JP6913247B2 - 部品装着機およびバックアップ部材の配置変更方法 - Google Patents

Description

本発明は、部品装着機およびバックアップ部材の配置変更方法に関するものである。

部品装着機は、基板に部品を装着する装着処理を実行する。特許文献１には、複数の吸着ノズルを独立して昇降させる複数の昇降装置を備える装着ヘッドを用いて、装着処理を実行する部品装着機が開示されている。部品装着機は、装着処理において機内に搬入した基板を位置決めするとともに、下方からバックアップ部材を基板に接触させて支持する。特許文献２には、バックアップ部材としてのバックアップピンを備える部品装着機が開示されている。上記のバックアップ部材は、生産に用いられる基板の種別や基板の下面の状態に応じて配置変更される。

国際公開第２０１３／１９０６０８号 特開２０１６−００４９６４号公報

バックアップ部材の配置変更処理には、例えばバックアップ部材を保持可能な保持部材を取り付けられた装着ヘッドが用いられる。このとき、特許文献１の部品装着機のように装着ヘッドが複数の昇降装置を備える場合には、それぞれの昇降装置により保持部材を昇降可能な可動領域の重複領域が実質的にバックアップ部材を配置可能な領域に相当する。

本明細書は、装着処理においてバックアップ部材を配置可能な領域を拡大することができる部品装着機およびバックアップ部材の配置変更方法を提供することを目的とする。

本明細書は、基台と、前記基台に対して水平方向に移動可能に設けられたヘッド本体と、機内の所定位置に配置され、基板を下方から支持するバックアップ部材と、前記ヘッド本体に昇降可能に設けられ、前記バックアップ部材を現在位置から目標位置まで移動させる配置変更処理において前記バックアップ部材を保持する保持部材と、前記ヘッド本体に設けられ、第一可動領域において前記保持部材を昇降させる第一昇降装置と、前記ヘッド本体に設けられ、前記第一可動領域と重複する重複領域および前記第一可動領域と重複しない第二専有領域を有する第二可動領域において前記保持部材を昇降させる第二昇降装置と、前記現在位置が前記第一可動領域のうち前記重複領域を除いた第一専有領域の内部であり、且つ前記目標位置が前記第二専有領域の内部である前記配置変更処理において、前記第一昇降装置の動作により前記保持部材に前記現在位置にある前記バックアップ部材を保持させた後に、前記第二昇降装置の動作により前記目標位置に前記バックアップ部材を配置する制御装置と、を備える部品装着機を開示する。

本明細書は、部品装着機においてバックアップ部材を現在位置から目標位置まで移動させる配置変更方法であって、前記部品装着機は、基台と、前記基台に対して水平方向に移動可能に設けられたヘッド本体と、機内の所定位置に配置され、基板を下方から支持する前記バックアップ部材と、前記ヘッド本体に昇降可能に設けられ、前記バックアップ部材を現在位置から目標位置まで移動させる配置変更処理において前記バックアップ部材を保持する保持部材と、前記ヘッド本体に設けられ、第一可動領域において前記保持部材を昇降させる第一昇降装置と、前記ヘッド本体に設けられ、前記第一可動領域と重複する重複領域および前記第一可動領域と重複しない第二専有領域を有する第二可動領域において前記保持部材を昇降させる第二昇降装置と、を備え、前記配置変更方法は、前記現在位置が前記第一可動領域のうち前記重複領域を除いた第一専有領域の内部であり、且つ前記目標位置が前記第二専有領域の内部である前記配置変更処理において、前記第一昇降装置の動作により前記保持部材に前記現在位置にある前記バックアップ部材を保持させる保持ステップと、前記保持ステップの後に、前記第二昇降装置の動作により前記目標位置に前記バックアップ部材を配置する配置ステップと、を備えるバックアップ部材の配置変更方法を開示する。

このような構成によると、配置変更処理においてバックアップ部材の現在位置および目標位置がそれぞれ異なる専有領域の内部であっても第一昇降装置および第二昇降装置を用いて、バックアップ部材を移動させることができる。これにより、複数の昇降装置を備える部品装着機の機内においてバックアップ部材を配置可能な領域を重複領域からそれぞれの専有領域を含む領域にまで拡大することができる。よって、バックアップ部材をより好適な位置に配置できる。結果として、装着処理により生産される基板製品の品質を向上できる。

実施形態における部品装着機を示す斜視図である。 基板搬送装置のバックアップ装置を示す側面図である。 装着ヘッドを模式的に示す側面図である。 装着ヘッドを模式的に示す平面図である。 ２種類のバックアップ部材と保持部材を示す図である。 機内における保持部材の可動範囲を示す模式図である。 ロータリヘッドの回転方向とバックアップ部材の移動軌跡を示す図である。 現在位置から仮置き位置までバックアップ部材を移動させたときのロータリヘッドの動作を示す図である。 仮置き位置から目標位置までバックアップ部材を移動させたときのロータリヘッドの動作を示す図である。 配置変更処理を示すフローチャートである。

１．部品装着機１の構成
部品装着機１は、図１に示すように、基板搬送装置１０、部品供給装置２０、部品移載装置３０、部品カメラ５１、基板カメラ５２、ヘッドカメラユニット５３、および制御装置５５を備える。以下の説明において、水平方向の第一方向であって部品装着機１の前後方向（図１の左下から右上に向かう方向）をＹ方向とし、Ｙ方向に交差する水平方向の第二方向であって部品装着機１の左右方向（図１の左上から右下に向かう方向）をＸ方向とし、Ｘ方向およびＹ方向に直交する鉛直方向（図１の上下方向）をＺ方向とする。

基板搬送装置１０は、Ｙ方向に並んで設置された複数の搬送機構１１などにより構成される。複数の搬送機構１１は、一対のガイドレール１２，１３、およびコンベアベルト１４をそれぞれ有する。一対のガイドレール１２，１３は、基板の搬送方向（Ｘ方向）に延伸し、コンベアベルト１４に載置されて搬送される基板９０の周縁を支持する。一対のガイドレール１２，１３の少なくとも一方は、Ｙ方向に移動可能に基台２に設けられる。

基板搬送装置１０は、基板９０を搬送方向へと順次搬送するとともに、基板９０を機内の所定位置に位置決めする。基板搬送装置１０は、位置決めされた基板９０をクランプするバックアップ装置１５を有する。基板搬送装置１０およびバックアップ装置１５の詳細構成については後述する。基板搬送装置１０は、部品装着機１による部品の装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機１の機外に搬出する。

部品供給装置２０は、基板９０に装着される部品を供給する。部品供給装置２０は、Ｘ方向に並んでセットされたフィーダ２１を備える。フィーダ２１は、多数の部品が収納されたキャリアテープが巻回されたリール２２を保持する。フィーダ２１は、リール２２から繰り出されたキャリアテープを送り移動させる。これにより、フィーダ２１は、フィーダ２１の先端側に位置する供給位置において部品を採取可能に供給する。

部品移載装置３０は、部品供給装置２０により供給された部品を、基板搬送装置１０により機内に搬入された基板９０上の所定の装着位置まで移載する。部品移載装置３０のヘッド駆動装置３１は、直動機構により移動台３２を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動させる。移動台３２には、図示しないクランプ部材により装着ヘッド４０が交換可能に固定される。

