JP5224185B2 - 電子部品の封止装置 - Google Patents
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims description 27
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 45
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 26
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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Description
この不活性ガス充填チャンバ62内のさらに右側には、図示しないシーム接合装置が収納されている。また符号63は手袋部であり、図では手袋の図示を省略して開口部のみを描いてある。この手袋はゴム製であり、およそ肘に相当する部分で手袋部63の開口部を密閉する構造になっており、不活性ガスがチャンバに充填されているときは、その内圧が高いために外に突出した形になる。そして操作者は、不活性ガス充填チャンバ内に手袋を押し込みながら手を挿入してチャンバ内部の作業を行う。
2 真空加熱チャンバ
3 N2チャンバ
4 アンロードチャンバ
5 真空発生器
6 第1の制御部
7 電源部
8 第2の制御部
9 シーム接合装置
10 手袋部
11 前面扉
12 第1の内部扉
13 マガジンラック
23 第2の内部扉
24 載置台
Claims (2)
- 電子部品を収容する容器の開口部にリッドを載置し、このリッドの周縁を前記開口部に接合して気密封止する電子部品の封止装置において、
真空加熱チャンバと、
不活性ガス充填チャンバと、
前記真空加熱チャンバと不活性ガス充填チャンバとの間に設けられた内部扉と、
前記真空加熱チャンバ内の床面を構成し、ワークを複数収納したマガジンラックを載置する載置台とを有し、
前記内部扉はそれぞれの支点を中心として開閉可能な第1の内部扉と第2の内部扉で構成され、
前記第1の内部扉は閉じた状態では前記真空加熱チャンバ側に突出する支柱を有し、
この第1の内部扉および前記第2の内部扉が共に開いた状態となったとき、
前記載置台の端部を支点として開いた状態となった第2の内部扉の前記支点から離隔した部分に前記支柱が当接することで、前記載置台と前記第2の内部扉とが、前記支点の部分で連続した1平面になることを特徴とする電子部品の封止装置。 - 前記第1の内部扉および第2の内部扉が共に閉じた状態になったとき、前記支柱が前記第2の内部扉を貫通するように、この第2の内部扉の主面に逃げ孔を設けたことを特徴とする請求項1に記載の電子部品の封止装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009124921A JP5224185B2 (ja) | 2009-05-25 | 2009-05-25 | 電子部品の封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009124921A JP5224185B2 (ja) | 2009-05-25 | 2009-05-25 | 電子部品の封止装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010272780A JP2010272780A (ja) | 2010-12-02 |
JP5224185B2 true JP5224185B2 (ja) | 2013-07-03 |
Family
ID=43420553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009124921A Active JP5224185B2 (ja) | 2009-05-25 | 2009-05-25 | 電子部品の封止装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5224185B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014119198A (ja) * | 2012-12-18 | 2014-06-30 | Sanki Eng Co Ltd | パスボックス |
JP6152295B2 (ja) * | 2013-05-01 | 2017-06-21 | アキム株式会社 | 溶接方法及び設備 |
JP6414934B2 (ja) * | 2015-01-07 | 2018-10-31 | 日本アビオニクス株式会社 | 気密加工装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0324274A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 気相成長装置 |
JPH0982778A (ja) * | 1995-09-11 | 1997-03-28 | Nissin Electric Co Ltd | 真空成膜装置における投入室のサンプルカセット搬出入機構 |
JP4450529B2 (ja) * | 2001-06-01 | 2010-04-14 | オリジン電気株式会社 | シーム接合方法及び装置 |
JP2007238242A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | チャンバの扉開閉機構及びそれを備える真空装置 |
-
2009
- 2009-05-25 JP JP2009124921A patent/JP5224185B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010272780A (ja) | 2010-12-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130128 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130228 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130304 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130228 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5224185 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160322 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160322 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |