JP6934868B2 - 窒化物半導体レーザ及び窒化物半導体レーザ装置 - Google Patents
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Description
[窒化物半導体レーザの構成]
まず、実施の形態1に係る窒化物半導体レーザ1の構成について、図1を用いて説明する。図1は、実施の形態1に係る窒化物半導体レーザ1の構成を示す図である。図1(a)は、同窒化物半導体レーザ1の平面図であり、図1(b)は、図1(a)のIb−Ib線における同窒化物半導体レーザ1の断面図である。
次に、実施の形態1に係る窒化物半導体レーザ1の製造方法について、図2A〜図2Lを用いて説明する。図2A〜図2Lは、実施の形態1に係る窒化物半導体レーザ1の製造方法における各工程の断面図である。
次に、図3を用いて、実施の形態1に係る窒化物半導体レーザ1の実装形態を説明する。図3は、実施の形態1に係る窒化物半導体レーザ1の実装形態を説明するための図である。図3(a)は、同窒化物半導体レーザ1の実装形態の平面図であり、図3(b)は、図3(a)のIIIb−IIIb線における同窒化物半導体レーザ1の実装形態の断面図である。
次に、本実施の形態に係る窒化物半導体レーザ1の作用効果について、本開示の技術を得るに至った経緯も含めて、図4A、図4B及び図4Cを用いて説明する。図4Aは、比較例の窒化物半導体レーザを模擬的に示すレーザ構造1000Xの断面図である。図4Bは、実施の形態1の窒化物半導体レーザ1を模擬的に示すレーザ構造1Xの断面図である。図4Cは、比較例及び実施の形態1におけるレーザ構造1000X及び1Xの動作電圧の経時的変化を示す図である。
以上、本実施の形態に係る窒化物半導体レーザ1によれば、第1の窒化物半導体層20と、第1の窒化物半導体層20の上に形成された窒化物半導体からなる発光層30と、発光層30の上に形成され、リッジ部40aを有する第2の窒化物半導体層40と、第2の窒化物半導体層40の上に形成され、リッジ部40aよりも幅広である電極部材50と、リッジ部40aの側面に形成されたSiO2からなる誘電体層60とを備えている。そして、電極部材50と誘電体層60との間には、空間部70が形成されており、電極部材50は、空間部70により誘電体層60とは非接触であり、リッジ部40aの上面と接触している。
次に、実施の形態2に係る窒化物半導体レーザ2について、図5を用いて説明する。図5は、実施の形態2に係る窒化物半導体レーザ2の構成を示す図である。図5(a)は、同窒化物半導体レーザ2の平面図であり、図5(b)は、図5(a)のVb−Vb線における同窒化物半導体レーザ2の断面図である。なお、図5(a)のVa−Va線における同窒化物半導体レーザ2の断面図は、図1(b)の断面図と同じである。
次に、実施の形態3に係る窒化物半導体レーザ3について、図9を用いて説明する。図9は、実施の形態3に係る窒化物半導体レーザ3の構成を示す図である。図9(a)は、同窒化物半導体レーザ3の平面図であり、図9(b)は、図9(a)のIXb−IXb線における同窒化物半導体レーザ3の断面図である。
以上、本開示に係る窒化物半導体レーザ及び窒化物半導体レーザ装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、上記実施の形態に限定されるものではない。
10 基板
20 第1の窒化物半導体層
30 発光層
31 n側光ガイド層
32 活性層
33 p側光ガイド層
40 第2の窒化物半導体層
40a リッジ部
40b 平坦部
41 電子障壁層
42 p側クラッド層
43 p側コンタクト層
50 電極部材
51 p側電極
52 パッド電極
52a 開口部
53 パッド部材
60 誘電体層
70 空間部
80 n側電極
91 第1保護膜
92 第2保護膜
100 サブマウント
101 基台
102a 第1電極
102b 第2電極
103a 第1半田層
103b 第2半田層
110 ワイヤ
Claims (11)
- 第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層の上に形成された窒化物半導体からなる発光層と、
前記発光層の上に形成され、リッジ部を有する第2の窒化物半導体層と、
前記第2の窒化物半導体層の上に形成された電極部材と、
前記リッジ部の側面に形成されたSiO2からなる誘電体層と
を備え、
前記電極部材は、前記リッジ部の上面に接するオーミック電極と、前記オーミック電極の上に形成され、前記リッジ部よりも幅広であるパッド電極とを有し、
前記パッド電極と前記誘電体層との間には、空間部が形成され、
前記パッド電極は、前記空間部により前記誘電体層とは非接触である
窒化物半導体レーザ。 - 前記第2の窒化物半導体層は、前記リッジ部の側方に平坦部を有し、
前記パッド電極は、前記平坦部の上面と接触している
請求項1記載の窒化物半導体レーザ。 - 前記第2の窒化物半導体層は、前記リッジ部の最上層として形成されたコンタクト層を有し、
前記オーミック電極は、前記リッジ部の上面である前記コンタクト層の上面と接触している
請求項1又は2記載の窒化物半導体レーザ。 - 前記パッド電極は、前記空間部に連通する開口部を有する
請求項1〜3のいずれか1項に記載の窒化物半導体レーザ。 - 前記リッジ部の幅は、10μm以上50μ以下である
請求項1〜4のいずれか1項に記載の窒化物半導体レーザ。 - 第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層の上に形成された窒化物半導体からなる発光層と、
前記発光層の上に形成され、リッジ部を有する第2の窒化物半導体層と、
前記第2の窒化物半導体層の上に形成された電極部材と、
前記リッジ部の側面に形成されたSiO2からなる誘電体層と、
前記第2の窒化物半導体層の上に形成されたパッド部材と
を備え、
前記電極部材は、オーミック電極と、前記オーミック電極の上に形成されたパッド電極とを有し、
前記パッド部材は、前記誘電体層とは非接触であり、かつ、前記パッド電極と同じ材料で構成されており、
前記パッド電極は、前記誘電体層とは非接触であり、前記リッジ部の上面と接触している
窒化物半導体レーザ。 - 前記第2の窒化物半導体層は、前記リッジ部の最上層として形成されたコンタクト層と、前記リッジ部の側方に形成された平坦部とを有し、
前記オーミック電極は、前記リッジ部の上面である前記コンタクト層の上面と接触し、
前記パッド部材は、前記平坦部の上面と接触している
請求項6に記載の窒化物半導体レーザ。 - 前記リッジ部の幅は、10μm以上50μ以下である
請求項6又は7に記載の窒化物半導体レーザ。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載の窒化物半導体レーザと、
前記窒化物半導体レーザを保持するサブマウントとを備える
窒化物半導体レーザ装置。 - 請求項6〜8のいずれか1項に記載の窒化物半導体レーザと、
前記窒化物半導体レーザを保持するサブマウントとを備え、
前記電極部材及び前記パッド部材が前記サブマウントに接続されている
窒化物半導体レーザ装置。 - 前記サブマウントは、基台と、該基台の一方の面に形成された電極と、該電極の上に形成された半田層とを有し、
前記電極部材及び前記パッド部材が前記半田層に接続されている
請求項10記載の窒化物半導体レーザ装置。
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