装着ヘッド４０は、負圧を供給されて部品を吸着する１または複数の吸着ノズル４４を支持する。また、装着ヘッド４０には、吸着ノズル４４に換えて部品をクランプするチャックなどを取り付けることができる。さらに、装着ヘッド４０には、後述するバックアップ部材（本実施形態におけるハードピン６０、ソフトピン７０）を保持する保持部材８０が取り付けられる。装着ヘッド４０の詳細構成については後述する。

部品カメラ５１、基板カメラ５２、およびヘッドカメラユニット５３は、ＣＭＯＳなどの撮像素子を有するデジタル式の撮像装置である。部品カメラ５１、基板カメラ５２、およびヘッドカメラユニット５３は、制御信号に基づいて撮像を行い、当該撮像により取得した画像データを送出する。部品カメラ５１は、光軸がＺ方向の上向きとなるように基台２に固定されている。部品カメラ５１は、装着ヘッド４０の吸着ノズル４４に保持された部品を下方から撮像可能に構成される。

基板カメラ５２およびヘッドカメラユニット５３は、図１および図３に示すように、装着ヘッド４０に設けられ、移動台３２の移動に伴って装着ヘッド４０と一体的に移動する。基板カメラ５２は、光軸がＺ方向の下向きとなるように設けられ、基板９０を上方から撮像可能に構成される。ヘッドカメラユニット５３は、装着ヘッド４０に取り付けられた吸着ノズル４４および吸着ノズル４４に保持された部品を撮像の対象とする。ヘッドカメラユニット５３は、吸着ノズル４４および保持された部品を側方から撮像可能に構成される。

制御装置５５は、主としてＣＰＵや各主メモリ、制御回路により構成される。制御装置５５は、基板９０に部品を装着する装着処理を実行する。制御装置５５は、装着処理において、各種センサから出力される情報や画像処理の結果、予め記憶された制御プログラムなどに基づき、部品移載装置３０の動作などを制御する。これにより、装着ヘッド４０に支持された複数の吸着ノズル４４の位置および角度が制御される。

また、制御装置５５は、装着処理において基板搬送装置１０が基板を下方から支持するのに用いるバックアップ部材を移動させる配置変更処理を実行する。制御装置５５は、ピン配置情報Ｍ１および安全領域情報Ｍ２を記憶する記憶部５６を有する。上記の「ピン配置情報Ｍ１」とは、機内においてバックアップ部材の種別および配置すべき位置を示す情報であって、生産する基板製品の種別や生産工程に応じて設定される。上記の「安全領域情報Ｍ２」とは、配置変更処理においてバックアップ部材が機内の他部材に干渉しない安全領域を示す情報である。

２．基板搬送装置１０およびバックアップ装置１５の詳細構成
基板搬送装置１０は、上記のように複数の搬送機構１１を備えるダブルトラックコンベア方式である。搬送機構１１を構成する一対のガイドレール１２，１３は、Ｙ方向に相対移動可能に基台２に設けられる。これにより、複数の搬送機構１１は、基板９０のＹ方向の寸法に対応して、一対のガイドレール１２，１３の間隔を調整される。

バックアップ装置１５は、搬送機構１１により搬送された基板９０を下方から支持するとともに、一対のガイドレール１２，１３との間で基板９０をクランプする。本実施形態において、バックアップ装置１５は、基板９０の下面にバックアップ部材を接触させて基板９０を支持する。これにより、バックアップ装置１５は、一対のガイドレール１２，１３との間で基板９０をクランプするとともに、バックアップ部材が接触した部位の高さを維持することで基板９０の撓みを防止する。

バックアップ装置１５は、図２に示すように、バックアッププレート１６、および複数のエアシリンダ１７を備える。バックアッププレート１６は、搬送機構１１により位置決めされた基板９０の下面に対向して配置される。バックアッププレート１６は、Ｚ方向に昇降可能に基台２に設けられる。本実施形態において、バックアッププレート１６は、図５に示すように、矩形状に形成される。バックアッププレート１６の上面には、バックアップ部材としてのハードピン６０またはソフトピン７０が着脱可能に配置される。

複数のエアシリンダ１７は、バックアッププレート１６を基台２に対して昇降させる昇降装置である。より具体的には、複数のエアシリンダ１７のロッド１７１のそれぞれは、バックアッププレート１６の４隅に着脱可能に固定される。エアシリンダ１７は、シリンダ本体１７２の空気圧に応じてロッド１７１をＺ方向に進退させる。

このように構成されたバックアップ装置１５は、装着処理を実行していない期間において、バックアッププレート１６を下降位置（図２の二点鎖線にて示す）に保持する。一方、バックアップ装置１５は、装着処理を実行している期間において、複数のエアシリンダ１７を動作させてバックアッププレート１６を上昇させる。これにより、バックアップ装置１５は、基板９０を下方から押し上げて上昇位置（図２の実線にて示す）に保持する。そして、装着処理が終了すると、バックアップ装置１５は、複数のエアシリンダ１７の動作を停止し、バックアッププレート１６を下降位置まで下降させる。

３．装着ヘッド４０の詳細構成
装着ヘッド４０は、図１および図３に示すように、移動台３２に設けられるヘッド本体４１を有する。装着ヘッド４０は、ヘッド本体４１に対して鉛直軸（Ｚ軸）に平行なＲ軸周りに回転可能に設けられるロータリヘッド４２を備える。ロータリヘッド４２は、Ｒ軸と同心の円周上において周方向に等間隔に複数（例えば、２０本）のシリンジ４３をＺ方向に摺動可能に且つ回転可能に保持する。

シリンジ４３は、図略のスプリングの弾性力によりロータリヘッド４２に対して上方に付勢されている。これにより、シリンジ４３は、外力を付与されていない通常状態では、上昇端に位置している。シリンジ４３の上端部には、径方向外方に延出するアーム４３１が形成される。シリンジ４３の下端部には、負圧エアを供給されて部品を吸着する吸着ノズル４４が取り付けられる。これにより、ロータリヘッド４２は、複数の吸着ノズル４４をヘッド本体４１に対して昇降可能に、且つＲ軸に平行でシリンジ４３の中心を通るθ軸周りに回転可能に支持する。

吸着ノズル４４は、負圧エアを供給されて部品を吸着する。複数の吸着ノズル４４は、Ｒモータ４８の駆動に伴ってロータリヘッド４２が回転することにより、Ｒ軸周りの規定角度（例えば、シリンジ４３の昇降角度）に角度決めされる。装着ヘッド４０は、ヘッド本体４１に固定されたθモータ４９を備える。θモータ４９の出力軸には、複数のギヤを介して回転力を伝達可能に全てのシリンジ４３が連結されている。シリンジ４３および吸着ノズル４４は、θモータ４９の動作によりθ軸周りに回転（自転）し、回転角度や回転速度を制御される。

装着ヘッド４０は、ロータリヘッド４２の回転によりＲ軸周りの規定角度に角度決めされた吸着ノズル４４を昇降させる昇降装置を備える。本実施形態において、装着ヘッド４０は、図４に示すように、Ｒ軸周りの第一規定角度Ａｐ１および第二規定角度Ａｐ２に角度決めされた２つの吸着ノズル４４をそれぞれ独立して昇降させる２つの第一昇降装置４５および第二昇降装置４６を備える。

本実施形態において、第一規定角度Ａｐ１および第二規定角度Ａｐ２は、Ｒ軸および基準線Ｌｂ（Ｒ軸に直交しＹ軸に平行な線）を含む鉛直面（本実施形態において、ＹＺ平面）に対称な角度である。具体的には、第一規定角度Ａｐ１および第二規定角度Ａｐ２は、Ｒ軸を中心として基準線Ｌｂから９０度をなす角度である。また、第一昇降装置４５および第二昇降装置４６は、基準線Ｌｂに直交する水平方向（本実施形態において、Ｘ方向）に並んで配置される。

本実施形態において、第一昇降装置４５は、図３に示すように、ボールねじ４５１、Ｚモータ４５２、および第一プッシャー４５３を有する。ボールねじ４５１は、ヘッド本体４１に回転可能に設けられる。Ｚモータ４５２の駆動に伴ってボールねじ４５１が回転することにより、第一プッシャー４５３がＺ方向に移動する。第一プッシャー４５３は、複数のシリンジ４３のうちロータリヘッド４２の回転により第一規定角度Ａｐ１に角度決めされたシリンジ４３のアーム４３１に接触する。

第一プッシャー４５３は、接触するシリンジ４３のスプリングの弾性力に抗してシリンジ４３をＺ方向下方へと押圧し、シリンジ４３を下降させる。これにより、シリンジ４３に取り付けられた吸着ノズル４４は、シリンジ４３と一体的に昇降する。シリンジ４３および吸着ノズル４４は、Ｚモータ４５２の駆動によりＺ方向に一体的に昇降し、Ｚ方向位置や移動速度を制御される。

なお、第二昇降装置４６は、ボールねじ４６１、Ｚモータ４６２、および第二プッシャー４６３を有する。ここで、第二昇降装置４６は、第一昇降装置４５と同型でありＹＺ平面に概ね対称に構成される。よって、第二昇降装置４６の詳細な説明を省略する。図３の（ ）内の符号は、第一昇降装置４５の各部（４５１−４５３）に対応する第二昇降装置４６の各部（４６１−４６３）の符号である。また、第二昇降装置４６の第二プッシャー４６３は、複数のシリンジ４３のうち第二規定角度Ａｐ２に角度決めされたシリンジ４３のアーム４３１に接触する。

上記のような構成からなる装着ヘッド４０は、部品の装着処理の他に、バックアップ部材の配置変更処理に用いられる。バックアップ部材の配置変更処理において、バックアップ部材の保持に吸着ノズル４４が兼用される他に、バックアップ部材の保持専用の保持部材８０が用いられる。この場合に、複数のシリンジ４３の少なくとも１つには、吸着ノズル４４に換えて保持部材８０が取り付けられる。

４．バックアップ部材および保持部材８０の構成
バックアップ部材は、バックアッププレート１６の上面に脱着可能に配置される。本実施形態において、バックアップ部材には、図５に示すように、先端部が比較的硬い部材（例えば金属部材）で構成されているハードピン６０と、先端部が比較的軟らかい部材（例えばゴム部材）で構成されているソフトピン７０とが含まれる。

ハードピン６０は、基部６１に磁石（図示しない）が埋設され、磁力によりバックアッププレート１６に固定される。基部６１には、上方に延伸する円柱状の胴体部６２が設けられる。胴体部６２の先端部には、基板９０の下面に接触して支持する支持部６３が設けられる。支持部６３の先端は、平面状に形成される。また、支持部６３の外周面には、保持部材８０に係合する係合部６４が形成される。係合部６４は、胴体部６２の周方向に等間隔で配置され、胴体部６２の径方向に突出した複数の係合片により構成される。

ソフトピン７０は、基部７１に磁石（図示しない）が埋設され、磁力によりバックアッププレート１６に固定される。基部７１には、上方に延伸する円柱状の胴体部７２が設けられる。胴体部７２の中間部には、連結部７３を介して支持部７４が設けられる。支持部７４は、基板９０の下面に接触して支持する。支持部７４の先端は、半球状に形成される。また、支持部７４は、比較的軟らかい部材で構成され、基板９０を支持した際に基板９０からの反力によって弾性変形する。

連結部７３の上方には、保持部材８０に係合する係合部７５が形成される。係合部７５は、胴体部７２の周方向に等間隔で配置され、胴体部７２の径方向に突出した複数の係合片により構成される。係合部７５の先端は、平面状に形成される。このように、ソフトピン７０の係合部７５は、ハードピン６０の係合部６４と同形状に形成される。なお、ソフトピン７０の係合部７５は、上下方向において、支持部７４の先端部よりも基部７１側に位置する。

保持部材８０は、本体部８１および採取部８２を有する。本体部８１は、全体形状としては円筒形状に形成される。本体部８１は、吸着ノズル４４と同様に装着ヘッド４０のシリンジ４３に取り付け可能に形成される。採取部８２は、本体部８１の下端に設けられる。採取部８２は、ハードピン６０の係合部６４、およびソフトピン７０の係合部７５に係合する。保持部材８０は、ハードピン６０またはソフトピン７０を保持した状態を維持するために、本体部８１の内部に設けられた弾性部材の弾性力により係合部６４，７５の先端を押圧し、係合部６４，７５の下端部を採取部８２に付勢する。

上記のような構成からなるハードピン６０およびソフトピン７０は、基部６１，７１の底面から支持部６３，７４の先端までの高さＨｓが一致するように構成される。一方で、ハードピン６０およびソフトピン７０は、基部６１，７１の底面から係合部６４，７５までの高さＨｎ１，Ｈｎ２が相違する。具体的には、ハードピン６０の係合部高さＨｎ１は、ピン高さＨｓに一致する。これに対して、ソフトピン７０の係合部高さＨｎ２は、ピン高さＨｓよりも低い。

上記のように、バックアップ部材には、第一種別と第二種別とが含まれる。第一種別は、保持部材８０に保持される際に保持部材８０と接触する被保持部（係合部６４）がバックアップ部材の最上部に位置する支持部６３の先端部に設けられるものであり、本実施形態のハードピン６０に相当する。第二種別は、被保持部（係合部７５）がバックアップ部材の最上部に位置する支持部７４の先端部より下方に設けられるものであり、本実施形態のソフトピン７０に相当する。

なお、バックアップ部材が第一種別の場合に、保持部材８０がハードピン６０の最上部を保持するため、例えば保持部材８０が第一昇降装置４５により上昇端まで移動してもハードピン６０と装着ヘッド４０との干渉が発生しない。一方で、バックアップ部材が第二種別の場合に、保持部材８０がソフトピン７０の最上部よりも下方を保持するため、例えば保持部材８０が第一昇降装置４５により上昇端まで移動すると支持部７４と装着ヘッド４０との干渉が発生し得る。

５．バックアップ部材の配置変更処理の概要および態様
上記のような構成からなる部品装着機１は、装着処理の実行に際して、ピン配置情報Ｍ１に従ってバックアップ部材の配置変更処理を実行する。ここで、基板の寸法や装着する部品の数量や位置に応じてバックアップ部材の種別および配置すべき位置が変動する。具体的には、基板の寸法が大きく、また装着時に基板に比較的強い押付力が加えられるなどの事情により基板の撓みが懸念される場合に、バックアップ部材としては、基板の下面における被支持部の変位を最小限にできるハードピン６０が適している。

一方で、装着処理においてバックアップ部材により支持される基板の下面に前工程で部品が既に装着されている場合に、バックアップ部材としては、基板の下面の凹凸を吸収しつつ支持可能なソフトピン７０が適している。そのため、部品装着機１は、生産する基板製品の種類が変わる際に、段取りの一つとしてバックアップ部材の配置を必要に応じて変更する。この配置の変更には、バックアップ部材を基板９０の下方に位置するバックアッププレート１６に固定することの他に、バックアップ部材を基板９０の支持には用いないストック領域に移動させることが含まれる。

ここで、本実施形態の装着ヘッド４０の水平方向の可動範囲は、上記のように移動台３２の水平方向の可動領域に依存する。また、装着ヘッド４０は、２つの昇降装置４５，４６を有する。そのため、第一昇降装置４５および第二昇降装置４６を用いて吸着ノズル４４や保持部材８０を昇降可能な可動領域は相違する。具体的には、図６に示すように、第一昇降装置４５は、機内の第一可動領域Ｒｍ１において保持部材８０を昇降させることができる。また、第二昇降装置４６は、機内の第二可動領域Ｒｍ２において保持部材８０を昇降させることができる。

第二可動領域Ｒｍ２は、部品移載装置３０の構成上、第一可動領域Ｒｍ１と重複する重複領域Ｒｄおよび第一可動領域Ｒｍ１と重複しない第二専有領域Ｒｐ２を有する。詳細には、第一可動領域Ｒｍ１は、第一昇降装置４５を用いなければ保持部材８０を昇降させることができない第一専有領域Ｒｐ１と、重複領域Ｒｄとにより構成される。また、第二可動領域Ｒｍ２は、第二昇降装置４６を用いなければ保持部材８０を昇降させることができない第二専有領域Ｒｐ２と、重複領域Ｒｄとにより構成される。上記の「重複領域Ｒｄ」は、第一可動領域Ｒｍ１と第二可動領域Ｒｍ２とが重なり合う部分である。

ここで、バックアップ部材の配置変更処理において、現在位置Ｐｃが第一専有領域Ｒｐ１および第二専有領域Ｒｐ２の一方の内部であり、目標位置Ｐｔが第一専有領域Ｒｐ１および第二専有領域Ｒｐ２の他方の内部である場合には、２つの昇降装置４５，４６の両方を必ず用いなければならないという制約が生じる。さらに、上記のような配置変更処理において、現在位置Ｐｃから目標位置Ｐｃまでバックアップ部材を移動させる間に、第一規定角度Ａｐ１と第二規定角度Ａｐ２との間でバックアップ部材を移動させる必要がある。

これに対して、例えばバックアップ部材の配置を許容する領域を重複領域Ｒｄに限れば、上記のような制約などが生じない配置変更処理とすることができる。しかしながら、第一専有領域Ｒｐ１や第二専有領域Ｒｐ２にバックアップ部材を配置することで、基板９０を確実に支持したり、当該領域Ｒｐ１，Ｒｐ２をストック領域として利用したりすることの要請がある。

上記のような観点からは、第一専有領域Ｒｐ１や第二専有領域Ｒｐ２も含めた配置変更処理を実行可能とすることが望ましい。しかしながら、例えば最初の保持ステップにて第一昇降装置４５の動作により保持部材８０を昇降させてバックアップ部材を保持した場合に、次の配置ステップにて第二昇降装置４６の動作により保持部材８０を昇降させてバックアップ部材を配置するには、装着ヘッド４０の第一規定角度Ａｐ１に位置するバックアップ部材を第二規定角度Ａｐ２に移動させる必要がある。

このとき、バックアップ部材を保持した状態でロータリヘッド４２を回転させることが考えられるが、単にロータリヘッド４２を回転させたのではバックアップ部材と機内の他部材との干渉が懸念される。特に、バックアップ部材と一対のガイドレール１２，１３との干渉が発生し得る。そこで、本実施形態の部品装着機１は、バックアップ部材の配置可能な領域に第一専有領域Ｒｐ１および第二専有領域Ｒｐ２が含まれるように拡大できるように、配置変更処理において下記に例示する態様のようにバックアップ部材を第一規定角度Ａｐ１と第二規定角度Ａｐ２との間で移動（以下、「角度間移動」と称する）させる。

５−１．角度間移動の第一態様
第一態様の配置変更処理において、制御装置５５は、安全領域Ｒｓにヘッド本体４１を移動させた後にロータリヘッド４２を回転させることにより、バックアップ部材を第一規定角度Ａｐ１と第二規定角度Ａｐ２との間で移動させる。ここで、上記の「安全領域Ｒｓ」とは、図７に示すように、ロータリヘッド４２の回転に伴って保持部材８０を第一規定角度Ａｐ１と第二規定角度Ａｐ２との間で移動させた場合に、保持部材８０に保持されたバックアップ部材が機内の他部材（ガイドレール１２，１３など）に干渉しない領域である。

つまり、安全領域Ｒｓの内部にヘッド本体４１が位置する状態であれば、バックアップ部材を保持する保持部材８０をロータリヘッド４２の回転によりＲ軸周りに回転させても、バックアップ部材がガイドレール１２，１３等に干渉しない。この安全領域Ｒｓは、例えば配置変更処理の実行タイミングごとに機内の状況に応じて予め設定され、安全領域情報Ｍ２として記憶部５６に記憶されている。このように安全領域Ｒｓが予め設定されるのは、配置変更処理の実行タイミングによっては、ガイドレール１２，１３や他のバックアップ部材の位置が異なり、このような機内の状況により安全領域Ｒｓが変動し得るからである。

上記のような第一態様によると、安全領域Ｒｓの内部におけるロータリヘッド４２の回転によりバックアップ部材は、角度間移動される。これにより、バックアップ部材と機内の他部材との干渉が確実に防止される。

５−２．角度間移動の第二態様
第二態様の配置変更処理において、制御装置５５は、一対のガイドレール１２，１３の少なくとも一方を第二方向の所定位置まで移動させた後にロータリヘッド４２を回転させる。これにより、制御装置５５は、保持部材８０に保持されたバックアップ部材と一対のガイドレール１２，１３との干渉を防止しつつバックアップ部材を第一規定角度Ａｐ１と第二規定角度Ａｐ２との間で移動させる。

本実施形態において、一対のガイドレール１２，１３は、互いの間隔を調整可能に構成されている。そこで、制御装置５５は、このような機能を利用し、一対のガイドレール１２，１３の少なくとも一方を配置変更処理の作業領域から所定位置まで退避させる。上記のような第二態様よると、一対のガイドレール１２，１３の移動によって拡大された作業領域において、バックアップ部材は、角度間移動される。これにより、バックアップ部材とガイドレール１２，１３の干渉が確実に防止される。

