JP6888808B2 - 樹脂層付き脆性材料基板の分断方法並びに分断装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 93
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 73
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims description 69
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims description 69
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 27
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims description 47
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 2
- 238000013467 fragmentation Methods 0.000 claims 1
- 238000006062 fragmentation reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 101150081985 scrib gene Proteins 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
- B23K26/402—Removing material taking account of the properties of the material involved involving non-metallic material, e.g. isolators
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- H—ELECTRICITY
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Description
本発明の分断方法において、前記収差レーザビームの最も集束する最集束部を前記脆性材料基板の厚みの中間位置に合わせてスキャンすることが好ましい。
ここで、収差レーザビームの最集束部は、収差レーザビームの照射方向に沿って、ビームプロファイル(強度分布)を測定したときに、ビームプロファイルのピークパワーが最も高くなる位置(収差レーザビームの照射方向に沿った位置)を意味する。
さらに、本発明において、前記収差レーザビームの光源が波長0.7〜2.5μm(例えば、Nd:YAGレーザの基本波)の近赤外レーザであり、かつ、パルス幅が100ピコ秒以下のレーザビームのバーストを用いるようにするのがよい。
図1は本発明に係るスクライブ装置(分断装置)Aを示す図である。
スクライブ装置Aには、左右の支柱1、1にX方向に沿ったガイド2を備えた水平なビーム(横梁)3が設けられている。このビーム3のガイド2には、収差レーザビーム発光部材4を備えたスクライブヘッド5と、分断用レーザビーム発光部材6を備えたスクライブヘッド7とがモータM1によりX方向に移動できるように取り付けられている。加工対象基板Wを載置して吸着保持するテーブル8は、縦軸を支点とする回動機構9を介して台盤10上に保持されており、台盤10は、モータM2によって駆動するスクリューネジ11によってY方向(図1における前後方向)に移動できるように形成されている。なお、本実施例では、収差レーザビーム発光部材4と分断用レーザビーム発光部材6とは個別のスクライブヘッド5、7に振り分けて取り付けられているが、共通のスクライブヘッドに取り付けるようにしてもよい。
なお、光源4aには波長0.7〜2.5μmの近赤外レーザを使用することができ、本実施例では波長1.064μmの近赤外線レーザを用いた。
また、パルスレーザビームのバースト列を出射させる光変調器4bについては、例えば特表2012−515450号公報に開示されており、ここでは公知の光変調器を利用してパルスレーザビームのバースト列を出射するものとし、詳細については説明を省略する。
なお、基板Wを受けるテーブル8には、収差レーザビームL2を照射したときに、基板Wを透過したレーザビームを下方に逃がすことができるように空間8aを設けておくのが好ましい。
レーザ出力 : 10.6W
繰り返し周波数 : 32.5kHz
パルス幅 : 10ピコ秒
パルス間隔(レーザパルスの基板上での照射スポットの照射間隔): 4μm
バースト : 2パルス
パルスエネルギー : 163μJ/1バースト
走査速度 : 130mm/s
なお、加工深さや加工状態は、上記したレーザ出力、繰り返し周波数、パルス幅、バースト数やパルス間隔、収差等の調整により容易にコントロールすることができる。
図7はブレイクバーを用いたブレイク手段を示すものであって、図7(a)に示すように、ステージ12上にゴム等からなる弾性シート13を敷設し、この弾性シート13上に改質層Kが加工された樹脂層付き脆性材料基板Wを、樹脂層W2側が上になるようにして載置する。そして図7(b)に示すように、上方からブレイクバー14を改質層Kに向かって押し付けることにより、脆性材料基板W1を撓ませて改質層Kから基板Wを分断することができる。
F 高エネルギー分布領域
K 改質層
L1 レーザビーム
L2 収差レーザビーム
L3 分断用レーザビーム(CO2レーザビーム)
V 分断溝
W 樹脂層付き脆性材料基板
W1 脆性材料基板
W2 樹脂層
2 ガイド
4 収差レーザビーム発光部材
4a 光源
4b 光変調器
4c 収差生成レンズ
5 スクライブヘッド
6 分断用レーザビーム発光部材
7 スクライブヘッド
8 テーブル
14 ブレイクバー
Claims (6)
- 脆性材料基板の片側の一面に樹脂層を積層させた樹脂層付き脆性材料基板の分断方法であって、
パルスレーザビームのバーストを含むレーザビームを平凸レンズの平面側から入射させて凸面側から収差レーザビームを生成させ、
前記収差レーザビームの最集束部を前記樹脂層付き脆性材料基板の母体となる脆性材料基板の表面から分断予定ラインに沿ってスキャンして、前記脆性材料基板に貫通する穴を形成することなく強度が低下した改質層を形成すると同時に前記樹脂層に分断溝を形成し、
次いで、前記改質層に沿ってブレイク手段を介して前記樹脂層付き脆性材料基板を前記分断予定ラインに沿って分断するものであり、
