JPH0313853A - 表面疵検査装置 - Google Patents
表面疵検査装置Info
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- JPH0313853A JPH0313853A JP14831489A JP14831489A JPH0313853A JP H0313853 A JPH0313853 A JP H0313853A JP 14831489 A JP14831489 A JP 14831489A JP 14831489 A JP14831489 A JP 14831489A JP H0313853 A JPH0313853 A JP H0313853A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、表面疵検査装置に係り、特に高速で移動する
表面処理鋼板などの被検材をカメラで撮像し、静止画と
して画像メモリにM積し、その画像データを信号処理す
ることにより、表面疵を自動的に検査することの可能な
表面疵検査装置に関する。
表面処理鋼板などの被検材をカメラで撮像し、静止画と
して画像メモリにM積し、その画像データを信号処理す
ることにより、表面疵を自動的に検査することの可能な
表面疵検査装置に関する。
〈従来の技術〉
従来から、圧延ラインの鋼板などの移送中の被検材の表
面疵を検出する装置として、例えば特開昭54−118
289号公報に開示されているようなストロボスコープ
を用いた表面疵検査装置が提案されている。
面疵を検出する装置として、例えば特開昭54−118
289号公報に開示されているようなストロボスコープ
を用いた表面疵検査装置が提案されている。
この表面疵検査装置は、第2図に示すように、移送中の
被検材1に対してストロボスコープ2を瞬間照明して表
面静止画像をテレビカメラ3でその視野4の範囲を撮像
し、これを繰り返して被検材Iの全表面を漏れなく撮像
し、信号処理回路7において各画面のビデオ信号を信号
処理して疵およびエツジの強調を行う。
被検材1に対してストロボスコープ2を瞬間照明して表
面静止画像をテレビカメラ3でその視野4の範囲を撮像
し、これを繰り返して被検材Iの全表面を漏れなく撮像
し、信号処理回路7において各画面のビデオ信号を信号
処理して疵およびエツジの強調を行う。
このとき、速度計5によって検出された被検材1の移動
速度が同期回路6に入力されることにより、ストロボス
コープ2の発光のタイミングとテレビカメラ3のiM像
のタイミングとが同期するように制御される。
速度が同期回路6に入力されることにより、ストロボス
コープ2の発光のタイミングとテレビカメラ3のiM像
のタイミングとが同期するように制御される。
そして、信号処理回路7から出力されたビデオ信号はス
キャンコンバータ8に入力されて記憶され、その1画面
分の画像をモニタ9で表示するようにし、検査員はこの
モニタ9の画像をみて被検材1の外観検査を行う。
キャンコンバータ8に入力されて記憶され、その1画面
分の画像をモニタ9で表示するようにし、検査員はこの
モニタ9の画像をみて被検材1の外観検査を行う。
このようにして、従来の表面疵検査装置は、移動する被
検材lの表面画像を静止画として表示させるのが特徴的
である。
検材lの表面画像を静止画として表示させるのが特徴的
である。
このような従来技術の改良例として、第3図に示すよう
に、駆動部13によってストロボスコープ2との位置関
係が調整される高精細度テレビカメラ3Aを用いて、そ
のビデオ信号を画像処理部10でA/D変換して複数枚
備えられている画像メモリ11に順次記憶させて、2値
化をはじめとする画像処理を行って、疵の有無やその形
状、大きさなどを自動的に判定する表面疵検査装置が開
発されてきている。
に、駆動部13によってストロボスコープ2との位置関
係が調整される高精細度テレビカメラ3Aを用いて、そ
のビデオ信号を画像処理部10でA/D変換して複数枚
備えられている画像メモリ11に順次記憶させて、2値
化をはじめとする画像処理を行って、疵の有無やその形
状、大きさなどを自動的に判定する表面疵検査装置が開
