JPH0890243A - 密閉形センサーの製造装置 - Google Patents

密閉形センサーの製造装置

Info

Publication number
JPH0890243A
JPH0890243A JP6244615A JP24461594A JPH0890243A JP H0890243 A JPH0890243 A JP H0890243A JP 6244615 A JP6244615 A JP 6244615A JP 24461594 A JP24461594 A JP 24461594A JP H0890243 A JPH0890243 A JP H0890243A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode sheath
sensor
lower electrode
welding
sheath
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP6244615A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2732036B2 (ja
Inventor
Yasukazu Mizutani
靖和 水谷
Shigemi Sato
重己 佐藤
Hideki Koseki
秀樹 小関
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
UBUKATA SEISAKUSHO KK
Original Assignee
UBUKATA SEISAKUSHO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by UBUKATA SEISAKUSHO KK filed Critical UBUKATA SEISAKUSHO KK
Priority to JP6244615A priority Critical patent/JP2732036B2/ja
Priority to CN 95102885 priority patent/CN1081505C/zh
Publication of JPH0890243A publication Critical patent/JPH0890243A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2732036B2 publication Critical patent/JP2732036B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Resistance Welding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】金属製の密閉容器を有するセンサーの製造装置
に於て、装置の設置時の位置調整やメンテナンスを容易
にする。 【構成】本発明の製造装置は、第一の封入電極を備え昇
降可能に設けられた上部電極鞘1と、第二の封入電極を
備え間欠的に回動する可動台7上に設けられた複数の下
部電極鞘2を有している。下部電極鞘2には密閉形セン
サーの構成部品が収容され、上部電極鞘1と下部電極鞘
2との軸芯が実質的に一致する位置で可動台7が停止し
て、上部電極鞘1は駆動シリンダー6により下降されて
下部電極鞘2と当接して気密空間を構成する。気密空間
内を所定のガスで満たした後、溶接電極3A,3Bによ
り上下電極鞘間に溶接電流を流しセンサーの容器をシー
ル溶接して気密容器とする。上下電極鞘は溶接機3の溶
接電極3Aとは別体に設けられているため、上下電極鞘
の溶接機3に対する取付け調整作業が容易になる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は金属外筒の密閉構造を持
つセンサーの製造装置、特に感熱センサー、感震器、圧
力センサー等種々の物理量を各所定のレベルで検知して
電路開閉の信号を発生するセンサーを、それ自体例えば
熱伝導特性を設定するため、若しくは耐熱・耐汚損・耐
久性等を望ましい状態に保護するため、金属製ケースに
密閉する構造を持つセンサー類の製造装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】密閉形電動圧縮機のモータを焼損事故か
ら保護するために圧縮機の密閉ケーシングの内部で該モ
ータの固定子巻線上等に装着して直接に異常温度等を検
出してモータの電路への制御信号を与える熱応動スイッ
チに於ては、モータ巻線等のモーター構造体に直接装着
するために丈夫でかつ良い伝熱性と耐熱性との要求から
金属製の外筒を具え、該外筒内に熱応動スイッチ本体を
収容した構成が適し、更に該熱応動スイッチ本体が外筒
の温度によって迅速に作動するのが好ましいことから、
外筒内は予め適当な熱伝導特性を持つよう設定された通
常は不活性ガスをその成分の全部又は一部とする気体を
充填し密閉構造としたものがこの種のモーターの保護に
適している。
【0003】また例えば石油暖房機やガス燃焼機器等に
