JP2010272780A - 電子部品の封止装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空加熱チャンバ2と、不活性ガス充填チャンバ3と、真空加熱チャンバ2と不活性ガス充填チャンバ3との間に設けられた内部扉と、マガジンラック13を載置する載置台24とを有し、前記内部扉は第1の内部扉12と第2の内部扉23で構成され、第1の内部扉12は支柱12Aを有し、この第1の内部扉12および第2の内部扉23が共に開いた状態となったとき、載置台24の端部を支点として開いた状態となった第2の内部扉23の支点24Aから離隔した部分に支柱12Aが当接することで、前記載置台24と前記第2の内部扉23とが、支点24Aの部分で略連続した1平面になることを特徴とする。
【選択図】図4
Description
この不活性ガス充填チャンバ62内のさらに右側には、図示しないシーム接合装置が収納されている。また符号63は手袋部であり、図では手袋の図示を省略して開口部のみを描いてある。この手袋はゴム製であり、およそ肘に相当する部分で手袋部63の開口部を密閉する構造になっており、不活性ガスがチャンバに充填されているときは、その内圧が高いために外に突出した形になる。そして操作者は、不活性ガス充填チャンバ内に手袋を押し込みながら手を挿入してチャンバ内部の作業を行う。
2 真空加熱チャンバ
3 N2チャンバ
4 アンロードチャンバ
5 真空発生器
6 第1の制御部
7 電源部
8 第2の制御部
9 シーム接合装置
10 手袋部
11 前面扉
12 第1の内部扉
13 マガジンラック
23 第2の内部扉
24 載置台
Claims (2)
- 電子部品を収容する容器の開口部にリッドを載置し、このリッドの周縁を前記開口部に接合して気密封止する電子部品の封止装置において、
真空加熱チャンバと、
不活性ガス充填チャンバと、
前記真空加熱チャンバと不活性ガス充填チャンバとの間に設けられた内部扉と、
前記真空加熱チャンバ内の床面を構成し、ワークを複数収納したマガジンラックを載置する載置台とを有し、
前記内部扉は第1の内部扉と第2の内部扉で構成され、
前記第1の内部扉は閉じた状態では前記真空加熱チャンバ側に突出する支柱を有し、
この第1の内部扉および前記第2の内部扉が共に開いた状態となったとき、
前記載置台の端部を支点として開いた状態となった第2の内部扉の前記支点から離隔した部分に前記支柱が当接することで、前記載置台と前記第2の内部扉とが、前記支点の部分で略連続した1平面になることを特徴とする電子部品の封止装置。 - 前記第1の内部扉および第2の内部扉が共に閉じた状態になったとき、前記支柱が前記第2の内部扉を貫通するように、この第2の内部扉の主面に逃げ孔を設けたことを特徴とする請求項1に記載の電子部品の封止装置。
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2009
- 2009-05-25 JP JP2009124921A patent/JP5224185B2/ja active Active
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