JP6901806B1

JP6901806B1 - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法

Info

Publication number: JP6901806B1
Application number: JP2020089663A
Authority: JP
Inventors: 知之原
Original assignee: 株式会社メック
Priority date: 2020-05-22
Filing date: 2020-05-22
Publication date: 2021-07-14
Anticipated expiration: 2040-05-22
Also published as: JP2021183947A

Abstract

【課題】画面に表示された被検査物における有色欠陥の色及び被検査物の色などの素材状態を人が判別できるようにする。【解決手段】被検査物に第１の光を照射角度θで照射する第１の照明と、第１の光が照射された位置に第２の光を照射角度θと異なる照射角度αで照射する第２の照明と、第１の光が正反射した第１の光の反射光と第２の光が散乱反射した第２の光の反射光を受光するライン型カラーセンサと、第１の光の反射光の受光量Ａ及び第２の光の反射光の受光量Ｂに基づき算出する被検査物の光沢度ｘに対するＲＧＢ３原色の欠陥の色を判別可能な受光量比ｙの上限値ｙ１及び下限値ｙ２を算出し、ｙ１＞ｙ＞ｙ２の範囲内の受光量比ｙに基づき算出する第１の光の反射光の受光量ａと第２の光の反射光の受光量ｂの和がライン型カラーセンサにおける合計受光量となるよう第１の照明または第２の照明の少なくとも一方の調光を行う欠陥検出部とを有する欠陥検査装置。【選択図】図１

Description

本発明は、有色欠陥の色及び被検査物の色などの素材状態を検査画面上で人が判別できる様に、被検査物を検査する欠陥検査装置及び欠陥検査方法に関する。

ライン型カラーセンサを使用した検査装置によって、被検査物を検査する技術は周知されている。例えば、下記特許文献１には、被検査物に照射する光が正反射するように設けられた光源（以下「正反射照明」とも称される）と、検査対象に照射する光が散乱反射するように設けられた光源（以下、「散乱反射照明」とも称される）とを用いた光学系にて、基板上のインク印刷と金属領域を区別して検査する技術が開示されている。

特開２００８−２１６０５９号公報

ここで、特許文献１の様に正反射照明と散乱反射照明を用いた光学系にて、ライン型カラーセンサを使用して基板上のインク印刷と金属領域を区別し、被検査物を検査することは可能である。しかしながら、検出した欠陥の色及び被検査物の色などの素材状態を画面上で判別する技術は確立されていない。
例えば、有色欠陥が検出された際に正反射照明の出力が強い場合は、欠陥が暗欠陥（黒色）として画面表示されてしまい、カラー検査を行っても画面上で欠陥の色の判別が困難となる。
また、有色欠陥が検出された際に散乱反射照明の出力が強い場合は、欠陥が明欠陥（白色）として画面表示されてしまい、同様に画面上で欠陥の色の判別が困難となる。そのため、検出した欠陥の色を人が画面上で判別するためには正反射照明と散乱反射照明の出力比率を適正に制御する必要がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、画面に表示された被検査物における有色欠陥の色及び被検査物の色などの素材状態を人が判別することが可能な欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供することにある。

上述した課題を解決するために、本発明の欠陥検査装置は、被検査物に対して第１の光を照射角度θで照射する第１の照明と、前記第１の光が照射された位置に対して第２の光を前記照射角度θとは異なる照射角度αで照射する第２の照明と、前記被検査物に照射された前記第１の光が正反射して生じる前記第１の光の反射光、及び前記被検査物に照射された前記第２の光が散乱反射して生じる前記第２の光の反射光を受光するライン型カラーセンサと、前記ライン型カラーセンサにおける前記第１の光の反射光の受光量Ａ及び前記第２の光の反射光の受光量Ｂに基づき前記被検査物の光沢度ｘ（ｘ＝Ａ÷Ｂ）を算出し、前記被検査物の光沢度ｘに対するＲＧＢ３原色の欠陥の色を判別可能な受光量比ｙの上限値ｙ_１及び下限値ｙ_２を算出し、ｙ_１＞ｙ＞ｙ_２の範囲内の受光量比ｙに基づき前記ライン型カラーセンサにおける前記第１の光の反射光の受光量ａ及び前記第２の光の反射光の受光量ｂを算出し、前記受光量ａと前記受光量ｂとの和が前記ライン型カラーセンサにおける合計受光量となるように、前記第１の照明または前記第２の照明の少なくともいずれか一方の調光を行う欠陥検出部と、を有する。

また、本発明は、上記欠陥検査装置において、前記照射角度θは、前記被検査物に対して照射される前記第１の光と、前記第１の光が前記被検査物に対して照射された位置における法線とがなす角度であり、前記照射角度αは、前記被検査物に対して照射される前記第２の光と、前記法線とがなす角度であり、前記ライン型カラーセンサが受光する前記第１の光の反射光の受光角θは、前記第１の光の反射光と前記法線とがなす角度であり、前記法線を基準として、前記受光角θが−θ度、前記照射角度θが＋θ度である場合に、前記第２の照明は、前記照射角度αが−９０度＜α＜−θ度の範囲内の角度、−θ度＜α＜＋θ度の範囲内の角度、または＋θ度＜α＜＋９０度の範囲内の角度となるように設けられる。

上述した課題を解決するために、本発明の欠陥検査方法は、第１の照明が、被検査物に対して第１の光を照射角度θで照射することと、第２の照明が、前記第１の光が照射された位置に対して第２の光を前記照射角度θとは異なる照射角度αで照射することと、ライン型カラーセンサが、前記被検査物に照射された前記第１の光が正反射して生じる前記第１の光の反射光、及び前記被検査物に照射された前記第２の光が散乱反射して生じる前記第２の光の反射光を受光することと、欠陥検出部が、前記ライン型カラーセンサにおける前記第１の光の反射光の受光量Ａ及び前記第２の光の反射光の受光量Ｂに基づき前記被検査物の光沢度ｘ（ｘ＝Ａ÷Ｂ）を算出し、前記被検査物の光沢度ｘに対するＲＧＢ３原色の欠陥の色を判別可能な受光量比ｙの上限値ｙ_１及び下限値ｙ_２を算出し、ｙ_１＞ｙ＞ｙ_２の範囲内の受光量比ｙに基づき前記ライン型カラーセンサにおける前記第１の光の反射光の受光量ａ及び前記第２の光の反射光の受光量ｂを算出し、前記受光量ａと前記受光量ｂとの和が前記ライン型カラーセンサにおける合計受光量となるように、前記第１の照明または前記第２の照明の少なくともいずれか一方の調光を行うことと、を含む。

本発明によれば、画面に表示された被検査物における有色欠陥の色及び被検査物の色などの素材状態を人が判別することができる。

欠陥検査装置の構成を示す概略構成図である。撮像部の光学構成図である。使用機器の具体例を示す表である。検査条件の具体例を示す表である。被検査物の具体例を示す表である。正反射照明及び散乱反射照明からの受光量と受光量比の関係を説明する表である。被検査物の光沢度を説明する表である。被検査物における有色欠陥を示す図である。被検査物が鉄板（光沢度：０．５）である場合の正反射照明及び散乱反射照明からの受光量の受光量比と欠陥光量Ｌｖとの関係を示す図である。被検査物が亜鉛引き鉄板（光沢度：０．９）である場合の正反射照明及び散乱反射照明からの受光量の受光量比と欠陥光量Ｌｖとの関係を示す図である。被検査物が燐青銅板（光沢度：５．７）である場合の正反射照明及び散乱反射照明からの受光量の受光量比と欠陥光量Ｌｖとの関係を示す図である。被検査物がアルミ板（光沢度：１０．２）である場合の正反射照明及び散乱反射照明からの受光量の受光量比と欠陥光量Ｌｖとの関係を示す図である。被検査物が銅板（光沢度：１１．４）である場合の正反射照明及び散乱反射照明からの受光量の受光量比と欠陥光量Ｌｖとの関係を示す図である。被検査物がステンレス板（光沢度：２３．６）である場合の正反射照明及び散乱反射照明からの受光量の受光量比と欠陥光量Ｌｖとの関係を示す図である。光沢度と有効な正反射照明及び散乱反射照明からの受光量の受光量比の関係を示す図である。燐青銅板の光沢度が「１．００」である場合の他の被検査物の光沢度を示す表である。燐青銅板の光沢度が「１．００」である場合の光沢度と有効な正反射照明及び散乱反射照明からの受光量の受光量比との関係を示す図である。燐青銅板の光沢度の数値変動に応じたδ値とφ値を示す表である。銅板に付着した油欠陥の受光量比ごとの検査結果を示す表である。正反射照明と散乱反射照明からの受光量の受光量比が１０：０である場合におけるライン型カラーセンサの各色の出力を平均した波形を示す図である。正反射照明と散乱反射照明からの受光量の受光量比が１０：０である場合におけるライン型カラーセンサの各色の出力の波形を示す図である。正反射照明と散乱反射照明からの受光量の受光量比が８：２である場合におけるライン型カラーセンサの各色の出力を平均した波形を示す図である。正反射照明と散乱反射照明からの受光量の受光量比が８：２である場合におけるライン型カラーセンサの各色の出力の波形を示す図である。正反射照明と散乱反射照明からの受光量の受光量比が３：７である場合におけるライン型カラーセンサの各色の出力を平均した波形を示す図である。正反射照明と散乱反射照明からの受光量の受光量比が３：７である場合におけるライン型カラーセンサの各色の出力の波形を示す図である。

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態による欠陥検査装置について説明する。
図１は、欠陥検査装置の構成を示す概略構成図である。図１に示すように、欠陥検査装置１は、撮像部２、欠陥検出部１１、ロータリエンコーダ１２、操作部１３を有する。

欠陥検査装置１は、被検査物１４の検査を行う装置である。
被検査物１４は、例えば、連続シート状のものである。連続シート状の被検査物１４の一例として、金属、フィルムなどの製品が挙げられる。被検査物１４は、後述する搬送方向において長尺状のものである。被検査物１４の短軸方向が幅方向に対応し、長軸（長尺）方向が搬送方向（走行方向とも称される）に対応する。

撮像部２は、被検査物１４を対象として照明する照明装置と、その反射光を受光するライン型センサとを含んで構成される。本実施形態の照明装置には、正反射用の照明（以下、「正反射照明」と称される）と散乱反射用の照明（以下、「散乱反射照明」とも称される）が含まれる。正反射照明（第１の照明）は、被検査物１４に照射した光が正反射するように設けられる。散乱反射照明（第２の照明）は、被検査物１４に対して照射した光が散乱反射するように設けられる。各照明装置の形状は、例えば、ライン型である。撮像部２の撮像範囲の長手方向は、被検査物１４の走行方向に対して直交する方向となるように設けられる。
照明装置は、例えば、蛍光灯、石英ロッド照明、ＬＥＤ照明などが使用される。ライン型センサは、例えば素子数２０４８〜８１９２素子のものが用いられる。この素子数は、被検査物１４の幅、走行速度、分解能、設置スペースなどに応じて、適切な素子数、速度（例えば、データレート、スキャンレート等）のものが所定の台数分使用される。また、ライン型センサは、照明装置から照射された光が被検査物１４で反射された反射光を受光する。ライン型センサにおける反射光の受光は、被検査物１４が搬送方向に搬送された状態において行なわれる。ライン型センサは、被検査物１４の表面の色調の濃淡に応じた電気信号（欠陥データ）を欠陥検出部１１に出力する。言い換えると、ライン型センサは、被検査物１４の走行方向に対して直交する方向におけるライン（以下、検査ライン）単位で、被検査物１４の表面の光強度分布に応じた電気信号を出力する。ライン型センサとしては、例えば、ＣＭＯＳ（相補型ＭＯＳ）カメラ、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−ＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）カメラが挙げられる。
また、ライン型カラーセンサにはスリーライン方式、プリズム分光方式、ベイヤー方式があり、赤色、緑色、青色のセンサが内蔵されている。

欠陥検出部１１は、撮像部２のライン型センサと接続される画像処理用コンピュータ及び画像ボードから構成される。欠陥検出部１１は、ライン型センサから得られる画像データに基づいて、被検査物１４の欠陥に関して検出を行なう。この欠陥検出部１１は、例えば、２値化部、ランレングス符号化部、及び連結性処理部を含んで構成されている。欠陥検出部１１は、撮像部２のライン型センサから入力された欠陥データを予め決められた閾値に基づいて２値化を行い、欠陥データの圧縮後、連結性処理を行い、欠陥の特徴量（欠陥の形状の特徴を表す情報。例えば欠陥の周囲長、面積、幅、長さ、縦横比、面積率）を測定する。
欠陥検出部１１は、欠陥検出以外に正反射照明からの受光量と散乱反射照明からの受光量とに基づき、被検査物１４の表面（光の照射面）の光沢度を算出する。また、欠陥検出部１１は、検査開始時にライン型センサにおける受光量（カメラ受光量）に基づき、各照明の調光（自動調光）を行う。
この欠陥検出部１１として、株式会社メック製の画像処理装置ＬＳＣ−６００を使用することができる。

ロータリエンコーダ１２は、自身が有する測定部の車輪を、主に搬送ロールに接触させて、搬送ロールの回転数に基づいて検査長を測定する。この搬送ロールは、被検査物１４を搬送方向に搬送する。ここで、検査長は、被検査物１４のＹ軸方向において検査開始位置からの距離を表す。