５−３．角度間移動の第三態様
第三態様の配置変更処理において、制御装置５５は、ロータリヘッド４２の回転に伴って保持部材８０を第一規定角度Ａｐ１と第二規定角度Ａｐ２との間で移動させた場合のバックアップ部材の移動軌跡と、機内の他部材との位置関係に基づいて設定したロータリヘッド４２の回転方向にロータリヘッド４２を回転させる。

ここで、バックアップ部材は、現在位置Ｐｃから目標位置Ｐｔまで移動された場合に、ヘッド本体４１の移動と、ロータリヘッド４２の回転による移動とを合成した移動軌跡に沿って移動する。上記の移動軌跡は、ロータリヘッド４２の回転方向によって変動する（図７の移動軌跡Ｌｍ１，Ｌｍ２を参照）。ここで、ロータリヘッド４２の回転方向は、一般にはバックラッシなどの機械構成上の観点から一方向のみに限られる。

これに対して、配置変更処理では、干渉防止を目的としてロータリヘッド４２の回転方向を、推定される移動軌跡Ｌｍ１，Ｌｍ２と、バックアップ部材と機内の他部材との位置関係に基づいて設定する。そして、制御装置５５は、保持部材８０に保持されたバックアップ部材と機内の他部材との干渉を防止しつつバックアップ部材を第一規定角度Ａｐ１と第二規定角度Ａｐ２との間で移動させる。

上記のような第三態様よると、配置変更処理におけるロータリヘッド４２の回転方向が適宜設定されるので、バックアップ部材と機内の他部材との干渉が確実に防止される。なお、制御装置５５は、バックアップ部材の移動軌跡に基づいて、ヘッド本体４１の移動に対するロータリヘッド４２の回転のタイミングおよび速度などを設定してもよい。このような構成においても同様に、バックアップ部材と機内の他部材との干渉を防止できる。

５−４．角度間移動の第四態様
第四態様の配置変更処理において、制御装置５５は、ロータリヘッド４２の回転に伴って保持部材８０を第一規定角度Ａｐ１と第二規定角度Ａｐ２との間で移動させる際に、図７に示すように、ロータリヘッド４２の回転に同期してヘッド本体４１を移動させることにより、保持部材８０に保持されたバックアップ部材の移動軌跡Ｌｍ３が所定範囲Ｔｓに収まるようにする。

換言すると、制御装置５５は、ロータリヘッド４２の回転によりバックアップ部材が円弧状の移動軌跡に沿って移動させる際に、このバックアップ部材の移動を相殺するようにヘッド本体４１を円弧状の移動軌跡に沿って移動させる。これにより、バックアップ部材は、ロータリヘッド４２が回転したにも関わらず、基台２に対しては水平方向にほとんど移動しない。なお、図７は、Ｙ方向の移動が完全に相殺され、現在位置Ｐｃから目標位置Ｐｔに接近するＸ方向の移動の一部を有する移動規制Ｌｍ３を示す。上記のバックアップ部材のＸＹ方向の移動がない場合には、移動軌跡Ｌｍ３は発生しない。

このように、制御装置５５は、バックアップ部材の移動軌跡Ｌｍ３が所定範囲Ｔｓに収まるようにして、バックアップ部材と機内の他部材との干渉を防止しつつバックアップ部材を第一規定角度Ａｐ１と第二規定角度Ａｐ２との間で移動させる。上記のような第四態様よると、バックアップ部材と機内の他部材との干渉を確実に防止できる。特に、機内の他部材や他のバックアップ部材との位置関係によらず、極小さな所定範囲Ｔｓにてバックアップ部材を角度間移動させることができる。

５−５．角度間移動の第五態様
第五態様の配置変更処理において、制御装置５５は、第一態様から第四態様と異なり、ロータリヘッド４２の回転による角度間移動を行わない。具体的には、制御装置５５は、先ず、第一昇降装置４５および第二昇降装置４６の一方の動作により現在位置Ｐｃにあるバックアップ部材を保持させるとともに重複領域Ｒｄの内部の仮置き位置Ｐｍにバックアップ部材を仮置きする。その後に、制御装置５５は、第一昇降装置４５および第二昇降装置４６の他方の動作により仮置き位置Ｐｍにあるバックアップ部材を保持させるとともに目標位置Ｐｔにバックアップ部材を配置する。

具体的には、図８Ａに示すように、現在位置Ｐｃが第一専有領域Ｒｐ１にあり、目標位置Ｐｔが第二専有領域Ｒｐ２にあるものとすると、制御装置５５は、図８Ａに示すように、先ず装着ヘッド４０を第一位置Ｐｒ１に移動させて、第一昇降装置４５の動作により現在位置Ｐｃにあるバックアップ部材を保持させる。そして、制御装置５５は、装着ヘッド４０を第二位置Ｐｒ２に移動させて、第一昇降装置４５の動作により仮置き位置Ｐｍにバックアップ部材を仮置きする。

上記の仮置き位置Ｐｍは、重複領域Ｒｄの内部の任意位置に設定される。仮置き位置Ｐｍは、基板９０の支持に使用しないバックアップ部材をストックするストック領域に設定されてもよい。また、仮置き位置Ｐｍは、現在位置Ｐｃから目標位置Ｐｔまでの間において仮置き可能な位置に設定されてもよい。ここで、ロータリヘッド４２のシリンジ４３に取り付けられた保持部材８０が１つの場合には、制御装置５５は、図８Ｂに示すように、装着ヘッド４０を第二位置Ｐｒ２から第三位置Ｐｒ３に移動させながら、ロータリヘッド４２を回転させる。

その後に、制御装置５５は、第二昇降装置４６の動作により仮置き位置Ｐｍにあるバックアップ部材を保持させる。そして、制御装置５５は、装着ヘッド４０を第四位置Ｐｒ４に移動させて、第二昇降装置４６の動作により目標位置Ｐｔにバックアップ部材を配置する。ここで、制御装置５５は、現在位置Ｐｃから仮置き位置Ｐｍまでバックアップ部材を移動させるために保持した期間、および仮置き位置Ｐｍか目標位置Ｐｔまでバックアップ部材を移動させるために保持した期間におけるロータリヘッド４２の回転を規制する。

また、第五態様の配置変更処理では、保持部材８０は、バックアップ部材を保持した期間において、第一昇降装置４５および第二昇降装置４６の何れによっても上昇端よりも低い高さに維持される。これにより、保持部材８０がソフトピン７０を保持した場合に、ソフトピン７０の最上部に位置する支持部７４と装着ヘッド４０との干渉が防止される。

５−６．角度間移動の各種態様の組み合わせ
上記のように配置変更処理における角度間移動には種々の態様を採用し得る。また、制御装置５５は、これらの態様を適宜組み合わせてもよい。例えば、制御装置５５は、配置変更処理を実行する際に、先ず複数の搬送機構１１の一対のガイドレール１２，１３のうち移動可能なものを全てＹ方向の移動端まで移動させ、安全領域Ｒｓを大きく確保してもよい。これらに加えて、制御装置５５は、ロータリヘッド４２の回転方向を適宜切り換えるように制御したり、ロータリヘッド４２が回転した際のバックアップ部材の移動軌跡Ｔｍ３が所定範囲Ｔｓに収まるように制御したりしてもよい。