取り付けられ、地震による振動や傾斜などの加速度を検
知する加速度応動スイッチがある。この加速度応動スイ
ッチは例えば地震等の震動を感知して前記石油暖房機や
ガス燃焼機器の信号処理装置に検知信号を送り制御装置
により自動消火等の適切な保安処置がとられる様になっ
ている。これらの感震器は小型化が要求されており、ま
た保安部品の性質上長期間に亘って安定した特性を必要
とするため不活性ガスなどの汚損防止ガスをその成分の
全部又は一部とする気体を充填し密閉構造としたものが
この種の用途に適している。
【0004】本発明は、このような設定された気体を封
入し気密構造を有する熱応動スイッチや加速度応動スイ
ッチなどの密閉形センサーの製造に於て、金属外筒内に
センサー構造部分と設定気体とを封入して且つ密閉する
ための一連の工程を1個の製造装置上で順次に連続して
効率よく進行させるようにした技術手段を提供するもの
である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明に於て解決を図
った技術課題について述べると、設定気体を封入した密
閉容器を得るための上下封入用電極を溶接機の溶接電極
の一部として単純に構成した封入装置により金属外筒と
センサー蓋板とを固着し密閉容器とする方法に於ては、
封入電極が1組しか使用できないために非常に生産効率
が悪い。また電極先端の損耗に伴う取り替え時には溶接
機の電極全体を交換する必要が有るため、その交換作業
及び電極位置の調整作業が甚だ面倒であった。
【0006】そこで下部封入電極を溶接機と別体として
移動式のテーブル等に複数配置し封入作業を連続的に行
う装置が考えられる。しかしながらこの装置に於ても前
記センサー構造部を金属外筒内に設定ガスと共に封入密
閉する一連の工程に於て、該密閉の直前には外筒内のガ
ス置換の為に外筒内を一度は高い真空度に排気するため
に要する時間が、その前後の工程すなわち、該外筒内に
該センサー構造部を挿入し組み合わせる工程と排気後に
設定ガスを置換充填する工程及びそれに続く溶接密閉工
程等の夫々に要する時間より長時間を必要とすることに
因る一部工程の遅速の不同が、工程全体の進行速度を制
約して非常に効率が悪かった。また依然として上部封入
電極が溶接機の溶接電極と一体に取付けられているため
に、設置時に上下封入電極の軸芯を合せるためには溶接
機本体やテーブルの台座ごと位置調整を行う必要がある
ため僅かな傾きや位置ズレに対する微調整が非常に難し
く、また使用開始後の上下封入用電極の対向面のアライ
メント調整などの封入電極のメンテナンス作業が困難で
あった。また上部電極の損耗時には上記例と同様に電極
の交換調整作業が甚だ面倒であった。
【0007】そのため本出願人は平成6年9月1日出願
の特許願に於て図7に示す如く円盤101上に複数の電
極鞘102を等角度に配置し、該円盤101の間欠回転
につれて電極鞘102の数に対応した各回動停止位置に
於て、順次にセンサー部品の電極鞘への挿入、電極鞘の
閉塞、電極鞘内部の排気、設定ガスの充填、センサー部
品の溶接による密閉容器の形成、電極鞘の開放、センサ
ーの取り出しを行い、この工程の内、排気工程を複数の
ステップに分けて行う製造装置を提唱した。このように
排気工程を複数のステップに分けて行うことにより、各
工程間に存在した遅速の不同からくる生産の非能率性を
改善したものである。この装置に於ては排気工程を連続
して段階的に進めるために電極鞘102と真空ポンプ1
03及び充填ガスボンベ104とをつなぐ排気ポート1
03Aとガス充填ポート104Aの接続及び切り変えに
一種のロータリーバルブ105を使用するものであり、
2枚の円盤を合せたロータリーバルブ105の密閉性を
保持し潤滑性を得るためにシリコンオイルやシリコング
リスが使用される。そのため充填ポートからの充填ガス
に混じって油などがセンサーの密閉容器内に入ってしま
う可能性がある。また電極鞘102は上部電極鞘102
Aがピボット102Cを中心に下部電極鞘102Bに対
して転回して内部空間を閉塞した状態または開放するよ
うに支持されているために、溶接機106の溶接電極1
06A,106Bによる押圧力の変化により上部電極鞘
102Aと下部電極鞘102Bの対向面の平行状態が変
化するので、頻繁にメンテナンスを必要とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】そこで本発明の密閉形セ
ンサーの製造装置に於ては、シリンダー状のガイドとこ
のガイドに対して気密に摺動するピストン状の第一の封
入電極を有し所要の上下移動距離を昇降可能に設けられ
た上部電極鞘を溶接機の溶接電極とは別体に設け、セン
サー構成部品を収容する第二の封入電極を有し上部電極
鞘の軸芯に実質的に一致する位置に停止箇所を決められ
た可動台上に設けられた下部電極鞘を有し、前記上部電
極鞘と下部電極鞘との軸芯が実質的に一致した位置で停
止した時に上部電極鞘が下降して下部電極鞘と当接して
気密空間を構成し、気密空間内及びその中に収納状態に
せしめられたセンサー内部の空間を所定成分のガスによ
って満たした後に溶接機の溶接電極が動作して両封入電
極間に所定の加圧力を印加しながら溶接電流を通電しセ
ンサーの容器をシール溶接して気密容器とするようにし
たことにより、上下電極鞘の溶接機に対する取付け調整
作業を容易にした事を特徴としている。
【0009】また他の特徴は封入電極の溶接側先端に溶
接チップが着脱可能に固定する事により、封入電極のメ
ンテナンスを容易にし、密閉形センサーの形状や溶接条
件の変更による封入電極の変更に容易に対応できるよう
にした事にある。
【0010】さらに他の特徴は上部電極鞘と下部電極鞘
を一つの台座に所定の位置関係でセットすることによ
り、特に装置の設置時に上下封入電極の軸芯合わせを不
要にし且つ上下電極鞘の溶接機に対する調整作業を容易
にした事にある。
【0011】
【実施例】以下、図面を参照して本発明について説明す
る。図1は本発明の密閉形センサーの製造装置の全体を
示す図であり、図2はこの製造装置の電極鞘の配置を示
す平面図である。この製造装置は上部電極鞘1と下部電
極鞘2を有し、各電極鞘は溶接機3の上部溶接電極3A
と下部溶接電極3Bの間に位置している。上部電極鞘1
は支持体4によりガイドバー5と駆動シリンダー6に支
持され且つ所要の上下方向距離を昇降可能にされてい
る。本実施例に於てはガイドバー5は4本設けられ、支
持体4を固定した台座5Aの四隅に取付けたスライド筒
5Bがガイドバー5上を滑動して上部電極鞘1を直線的
に昇降させるようにされている。また下部電極鞘2は可
動台である円盤7上に複数配設されており、図2の平面
図に示すように例えば六個の下部電極鞘2が同一円周上
に等角度に配置されている。円盤7はモータ8とエンコ
ーダ9によってその中心7Aに対して間欠的に回転し、
少なくとも上部電極鞘1と下部電極鞘2の軸芯が一致す
る位置に停止箇所を設けている。またこの停止箇所以外
での位置では下部電極鞘2に対して加工前のセンサー構
成部品の投入と加工後のセンサーの取り出しが行われ
る。上部電極鞘1はその内部空間が真空ポンプ10に排
気ホース10Aとバキュームリザーバー11を介して接
続され、且つ充填ガスボンベ12に充填ホース12Aを
介して接続されている。また記号13はこの製造装置の
制御装置である。
【0012】次に図3を参照して上部電極鞘1及び下部
電極鞘2について説明する。図3は可動台である円盤7
に取付けられた一つの下部電極鞘2が溶接の為の位置に
停止された状態での断面図であり、このときモータ8は
エンコーダ9からの信号により制御され正確に下部電極
鞘2を予め定められた上部電極鞘1の軸芯に実質的に一
致する位置に停止することができる。また上部電極鞘1
は支持体4によって溶接機3の上部溶接電極3Aと下部
溶接電極3Bとの間に軸芯が実質的に一致するように支
持配設されている。この上部電極鞘1は銅合金などの導
電性の封入電極であるピストン状のシャフト21を有
し、シャフト21の上端には上部溶接電極3Aと接触す
る導電性の上部接触体22が取付けられている。シャフ
ト21と上部接触体22は中空部を有しOリングの如き
パッキン21Aにより気密に固定されており、パイプ2
3A,23B間の中空部に冷却水を流通させることによ
り上部電極鞘1の過熱を防ぐウォータージャケットとさ
れる。これは上部電極鞘1が複数の下部電極鞘2に対し
て繰り返し溶接作業を行うため放熱効率が悪くなるため
に設けるものであるが、もちろん上部電極鞘1からの放
熱が十分である場合にはこの様な冷却機構は省略でき
る。シャフト21の下端部には上部溶接チップ24が本
実施例に於ては図示の如くネジにより着脱可能に取付け
られており後述の密閉形センサーの溶接時に一方の部品
につきあてられる。本実施例に於てはシャフト21と上
部接触体22、上部溶接チップ24により第一の封入電
極が構成されるが、上述の冷却機構を省略する等してシ
ャフト上端を接触部として上部接触体を省略したり、上
部溶接チップとシャフトを一体の構成とする事もでき
る。
【0013】シャフト21にはフランジ25が固定され
シャフトと一体に昇降するようにされている。このフラ
ンジ25はロッド26と絶縁ブッシュ26A,26Bに
より支持体4に電気的に絶縁固定されたストッパー27
に通常バネ28の復元力により当接されている。また支
持体4にはシリンダー状の上部ガイド29が絶縁ブッシ
ュ29A,29Bにより電気的に絶縁固定される。ピス
トン状のシャフト21は上部ガイド29に対して摺動可
能にされておりその摺動面はパッキン21Bにより気密
にされる。上部ガイド29の下部には封入作業時の排気
及び気体充填の為の上部空間29Cが設けられており、
この上部空間29Cに対して排気管10Bと気体充填管
12Bが接続されており、排気管10Bと気体充填管1
2Bはそれぞれバルブを介して前述の排気ホース10A
と充填ホース12Aに接続されている。上部ガイド29
の下端面には絶縁ブッシュ30A,30Bを介して下部
電極鞘2と当接される上部密閉板30が固定されてい
る。
【0014】下部電極鞘2は下部ガイド41が円盤7上