操作部１３は、検査条件の設定、検査中の画面表示、過去の検査結果の確認等を行うためのものである。また、検査中の画面表示として、欠陥詳細データ、リストやマップ、欠陥画像などを表示する。

＜実施例＞
図２は、本発明の撮像部２の光学構成図である。撮像部２は、正反射照明２２、散乱反射照明２３、及びライン型カラーセンサ２１からなる。
正反射照明２２は、被検査物１４に対して、光（第１の光）を照射角度θで照射する。照射角度θは、正反射照明２２が被検査物１４に対して照射する光と、当該光が被検査物１４に対して照射された位置における法線２４とがなす角度である。
散乱反射照明２３は、被検査物１４に対して、光（第２の光）を照射角度αで照射する。散乱反射照明２３は、正反射照明２２が光を照射した位置に対して、光を照射する。照射角度αは、散乱反射照明２３が被検査物１４に対して照射する光と、当該光が法線２４とがなす角度である。なお、照射角度αは、照射角度θとは異なる角度である。
ライン型カラーセンサ２１は、正反射照明２２によって照射される光が被検査物１４で正反射して生じる反射光と、散乱反射照明２３によって照射される光が被検査物１４で散乱反射して生じる反射光を受光する。ライン型カラーセンサ２１は、正反射照明２２によって照射される光の反射光を受光角θで受光する。受光角θは、正反射照明２２が照射する光の反射光と法線２４とがなす角度である。
法線２４は、照射角度θ、照射角度α、及び受光角θが０度となる基準である。本実施例では、正反射照明２２が照射する光の照射角度θ及びライン型カラーセンサ２１が受光する反射光の受光角θは１５度であり、散乱反射照明２３が照射する光の照射角度αは０度であるものとする。

本実施例では正反射照明２２及びライン型カラーセンサ２１の照射角度θを１５度としたが、これに制限されない。角度が小さいほど搬送時の被検査物１４の上下動による光軸ズレが少ないため、実用上は１５度を採用している。
また、散乱反射照明２３の照射角度を０度としたが、ライン型カラーセンサ２１に正反射光が入光しない角度であればよい。例えば、図２の法線２４を照射角度θ、照射角度α、及び受光角θが０度となる基準として、ライン型カラーセンサ２１の受光角が−θ度、正反射照明２２が照射する光の照射角度が＋θ度であるとする。この場合、散乱反射照明２３は、照射角度αが−９０度＜α＜−θ度（図２のα１）の範囲内の角度、−θ度＜α＜＋θ度（図２のα２）の範囲内の角度、または＋θ度＜α＜＋９０度（図２のα３）の範囲内の角度となるように設けられる。このとき、ライン型カラーセンサ２１の撮像位置は固定である。

ここで、図３〜図５を参照して、本実施例における使用機器、検査条件、及び被検査物の具体例について説明する。
図３は、使用機器の具体例を示す表である。図３に示す表では、欠陥検査装置１の構成、各構成として使用される機器の名称、各機器の型式が示されている。
欠陥検出部１１として、株式会社メック製の画像処理装置（ＬＳＣ−６００）が用いられる。ライン型カラーセンサ２１として、株式会社メック製のライン型センサカメラ（２０４８万画素、８０ＭＨｚ）と、レンズ（ライン型センサ用５０ｍｍレンズＦ２．８）が用いられる。正反射照明２２として、株式会社メック製のライン用ＬＥＤ照明（ＭＬＤ−ＷＡ−Ｗ）が用いられる。散乱反射照明２３として、株式会社メック製のライン用ＬＥＤ照明（ＭＬＤＨＢ−Ｗ１）が用いられる。なお、散乱反射光学系の明るさは、正反射光学系に比べて暗い。そのため、本実施例の散乱反射照明２３として、正反射照明２２よりも明るい照明を用いる。例えば、図３に示すように、散乱反射照明２３（ＭＬＤＨＢ−Ｗ１）の光量（明るさ）は、正反射照明２２（ＭＬＤ−ＷＡ−Ｗ）の光量の４５倍である。
なお、欠陥検査装置１の構成、各構成として使用される機器の名称、各機器の型式は、かかる例に限定されない。

図４は、検査条件の具体例を示す表である。図４には、検査条件を設定する機器、条件の名称、条件の内容が示されている。
欠陥検査装置１に関する検査条件として、光学系、カメラ角度、正反射照明角度、散乱反射照明角度、カメラ分解能、カメラ距離、正反射照明距離、散乱反射照明距離がある。光学系の条件は、正反射と散乱反射を併用することである。カメラ角度の条件は、カメラの角度を１５度とすることである。正反射照明角度の条件は、正反射照明２２の角度を１５度とすることである。散乱反射照明角度の条件は、散乱反射照明２３の角度を０度とすることである。カメラ分解能の条件は、幅方向を１００μｍ／ｐｉｘｅｌ、流れ方向を１００μｍ／ｓｃａｎとすることである。カメラ距離の条件は、検査対象までの距離を４９８ｍｍとすることである。正反射照明距離の条件は、検査対象までの距離を２００ｍｍとすることである。散乱反射照明距離の条件は、検査対象までの距離を２７０ｍｍとすることである。
巻き替え機に関する検査条件として、搬送速度がある。搬送速度の条件は、５ｍ／ｍｉｎとすることである。
なお、検査条件設定する機器、条件の名称、条件の内容は、かかる例に限定されない。

図５は、被検査物１４の具体例を示す表である。図５には、被検査物１４のＮｏ、被検査物１４、備考が示されている。
図５に示すように、本実施例では、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．６の６つの被検査物１４を対象に検査を行う。Ｎｏ．１の被検査物１４は、鉄板である。Ｎｏ．２の被検査物１４は、亜鉛引き鉄板（亜鉛メッキ鋼板）である。Ｎｏ．３の被検査物１４は、燐青銅板（ＪＩＳＣ５１９１）である。Ｎｏ．４の被検査物１４は、アルミ板（アルミ合金１０００系）である。Ｎｏ．５の被検査物１４は、銅板（銅合金Ｃ１０００系）である。Ｎｏ．６の被検査物１４は、ステンレス板（オーステナイト３０４系）である。
本実施例では、被検査物１４として金属製品を用いて欠陥検査を実施したが、被検査物１４には金属製品以外が用いられてもよい。

正反射照明２２及び散乱反射照明２３から照射された光は、被検査物１４で反射される。被検査物１４で反射された反射光は、ライン型カラーセンサ２１にて受光される。欠陥検出部１１は、当該ライン型カラーセンサ２１の受光量Ｌｖに基づき、正反射照明２２及び散乱反射照明２３の照射量を調整（調光）する。なお、以下では、調光前の正反射照明２２から照射された光の反射光の受光量は「受光量Ａ」、調光前の散乱反射照明２３から照射された光の反射光の受光量は「受光量Ｂ」と示される。また、調光後の正反射照明２２から照射された光の反射光の受光量は「受光量ａ」、調光後の散乱反射照明２３から照射された光の反射光の受光量は「受光量ｂ」と示される。