前記ブレイク手段が、分断用レーザビームを照射することにより分断するようにしたもの、又はブレイクバーを押し付けることにより分断するようにしたものであることを特徴とする樹脂層付き脆性材料基板の分断方法。 - 前記分断用レーザビームが、CO2レーザビームである請求項1に記載の樹脂層付き脆性材料基板の分断方法。
- 前記平凸レンズの平面側に回折光学素子(DOE)を配置する請求項1または2に記載の樹脂層付き脆性材料基板の分断方法。
- 脆性材料基板の片側の一面に樹脂層を積層させた樹脂層付き脆性材料基板の分断装置であって、
前記樹脂層付き脆性材料基板を載置するテーブルと、
光源から出射されたパルスレーザビームのバーストを含んだレーザビームを平凸レンズの平面側から入射させて凸面側から収差レーザビームを生成させる収差レーザビーム発光部材と、
前記収差レーザビーム発光部材を前記樹脂層付き脆性材料基板の分断予定ラインに沿って相対的に移動させて母体となる脆性材料基板に貫通する穴を形成することなく強度が低下した改質層を加工すると同時に樹脂層に分断溝を加工する移動機構と、
前記改質層に沿って前記樹脂層付き脆性材料基板を分断するブレイク手段とからなり、
前記ブレイク手段が、分断用レーザビームを照射することにより分断するようにしたもの、又はブレイクバーを押し付けることにより分断するようにしたものである樹脂層付き脆性材料基板の分断装置。 - 前記平凸レンズの平面側に回折光学素子(DOE)を配置する請求項4に記載の樹脂層付き脆性材料基板の分断装置。
- 前記テーブルには、収差レーザビームを照射したときに、前記基板を透過したレーザビームを下方に逃がすことができる空間が設けられている請求項4または5に記載の樹脂層付き脆性材料基板の分断装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017068794A JP6888808B2 (ja) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 樹脂層付き脆性材料基板の分断方法並びに分断装置 |
KR1020180012336A KR20180111496A (ko) | 2017-03-30 | 2018-01-31 | 수지층 부착 취성 재료 기판의 분단 방법 및 분단 장치 |
CN201810210842.8A CN108705208A (zh) | 2017-03-30 | 2018-03-14 | 带树脂层的脆性材料基板的切割方法及切割装置 |
TW107108804A TW201902607A (zh) | 2017-03-30 | 2018-03-15 | 附樹脂層之脆性材料基板之分斷方法及分斷裝置 |
JP2021081335A JP2021114633A (ja) | 2017-03-30 | 2021-05-13 | 脆性材料基板の分断方法並びに分断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017068794A JP6888808B2 (ja) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 樹脂層付き脆性材料基板の分断方法並びに分断装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021081335A Division JP2021114633A (ja) | 2017-03-30 | 2021-05-13 | 脆性材料基板の分断方法並びに分断装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018170474A JP2018170474A (ja) | 2018-11-01 |
JP6888808B2 true JP6888808B2 (ja) | 2021-06-16 |
Family
ID=63865228
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017068794A Active JP6888808B2 (ja) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 樹脂層付き脆性材料基板の分断方法並びに分断装置 |
JP2021081335A Pending JP2021114633A (ja) | 2017-03-30 | 2021-05-13 | 脆性材料基板の分断方法並びに分断装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021081335A Pending JP2021114633A (ja) | 2017-03-30 | 2021-05-13 | 脆性材料基板の分断方法並びに分断装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP6888808B2 (ja) |
KR (1) | KR20180111496A (ja) |
CN (1) | CN108705208A (ja) |
TW (1) | TW201902607A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7326053B2 (ja) * | 2019-07-11 | 2023-08-15 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
WO2021009960A1 (ja) * | 2019-07-16 | 2021-01-21 | 日東電工株式会社 | 複合材の分断方法 |
CN114096488A (zh) * | 2019-07-16 | 2022-02-25 | 日东电工株式会社 | 复合材料的分断方法 |
CN111007686A (zh) * | 2019-11-14 | 2020-04-14 | Tcl华星光电技术有限公司 | 阵列基板、显示面板及制备方法 |
WO2023176068A1 (ja) * | 2022-03-16 | 2023-09-21 | ナルックス株式会社 | マイクロレンズ及びマイクロレンズアレイの製造方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63188487A (ja) * | 1987-01-29 | 1988-08-04 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工ヘツド |
