHと基板Kの接合面同士を確実に面接触させることができる。また、同じ理由により、ハウジング14およびテーブル16を互いに近接させて配置でき、それにより接合装置1をよりコンパクトに構成することができる。特に、第1の部材ホルダ10の高さをより小さく構成することができる。
また、ヒートシンクHを基板Kで押圧するだけで、テーブル16が受動的に傾動し、両者H、Kの接合面同士が面接触するので、従来の接合装置のように、両者H、Kの角度調整をセンサやステージの駆動機構を用いて能動的に実行する必要がないため、接合装置1を比較的、安価に構築することができる。また、ガイド溝64aおよびこれに係合するガイドピン60によって、テーブル16のZ軸を中心とした回動が阻止されるので、テーブル16を安定して傾動させることができる。
また、ハウジング14およびテーブル16は、ベース12との間に設けられた4つの圧縮ばね18によって支持されるとともに、ガイド機構40によって、ベース12の移動方向が上下方向に規制される。したがって、ヒートシンクHが押圧され、テーブル16およびハウジング14が押し下げられる際、テーブル16の傾斜方向に影響を及ぼすことなく、テーブル16およびハウジング14を安定して支持することができる。また、下球体受け32、上球体受け34およびピン受け64がより硬質の焼入れ鋼で構成されているので、これらとの間で、支持球体30やガイドピン60がテーブル16の傾動に伴って摺動しても、3者32、34および64の摩耗が抑制される。したがって、支持装置1の耐久性を向上させることができる。
一方、ヒートシンクHおよび基板Kの接合面を互いに平行に維持したまま、両者H、Kを接合させた場合、気泡の混入などにより、ヒートシンクHに塗布された接着剤が接合面全体に行き渡らないおそれがある。これに対し、第2の部材ホルダ20を下降させる前に、テーブル16をあらかじめ傾斜させておくことによって、基板KおよびヒートシンクHをより確実に接合させることができる。
例えば、図5に示すように、左側のねじ56を、他のねじ56よりも支持ロッド52に大きくねじ込むことによって、テーブル16をハウジング14に対して若干、傾斜させ、両者16、14間に所定の角度(例えば1°)をつける。この状態で第2の部材ホルダ20を下降させると、基板Kの右端部がヒートシンクHの右端部に接触し、これを押圧する。
そして、基板Kが下降するのに従い、軸線Yを中心としてテーブル16が傾動することによって、テーブル16とハウジング14とは互いに平行な状態に復元する。また、それに伴って、ヒートシンクHおよび基板Kの間の角度もまた、次第に小さくなり、両者H、Kの接合面同士が接合される。その際、ヒートシンクHに塗布された接着剤は、その右端部から左端部に向かって、両者H、K間に存在する気体とともに徐々に押し出されるようにして基板Kに接触するので、接着剤に気泡などが混入することなく、接合面全体に接着剤が行き渡る。したがって、両者K、Hを、接着剤によってより確実に接合することができる。
なお、部材同士が確実に接合されるように、基板KやヒートシンクHなどの部材の形状やサイズに応じて、テーブル16の接合前の傾斜方向や角度を任意に設定してもよい。また、本実施形態では、ハウジング14側にガイド溝64aを、テーブル16側にガイドピン60を設けた例を説明したが、テーブル16側にピン受け64を取り付けてガイド溝64aを形成する一方、ハウジング14側にガイドピン60を取り付けてもよい。
図6(A)〜(C)は、上述した第1実施形態に係る接合装置1の第1〜第3の変形例をそれぞれ示している。以下、各変形例について、接合装置1と同一の構成には同じ符号を付し、接合装置1との差異を中心として説明する。
第1実施形態の接合装置1では、ハウジング14とテーブル16の間に支持球体30が介在しているのに対し、第1の変形例では、同図(A)に示すように、支持球体30に代えて、支持ピン70(支持部材)が設けられている。この支持ピン70の上端部は半球状に形成されており、その球面が上球体受け34の凹部34aに当接している。また、下球体受け32は省略されており、支持ピン70の下端部から下方に突出する固定部70aがハウジング14に埋め込まれることにより、支持ピン70はハウジング14に固定されている。ハウジング14とテーブル16の間の間隔は、支持ピン70の高さに応じて設定される。他の構成は、前述した第1実施形態と同様である。
以上のように第1の変形例に係る接合装置においても、テーブル16が支持ピン70の球面によって支持され、この球面を介して傾動可能に構成されているので、第1実施形態に係る接合装置1と同様の効果を得ることができる。なお、上球体受け34を省略する一方、下球体受け32を残すとともに、支持ピン70の上下方向の向きを第1の変形例とは逆にして支持ピン70をテーブル16に固定し、その球面を下球体受け32に当接するように構成してもよい。
また、図6(B)に示す第2の変形例では、下球体受け32、上球体受け34および支持球体30が、X軸に沿って、ステージ16の周縁部により近い位置に移動している。これにより、Y軸もまた、ステージ16の中央から、その周縁部により近い位置に移動している。それにより、ステージ16をY軸を中心として左下がりに傾斜させる場合、その傾斜角度をより大きくすることができる。他の構成は、前述した第1実施形態と同様である。