に絶縁固定され、この下部ガイド41内に第二の封入電
極である下部接触体42と下部密閉体43とにより保持
された下部溶接チップ44を有している。下部接触体4
2と下部密閉体43及び下部溶接チップ44は、下部ガ
イド41内を昇降可能とされており、通常は下部接触体
42と下部ガイド41との間で圧縮されたバネ45の復
元力によりストッパー46に押し付けられている。下部
溶接チップ44には密閉形センサー51の外筒を収納す
るためのポケット44Aが設けられており、下部密閉体
43内部の空間と併せて下部空間43Aとなる。なお本
実施例においては円盤7の材料に高い加工精度を得るた
めにアルミニウム板などの金属板を使用しているため
に、下部電極鞘2は絶縁ブッシュ47A,47B,47
Cを介して電気絶縁状態で固定されているが、例えば円
盤が樹脂などの絶縁材料で作られている場合には特別な
絶縁手段が必要ない事は云うまでもない。
【0015】この製造装置においては下部電極鞘2に対
する上部電極鞘1の位置の微調整はガイドバー5若しく
は支持体4の取付部に調整機構を設ける事などによって
容易に行う事ができる。また上下の電極鞘はそれぞれ溶
接機の電極とは独立しているため、電極鞘間の軸芯があ
っていれば若干溶接機の電極との軸芯がずれていても実
質的に問題はなく、電極鞘と溶接機の電極との軸芯合せ
に過度に厳密さを求められる事はなくなる。そのため製
造装置の設置時にも電極鞘と溶接機の電極は実質的に軸
芯が合っていればよく位置の調整作業が簡素化され、ま
た電極鞘間の軸芯合せも電極鞘を支持している部分を調
整するだけで可能になるため装置の固定後にも行う事が
でき非常に容易になる。また下部電極鞘2に比べて放熱
効率の悪い上部電極鞘1の封入電極たるシャフト21の
先端部に溶接チップ24を着脱可能に取付けてある事に
より、製造装置の使用開始後の封入電極の溶接面のメン
テナンス作業や交換も容易になる。また予め図1の如く
上部電極鞘1を含むガイドバー5などと下部電極鞘2を
含む円盤7やモータ8などを台座14に取付けて所定の
位置関係を保つように一体のユニットにしておく事によ
り、製造装置の設置時に於ける調整作業が容易になる。
【0016】この製造装置により製造される密閉形セン
サー51は、金属製の外筒と蓋板により気密容器を構成
するものであり、例えば蓋板にバイメタル等の熱応動板
と接点を設けたスイッチ本体を有しこのスイッチ本体を
気密容器内部に収納し外部の熱や通電電流による自己発
熱により熱応動板が変形して接点を離接する熱応動スイ
ッチや、気密容器内部に接触子と金属球を収納し振動や
傾斜若しくは加速度等により金属球などの導電体が密閉
容器内部を転動して接触子と離接する加速度応動スイッ
チ等のオンオフ信号を発生するものや、半導体式の感熱
センサーや加速度センサー、圧力センサー等のアナログ
信号を発生するものがある。
【0017】次にこの製造装置の動作について図1乃至
図5を参照しながら、図2に示した如く円盤7上に下部
電極鞘2を6個固定したもので熱応動形の密閉形センサ
ー51を製造する場合を例に説明する。この円盤7はそ
の中心7Aを回転中心として工程の進行につれて毎回1
/6回転ずつ同じ時間間隔で回動し、1/6回転すると
各電極鞘1は次の工程を順次分担して行う事により密閉
形センサー51の封入密閉作業を進行して、円盤7の一
回転で封入密閉作業の一回分が終了する。この円盤の回
動の制御はエンコーダ9からの信号を制御装置13に送
ることにより行われ、制御装置13によりモータ8は円
盤7を正確に1/6回転ずつ回動させる。この手順のス
タートは、図2に示す第一の位置61で下部電極鞘2の
下部溶接チップ44のポケット44Aに密閉形センサー
51の金属製の外筒51Aが開口端を上に挿入される。
【0018】次に円盤7が1/6回転して第二の位置6
2で外筒51Aの開口端に蓋板51Bの周縁部が当接す
るようにセンサー本体を挿入し、次に移動した第三の位
置63で光センサー等により部品が投入されたかどうか
を検出しその信号を制御装置13に送り確認する。
【0019】次に下部電極鞘2は第四の位置64に移動
し、図3の如く上部電極鞘1の軸芯に一致する位置で停
止する。この状態でまず上部電極鞘1が例えば圧縮空気
等によって駆動される駆動シリンダー6によりガイドバ
ー5に沿ってスライド筒5Bが溶接機3の上部溶接電極
3Aとは別に下降し、図4に示す如く上部密閉板30と
下部密閉体43が接近し、パッキン43Bを挟んで上部
空間29Cと下部空間43Aとが合わされた一つの気密
空間を構成し、さらに上部電極鞘1の押圧力により下部
密閉体43と下部接触体42及び下部溶接チップ44は
バネ45の復元力に抗して下部ガイド41内を一体に下
降して、下部接触体42の下端は溶接機3の下部溶接電
極3Bと接触する。なお、この時点では上部溶接電極3
Aはまだ上部接触体22とは接触しておらず、また上部
溶接チップ24もセンサーの蓋板51Bとは接触してい
ない。
【0020】次に気密空間に接続された排気管10Bに
設けられた排気用バルブが開かれ、気密空間及び密閉形
センサー51の内部は排気ホース10Aを介して直接真
