JP6834358B2 - ガスセンサ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態によるガスセンサ10Aの構成を説明するための断面図である。尚、図面は模式的なものであり、説明の便宜上、厚みと平面寸法との関係、デバイス相互間の厚みの比率などは、本実施形態の効果が得られる範囲内で現実の構造とは異なっていても構わない。
図3は、本発明の第2の実施形態によるガスセンサ10Bの構成を説明するための断面図である。
20 基板
21 キャビティ
31 第1の絶縁膜
32 第2の絶縁膜
33 第3の絶縁膜
40 サーミスタ膜
40a 主領域
40b,40c 拡大領域
41,42 検知電極
49 密着層
50 ヒータ
51,52 密着層
61,62 電極パターン
70 触媒層
Claims (3)
- 基板と、
前記基板上に形成された第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上に形成されたサーミスタ膜と、
前記サーミスタ膜上に形成された第1及び第2の検知電極と、
前記サーミスタ膜および前記第1及び第2の検知電極を覆う第2の絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜上に形成されたヒータと、
第1及び第2の電極パターンと、を備え、
前記第1及び第2の検知電極は、ライン状の部分と、前記ライン状の部分よりも幅が拡大されたパッド形状を有する部分を含み、
前記第1及び第2の検知電極の前記ライン状の部分は、所定の間隔をもって対向しており、
前記第1及び第2の検知電極は、前記パッド形状を有する部分においてそれぞれ前記第1及び第2の電極パターンに接続され、
前記第1及び第2の検知電極の前記ライン状の部分及び前記パッド形状を有する部分はいずれも前記サーミスタ膜上に形成されており、これにより、前記検知電極と前記第1の絶縁膜は、前記サーミスタ膜によって隔離されていることを特徴とするガスセンサ。 - 前記ヒータで前記サーミスタ膜を加熱し、雰囲気ガスの熱伝導率の変化を検知することで測定対象ガスの濃度を検出することを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。
- 触媒層をさらに備え、前記ヒータで加熱された前記触媒層上で測定対象ガスが接触燃焼することにより生じる熱を前記サーミスタ膜で検知することで前記測定対象ガスの濃度を検出することを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016214353A JP6834358B2 (ja) | 2016-11-01 | 2016-11-01 | ガスセンサ |
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JP (1) | JP6834358B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3501746B2 (ja) * | 1992-10-27 | 2004-03-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 流体の計測方法 |
JP5447159B2 (ja) * | 2010-04-30 | 2014-03-19 | Tdk株式会社 | ガスセンサ |
JP2012013603A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Yokogawa Electric Corp | 接触燃焼式ガスセンサ |
JP6094422B2 (ja) * | 2013-08-09 | 2017-03-15 | 三菱マテリアル株式会社 | 温度センサ |
JP6451395B2 (ja) * | 2015-02-23 | 2019-01-16 | Tdk株式会社 | センサ素子 |
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2016
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Publication number | Publication date |
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JP2018072239A (ja) | 2018-05-10 |
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