以上のように、第2の変形例に係る接合装置では、ステージ16のより大きな傾斜角度を確保することができる。それにより、接合の際に、第2の部材ホルダ20側の部材との間により大きな角度をつける必要のある部材にも対応でき、接合装置をより多様な部材の接合に用いることができる。
また、図6(C)に示す第3の変形例では、例えば2つの下球体受け32、上球体受け34および支持球体30が、Y軸上においてテーブル16の中央から前後に偏った位置にそれぞれ配置されている。これにより、テーブル16は、Y軸のみを中心として傾動する。また、本変形例では、ガイドピン60およびピン受け62が省略されている。他の構成は、前述した第1実施形態と同様である。
以上のように、第3の変形例では、ステージ16が2つの支持球体30によって支持されるので、Y軸を中心として、ステージ16をより安定して傾動させることができる。それにより、ヒートシンクHおよび基板Kをより確実に面接触させ、両者H、Kを安定して接合することができる。
図7は、第2実施形態に係る接合装置2を示している。以下、本実施形態の接合装置2について、第1実施形態の接合装置1と同一の構成には同じ符号を付し、接合装置1との差異を中心として説明する。
同図に示すように、本実施形態の第1の部材ホルダ80には、ハウジング14とほぼ同じ平面形状を有し、ハウジング14よりも厚さの大きなプレート13が、テーブル16とハウジング14の間に配置されている。また、互いに隣接するハウジング14とプレート13の間、およびプレート13とテーブル16の間に、支持球体30がそれぞれ配置されている。
具体的には、プレート13の下面側の中央には、ハウジング14の下球体受け32に対向するように上球体受け34が埋め込まれており、両者32、34の間に支持球体30が介在している。また、プレート13の中央の上面側には、テーブル16側の上球体受け34に対向するように下球体受け32が埋め込まれており、これらの間にも支持球体30が介在している。また、上下2つの支持球体30、30は、それらの中心が垂直に延びる同一のZ軸上に位置するように、配置されている。
また、プレート13には、ストッパ機構50の支持ロッド51を通すための貫通孔13bが、ハウジング14およびテーブル16の上下の貫通孔14d、16bと同軸上に形成されている。この貫通孔13bもまた、支持ロッド51の径よりも大きな径を有している。また、支持ロッド51は、プレート13の分、第1実施形態の支持ロッド52よりも上下方向に長く形成されており、第1実施形態と同様に、下端部がベース12に固定されるとともに、上端部に、テーブルストッパ54を介してねじ65がねじ込まれている。
また、ガイドピン60はプレート13に取り付けられている。プレート13には、ピン受け64の直上において、上方に開放する凹部13aが形成されており、ガイドピン60は、この凹部13aを介して上方から通されたねじ62によって、プレート13の下面側に固定されている。また、これらと同様のガイドピンおよびピン受けが、プレート13とテーブル16の間にも設けられており(図示せず)、そのガイドピンは、上側の支持球体30の中心を通るY軸上に配置されている。他の構成は、前述した第1実施形態と同様である。
以上の構成の接合装置2によれば、第2の部材ホルダ20とともに下降した基板KによりヒートシンクHが押圧されると、テーブル16、プレート13およびハウジング14が、2つの支持球体30とともに押し下げられる。これにより、テーブル16およびプレート13は、下側の支持球体30を中心として傾動可能になるとともに、テーブル16は、上側の支持球体30を中心として傾動可能になる。
以上のように、第2実施形態に係る接合装置2によれば、ヒートシンクHが押圧されるのに伴って、上下の支持球体30の双方の中心を通る軸線を中心として、テーブル16が傾動する。したがって、ステージ14の傾斜方向の自由度および傾斜角度をより大きくでき、それにより、ヒートシンクHおよび基板Kの接合面同士を、より確実に密着させることができる。なお、ハウジング14とステージ16の間に、複数のプレート13を配置し、各プレート13の間にも支持球体30を介在させてもよい。それにより、ステージ16の傾斜方向の自由度および傾斜角度をさらに大きくすることができ、より多様な部材同士を角度調整しながら接合することができる。
また、上述した各実施形態では、半導体基板KとセラミックスのヒートシンクHの接合面同士を接合装置1、2で面接触させて接合する例を説明したが、これに限定されることなく、接合装置1、2を他の用途に用いてもよい。例えば、第1の部材ホルダ10および第2の部材ホルダ20でそれぞれ保持した部材の一方を他方に圧入する場合など、傾き調整を行いながら部材同士を組み付けるために、接合装置1、2を用いてもよい。その他、本発明の趣旨の範囲内で、細部の構成を適宜、変更することが可能である。
1 接合装置
10 第1の部材ホルダ
14 ハウジング(基台)
16 テーブル
30 支持球体(支持部材)
20 第2の部材ホルダ
24 ホルダ駆動機構
70 支持ピン(支持部材)
H ヒートシンク(第1の部材)
K 半導体基板(第2の部材)
10 第1の部材ホルダ
14 ハウジング(基台)
16 テーブル
30 支持球体(支持部材)
20 第2の部材ホルダ