JP2002110588A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-12 | Nec Kansai Ltd | チップ製造装置 |
JP5232375B2 (ja) * | 2006-10-13 | 2013-07-10 | アイシン精機株式会社 | 半導体発光素子の分離方法 |
JP2009166169A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | カッター装置 |
KR101165977B1 (ko) * | 2008-04-15 | 2012-07-18 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 취성 재료 기판의 가공 방법 |
JP2010201479A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | レーザ光加工装置及びレーザ光加工方法 |
JP5170195B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2013-03-27 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 樹脂付き脆性材料基板の分割方法 |
US9446566B2 (en) * | 2011-05-13 | 2016-09-20 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Laminate, method for cutting laminate, method for processing laminate, and device and method for cutting brittle plate-like object |
JP5633849B2 (ja) * | 2011-08-02 | 2014-12-03 | 住友電工ハードメタル株式会社 | レーザ用光学部品 |
JP2013136077A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 分断装置 |
WO2014030521A1 (ja) * | 2012-08-21 | 2014-02-27 | 旭硝子株式会社 | 複合シートの切断方法、ガラスシートの切断方法、複合シートの切断片 |
US11053156B2 (en) * | 2013-11-19 | 2021-07-06 | Rofin-Sinar Technologies Llc | Method of closed form release for brittle materials using burst ultrafast laser pulses |
US10144088B2 (en) * | 2013-12-03 | 2018-12-04 | Rofin-Sinar Technologies Llc | Method and apparatus for laser processing of silicon by filamentation of burst ultrafast laser pulses |
US20150166393A1 (en) * | 2013-12-17 | 2015-06-18 | Corning Incorporated | Laser cutting of ion-exchangeable glass substrates |
JP6428112B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2018-11-28 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | パターニング基板のブレイク装置 |
JP6734202B2 (ja) * | 2015-01-13 | 2020-08-05 | ロフィン−シナール テクノロジーズ エルエルシー | 脆性材料をスクライブして化学エッチングする方法およびシステム |
EP3848334A1 (en) * | 2015-03-24 | 2021-07-14 | Corning Incorporated | Alkaline earth boro-aluminosilicate glass article with laser cut edge |
JP6548944B2 (ja) * | 2015-04-09 | 2019-07-24 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
JP6549014B2 (ja) * | 2015-10-13 | 2019-07-24 | 株式会社ディスコ | 光デバイスウエーハの加工方法 |
-
2017
- 2017-03-30 JP JP2017068794A patent/JP6888808B2/ja active Active
-
2018
- 2018-01-31 KR KR1020180012336A patent/KR20180111496A/ko active Search and Examination
- 2018-03-14 CN CN201810210842.8A patent/CN108705208A/zh not_active Withdrawn
- 2018-03-15 TW TW107108804A patent/TW201902607A/zh unknown
-
2021
- 2021-05-13 JP JP2021081335A patent/JP2021114633A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018170474A (ja) | 2018-11-01 |
KR20180111496A (ko) | 2018-10-11 |
JP2021114633A (ja) | 2021-08-05 |
CN108705208A (zh) | 2018-10-26 |
TW201902607A (zh) | 2019-01-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210413 |
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