空ポンプ10または真空状態に保たれたリザーバータン
ク11に接続されることにより気密空間内が所定の真空
度に達するまで排気される。リザーバータンク11の体
積を電極鞘間の密閉空間に比較して充分に大きく設定し
常に真空ポンプ10によって所定の真空度以上に保って
おくことにより、直接真空ポンプ10により排気するよ
りも速やかに密閉空間内を所定の真空度にすることがで
きる。また排気管10Bや排気ホース10Aの排気用バ
ルブから真空ポンプまでの間の容積が電極鞘間の密閉空
間に対して充分大きく設定されていれば、これらの配管
自体をリザーバータンク11の代用とする事ができる。
また勿論真空ポンプ10の能力が充分であるときにもリ
ザーバータンク11を省略する事ができる。
【0021】次に密閉空間に接続された圧力センサー等
から空間内が所定の真空度に達したことを検知した信号
が制御装置13に送られると排気バルブが閉じられ、続
いてガス充填用バルブが開かれて気密空間は充填管12
B及び充填ホース12Aを介して充填ガスボンベ12に
接続され、所定の配合とされた充填ガスが密閉形センサ
ー内を含む気密空間に充填される。この充填ガスは例え
ばヘリウムやアルゴン等の不活性ガスや窒素等が所定の
割合で混合されているものである。特にヘリウムを含む
事により気密容器の完成後にヘリウムリークディテクタ
により気密検査を行うことができるようになる。密閉形
センサーの構成部材の内部を含む気密空間内が所定成分
の充填ガスで満たされ所定の圧力になったことを検出し
て制御装置13に信号を送りガス充填用バルブは閉じら
れる。なお例えば封入ガスの成分割合等に厳密さを求め
る必要がないのであれば、排気側の機構を省略しても、
例えばヘリウムを含んだ混合ガスを気密空間に吹込む事
により気密容器内に気密検査用のヘリウムを含んだガス
を封入する事は可能である。
【0022】続いて図5に示す如く、溶接機3の上部溶
接電極3Aが下降し上部電極鞘1の上部接触体22に当
接し、さらにシャフト21及び上部溶接チップ24をバ
ネ28の復元力に抗して押し下げる。シャフト21は上
部ガイド29に対して気密を保ちながら摺動下降し、溶
接チップ24の下端が密閉形センサー51の蓋板51B
に当接される。さらに上部溶接電極3Aはシャフト21
を介して密閉形センサー51の外筒51Aの開口端のフ
ランジと蓋板51Bとの間を加圧し、この加圧力が所定
の値に達したところで上部溶接電極3Aと下部溶接電極
3Bとの間に溶接電流を通電し、密閉形センサー51は
外筒51Aのフランジと蓋板51Bとを溶接され気密容
器が構成される。上部電極鞘1及びその封入電極たるシ
ャフト21や溶接チップ24は、下部電極鞘2に対して
実質的に同一の軸線で直線的に移動するため、溶接機の
電極の加圧力の変化やパッキン43Bの摩耗や劣化等に
より上下の溶接チップ24,44の対向面の平行度が変
化する事はない。
【0023】密閉形センサーの容器の気密封入溶接が終
ると溶接機3の上部溶接電極3A及び上部電極鞘1が上
昇し図3の状態に復帰する。次に円盤7が1/6回転し
下部電極鞘2は第五の位置65に移動し、気密容器を完
成された密閉形センサー51はここで下部電極鞘2から
取り出される。次に第六の位置66で下部電極鞘2の下
部溶接チップ44内に部品が残されているなどの不都合
がなく部品を受け入れる状態にあることを確認し、この
信号に基づいて再び第一の位置61に於て外筒51Aが
投入され、上述の製造工程が繰り返される。またこの製
造作業は円盤7上の6個の下部電極鞘2のそれぞれに対
して行われるため、繰り返し且つ連続的に行われる。
【0024】なお密閉形センサー51の外筒51A及び
蓋板51Bの下部電極鞘2への挿入、並びに製品の取り
出しは煩雑を避けるために説明を省くが、この部分も自
動化するのが望ましい事は云うまでもなく、この種の工
作に使用する自動ハンドリングの簡単な工業用ロボット
は各種知られており、それらの中から適宜選択して使用
すればよい。
【0025】また本実施例では上部電極鞘を圧縮空気等
を駆動源とした駆動シリンダーで昇降させるものを例に
説明したが、例えば電動式のアクチュエータを利用して
もよい。また図6の様に上部電極鞘1を支持体4を介し
て昇降可能に支えるガイドバー71のスライド筒71A
を、常時バネ71Bで上方に付勢し溶接機の上部溶接電
極3Aにより上部電極鞘1を昇降させる構造としてもよ
い。この場合、溶接機3の上部溶接電極3Aは2段階で
下がるように動作するとともに上下電極鞘のバネ28,
45とスライド筒71Aのバネ71Bの強さを調整して
おき、溶接機3の上部溶接電極3Aの動作の第1段階で
図4に仮想線で示す如く上部電極鞘1に接触して押し下
げ上部電極鞘1と下部電極鞘2の間に気密空間を作るよ
うにして排気とガス充填作業を行い、第2段階で図5の
如く封入電極を押下し上下溶接チップ間に加圧力を印加
して封入溶接を行うようにすればよい。
【0026】また上記実施例では可動台として円盤を使
用し下部電極鞘は可動台の同一円周上にその回転中心に
対して等角度で搭載したものについて説明したが、可動