また、制御装置５５は、これらの態様を諸条件に基づいて切り換えるようにしてもよい。例えば、制御装置５５は、配置変更処理の角度間移動において、第五態様のようにバックアップ部材を仮置き位置Ｐｍに仮置きするか、第一態様から第四態様のようにロータリヘッド４２を回転させるかをバックアップ部材の種別に基づいて切り換える。

本実施形態において、制御装置５５は、バックアップ部材が第一種別（例えば、ハードピン６０）である場合には、第一態様から第四態様のように、ロータリヘッド４２を回転させることによりバックアップ部材を第一規定角度Ａｐ１と第二規定角度Ａｐ２との間で移動させる。一方で、制御装置５５は、バックアップ部材が第二種別（例えば、ソフトピン７０）である場合には、第五態様のように、バックアップ部材を仮置き位置Ｐｍに仮置きすることによりバックアップ部材を第一規定角度Ａｐ１と第二規定角度Ａｐ２との間で移動させる。

上記の第一態様から第四態様は、配置変更処理における角度間移動にロータリヘッド４２の回転を用いるため、角度間移動に第一昇降装置４５および第二昇降装置４６の動作を要しない。これにより、角度間移動の所要時間を短縮することができるという利点がある。また、第一態様から第三態様においては、装着ヘッド４０を移動させながらロータリヘッド４２を回転させて角度間移動を行うことができる。

一方で、上記の第五態様は、配置変更処理における角度間移動に第一昇降装置４５および第二昇降装置４６の動作を要するとともに、装着ヘッド４０が仮置き位置Ｐｍまで移動する必要がある。しかしながら、シリンジ４３を上昇端まで上昇させずにバックアップ部材を所定の高さに維持して目標位置Ｐｔまで移動させるので、バックアップ部材と装着ヘッド４０の干渉を確実に防止できるという利点がある。

６．バックアップ部材の配置変更処理および配置変更方法
バックアップ部材の配置変更処理について、図９を参照して説明する。部品装着機１は、例えば生産する基板製品の種類が変わる際に配置変更処理を実行する。制御装置５５は、先ず図９に示すように、配置変更の対象であるバックアップ部材の現在位置Ｐｃと目標位置Ｐｔを取得する（Ｓ１１）。

なお、バックアップ部材の現在位置Ｐｃは、過去に配置した際の記録や、基板カメラ５２の撮像により取得した画像データを画像処理した結果に基づいて割り出される。目標位置Ｐｔは、記憶部５６に記憶されたピン配置情報Ｍ１に基づいて設定される。ここで、現在位置Ｐｃが第一専有領域Ｒｐ１にあり、目標位置Ｐｔが第二専有領域Ｒｐ２にあるものとする。さらに、装着ヘッド４０には、１つの保持部材８０が取り付けられた状態であるものとする。

次に、制御装置５５は、第一昇降装置４５の動作により保持部材８０に現在位置Ｐｃにあるバックアップ部材を保持させる（Ｓ１２、保持ステップ）。具体的には、制御装置５５は、装着ヘッド４０を移動させるとともに、第一昇降装置４５の動作により保持部材８０を下降させる。そして、制御装置５５は、保持部材８０にバックアップ部材を係合させた後に、第一昇降装置４５の動作により保持部材８０を所定高さまで上昇させる。これにより、バックアップ部材が保持部材８０に保持される。

続いて、制御装置５５は、Ｓ１１にて取得した現在位置Ｐｃおよび目標位置Ｐｔがそれぞれ異なる専有領域Ｒｐ１，Ｒｐ２の内部であるかを判定する（Ｓ１３）。現在位置Ｐｃおよび目標位置Ｐｔがともに重複領域Ｒｄの外部であり、さらに現在位置Ｐｃと目標位置Ｐｔとがそれぞれ異なる専有領域Ｒｐ１，Ｒｐ２である場合には（Ｓ１３：Ｙｅｓ）、制御装置５５は、バックアップ部材が第一種別であるか否かを判定する（Ｓ１４）。

バックアップ部材がハードピン６０、即ち第一種別である場合には（Ｓ１４：Ｙｅｓ）、制御装置５５は、ロータリヘッド４２の回転により角度間移動を行う（Ｓ１５）。このとき、保持部材８０が取り付けられたシリンジ４３は、ロータリヘッド４２の回転が許容されるように、第一昇降装置４５の動作により上昇端まで上昇されている。なお、上記の角度間移動は、例示した第一態様から第四態様の何れかまたはこれらの組み合わせにより実行される。

一方で、バックアップ部材がソフトピン７０、即ち第二種別である場合には（Ｓ１４：Ｎｏ）、制御装置５５は、ロータリヘッド４２の回転によらず、仮置き位置Ｐｍを利用した角度間移動を行う（Ｓ１６）。このとき、保持部材８０が取り付けられたシリンジ４３は、第一昇降装置４５の動作により上昇端よりも低い所定高さまで上昇されている。なお、上記の角度間移動は、例示した第五態様により実行される。このように、制御装置５５は、バックアップ部材の種別に基づいて、角度間移動の態様を切り換える（Ｓ１４−Ｓ１６）。

上記のような角度間移動により、バックアップ部材を保持する保持部材８０は、第一規定角度Ａｐ１から第二規定角度Ａｐ２へと移動される。その後に、制御装置５５は、装着ヘッド４０を移動させるとともに、第二昇降装置４６の動作により目標位置Ｐｔにバックアップ部材を配置する（Ｓ１７、配置ステップ）。

また、今回のバックアップ部材の現在位置Ｐｃおよび目標位置Ｐｔの少なくとも一方が重複領域Ｐｄの内部の場合、または現在位置Ｐｃおよび目標位置Ｐｔがともに同一の専有領域Ｒｐ１，Ｒｐ２の内部の場合には（Ｓ１３：Ｙｅｓ）、Ｓ１４−Ｓ１６による角度間移動が省略され、配置ステップ（Ｓ１７）が実行される。なお、現在位置Ｐｃまたは目標位置Ｐｔが何れかの専有領域Ｒｐ１，Ｒｐ２の内部の場合には、バックアップ部材を昇降させる際に（Ｓ１２，Ｓ１７）、専有領域Ｒｐ１，Ｒｐ２に対応する昇降装置４５，４６が用いられる。制御装置５５は、全ての配置変更が終了していない場合には（Ｓ１８：Ｎｏ）、Ｓ１１−Ｓ１７を繰り返す。

７．実施形態の構成による効果
上記の部品装着機１は、現在位置Ｐｃが第一可動領域Ｒｍ１のうち重複領域を除いた第一専有領域Ｒｐ１の内部であり、且つ目標位置Ｐｔが第二専有領域Ｒｐ２の内部である配置変更処理において、第一昇降装置４５の動作により保持部材８０に現在位置Ｐｃにあるバックアップ部材（ハードピン６０，ソフトピン７０）を保持させた後に、第二昇降装置４６の動作により目標位置Ｐｔにバックアップ部材を配置する制御装置５５を備える。