欠陥検出部１１は、ライン型カラーセンサ２１における受光量Ａ及び受光量Ｂに基づき被検査物１４の光沢度ｘを算出する。欠陥検出部１１は、被検査物１４の光沢度ｘに対するＲＧＢ３原色の欠陥の色を判別可能な受光量比ｙの上限値ｙ_１及び下限値ｙ_２を算出する。欠陥検出部１１は、ｙ_１＞ｙ＞ｙ_２の範囲内の受光量比ｙに基づき、ライン型カラーセンサ２１における受光量ａ及び受光量ｂを算出する。欠陥検出部１１は、受光量ａと受光量ｂとの和がライン型カラーセンサにおける合計受光量となるように、正反射照明２２または散乱反射照明２３の少なくともいずれか一方の調光を行う。調光時、正反射照明２２の照射量が既に受光量ａとなる照射量となっている場合、欠陥検出部１１は、正反射照明２２の調光を行わなくてもよい。また、調光時、散乱反射照明２３の照射量が既に受光量ｂとなる照射量となっている場合、欠陥検出部１１は、散乱反射照明２３の調光を行わなくてもよい。調光時、正反射照明２２と散乱反射照明２３の両方の調光が必要な場合、欠陥検出部１１は、正反射照明２２と散乱反射照明２３の両方の調光を行う。

ここで、図６を参照して、正反射照明２２からの受光量ａと散乱反射照明２３からの受光量ｂとの受光量比の関係について説明する。図６は、正反射照明２２及び散乱反射照明２３からの受光量と受光量比の関係を説明する表である。

本実施例では、正反射照明２２からの受光量ａと散乱反射照明２３からの受光量ｂとの比率（受光量ａ：受光量ｂ）を１０：０から０：１０まで変化させて有色欠陥３の検出を行った。
ライン型カラーセンサ２１の出力は、０Ｌｖ〜２５６Ｌｖ（階調）である。本実施例では、正反射照明２２からの受光量ａ及び散乱反射照明２３からの受光量ｂの合計受光量ｚ（ｚ＝ａ＋ｂ）が、２５６Ｌｖの中心である１２８Ｌｖとなるようにする。これは、被検査物１４の色などの素材状態を人が判別し易いようにするためである。

図６に示すように、受光量比が１０：０である場合、受光量ａは１２８Ｌｖ、受光量ｂは０Ｌｖである。受光量比が９：１である場合、受光量ａは１１５Ｌｖ、受光量ｂは１３Ｌｖである。受光量比が８：２である場合、受光量ａは１０２Ｌｖ、受光量ｂは２６Ｌｖである。受光量比が７：３である場合、受光量ａは９０Ｌｖ、受光量ｂは３８Ｌｖである。受光量比が６：４である場合、受光量ａは７７Ｌｖ、受光量ｂは５１Ｌｖである。受光量比が５：５である場合、受光量ａは６４Ｌｖ、受光量ｂは６４Ｌｖである。受光量比が４：６である場合、受光量ａは５１Ｌｖ、受光量ｂは７７Ｌｖである。受光量比が３：７である場合、受光量ａは３８Ｌｖ、受光量ｂは９０Ｌｖである。受光量比が２：８である場合、受光量ａは２６Ｌｖ、受光量ｂは１０２Ｌｖである。受光量比が１：９である場合、受光量ａは１３Ｌｖ、受光量ｂは１１５Ｌｖである。受光量比が０：１０である場合、受光量ａは０Ｌｖ、受光量ｂは１２８Ｌｖである。

図７は、被検査物１４の光沢度を説明する表である。図７には、被検査物１４のＮｏ、被検査物１４、正反射照明２２からの受光量Ａ、散乱反射照明２３からの受光量Ｂ、光沢度ｘ（ｘ＝Ａ÷Ｂ）が示されている。

本発明での光沢度ｘは、撮像部２のライン型カラーセンサ２１における正反射照明２２からの受光量Ａと散乱反射照明２３からの受光量Ｂとの比を示す値である。欠陥検出部１１は、受光量Ａを受光量Ｂで除算（ｘ＝Ａ÷Ｂ）すること光沢度ｘを算出する。光沢度ｘは、値が大きい被検査物１４ほど、光沢がある被検査物１４であることを示す。
なお、正反射照明２２からの受光量Ａの測定時、散乱反射照明２３は消灯された状態である。また、散乱反射照明２３からの受光量Ｂの測定時、正反射照明２２は消灯された状態である。また、各受光量の測定時の正反射照明２２と散乱反射照明２３の出力は、一定である。また、ライン型カラーセンサ２１の走査周期も一定である。

図７に示すように、Ｎｏ．１の鉄板は、正反射照明２２からの受光量Ａは４４．５Ｌｖ、散乱反射照明２３からの受光量Ｂは９１．０Ｌｖ、光沢度ｘは０．５である。Ｎｏ．２の亜鉛引き鉄板は、正反射照明２２からの受光量Ａは９８．０Ｌｖ、散乱反射照明２３からの受光量Ｂは１１５．０Ｌｖ、光沢度ｘは０．９である。Ｎｏ．３の燐青銅板は、正反射照明２２からの受光量Ａは１３４．０Ｌｖ、散乱反射照明２３からの受光量Ｂは２３．４Ｌｖ、光沢度ｘは５．７である。Ｎｏ．４のアルミ板は、正反射照明２２からの受光量Ａは１８９．０Ｌｖ、散乱反射照明２３からの受光量Ｂは１８．５Ｌｖ、光沢度ｘは１０．２である。Ｎｏ．５の銅板は、正反射照明２２からの受光量Ａは１４０．０Ｌｖ、散乱反射照明２３からの受光量Ｂは１２．３Ｌｖ、光沢度ｘは１１．４である。Ｎｏ．６のステンレス板は、正反射照明２２からの受光量Ａは１３６．０Ｌｖ、散乱反射照明２３からの受光量Ｂは５．８Ｌｖ、光沢度ｘは２３．６である。

図８は、被検査物１４における有色欠陥を示す図である。実施例では各被検査物１４に対し、赤色欠陥３１、緑色欠陥３２、青色欠陥３３のＲＧＢ３原色の有色欠陥３を付着させた。
撮像部２で検出した各色の有色欠陥３の中心部の光量Ｌｖを記録した。