台の形状はこれに限るものではなく、例えば可動台が前
後又は左右に往復運動をして下部電極鞘が溶接位置と部
品の投入と製品の取り出しの両方を行う位置とを往復す
る構造のものであってもよい。また可動台として円盤を
使用する場合には配設する下部電極鞘の数を説明した実
施例の如く6個に限定するものではなく、等角度で配設
するものであれば例えば5個以下にしたり7個以上にし
てもよく、さらには一つの回転台に対して溶接機を2台
設置し同一工程を複数のセンサーに対して同時に行える
ようにしてもよい。
【0027】
【発明の効果】本発明によれば溶接用の電極鞘を溶接機
の電極と独立して設置した事により、製造装置の設置時
の位置決めや軸芯合せの微調整を電極鞘の支持部の調整
で行う事ができるため従来と比較して非常に容易にな
る。また溶接チップの形状を変更しても溶接機自体を改
造する必要がないため、溶接チップの改良や密閉形セン
サーの形状変更に対応しやすくなる。また上下電極鞘の
位置関係が合っていれば溶接機の電極に対しての位置精
度を若干緩やかにする事ができるため設置作業が容易に
なり、さらに予め上部電極鞘と下部電極鞘を一つの台座
に取付けて所定の位置関係を保つように一体のユニット
にしておく事により、製造装置の設置時に於ける調整作
業がより容易になる。
【0028】また上下の電極鞘を実質的に同一軸線上に
置き電極鞘をこの軸線にそって昇降させるため、加圧力
の変化などにより溶接チップ対向面の平行度が変化する
事はない。さらに封入電極の先端に溶接チップを容易に
交換可能に取り付ける事により電極のメンテナンス時に
電極鞘全体を取り外したり分解したりする必要がなく作
業が非常に容易になる。
【0029】また下部電極鞘を可動台に搭載する事によ
り下部電極鞘へのセンサー構成部品の投入が容易にな
り、さらに複数の下部電極鞘を回転式の可動台の同一円
周上に回転中心に対して等角度で搭載しその個数に応じ
た角度で可動台を間欠的に回動させる事により下部電極
鞘の各停止位置に於て部品の投入、封入溶接、製品の取
出しを連続的に行う事ができ密閉形センサーのより効率
的な製造が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に於ける密閉形センサーの製造装置の一
実施例の全体を示す側面図
【図2】本発明装置の電極鞘の配設状態の一実施例を示
す平面図
【図3】本発明装置の電極鞘の一実施例で本発明装置作
動中の一状態を示す縦断面図
【図4】図3の電極鞘の作動中の他の状態を示す縦断面
【図5】図3の電極鞘の作動中の他の状態を示す縦断面
【図6】本発明装置の上部電極鞘の支持方法の他の実施
例を示す平面図
【図7】従来の密閉形センサーの製造装置の一例の全体
を示す側面図
【符号の説明】
1:上部電極鞘 2:下部電極鞘 3:溶接機 3A:上部電極 3B:下部電極 4:支持体 5,71:ガイドバー 6:駆動シリンダー 7:円盤 8:モータ 9:エンコーダ 10:真空ポンプ 10A:排気ホース 10B:排気管 11:バキュームリザーバー 12:ガスボンベ 12A:充填ホース 12B:気体充填管 13:制御装置 14:台座 21:シャフト(第一の封入電極) 22:上部接触体(第一の封入電極) 24:上部溶接チップ(第一の封入電極) 29:上部ガイド 29C:上部空間 30:上部密閉板 41:下部ガイド 42:下部接触体(第二の封入電極) 43:下部密閉体 43A:下部空間 44:下部溶接チップ(第二の封入電極) 51:密閉形センサー

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シリンダー状のガイドとこのガイドに対
    して気密に摺動するピストン状の第一の封入電極を有し
    所要の上下移動距離を昇降可能に設けられた上部電極鞘
    と、センサー構成部品を収容する第二の封入電極を有し
    上部電極鞘の軸芯に実質的に一致する位置に停止箇所を
    決められた可動台上に設けられた下部電極鞘と、センサ
    ー構成部品間に溶接電流を通電して密閉形センサーの気
    密容器を完成する為の溶接機と、所定成分に配合された
    ガスを前記センサーに充填するガス充填機構とを有し、
    前記下部電極鞘は可動台により前記停止箇所以外に移動
    されて下部電極鞘内への加工前のセンサー構成部品の投
    入、及び加工後のセンサーの取り出しが行われる位置を
    有し、前記上部電極鞘は前記溶接機の溶接電極とは別体
    に設けられており、前記上部電極鞘と下部電極鞘との軸
    芯が実質的に一致した位置で停止した時に上部電極鞘が
    下降して下部電極鞘と当接して気密空間を構成し、気密
    空間内及びその中に収納状態にせしめられたセンサー内
    部の空間を所定成分のガスによって満たした後に溶接機
    の溶接電極が動作して両封入電極間に所定の加圧力を印
    加しながら溶接電流を通電しセンサーの容器をシール溶
    接して気密容器とするようにしたことを特徴とする密閉
    形センサーの製造装置。