上記のバックアップ部材の配置変更方法は、配置変更方法は、現在位置Ｐｃが第一可動領域Ｒｍ１のうち重複領域Ｒｄを除いた第一専有領域Ｒｐ１の内部であり、且つ目標位置Ｐｔが第二専有領域Ｒｐ２の内部である配置変更処理において、第一昇降装置４５の動作により保持部材８０に現在位置Ｐｃにあるバックアップ部材（ハードピン６０，ソフトピン７０）を保持させる保持ステップ（Ｓ１２）と、保持ステップ（Ｓ１２）の後に、第二昇降装置４６の動作により目標位置Ｐｔにバックアップ部材を配置する配置ステップ（Ｓ１７）と、を備える。

このような構成によると、配置変更処理においてバックアップ部材の現在位置Ｐｃおよび目標位置Ｐｔがそれぞれ異なる専有領域Ｒｐ１，Ｒｐ２であっても第一昇降装置４５および第二昇降装置４６を用いて、バックアップ部材を移動させることができる。これにより、複数の昇降装置を備える部品装着機１の機内において、バックアップ部材を配置可能な領域を重複領域Ｒｄからそれぞれの専有領域Ｒｐ１，Ｒｐ２を含む領域にまで拡大することができる。よって、バックアップ部材をより好適な位置に配置できる。結果として、装着処理により生産される基板製品の品質を向上できる。

８．実施形態の変形態様
８−１．配置変更処理について
実施形態において、配置変更処理ではバックアップ部材の種別に基づいて、ロータリヘッド４２の回転により装着ヘッド４０におけるバックアップ部材の位置を移動させる態様（角度間移動の第一態様から第四態様）と、仮置き位置Ｐｍを用いてバックアップ部材の位置を移動させる態様（角度間移動の第五態様）とを切り換える構成とした。これに対して、制御装置５５は、バックアップ部材の種別の他の条件に基づいて、角度間移動の態様を切り換えてもよい。また、制御装置５５は、常に何れかの態様で角度間移動を行ってもよい。

なお、配置変更処理において、バックアップ部材の現在位置Ｐｃおよび目標位置Ｐｔの少なくとも一方が重複領域Ｒｄにある場合に、装着ヘッド４０を水平方向に移動させながらロータリヘッド４２の回転により角度間移動を行ってもよい。これにより、ロータリヘッド４２の回転に伴ってバックアップ部材をＸ方向に移動させることができるので、装着ヘッド４０の移動距離を短くすることができる。結果として、配置変更処理の所要時間を短縮することができる。なお、上記のように装着ヘッド４０を移動させながらロータリヘッド４２を回転させる構成は、バックアップ部材の配置可能な領域に関して専有領域が存在しない構成の部品装着機にも適用できる。

８−２．装着ヘッド４０について
実施形態において、ヘッド本体４１が構成する移動ヘッドは、装着処理に用いられる装着ヘッド４０であるものとした。これに対して、移動ヘッドは、バックアップ部材の配置変更に専用の移動ヘッドであってもよい。装着処理と兼用の移動ヘッド（装着ヘッド４０）および専用の移動ヘッドには、例えばロータリヘッド４２を有しない構成も想定される。具体的には、移動ヘッドは、ヘッド本体４１に対して昇降可能に設けられた複数のシリンジと、複数のシリンジをそれぞれ昇降させる複数の昇降装置を備える。

また、それぞれにシリンジには、保持部材８０がそれぞれ取り付けられる。これにより、複数の昇降装置のそれぞれの可動領域は少なくとも一部が重複しない状態となる。このような構成の移動ヘッド（装着ヘッドまたは専用の移動ヘッド）の場合には、仮置き位置Ｐｍを用いて複数の保持部材８０の間でバックアップ部材を移動させることができる。

実施形態において、装着ヘッド４０は、Ｘ方向に並んで配置される２つの昇降装置（第一昇降装置４５および第二昇降装置４６）を備える構成とした。これに対して、装着ヘッドは、Ｙ方向に並んで配置される複数の昇降装置を備えるようにしてもよい。このような構成では、複数の昇降装置が保持部材を昇降させるそれぞれの可動領域がＹ方向にずれることになる。このような構成であっても、実施形態にて例示したような配置変更処理を実行することにより、実施形態と同様の効果を奏する。なお、装着ヘッドは、３以上の昇降装置を備える構成としてもよい。このような構成において、配置変更処理において３以上の昇降装置のそれぞれに対応した規定角度間でバックアップ部材を移動させることにより、実施形態と同様の効果を奏する。

８−３．バックアップ部材および保持部材８０について
実施形態において、バックアップ部材は、ハードピン６０またはソフトピン７０であるものとした。これに対して、バックアップ部材として種々の態様を採用し得る。具体的には、バックアップ部材は、基板９０の下面に接触して基板９０を支持する支持部を複数備える構成としてもよい。また、保持部材８０に支持される被支持部は、実施形態において例示したように係合部６４，７５を有する他に、１以上の平面状に形成されてもよい。このような保持部材は、保持部材８０としての吸着ノズル４４により吸着により保持される。

１：部品装着機、 ２：基台、 １０：基板搬送装置、 １１：搬送機構、 １２，１３：（一対の）ガイドレール、 １４：コンベアベルト、 １５：バックアップ装置、 ４０：装着ヘッド、 ４１：ヘッド本体、 ４２：ロータリヘッド、 ４３：シリンジ、 ４４：吸着ノズル（保持部材）、 ４５：第一昇降装置、 ４６：第二昇降装置、 ５５：制御装置、 ５６：記憶部、 ６０：ハードピン（第一種別のバックアップ部材）、 ７０：ソフトピン（第二種別のバックアップ部材）、 ８０：保持部材、 ９０：基板、 Ｐｃ：現在位置、 Ｐｔ：目標位置、 Ｐｍ：仮置き位置、 Ｒｍ１：第一可動領域、 Ｒｍ２：第二可動領域、 Ｒｄ：重複領域、 Ｒｐ１：第一専有領域、 Ｒｐ２：第二専有領域、 Ｒｓ：安全領域、 Ａｐ１：第一規定角度、 Ａｐ２：第二規定角度、 Ｌｍ１，Ｌｍ２，Ｌｍ３：（バックアップ部材の）移動軌跡、 Ｍ１：ピン配置情報、 Ｍ２：安全領域情報

Claims (11)