発されてきている。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、このような自動判定機能を有する表面疵
検査装置においては、表面疵の有無の判定のほかに、例
えばヘゲ疵やスリ疵などの疵の種類および疵の大きさに
ついても判定することが出来ることが望ましく、その自
動判定の結果と実際の目視検査結果とが高い精度で一敗
することが要求されているにもかかわらず、同−ti像
条件で撮像された静止画でなければ、目視検査の結果と
の高い一致率を得ることは困難である。
検査装置においては、表面疵の有無の判定のほかに、例
えばヘゲ疵やスリ疵などの疵の種類および疵の大きさに
ついても判定することが出来ることが望ましく、その自
動判定の結果と実際の目視検査結果とが高い精度で一敗
することが要求されているにもかかわらず、同−ti像
条件で撮像された静止画でなければ、目視検査の結果と
の高い一致率を得ることは困難である。
また、何らかの原因で背景の画像信号レベルが変動する
と、疵の画像信号レベルと背景の画像信号レベルとの比
であるS/N比が変動してしまい、背景の画像信号レベ
ルに疵の画像信号レベルが埋もれてしまうという問題が
あった。
と、疵の画像信号レベルと背景の画像信号レベルとの比
であるS/N比が変動してしまい、背景の画像信号レベ
ルに疵の画像信号レベルが埋もれてしまうという問題が
あった。
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであ
って、被検材の表面状態やその移動速度に応じて、疵の
画像信号レベルと背景の画像信号レベルが高いS/N比
で検出することの可能な表面疵検査装置を提供すること
を目的とする。
って、被検材の表面状態やその移動速度に応じて、疵の
画像信号レベルと背景の画像信号レベルが高いS/N比
で検出することの可能な表面疵検査装置を提供すること
を目的とする。
く課題を解決するための手段〉
本発明は、移動する物体を被検材として撮像して静止画
として入力するとともに、この画像を用いて外観検査を
行う表面疵検査装置において、前記被検材の移動速度を
測定するライン速度測定部と、該被検材の表面反射状態
を測定する照度測定部と、咳被検材の表面を照光する光
源の光量およびJM像部への入光光量を制御して該被検
材の背景画像の信号レベルを最適な表面疵と正常部の信
号比を得るレベルへ制御する制jn部を備えたことを特
徴とする表面疵検査装置である。
として入力するとともに、この画像を用いて外観検査を
行う表面疵検査装置において、前記被検材の移動速度を
測定するライン速度測定部と、該被検材の表面反射状態
を測定する照度測定部と、咳被検材の表面を照光する光
源の光量およびJM像部への入光光量を制御して該被検
材の背景画像の信号レベルを最適な表面疵と正常部の信
号比を得るレベルへ制御する制jn部を備えたことを特
徴とする表面疵検査装置である。
〈作 用〉
本発明者らは、従来の表面疵検査装置のイfする課題を
解決すべく鋭意研究・実験を行った結果、以下のような
知見を(Jた。
解決すべく鋭意研究・実験を行った結果、以下のような
知見を(Jた。
■ 自動判定結果と目視検査結果との一致率が低い原因
について; まず、撮像条件には、照明の光量、光源と撮像カメラの
幾何学的配置、被検材の移動速度とシャック速度などが
挙げられる。前述した二つの従来例においては、光源と
撮像カメラの幾何学的配置や被検材の移動速度とシャッ
タ速度との同期については同一条件に維持されているが
、照明の光量については常に同一の発光強度で照射され
ている。
について; まず、撮像条件には、照明の光量、光源と撮像カメラの
幾何学的配置、被検材の移動速度とシャック速度などが
挙げられる。前述した二つの従来例においては、光源と
撮像カメラの幾何学的配置や被検材の移動速度とシャッ
タ速度との同期については同一条件に維持されているが
、照明の光量については常に同一の発光強度で照射され
ている。
この照明の光量は、同一の疵に対して常に同一な背景光
強度と疵信号強度が得られるように配慮されなければな
らないが、同一の発光強度で照射しても被検材の移動速
度やその表面状態によってその背景光の信号強度が変化
