JP6932669B2 - 塗布システム - Google Patents
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- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
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- Coating Apparatus (AREA)
Description
2 ガントリユニット
3 チャンバ部
4 メンテナンスユニット
10 ステージ部
11 搬送駆動部
20 塗布器
22 ゲートプレート部
22a ゲート部
25 保守ゲート部
31 本体側チャンバ部
32 アクセスチャンバ部
43 シール部
Claims (3)
- 基板を載置するステージ部と、
前記ステージ部上の基板に塗布液を塗布する塗布器を備えるガントリユニットと、
前記塗布器の塗布液吐出側のメンテナンスを行うメンテナンスユニットと、
前記ステージ部、ガントリユニット、メンテナンスユニットを密封状態に収容するチャンバ部と、
を備え、前記ガントリユニットと前記ステージ部とを相対的に移動させつつ、塗布器から基板上に塗布液を吐出する塗布システムであって、
前記ガントリユニットは、前記塗布器が昇降動作することにより挿通可能なゲート部を有するゲートプレート部を有しており、
前記メンテナンスユニットは、前記ゲートプレート部に当接し前記ゲート部を塞ぐことにより、前記チャンバ部を前記ゲートプレート部より上側のアクセスチャンバ部と、前記ゲートプレート部より下側の本体側チャンバ部とに密封した状態で区分けするシール部を有していることを特徴とする塗布システム。 - 前記本体側チャンバ部と前記アクセスチャンバ部とは、前記ゲートプレート部によって間仕切りされており、
前記ガントリユニットは、塗布器が設けられた塗布ガントリ部を有しており、
前記アクセスチャンバ部には、前記塗布ガントリ部が収容され、前記塗布器の保守作業を行う保守ゲート部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の塗布システム。 - 前記アクセスチャンバ部は、その容積が前記本体側チャンバ部よりも小さく形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の塗布システム。
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Applications Claiming Priority (1)
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