1. 基台と、
   前記基台に対して水平方向に移動可能に設けられたヘッド本体と、
   機内の所定位置に配置され、基板を下方から支持するバックアップ部材と、
   前記ヘッド本体に昇降可能に設けられ、前記バックアップ部材を現在位置から目標位置まで移動させる配置変更処理において前記バックアップ部材を保持する保持部材と、
   前記ヘッド本体に設けられ、第一可動領域において前記保持部材を昇降させる第一昇降装置と、
   前記ヘッド本体に設けられ、前記第一可動領域と重複する重複領域および前記第一可動領域と重複しない第二専有領域を有する第二可動領域において前記保持部材を昇降させる第二昇降装置と、
   前記現在位置が前記第一可動領域のうち前記重複領域を除いた第一専有領域の内部であり、且つ前記目標位置が前記第二専有領域の内部である前記配置変更処理において、前記第一昇降装置の動作により前記保持部材に前記現在位置にある前記バックアップ部材を保持させた後に、前記第二昇降装置の動作により前記目標位置に前記バックアップ部材を配置する制御装置と、
   を備える部品装着機。
2. 前記部品装着機は、前記ヘッド本体に対して鉛直軸に平行なＲ軸周りに回転可能に設けられ、前記保持部材を前記ヘッド本体に対して昇降可能に支持するロータリヘッドをさらに備え、
   前記第一昇降装置は、前記ロータリヘッドの回転によって前記Ｒ軸周りの第一規定角度に角度決めされた前記保持部材を昇降させ、
   前記第二昇降装置は、前記ロータリヘッドの回転によって前記Ｒ軸周りの第二規定角度に角度決めされた前記保持部材を昇降させ、
   前記制御装置は、前記配置変更処理において、前記ロータリヘッドを回転させることにより、前記保持部材に保持された前記バックアップ部材を前記第一規定角度と前記第二規定角度との間で移動させる、請求項１に記載の部品装着機。
3. 前記制御装置は、前記ロータリヘッドの回転に伴って前記保持部材を前記第一規定角度と前記第二規定角度との間で移動させた場合に、前記保持部材に保持された前記バックアップ部材が機内の他部材に干渉しない安全領域を記憶する記憶部を有し、
   前記制御装置は、前記配置変更処理において、前記安全領域に前記ヘッド本体を移動させた後に前記ロータリヘッドを回転させることにより、前記バックアップ部材を前記第一規定角度と前記第二規定角度との間で移動させる、請求項２に記載の部品装着機。
4. 前記部品装着機は、前記基板が搬送される第一方向にそれぞれ延伸し前記基板の周縁を支持する一対のガイドレールであって、前記一対のガイドレールの少なくとも一方が前記第一方向に直交する第二方向に移動可能に前記基台に設けられた前記一対のガイドレールをさらに備え、
   前記制御装置は、前記配置変更処理において、前記一対のガイドレールの少なくとも一方を前記第二方向の所定位置まで移動させた後に前記ロータリヘッドを回転させることにより、前記保持部材に保持された前記バックアップ部材と前記一対のガイドレールとの干渉を防止しつつ前記バックアップ部材を前記第一規定角度と前記第二規定角度との間で移動させる、請求項２または３に記載の部品装着機。
5. 前記制御装置は、前記配置変更処理において、前記ロータリヘッドの回転に伴って前記保持部材を前記第一規定角度と前記第二規定角度との間で移動させた場合の前記バックアップ部材の移動軌跡と、機内の他部材との位置関係に基づいて設定した前記ロータリヘッドの回転方向に前記ロータリヘッドを回転させることにより、前記保持部材に保持された前記バックアップ部材と前記機内の他部材との干渉を防止しつつ前記バックアップ部材を前記第一規定角度と前記第二規定角度との間で移動させる、請求項２−４の何れか一項に記載の部品装着機。
6. 前記制御装置は、前記配置変更処理において、前記ロータリヘッドの回転に伴って前記保持部材を前記第一規定角度と前記第二規定角度との間で移動させる際に、前記ロータリヘッドの回転に同期して前記ヘッド本体を移動させることにより、前記保持部材に保持された前記バックアップ部材の移動軌跡が所定範囲に収まるようにして、前記バックアップ部材と前記機内の他部材との干渉を防止しつつ前記バックアップ部材を前記第一規定角度と前記第二規定角度との間で移動させる、請求項２−５の何れか一項に記載の部品装着機。
7. 前記制御装置は、前記配置変更処理において、前記第一昇降装置および前記第二昇降装置の一方の動作により前記現在位置にある前記バックアップ部材を保持させるとともに前記重複領域の内部の仮置き位置に前記バックアップ部材を仮置きした後に、前記第一昇降装置および前記第二昇降装置の他方の動作により前記仮置き位置にある前記バックアップ部材を保持させるとともに前記目標位置に前記バックアップ部材を配置する、請求項１−６の何れか一項に記載の部品装着機。
8. 前記部品装着機は、前記ヘッド本体に対して鉛直軸に平行なＲ軸周りに回転可能に設けられ、前記保持部材を前記ヘッド本体に対して昇降可能に支持するロータリヘッドをさらに備え、
   前記制御装置は、前記配置変更処理において、前記現在位置から前記仮置き位置まで前記バックアップ部材を移動させるために保持した期間、および前記仮置き位置か前記目標位置まで前記バックアップ部材を移動させるために保持した期間における前記ロータリヘッドの回転を規制する、請求項７に記載の部品装着機。
9. 前記第一昇降装置は、前記ロータリヘッドの回転によって前記Ｒ軸周りの第一規定角度に角度決めされた前記保持部材を昇降させ、
   前記第二昇降装置は、前記ロータリヘッドの回転によって前記Ｒ軸周りの第二規定角度に角度決めされた前記保持部材を昇降させ、
   前記制御装置は、前記配置変更処理において、前記保持部材に保持された前記バックアップ部材を前記第一規定角度と前記第二規定角度との間で移動させる際に、前記バックアップ部材を前記仮置き位置に仮置きするか、前記ロータリヘッドを回転させるかを前記バックアップ部材の種別に基づいて切り換える、請求項８に記載の部品装着機。
10. 前記バックアップ部材には、前記保持部材に保持される際に前記保持部材と接触する被保持部が前記バックアップ部材の最上部に位置する第一種別と、前記被保持部が前記バックアップ部材の最上部よりも下方に位置する第二種別とが含まれ、
    前記制御装置は、前記バックアップ部材が前記第一種別である場合には前記ロータリヘッドを回転させることにより前記バックアップ部材を前記第一規定角度と前記第二規定角度との間で移動させ、前記バックアップ部材が前記第二種別である場合には前記バックアップ部材を前記仮置き位置に仮置きすることにより前記バックアップ部材を前記第一規定角度と前記第二規定角度との間で移動させる、請求項９に記載の部品装着機。
11. 部品装着機においてバックアップ部材を現在位置から目標位置まで移動させる配置変更方法であって、
    前記部品装着機は、
    基台と、
    前記基台に対して水平方向に移動可能に設けられたヘッド本体と、
    機内の所定位置に配置され、基板を下方から支持する前記バックアップ部材と、
    前記ヘッド本体に昇降可能に設けられ、前記バックアップ部材を現在位置から目標位置まで移動させる配置変更処理において前記バックアップ部材を保持する保持部材と、
    前記ヘッド本体に設けられ、第一可動領域において前記保持部材を昇降させる第一昇降装置と、
    前記ヘッド本体に設けられ、前記第一可動領域と重複する重複領域および前記第一可動領域と重複しない第二専有領域を有する第二可動領域において前記保持部材を昇降させる第二昇降装置と、を備え、
    前記配置変更方法は、
    前記現在位置が前記第一可動領域のうち前記重複領域を除いた第一専有領域の内部であり、且つ前記目標位置が前記第二専有領域の内部である前記配置変更処理において、
    前記第一昇降装置の動作により前記保持部材に前記現在位置にある前記バックアップ部材を保持させる保持ステップと、
    前記保持ステップの後に、前記第二昇降装置の動作により前記目標位置に前記バックアップ部材を配置する配置ステップと、
    を備えるバックアップ部材の配置変更方法。

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