することになる。例えば、被検材の移動速度が速くなれ
ば、撮像面積当たりの照射光量が低下し、その結果背景
光の信号強度が低下する。
強度と疵信号強度が得られるように配慮されなければな
らないが、同一の発光強度で照射しても被検材の移動速
度やその表面状態によってその背景光の信号強度が変化
することになる。例えば、被検材の移動速度が速くなれ
ば、撮像面積当たりの照射光量が低下し、その結果背景
光の信号強度が低下する。
また、被検材表面が粗くなってその反射特性がより強い
拡散反射特性を持つ場合、撮像カメラに入光する背景光
量は低下し、その結果背景光の信号強度は低下する。
拡散反射特性を持つ場合、撮像カメラに入光する背景光
量は低下し、その結果背景光の信号強度は低下する。
このように背景光の信号強度が低下する結果、前述した
従来例では高い目視検査結果との一致率を得ることがで
きないということが分かった。
従来例では高い目視検査結果との一致率を得ることがで
きないということが分かった。
■ S/N比が変動して疵の画像信号レベルが背景の画
像信号レベルに埋もれてしまう原因について; 目視あるいは自動判定処理による疵の抽出では、疵の画
像信号レベルと背景の画像信号レベルとの比すなわらS
/N比は高い値が求められるが、上述した理由に起因し
た背景の画像信号レベルの変動が結局S/N比を変動さ
せるため、例えば背景光が非常に強い場合あるいは全体
の照度が非常に低い場合、背景の画像信号レベルに疵の
画像信号レベルが埋もれてしまうということが分かった
。
像信号レベルに埋もれてしまう原因について; 目視あるいは自動判定処理による疵の抽出では、疵の画
像信号レベルと背景の画像信号レベルとの比すなわらS
/N比は高い値が求められるが、上述した理由に起因し
た背景の画像信号レベルの変動が結局S/N比を変動さ
せるため、例えば背景光が非常に強い場合あるいは全体
の照度が非常に低い場合、背景の画像信号レベルに疵の
画像信号レベルが埋もれてしまうということが分かった
。
すなわち、第4図(a)は、照度が1280 L xと
照明光量が強く、カメラ絞りを中程度に開いた場合の斑
点用の画像信号を示したものであるが、疵信号は飽和状
態となり、同時に背景の信号レベルも高くなって、高い
S/N比を得ることができないことを示している。
照明光量が強く、カメラ絞りを中程度に開いた場合の斑
点用の画像信号を示したものであるが、疵信号は飽和状
態となり、同時に背景の信号レベルも高くなって、高い
S/N比を得ることができないことを示している。
また、第4図(b)は、照度が680 L xと照明光
■か弱く、カメラ絞りを低程度に閉じた場合の例である
が、背景の信号レベルは低くなるが、疵の信号レベルも
非常に弱くなって背景信号に埋もれてしまうことを示し
ている。
■か弱く、カメラ絞りを低程度に閉じた場合の例である
が、背景の信号レベルは低くなるが、疵の信号レベルも
非常に弱くなって背景信号に埋もれてしまうことを示し
ている。
上記のような知見に基づいて、さらに研究・実験を重ね
た結果、照明光量とテレビカメラの大光量の絞り量に最
適な関係があることを見出した。
た結果、照明光量とテレビカメラの大光量の絞り量に最
適な関係があることを見出した。
すなわち、第5図(a)は、照度が1280 L xと
強い場合にカメラ絞りを低程度に閉じて得られた例を示
したものであり、第5図(b)は照度が680 L x
と弱い場合にカメラ絞りを中程度に開いて得られた例を
示したものであって、いずれも最良に近いS/N比が得
られることを示している。
強い場合にカメラ絞りを低程度に閉じて得られた例を示
したものであり、第5図(b)は照度が680 L x
と弱い場合にカメラ絞りを中程度に開いて得られた例を
示したものであって、いずれも最良に近いS/N比が得
られることを示している。
このようにして、本発明によれば、被検材の素地の表面
状態による背景光の画像信号レベルの変動や被検材の移
動速度の変化による照度変動を抑えることができ、疵の
画像信号レベルと背景の画像信号レベルとの高いS/N
比を得ることができるとともに、静止画による疵検査装
置を用いた表面疵検査において、目視検査との高い一致