24 ホルダ駆動機構
70 支持ピン(支持部材)
H ヒートシンク(第1の部材)
K 半導体基板(第2の部材)
Claims (9)
- 第1および第2の部材(H、K)間の角度を調整しながら、当該第1および第2の部材を互いに接合するための接合装置(1、2)であって、
前記第1の部材を保持する第1の部材ホルダ(10)と、
当該第1の部材ホルダに並設され、前記第2の部材を前記第1の部材に対向するように保持する第2の部材ホルダ(20)と、
前記第1および第2の部材ホルダを互いに接近させて前記第1および第2の部材を互いに押圧することにより、前記第1および第2の部材を接合させるためのホルダ駆動機構(24)と、
を備え、
前記第1の部材ホルダは、
基台(14)と、
当該基台よりも前記第2の部材ホルダ側に配置され、前記第1の部材が取り付けられたテーブル(16)と、
曲面形状を有し、当該曲面形状を介して前記基台および前記テーブルの少なくとも一方に当接した状態で前記テーブルおよび前記基台の間に介在し、前記テーブルを傾動可能に支持する支持部材(30、70)と、
を有していることを特徴とする接合装置。 - 前記第1および第2の部材は、平坦な接合面をそれぞれ有し、
前記第1および第2の部材ホルダは、前記第1および第2の部材の前記接合面同士が対向するように、当該第1および第2の部材をそれぞれ保持し、
前記ホルダ駆動機構は、前記第1および第2の部材の前記接合面同士を接合させることを特徴とする請求項1に記載の接合装置。 - 前記第1の部材ホルダは、
前記基台の前記テーブルと反対側に配置されたベース(12)と、
当該ベースと前記基台の間に介在し、当該基台を支持する弾性体(18)と、
前記ホルダ駆動機構によって前記第2の部材ホルダが移動することにより、前記第2の部材によって前記第1の部材が押圧され、前記テーブルおよび前記基台が前記弾性体の弾性力に抗して移動する際、当該テーブルおよび当該基台の移動方向を、前記第2のホルダと同じ移動方向に規制するガイド機構(40)と、
をさらに有していることを特徴とする請求項1または2に記載の接合装置。 - 前記支持部材を前記テーブルおよび前記基台で狭持するように、当該テーブルを保持するためのストッパ機構(50)をさらに備え、
前記第2の部材が前記第1の部材に接触していない状態において、前記テーブルは、前記基台との間の角度を、前記ストッパ機構によって調整可能に構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の接合装置。 - 前記支持部材(30)は、球体で構成され、当該支持部材の球面を介して前記基台および前記テーブルに当接していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の接合装置。
- 前記支持部材は、前記テーブルの中央よりも周縁部側に偏った部位に配置され、当該テーブルを支持していることを特徴とする請求項5に記載の接合装置。
- 前記基台と前記テーブルの間には、複数の前記支持部材が介在し、
当該複数の支持部材の中心が一直線上に位置するように、当該複数の支持部材が並設され、
前記テーブルは、前記複数の支持部材の中心を通る直線を中心として傾動することを特徴とする請求項5に記載の接合装置。 - 前記基台および前記テーブルの一方には、曲面形状を有し、当該基台および当該テーブルの他方に向かって突出するガイドピン(60)が設けられ、
前記基台および前記テーブルの他方には、前記支持部材の中心を通る直線に沿って延びるとともに前記基台および前記テーブルの一方に向かって開放し、前記ガイドピンと同じ幅を有するガイド溝(34a)が設けられ、
前記ガイドピンは、前記曲面形状を介して前記ガイド溝(34a)に係合していることをことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の接合装置。 - 前記第1の部材ホルダは、前記基台と前記テーブルの間に配置された少なくとも1つのプレートをさらに有し、
前記支持部材は、互いに隣接する前記基台、前記プレートおよび前記テーブルの間にそれぞれ介在していることを特徴とする請求項5に記載の接合装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2020017314A1 (ja) * | 2018-07-19 | 2020-01-23 | ボンドテック株式会社 | 基板接合装置 |
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2013
- 2013-02-27 JP JP2013037500A patent/JP2014165453A/ja active Pending
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WO2020017314A1 (ja) * | 2018-07-19 | 2020-01-23 | ボンドテック株式会社 | 基板接合装置 |
JPWO2020017314A1 (ja) * | 2018-07-19 | 2020-12-17 | ボンドテック株式会社 | 基板接合装置 |
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