検出した各色の有色欠陥３は、検査画面上で確認すると、有色欠陥３の中心部の光量Ｌｖが２０／２５６Ｌｖから２４０／２５６Ｌｖの間で色の判別が可能である。そのため、各被検査物１４に対する正反射照明２２と散乱反射照明２３の比率を１０：０から０：１０まで変化させて有色欠陥３を検出し、２０／２５６Ｌｖから２４０／２５６Ｌｖとなる有効範囲を確認した。
実施例では８ｂｉｔのカメラを使用したが、１０ｂｉｔや１２ｂｉｔのカメラでもよい。カメラ出力の７．８％〜９３．８％が色の判別が可能な範囲である。例えば、１０ｂｉｔカメラでは８０／１０２４Ｌｖから９６０／１０２４Ｌｖ、１２ｂｉｔカメラでは３２０／４０９６Ｌｖから３８４０／４０９６Ｌｖの範囲となる。

また、赤色欠陥３１、緑色欠陥３２、青色欠陥３３の有色欠陥３を検出した結果、正反射照明２２と散乱反射照明２３の比率を変動させて検出させても、有色欠陥３の中心部の光量Ｌｖは、赤色欠陥３１＞緑色欠陥３２＞青色欠陥３３の関係となった。そのため、２０／２５６Ｌｖの判定は青色欠陥３３、２４０／２５６Ｌｖの判定は赤色欠陥３１にて行った。このとき、判定は近似式から算出した。近似式のｙは欠陥光量Ｌｖであり、ｘは散乱反射用の照明部の比率である。これにより、正反射照明２２と散乱反射照明２３からの受光量の受光量比の有効範囲内では赤色、緑色、青色の各色欠陥が判別可能である。

図９Ａは、被検査物１４が鉄板（光沢度：０．５）である場合の正反射照明２２及び散乱反射照明２３からの受光量の受光量比と欠陥光量Ｌｖの関係を示す図である。
この鉄板（光沢度：０．５）では受光量比に関係なく有色欠陥３の中心部の光量が２０Ｌｖ〜２４０Ｌｖの範囲に全ての欠陥が入っていることが確認できた。受光量比の有効範囲は、１０：０〜０：１０となる。

図９Ｂは、被検査物１４が亜鉛引き鉄板（光沢度：０．９）である場合の正反射照明２２及び散乱反射照明２３からの受光量の受光量比と欠陥光量Ｌｖの関係を示す図である。また、赤色欠陥３１の近似式はｙ＝７．２２２ｘ＋１７．２８９、青色欠陥３３の近似式はｙ＝４．６２３６ｘ＋１４．８０９である。
この亜鉛引き鉄板（光沢度：０．９）では受光量比が８．８７５：１．１２５の時に青色欠陥３３が２０Ｌｖ以上となる。また、受光量比が０：１０でも２４０Ｌｖ以下となる。受光量比の有効範囲は、８．８７５：１．１２５〜０：１０となる。

図９Ｃは、被検査物１４が燐青銅板（光沢度：５．７）である場合の正反射照明２２及び散乱反射照明２３からの受光量の受光量比と欠陥光量Ｌｖの関係を示す図である。また、赤色欠陥３１の近似式はｙ＝−２．５３７ｘ^２＋４９．９１９ｘ＋９．１７０１、青色欠陥３３の近似式はｙ＝−１．６２０４ｘ^２＋３９．８４５ｘ＋２．６５１４である。
この燐青銅板（光沢度：５．７）では受光量比が９．５７６：０．４２４の時に青色欠陥３３が２０Ｌｖ以上となる。また、受光量比が２．５７５：７．４２５の時に赤色欠陥３１が２４０Ｌｖ以下となる。受光量比の有効範囲は、９．５７６：０．４２４〜２．５７５：７．４２５となる。

図９Ｄは、被検査物１４がアルミ板（光沢度：１０．２）である場合の正反射照明２２及び散乱反射照明２３からの受光量の受光量比と欠陥光量Ｌｖの関係を示す図である。また、赤色欠陥３１の近似式はｙ＝−４．７３５７ｘ^２＋６９．２８８ｘ＋１８．３１１、青色欠陥３３の近似式はｙ＝−３．１３８４ｘ^２＋５５．９９７ｘ＋１．７２９２である。
このアルミ板（光沢度：１０．２）では受光量比が９．６６７：０．３３３の時に青色欠陥３３が２０Ｌｖ以上となる。また、受光量比が５．２７５：４．７２５の時に赤色欠陥３１が２４０Ｌｖ以下となる。受光量比の有効範囲は、９．６６７：０．３３３〜５．２７５：４．７２５となる。

図９Ｅは、被検査物１４が銅板（光沢度：１１．４）である場合の正反射照明２２及び散乱反射照明２３からの受光量の受光量比と欠陥光量Ｌｖの関係を示す図である。また、赤色欠陥３１の近似式はｙ＝−４．３９２７ｘ^２＋６６．０９３ｘ＋１９．５７、青色欠陥３３の近似式はｙ＝−３．０００６ｘ^２＋５４．５３８ｘ＋４．３４５４である。
この銅板（光沢度：１１．４）では受光量比が９．７０７：０．２９３の時に青色欠陥３３が２０Ｌｖ以上となる。また、受光量比が５．０１３：４．９８７の時に赤色欠陥３１が２４０Ｌｖ以下となる。受光量比の有効範囲は、９．７０７：０．２９３〜５．０１３：４．９８７となる。

図９Ｆは、被検査物１４がステンレス板（光沢度：２３．６）である場合の正反射照明２２及び散乱反射照明２３からの受光量の受光量比と欠陥光量Ｌｖの関係を示す図である。また、赤色欠陥３１の近似式はｙ＝０．０３１３ｘ^５−１．０４９ｘ^４＋１３．４６４ｘ^３−８１．８６４ｘ^２＋２３２．５２ｘ＋１２．９１、青色欠陥３３の近似式はｙ＝−０．０２８８ｘ^５＋０．６１３１ｘ^４−３．０５２ｘ^３−１２．６４２ｘ^２＋１３１．３４ｘ＋８．４５４２である。
このステンレス板（光沢度：２３．６）では受光量比が９．９１１：０．０８９の時に青色欠陥３３が２０Ｌｖ以上となる。また、受光量比が８．０７１：１．９２９の時に赤色欠陥３１が２４０Ｌｖ以下となる。受光量比の有効範囲は、９．９１１：０．０８９〜８．０７１：１．９２９となる。