率を得ることができる。
状態による背景光の画像信号レベルの変動や被検材の移
動速度の変化による照度変動を抑えることができ、疵の
画像信号レベルと背景の画像信号レベルとの高いS/N
比を得ることができるとともに、静止画による疵検査装
置を用いた表面疵検査において、目視検査との高い一致
率を得ることができる。
〈実施例〉
以下に、本発明の実施例について、図面を参照して詳し
く説明する。
く説明する。
第1図は、本発明に係る表面疵検査装置の実施例を模式
的に示す構成図である。なお、図中、従来例と同一のも
のは同一の符号を付している。
的に示す構成図である。なお、図中、従来例と同一のも
のは同一の符号を付している。
図に示すように、本発明の表面疵検査装置は、表面疵検
出部Aと照度測定部Bとから構成される。
出部Aと照度測定部Bとから構成される。
まず、表面疵検査装置において、14は、疵検査制御部
であり、ストロボ光源2を制御するストロボ発光強度制
御部15に発光指令および発光強度信号を出力し、これ
と同期をとって画像処理部10にテレビカメラ3への同
期信号のリセットをかける。
であり、ストロボ光源2を制御するストロボ発光強度制
御部15に発光指令および発光強度信号を出力し、これ
と同期をとって画像処理部10にテレビカメラ3への同
期信号のリセットをかける。
ストロボ発光強度制御部15では、発光強度信号に基づ
いてストロボ2を発光さ・Vる。なお、疵検査制御部1
4には、矢示F方向に移送される被検材1の移動速度信
号が速度計5を介して入力される。
いてストロボ2を発光さ・Vる。なお、疵検査制御部1
4には、矢示F方向に移送される被検材1の移動速度信
号が速度計5を介して入力される。
16は、テレビカメラ3の受光量を調節する絞り制御部
であり、カメラレンズ17の絞り債を調節する。このテ
レビカメラ3からのビデオ信号は画像処理部10におい
てA/D変換されて内部の画像メモリに記憶されるとと
もに、この画像に対して画像処理を施して疵のVT無や
疵の種類、大きさなど疵レベルの判定を行う。そして、
記憶された画像は、モニタ9に出力される。
であり、カメラレンズ17の絞り債を調節する。このテ
レビカメラ3からのビデオ信号は画像処理部10におい
てA/D変換されて内部の画像メモリに記憶されるとと
もに、この画像に対して画像処理を施して疵のVT無や
疵の種類、大きさなど疵レベルの判定を行う。そして、
記憶された画像は、モニタ9に出力される。
つぎに、照度測定部Bにおいて、1日は背景画像信号レ
ベル演算部であり、表面疵検出部Aの上流側に設けられ
たストロボ光源2′とテレビカメラ3′で測定された被
検+4’ 1の背景画像の信号レベルが入力され、ここ
で求められた背景画像信号レベルは疵検査制御部14に
送信される。
ベル演算部であり、表面疵検出部Aの上流側に設けられ
たストロボ光源2′とテレビカメラ3′で測定された被
検+4’ 1の背景画像の信号レベルが入力され、ここ
で求められた背景画像信号レベルは疵検査制御部14に
送信される。
ここで、ストロボ光源2′は、被検材【の表面状態にか
かわらず画像信号が飽和しない照明強度で常に一定の強
度で発光するように構成され、またテレビカメラ3′は
表面疵検出部Aのテレビカメラ3と同一型式のものが用
いられる。なお、これらストロボ光S2′とテレビカメ
ラ3′との位置関係は、表面疵検出部Aのストロボ光源
2とテレビカメラ3との幾何学的配置と同一とされる。
かわらず画像信号が飽和しない照明強度で常に一定の強
度で発光するように構成され、またテレビカメラ3′は
表面疵検出部Aのテレビカメラ3と同一型式のものが用
いられる。なお、これらストロボ光S2′とテレビカメ
ラ3′との位置関係は、表面疵検出部Aのストロボ光源
2とテレビカメラ3との幾何学的配置と同一とされる。
つぎに、本発明装置の動作について説明する。
まず、照度測定部Bにおいて、被検材lの表面にストロ
ボ光源2′を発光させて、テレビカメラ3′で被検材l
を静止画像として撮像する。背景画像信号レベル演算部
’18では、この画像信号の強度から背景画像信号レベ
ルを求め、表面疵検出部への最適なストロボ光源2の発
光強度およびテレビカメラ3の絞り量を求める。