  2. 【請求項2】 上部電極鞘と下部電極鞘は一つの台座に
    所定の位置関係でセットされている事を特徴とする請求
    項1の密閉形センサーの製造装置。
  3. 【請求項3】 封入電極の溶接側先端には溶接チップが
    着脱可能に固定されている事を特徴とする請求項1また
    は請求項2の密閉形センサーの製造装置。
  4. 【請求項4】 上部電極鞘にガス充填機構が接続される
    パイプが設けられていることを特徴とする請求項1乃至
    請求項3の密閉形センサーの製造装置。
  5. 【請求項5】 上部電極鞘が下降して下部電極鞘と当接
    して気密空間を構成した時に真空ポンプを含む排気機構
    が弁を含むパイプによって接続され所定の真空度に達し
    た後、前記弁を閉じてガス充填機構に接続された弁を開
    き所定の成分に配合されたガスをセンサー内を含む気密
    空間内に充填することを特徴とする請求項1乃至請求項
    4の密閉形センサーの製造装置。
  6. 【請求項6】 下部電極鞘内にセンサー構成部品を投入
    する位置に於て下部電極鞘内が部品を受け入れる状態に
    有ることを確認し、その信号に基づいて部品が投入され
    るように関連づけられていることを特徴とする請求項1
    乃至請求項5の密閉形センサーの製造装置。
  7. 【請求項7】 下部電極鞘は往復移動する可動台に搭載
    されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6の密
    閉形センサーの製造装置。
  8. 【請求項8】 下部電極鞘は可動台の同一円周上にその
    回転中心に対して等角度で搭載されていることを特徴と
    する請求項1乃至請求項6の密閉形センサーの製造装
    置。
  9. 【請求項9】 可動台はエンコーダにより回動位置を制
    御されている事を特徴とする請求項8の密閉形センサー
    の製造装置。
JP6244615A 1994-09-12 1994-09-12 密閉形センサーの製造装置 Expired - Lifetime JP2732036B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6244615A JP2732036B2 (ja) 1994-09-12 1994-09-12 密閉形センサーの製造装置
CN 95102885 CN1081505C (zh) 1994-09-12 1995-03-15 密封式传感器的制造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6244615A JP2732036B2 (ja) 1994-09-12 1994-09-12 密閉形センサーの製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0890243A true JPH0890243A (ja) 1996-04-09
JP2732036B2 JP2732036B2 (ja) 1998-03-25

Family

ID=17121378

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6244615A Expired - Lifetime JP2732036B2 (ja) 1994-09-12 1994-09-12 密閉形センサーの製造装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2732036B2 (ja)
CN (1) CN1081505C (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103831522A (zh) * 2014-03-26 2014-06-04 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种小径管挤压焊封装置
CN109048188A (zh) * 2018-09-19 2018-12-21 天津市百利纽泰克电气科技有限公司 一种电流互感器一次端子焊接胎具
CN117161507A (zh) * 2023-11-02 2023-12-05 南通硕兴机电有限公司 一种定子加工用导线焊接设备

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5077471B1 (ja) * 2011-09-30 2012-11-21 横浜ゴム株式会社 空気式防舷材用のセンサ収納容器および空気式防舷材
CN103831519B (zh) * 2014-03-26 2016-02-17 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种带压力平衡功能的小径管挤压焊封执行装置
CN106624307B (zh) * 2016-12-21 2019-03-15 北方特种能源集团有限公司西安庆华公司 一种装有易燃易爆药剂金属容腔的高压充气焊接装置