図１０は、光沢度と有効な正反射照明２２及び散乱反射照明２３からの受光量の受光量比の関係を示す図である。ｙ_１＝１０．６３８ｅ^{−０．０７２ｘ}が欠陥光量２４０Ｌｖ以下となる上限値の近似式であり、ｙ_２＝０．９８９８ｅ^{−０．１０５ｘ}が欠陥光量２０Ｌｖ以上となる下限値の近似式である。図１０に示す被検査物１４の名称が付されたプロットは、図９Ａ〜図９Ｂを参照して説明した各被検査物１４における受光量比の有効範囲における上限値と下限値を示している。上限値の近似式及び下限値の近似式は、当該プロットに基づき求められた式である。
上記より、欠陥検出部１１は、ｙ_１＞ｙ＞ｙ_２の範囲内の受光量比ｙであり、かつ正反射照明２２及び散乱反射照明２３が両方点灯している範囲で正反射照明２２及び散乱反射照明２３の出力の調整を行う。これにより、欠陥検出部１１は、人が画面上でＲＧＢ３原色の欠陥の色を判別可能に、有色欠陥３を検出することができる。実用上は算出を容易とするために、ｙ_１＝１０．６３８ｅ^{−０．０７２ｘ}とｙ_２＝０．９８９８ｅ^{−０．１０５ｘ}の中心位置で受光量比を設定する。
例えば、欠陥検出部１１は、検査開始時に測定した正反射照明２２からの受光量Ａ及び散乱反射照明２３からの受光量Ｂから、被検査物１４の光沢度ｘ（ｘ＝Ａ÷Ｂ）を算出する。欠陥検出部１１は、算出した光沢度ｘに基づき、上限値ｙ_１（ｙ_１＝１０．６３８ｅ^{−０．０７２ｘ}）と下限値ｙ_２（ｙ_２＝０．９８９８ｅ^{−０．１０５ｘ}）とを算出する。欠陥検出部１１は、散乱反射照明２３からの受光量の比をｙ＝（ｙ_１＋ｙ_２）／２で算出し、正反射照明２２からの受光量の比をγ＝１０−ｙで算出することで、適正な受光量比を決定することができる。

ただし、照明の種類が変わると正反射照明２２及び散乱反射照明２３からの受光量の受光量比が変わってしまうため算出する光沢度の数値も変動してしまう。そのため、正反射照明２２及び散乱反射照明２３の選定後に光沢度の数値を取得する必要がある。例えば、正反射照明２２及び散乱反射照明２３を選定したとき、被検査物１４のＮｏ．３：燐青銅板（ＪＩＳＣ５１９１）の光沢度を測定する。

ここで、図１１を参照して、Ｎｏ．３：燐青銅板（ＪＩＳＣ５１９１）の光沢度が「１．００」である場合の他の被検査物１４の光沢度について説明する。図１１は、Ｎｏ．３：燐青銅板（ＪＩＳＣ５１９１）の光沢度が「１．００」である場合の他の被検査物１４の光沢度を示す表である。図１１には、被検査物１４のＮｏ、被検査物１４、実施例での光沢度、燐青銅板の光沢度が「１．００」である場合の光沢度が示されている。

図１１に示すように、Ｎｏ．１の鉄板の実施例での光沢度は０．５、燐青銅板の光沢度が「１．００」である場合の光沢度は０．０９である。Ｎｏ．２の亜鉛引き鉄板の実施例での光沢度は０．９、燐青銅板の光沢度が「１．００」である場合の光沢度は０．１５である。Ｎｏ．３の燐青銅板の実施例での光沢度は５．７、燐青銅板の光沢度が「１．００」である場合の光沢度は１．００である。Ｎｏ．４のアルミ板の実施例での光沢度は１０．２、燐青銅板の光沢度が「１．００」である場合の光沢度は１．７９である。Ｎｏ．５の銅板の実施例での光沢度は１１．４、燐青銅板の光沢度が「１．００」である場合の光沢度は１．９９である。Ｎｏ．６のステンレス板の実施例での光沢度は２３．６、燐青銅板の光沢度が「１．００」である場合の光沢度は４．１４である。

図１２は、Ｎｏ．３：燐青銅板（ＪＩＳＣ５１９１）の光沢度が「１．００」である場合の光沢度と有効な正反射照明２２及び散乱反射照明２３からの受光量の受光量比の関係を示す図である。Ｎｏ．３：燐青銅板（ＪＩＳＣ５１９１）の光沢度が「１．００」のときは、ｙ＝１０．６３８ｅ^{−０．４１２ｘ}が欠陥光量２４０Ｌｖ以下となる近似式であり、ｙ＝０．９８９８ｅ^{−０．６０２ｘ}が欠陥光量２０Ｌｖ以上となる近似式である。

上記からｙ_１＝１０．６３８ｅ^−δｘとｙ_２＝０．９８９８ｅ^−φｘの式から受光量比を決定できる。このときのδとφは、基準とする被検査物１４に依存する。例えば、Ｎｏ．３：燐青銅板（ＪＩＳＣ５１９１）を基準とした場合はδ＝０．４１０５ｘ^{−０．９９６}、φ＝０．６０２１ｘ^{−１．００１}となる。

ここで、図１３を参照して、Ｎｏ．３：燐青銅板（ＪＩＳＣ５１９１）光沢度の数値変動によるδ値とφ値について説明する。図１３は、Ｎｏ．３：燐青銅板（ＪＩＳＣ５１９１）の光沢度の数値変動に応じたδ値とφ値を示す表である。図１３には、光沢度、δ値、φ値が示されている。

図１３に示すように、光沢度が１である場合のδ値は０．４１２、φ値は０．６０２である。光沢度が２である場合のδ値は０．２０６、φ値は０．３０１ある。光沢度が３である場合のδ値は０．１３７、φ値は０．２０１である。光沢度が４である場合のδ値は０．１０３、φ値は０．１５０である。光沢度が５である場合のδ値は０．０８２、φ値は０．１２０である。光沢度が６である場合のδ値は０．０６９、φ値は０．１００である。光沢度が７である場合のδ値は０．０５９、φ値は０．０８６である。光沢度が８である場合のδ値は０．０５２、φ値は０．０７５である。光沢度が９である場合のδ値は０．０４６、φ値は０．０６７である。光沢度が１０である場合のδ値は０．０４１、φ値は０．０６０である。

被検査物１４の検査は、正反射照明２２からの受光量ａ及び散乱反射照明２３からの受光量ｂの合計受光量ｚに基づき実施される。受光量ａ、受光量ｂ、合計受光量ｚは、欠陥検出部１１によって算出される。欠陥検出部１１は、受光量ａをａ＝（１０−ｙ）／１０×ｚ_０の式から算出する。欠陥検出部１１は、受光量ｂをｂ＝ｙ／１０×ｚ_０の式から算出する。欠陥検出部１１は、合計受光量ｚをｚ＝ａ＋ｂの式から算出する。
欠陥検出部１１は、算出した受光量ａと受光量ｂとの和である合計受光量ｚが、ライン型カラーセンサ２１における合計受光量ｚとなるように、正反射照明２２または散乱反射照明２３の少なくともいずれか一方の調光を行う。なお、受光量ｚ_０は、検査条件にて設定することができる。