ボ光源2′を発光させて、テレビカメラ3′で被検材l
を静止画像として撮像する。背景画像信号レベル演算部
’18では、この画像信号の強度から背景画像信号レベ
ルを求め、表面疵検出部への最適なストロボ光源2の発
光強度およびテレビカメラ3の絞り量を求める。
この背景画像信号レベルの抽出処理方法は、画像信号レ
ベルのヒストグラムをとり、最大分布をもつ画像信号レ
ベルを背景画像信号レベルとすることにより容易に求め
ることができる。この背景画像信号レベルは、表面疵検
出部Aの疵検査制御1部14に送られ、予め設定された
背景画像信号レベルが得られるように、ストロボ光源2
の発光電圧およびテレビカメラ3の絞りをストロボ発光
強度制御部15.絞り制御部16を介してそれぞれ設定
されて被検材lへの照度が制御される。
ベルのヒストグラムをとり、最大分布をもつ画像信号レ
ベルを背景画像信号レベルとすることにより容易に求め
ることができる。この背景画像信号レベルは、表面疵検
出部Aの疵検査制御1部14に送られ、予め設定された
背景画像信号レベルが得られるように、ストロボ光源2
の発光電圧およびテレビカメラ3の絞りをストロボ発光
強度制御部15.絞り制御部16を介してそれぞれ設定
されて被検材lへの照度が制御される。
ついで、ライン速度の変動に対する制御は、速度計5に
より検出される被検材lの移動速度に対して同様にスト
ロボ光源2の発光電圧およびテレビカメラ3の絞りを設
定して被検材lへの照度を制御する。被検材lの移動速
度と被検材1の単位面積当たりの照度はほぼ比例関係に
あり、この移動速度を測定することにより、最適な光景
を容易に制御することが可能である。
より検出される被検材lの移動速度に対して同様にスト
ロボ光源2の発光電圧およびテレビカメラ3の絞りを設
定して被検材lへの照度を制御する。被検材lの移動速
度と被検材1の単位面積当たりの照度はほぼ比例関係に
あり、この移動速度を測定することにより、最適な光景
を容易に制御することが可能である。
上記した二つの制御信号によって、ストロボ光源2の発
光電圧およびテレビカメラ3の絞り星は制御され、予め
設定された最適なS/N比を得る背景画像信号レベルを
常に維持することができる。
光電圧およびテレビカメラ3の絞り星は制御され、予め
設定された最適なS/N比を得る背景画像信号レベルを
常に維持することができる。
なお、本発明による表面疵検査装置において、表面疵検
出部Aの前段において背景画像信号レベルを測定する照
度測定部Bは、次のような手段によることも可能である
。
出部Aの前段において背景画像信号レベルを測定する照
度測定部Bは、次のような手段によることも可能である
。
すなわち、例えば被検材1の表面状態の変化が非常に小
さい鉄鋼材料のコイルでは、背景画像信号レベルはほと
んど変化せず一定である場合には、被検材lのコイル先
端において表面疵検出部Aのテレビカメラ3で撮像する
ようにすれば、照度測定部Bの背景画像信号レベルの撮
像用のテレビカメラ3′の機能をテレビカメラ3で兼ね
ることができる。
さい鉄鋼材料のコイルでは、背景画像信号レベルはほと
んど変化せず一定である場合には、被検材lのコイル先
端において表面疵検出部Aのテレビカメラ3で撮像する
ようにすれば、照度測定部Bの背景画像信号レベルの撮
像用のテレビカメラ3′の機能をテレビカメラ3で兼ね
ることができる。
また、被検材lが例えば冷延鋼板の場合は、オンライン
でその表面粗度を測定するために粗度測定装置が用いら
れるのが一般的であるから、この粗度測定装置によって
測定される表面粗度信号を背景画像信号レベルの代わり
に用いるようにすれば、III記した実施例における照
度測定部Bの機能を兼ねさせることが可能である。その
理由は、通常鋼板表面の光反射の拡散度は表面の粗度に
よって決まり、一方、表面疵検出部へのテレビカメラ3
の受光する鋼板表面からの反射光層は、鋼板表面の光反
射の拡散度を決める表面の粗度に依存することを利用し
得ることによる。
でその表面粗度を測定するために粗度測定装置が用いら
れるのが一般的であるから、この粗度測定装置によって
測定される表面粗度信号を背景画像信号レベルの代わり
に用いるようにすれば、III記した実施例における照