CN108857006A (zh) * 2018-08-23 2018-11-23 宣城市东科电器有限公司 电容器端盖的焊接装置
CN114749783A (zh) * 2021-01-08 2022-07-15 昆山联滔电子有限公司 密封焊接设备和密封焊接方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62134248U (ja) * 1986-02-14 1987-08-24
JPH06226453A (ja) * 1993-02-04 1994-08-16 Origin Electric Co Ltd 抵抗溶接機

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62134248U (ja) * 1986-02-14 1987-08-24
JPH06226453A (ja) * 1993-02-04 1994-08-16 Origin Electric Co Ltd 抵抗溶接機

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103831522A (zh) * 2014-03-26 2014-06-04 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种小径管挤压焊封装置
CN103831522B (zh) * 2014-03-26 2016-01-20 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种小径管挤压焊封装置
CN109048188A (zh) * 2018-09-19 2018-12-21 天津市百利纽泰克电气科技有限公司 一种电流互感器一次端子焊接胎具
CN117161507A (zh) * 2023-11-02 2023-12-05 南通硕兴机电有限公司 一种定子加工用导线焊接设备
CN117161507B (zh) * 2023-11-02 2023-12-26 南通硕兴机电有限公司 一种定子加工用导线焊接设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN1081505C (zh) 2002-03-27
CN1127882A (zh) 1996-07-31
JP2732036B2 (ja) 1998-03-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR920006676B1 (ko) 열간 또는 온간 정수압 성형에 의해 처리될 재료를 캡슐화하기 위한 방법 및 장치
CN109312889A (zh) 真空隔热面板的制造方法及真空隔热面板
US7948034B2 (en) Apparatus and method for semiconductor bonding
US6038962A (en) Apparatus for moving a carrier
CN101960557B (zh) 常温接合装置
JPH0890243A (ja) 密閉形センサーの製造装置
JP2006214489A (ja) 真空処理装置
JP5796894B2 (ja) パッケージの封止装置
JPH10259405A (ja) 焼結方法及び焼結装置
JPS6258660B2 (ja)
JP4191694B2 (ja) 真空処理装置
JPH11339638A (ja) 表示管及びその製造装置
US3046641A (en) Automatic assembling-apparatus for assembling clean semiconductors in clean shells
JP2023088469A (ja) 真空容器用製造装置および真空容器の製造方法
JP4218211B2 (ja) 封止接点装置の製造方法及びその製造装置
JP2010272780A (ja) 電子部品の封止装置
JP3449275B2 (ja) 真空処理装置および真空処理方法
JP4264156B2 (ja) ピラニ真空計
KR102240945B1 (ko) 커넥터 제조 방법
KR102240944B1 (ko) 커넥터 제조 장치
JP2003225769A (ja) 密閉型容器の製造装置
CN115662923B (zh) 一种阳极键合装置
CN114964616A (zh) 标定装置
JP6133685B2 (ja) シーム溶接装置
US2768490A (en) Apparatus for evacuating and sealing

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111226

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226

Year of fee payment: 15

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term