このとき、正反射照明２２と散乱反射照明２３の調光は、交互に行われる必要がある。各照明を調光する方法には、複数の方法がある。
（方法１）
被検査物１４が配置された状態で散乱反射照明２３を消灯し、正反射照明２２における受光量が受光量ａとなるように調光を行う。正反射照明２２の調光後、正反射照明２２を消灯し、散乱反射照明２３における受光量が受光量ｂとなるように調光を行う。散乱反射照明２３の調光後、正反射照明２２を点灯させ検査を開始する。
（方法２）
散乱反射照明２３を消灯し、正反射照明２２を受光量ａに調光を行う。正反射照明２２の調光後、散乱反射照明２３を点灯させ、受光量ｚ_０に散乱反射照明２３の調光を行う。
上述の二つの調光方法において、各照明を調光する順番は、散乱反射照明２３が先でも良い。

次に銅板（光沢度：１１．４）に付着した油欠陥（茶色）を撮像部２にて検査した。上述と同様に正反射照明２２からの受光量ａと散乱反射照明２３からの受光量ｂとの受光量比を変動させて検出させた。

ここで、図１４を参照して、銅板（光沢度：１１．４）に付着した油欠陥（茶色）の検査結果の判別結果について説明する。図１４は、銅板に付着した油欠陥の受光量比ごとの検査結果を示す表である。図１４には、受光量比、合計受光量、欠陥光量Ｌｖ、欠陥検出結果、欠陥色の判別結果が示されている。欠陥光量Ｌｖは、受光量ａと受光量ｂの受光量比に対する油欠陥（茶色）の欠陥光量Ｌｖを示している。なお、合計受光量ｚは、全ての受光量において１２８Ｌｖとしている。

図１４に示すように、受光量比が１０：０である場合、欠陥光量Ｌｖは１７．３Ｌｖであり、欠陥検出は可能であるが欠陥色の判別は不可である。受光量比が９：１である場合、欠陥光量Ｌｖは５９．６Ｌｖであり、欠陥検出及び欠陥色の判別が可能である。受光量比が８：２である場合、欠陥光量Ｌｖは１５７．０Ｌｖであり、欠陥検出及び欠陥色の判別が可能である。受光量比が７：３である場合、欠陥光量Ｌｖは１８２．５Ｌｖであり、欠陥検出及び欠陥色の判別が可能である。受光量比が６：４である場合、欠陥光量Ｌｖは２２６．７Ｌｖであり、欠陥検出及び欠陥色の判別が可能である。受光量比が５：５である場合、欠陥光量Ｌｖは２４１．７Ｌｖであり、欠陥検出は可能であるが欠陥色の判別は不可である。受光量比が４：６である場合、欠陥光量Ｌｖは２４７．２Ｌｖであり、欠陥検出は可能であるが欠陥色の判別は不可である。受光量比が３：７である場合、欠陥光量Ｌｖは２５３．０Ｌｖであり、欠陥検出は可能であるが欠陥色の判別は不可である。受光量比が２：８である場合、欠陥光量Ｌｖは２５４．５Ｌｖであり、欠陥検出は可能であるが欠陥色の判別は不可である。受光量比が１：９である場合、欠陥光量Ｌｖは２５４．９Ｌｖであり、欠陥検出は可能であるが欠陥色の判別は不可である。受光量比が０：１０である場合、欠陥光量Ｌｖは２５４．７Ｌｖであり、欠陥検出は可能であるが欠陥色の判別は不可である。

図１４に示す結果より、油欠陥（茶色）の色判別は、銅板の受光量比の有効範囲（図９Ｅ参照）である９．７０７：０．２９３〜５．０１３：４．９８７内で可能であった。
受光量比の有効範囲の中心は７．３６：２．６４となる。今回の結果では８：２及び７：３の結果の間となるため、受光量比の有効範囲の中心にて調光することは実用上問題ないことが確認できた。

図１５Ａ及び図１５Ｂを参照して、正反射照明２２と散乱反射照明２３からの受光量の受光量比が１０：０である場合における油欠陥の波形について説明する。図１５Ａ及び図１５Ｂにおける縦軸はカメラ出力を示し、横軸はカメラ画素を示している。
図１５Ａは、正反射照明２２と散乱反射照明２３からの受光量の受光量比が１０：０である場合におけるライン型カラーセンサ２１の各色の出力を平均した波形を示す図である。この波形から欠陥の色にはコントラストがあるため検出可能であることが確認できる。しかし、欠陥光量Ｌｖが２０Ｌｖ以下である。そのため、人による画面上での欠陥色の判別は不可となる。
図１５Ｂは、正反射照明２２と散乱反射照明２３からの受光量の受光量比が１０：０である場合におけるライン型カラーセンサ２１の各色の出力の波形を示す図である。欠陥中心付近の欠陥光量Ｌｖの数値は、赤色出力が１９Ｌｖ、緑色出力が１７Ｌｖ、青色出力が１６Ｌｖであった。この各色の出力値からも、検出された欠陥の色の判別ができないことがわかる。

図１６Ａ及び図１６Ｂを参照して、正反射照明２２と散乱反射照明２３からの受光量の受光量比が８：２である場合における油欠陥の波形について説明する。図１６Ａ及び図１６Ｂにおける縦軸はカメラ出力を示し、横軸はカメラ画素を示している。
図１６Ａは、正反射照明２２と散乱反射照明２３からの受光量の受光量比が８：２である場合におけるライン型カラーセンサ２１の各色の出力を平均した波形を示す図である。この波形から欠陥の色にはコントラストがあるため検出可能であることが確認できる。また、欠陥光量Ｌｖが２０／２５６Ｌｖから２４０／２５６Ｌｖの間である。そのため、人による画面上での欠陥色の判別が可能となる。
図１６Ｂは、正反射照明２２と散乱反射照明２３からの受光量の受光量比が８：２である場合におけるライン型カラーセンサ２１の各色の出力の波形を示す図である。欠陥中心付近の欠陥光量Ｌｖの数値は、赤色出力が２４８Ｌｖ、緑色出力が１３３Ｌｖ、青色出力が９０Ｌｖであった。この各色の出力値からも、検出された欠陥が茶色であることが判別可能である。

図１７Ａ及び図１７Ｂを参照して、正反射照明２２と散乱反射照明２３からの受光量の受光量比が３：７である場合における油欠陥の波形について説明する。図１７Ａ及び図１７Ｂにおける縦軸はカメラ出力を示し、横軸はカメラ画素を示している。
図１７Ａは、正反射照明２２と散乱反射照明２３からの受光量の受光量比が３：７である場合におけるライン型カラーセンサ２１の各色の出力を平均した波形を示す図である。この波形から欠陥の色にはコントラストがあるため検出可能であることが確認できる。しかし、欠陥光量Ｌｖが２４０Ｌｖ以上である。そのため、人による画面上での欠陥色の判別は不可となる。
図１７Ｂは、正反射照明２２と散乱反射照明２３からの受光量の受光量比が３：７である場合におけるライン型カラーセンサ２１の各色の出力の波形を示す図である。欠陥中心付近の欠陥光量Ｌｖの数値は、赤色出力が２５５Ｌｖ、緑色出力が２５５Ｌｖ、青色出力が２４９Ｌｖであった。この各色の出力値からも、検出された欠陥の色の判別ができないことがわかる。