度測定部Bの機能を兼ねさせることが可能である。その
理由は、通常鋼板表面の光反射の拡散度は表面の粗度に
よって決まり、一方、表面疵検出部へのテレビカメラ3
の受光する鋼板表面からの反射光層は、鋼板表面の光反
射の拡散度を決める表面の粗度に依存することを利用し
得ることによる。
さらに、被検材1が例えば鏡面的反射特性をもつステン
レス鋼板では、オンラインで鋼板表面の光沢度を測定す
る光沢度測定装置が用いられるのが一般的であるから、
この光沢度測定装置によって測定される光沢度信号を背
景画像信号レベルの代わりに用いるようにすれば、前記
実施例における照度測定部Bの機能を兼ねさせることが
可能である。これは、ステンレス鋼板のような表面が鏡
面的反射特性をもつ被検材では、背景画像信号レベルは
光沢度と強い相関を有するからである。
レス鋼板では、オンラインで鋼板表面の光沢度を測定す
る光沢度測定装置が用いられるのが一般的であるから、
この光沢度測定装置によって測定される光沢度信号を背
景画像信号レベルの代わりに用いるようにすれば、前記
実施例における照度測定部Bの機能を兼ねさせることが
可能である。これは、ステンレス鋼板のような表面が鏡
面的反射特性をもつ被検材では、背景画像信号レベルは
光沢度と強い相関を有するからである。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明によれば、連続して走行す
る鋼板などの被検材の静止画を利用した表面疵検査装置
において、被検材の移動速度や表面状態のちがいによる
背景画像信号レベルを常に最適な状態に保つことができ
るから、画像モニタ上での目視検査や画像データ処理に
よる自Lp)S検査のいずれにおいても、検査員による
目視検査との一致率を高くすることが可能となり、製品
の品質管理への貢献度は大なるものがある。
る鋼板などの被検材の静止画を利用した表面疵検査装置
において、被検材の移動速度や表面状態のちがいによる
背景画像信号レベルを常に最適な状態に保つことができ
るから、画像モニタ上での目視検査や画像データ処理に
よる自Lp)S検査のいずれにおいても、検査員による
目視検査との一致率を高くすることが可能となり、製品
の品質管理への貢献度は大なるものがある。
第1図は、本発明に係る表面疵検査装置の実施例を模式
的に示す構成図、第2図は、表面疵検査装置の従来例を
模式的に示す構成図、第3図は、他の従来例を模式的に
示す構成図、第4図、第5図は、斑点底の画像信号を示
す特性図である。 l・・・被検材CI板)。 2.2′・・・ストロボスコープ 3.3′・・・テレビカメラ。 5・・・速度計、 7・・・信号処理回路。 9・・・モニタ、10・・・画像処理部。 11・・・画像メモリ、14・・・疵検査制御部。 15・・・ストロボ発光強度制御部。 16・・・絞り制御部、17・・・カメラレンズ。 !8・・・背景画像信号レベル演算部。 A・・・表面疵検出部、 B・・・照度測定部。
的に示す構成図、第2図は、表面疵検査装置の従来例を
模式的に示す構成図、第3図は、他の従来例を模式的に
示す構成図、第4図、第5図は、斑点底の画像信号を示
す特性図である。 l・・・被検材CI板)。 2.2′・・・ストロボスコープ 3.3′・・・テレビカメラ。 5・・・速度計、 7・・・信号処理回路。 9・・・モニタ、10・・・画像処理部。 11・・・画像メモリ、14・・・疵検査制御部。 15・・・ストロボ発光強度制御部。 16・・・絞り制御部、17・・・カメラレンズ。 !8・・・背景画像信号レベル演算部。 A・・・表面疵検出部、 B・・・照度測定部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、移動する物体を被検材として撮像して静止画として
入力するとともに、この画像を用いて外観検査を行う表
面疵検査装置において、前記被検材の移動速度を測定す
るライン速度測定部と、該被検材の表面反射状態を測定
する照度測定部と、該被検材の表面を照光する光源の光
量および撮像部への入光光量を制御して該被検材の背景
画像の信号レベルを最適な表面疵と正常部の信号比を得
るレベルへ制御する制御部を備えたことを特徴とする表
面疵検査装置。 2、前記照度測定部は被検材を撮像するテレビカメラで
あることを特徴とする請求項1記載の表面疵検査装置。 3、前記照度測定部に被検材の粗度を測定する粗度測定
装置を用いるようにしたことを特徴とする請求項1記載
の表面疵検査装置。 4、前記照度測定部に被検材の光沢度を測定する光沢度
測定装置を用いるようにしたことを特徴とする請求項1
記載の表面疵検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14831489A JPH0313853A (ja) | 1989-06-13 | 1989-06-13 | 表面疵検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14831489A JPH0313853A (ja) | 1989-06-13 | 1989-06-13 | 表面疵検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0313853A true JPH0313853A (ja) | 1991-01-22 |
Family
ID=15450021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14831489A Pending JPH0313853A (ja) | 1989-06-13 | 1989-06-13 | 表面疵検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0313853A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04259851A (ja) * | 1991-02-06 | 1992-09-16 | Valmet Paper Mach Inc | 材料ウェブの光電的識別方法と装置 |
JPH05149729A (ja) * | 1991-11-29 | 1993-06-15 | Mitsubishi Motors Corp | 照明装置 |
JPH06511427A (ja) * | 1992-07-20 | 1994-12-22 | バイオエンジニアリング・アクチエンゲゼルシヤフト | よろめき運動体の駆動装置 |
KR100905112B1 (ko) * | 2002-11-04 | 2009-06-30 | 주식회사 포스코 | 온라인 형상검사를 위한 스트립 제어장치 |
KR100905635B1 (ko) * | 2002-11-14 | 2009-06-30 | 주식회사 포스코 | 강판 속도에 연동하는 스트로보스코프 제어장치 |
US7785716B2 (en) | 2003-07-18 | 2010-08-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Insert-molded article, insert mold and insert molding method |
RU2469350C2 (ru) * | 2010-12-27 | 2012-12-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Волгоградский государственный университет" | Устройство радиолокационного контроля |
JP2014032109A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Taihei Mach Works Ltd | 木材の欠点検出装置及び検出方法 |
-
1989
- 1989-06-13 JP JP14831489A patent/JPH0313853A/ja active Pending
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---|---|---|---|---|
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