正反射照明２２と散乱反射照明２３からの受光量の受光量比に関係なく、被検査物１４の正常部では赤色出力が１５０Ｌｖ、緑色出力が１２５Ｌｖ、青色出力が１１０Ｌｖとなり、被検査物１４が濃い茶色であることが判別可能である。本発明では正反射照明２２と散乱反射照明２３からの受光量の受光量比を制御することで有色欠陥３を検出し、かつ有色欠陥３及び被検査物１４の色の判別が可能であることがわかる。

以上、本発明の実施形態について説明した。
以上説明したように、本発明の欠陥検査装置１において、正反射照明２２は、被検査物１４に対して、正反射する第１の光を照射角度θで照射する。散乱反射照明２３は、第１の光が照射された位置に対して、散乱反射する第２の光を照射角度θとは異なる照射角度αで照射する。ライン型カラーセンサ２１は、第１の光の反射光及び第２の光の反射光を受光する。
欠陥検出部１１は、ライン型カラーセンサ２１における第１の光の反射光の受光量Ａ及び第２の光の反射光の受光量Ｂに基づき、被検査物１４の光沢度ｘ（ｘ＝Ａ÷Ｂ）を算出する。欠陥検出部１１は、算出した被検査物１４の光沢度ｘに対するＲＧＢ３原色の欠陥の色を判別可能な受光量比ｙの上限値ｙ_１及び下限値ｙ_２を算出する。欠陥検出部１１は、ｙ_１＞ｙ＞ｙ_２の範囲内の受光量比ｙに基づき、ライン型カラーセンサ２１における第１の光の反射光の受光量ａ及び第２の光の反射光の受光量ｂを算出する。欠陥検出部１１は、算出した受光量ａと受光量ｂとの和がライン型カラーセンサ２１における合計受光量となるように、正反射照明２２または散乱反射照明２３の少なくともいずれか一方の調光を行う。

かかる構成により、本発明の欠陥検査装置１は、被検査物１４の光沢度ｘに応じて、ライン型カラーセンサ２１における受光量ａと受光量ｂの合計受光量を、画面に表示された被検査物１４の素材状態を人が判別可能な有効範囲で制御する。これにより、人は、画面に表示された被検査物における有色欠陥の色及び被検査物の色などの素材状態を判別することができる。

よって、本発明の欠陥検査装置１は、画面に表示された被検査物における有色欠陥の色及び被検査物の色などの素材状態を人が判別できるようにすることを可能とする。

上述した実施形態における欠陥検査装置１をコンピュータで実現するようにしてもよい。その場合、この機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することによって実現してもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含んでもよい。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよく、ＦＰＧＡ（ＦｉｅｌｄＰｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅＧａｔｅＡｒｒａｙ）等のプログラマブルロジックデバイスを用いて実現されるものであってもよい。

以上、この発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。

１…欠陥検査装置
１１…欠陥検出部
１２…ロータリエンコーダ
１３…操作部
１４…被検査物
２…撮像部
２１…ライン型カラーセンサ
２２…正反射照明
２３…散乱反射照明
２４…法線
３…有色欠陥
３１…赤色欠陥
３２…緑色欠陥
３３…青色欠陥

Claims

被検査物に対して第１の光を照射角度θで照射する第１の照明と、
前記第１の光が照射された位置に対して第２の光を前記照射角度θとは異なる照射角度αで照射する第２の照明と、
前記被検査物に照射された前記第１の光が正反射して生じる前記第１の光の反射光、及び前記被検査物に照射された前記第２の光が散乱反射して生じる前記第２の光の反射光を受光するライン型カラーセンサと、
前記ライン型カラーセンサにおける前記第１の光の反射光の受光量Ａ及び前記第２の光の反射光の受光量Ｂに基づき前記被検査物の光沢度ｘ（ｘ＝Ａ÷Ｂ）を算出し、前記被検査物の光沢度ｘに対するＲＧＢ３原色の欠陥の色を判別可能な受光量比ｙの上限値ｙ_１及び下限値ｙ_２を算出し、ｙ_１＞ｙ＞ｙ_２の範囲内の受光量比ｙに基づき前記ライン型カラーセンサにおける前記第１の光の反射光の受光量ａ及び前記第２の光の反射光の受光量ｂを算出し、前記受光量ａと前記受光量ｂとの和が前記ライン型カラーセンサにおける合計受光量となるように、前記第１の照明または前記第２の照明の少なくともいずれか一方の調光を行う欠陥検出部と、
を有する欠陥検査装置。
前記照射角度θは、前記被検査物に対して照射される前記第１の光と、前記第１の光が前記被検査物に対して照射された位置における法線とがなす角度であり、
前記照射角度αは、前記被検査物に対して照射される前記第２の光と、前記法線とがなす角度であり、
前記ライン型カラーセンサが受光する前記第１の光の反射光の受光角θは、前記第１の光の反射光と前記法線とがなす角度であり、
前記法線を基準として、前記受光角θが−θ度、前記照射角度θが＋θ度である場合に、
前記第２の照明は、前記照射角度αが−９０度＜α＜−θ度の範囲内の角度、−θ度＜α＜＋θ度の範囲内の角度、または＋θ度＜α＜＋９０度の範囲内の角度となるように設けられる、
請求項１に記載の欠陥検査装置。
第１の照明が、被検査物に対して第１の光を照射角度θで照射することと、
第２の照明が、前記第１の光が照射された位置に対して第２の光を前記照射角度θとは異なる照射角度αで照射することと、
ライン型カラーセンサが、前記被検査物に照射された前記第１の光が正反射して生じる前記第１の光の反射光、及び前記被検査物に照射された前記第２の光が散乱反射して生じる前記第２の光の反射光を受光することと、
欠陥検出部が、前記ライン型カラーセンサにおける前記第１の光の反射光の受光量Ａ及び前記第２の光の反射光の受光量Ｂに基づき前記被検査物の光沢度ｘ（ｘ＝Ａ÷Ｂ）を算出し、前記被検査物の光沢度ｘに対するＲＧＢ３原色の欠陥の色を判別可能な受光量比ｙの上限値ｙ_１及び下限値ｙ_２を算出し、ｙ_１＞ｙ＞ｙ_２の範囲内の受光量比ｙに基づき前記ライン型カラーセンサにおける前記第１の光の反射光の受光量ａ及び前記第２の光の反射光の受光量ｂを算出し、前記受光量ａと前記受光量ｂとの和が前記ライン型カラーセンサにおける合計受光量となるように、前記第１の照明または前記第２の照明の少なくともいずれか一方の調光を行うことと、
を含む欠陥検査方法。