JP6832928B2 - フェライトシートの製造方法およびこれを利用したフェライトシート - Google Patents
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Description
本発明はフェライトシートの製造方法およびこれを利用したフェライトシートに関するものであって、より詳細には表面に凹凸を一方向に繰り返し具備することによって、ガスの移動通路を提供できるフェライトシートの製造方法およびこれを利用したフェライトシートに関するものである。
最近、電子製品は携帯性、便宜性などを向上させるために、多機能化、小型化、高速化されている。このような傾向は電子回路をさらに複雑に構成されるようにしており、多量のデータ処理のために信号がさらに高周波化されている。電子製品の複雑化と高周波数化は電磁波の発生の原因となり、発生した電磁波は周辺の電子部品の誤作動および破損を招く。また、電磁波は人体にも悪い影響を与えて国際的にその発生量を制限している。
したがって、電子製品から発生する電磁波および外部の電磁波に対する電子製品の誤作動を防止するために電磁波遮蔽材が使われている。前記電磁波遮蔽材としてはフェライトシートが主に使用され、フェライトシートはフェライト粉末を結合剤などと混合してフェライトシート成形体を成形した後、前記フェライトシート成形体を焼結させて製造される。これと関連した先行技術としては、下記の先行文献１の電磁波吸収材とそれの製造方法およびそれを使用した応用がある。
前記フェライトシートは両面にそれぞれ保護フィルム（Ｐｒｏｔｅｃｔ ｆｉｌｍ）と、接着テープ（Ａｄｈｅｓｉｖｅ Ｔａｐｅ）が接着されて電磁波遮蔽材として使われている。従来はフェライトシートの焼結時の生産性を確保するために、フェライトシート成形体を積層および焼結させてフェライトシートを製造している。前記積層および焼結させて製造されたフェライトシートは手作業で分離され、この時、焼結されたフェライトシートの破損が頻繁に発生する問題点があった。また、前記のフェライトシートの製造方法で製造されたフェライトシートは、全面に熱が均一に伝達されないため品質が低くなる恐れがあった。
特に、フェライトシート成形体の積層後、焼結工程時に発生するバインダーの燃焼ガスを容易に排出できないことによるフェライトシートのシワやしわくちゃ現象が発生し、フェライトシートの品質に差が発生する可能性があり、これを克服するための技術の開発が急を要しているのが実情である。
本発明は前記のような問題点を勘案して案出したものであって、バインダーの燃焼時に発生するガスによるフェライトシートにシワまたはしわくちゃ現象が発生することを防止すると共にフェライトシートの分離過程での破損を最小化できるフェライトシートの製造方法およびフェライトシートの製造用転写基材を提供することに発明の目的がある。
また、本発明は前記方法で製造されるフェライトシートを使って製造される電磁波遮蔽材の製品耐久性および信頼度を向上させ得るフェライトシートを提供することに他の目的がある。
前述した課題を解決するために本発明は、（１）多数個のフェライトシート成形体が積層され、隣接したフェライトシート成形体間にガスの排出通路を具備したフェライト積層体を準備する段階および（２）前記積層されたフェライトシート成形体を焼結する段階を含むフェライトシートの製造方法を提供する。
また、本発明の一実施例によると前記（１）段階は、（１−１）フェライトシート成形体を準備する段階、（１−２）前記フェライトシート成形体を、表面に一方向に繰り返される凹凸が備えられた転写基材と接触させた後、加圧してフェライトシート成形体の表面に前記凹凸の逆像を転写させてガスの排出通路を形成させる段階および（１−３）前記多数個のフェライトシート成形体を積層してフェライト積層体を準備する段階を含むことができる。
また、前記凹凸の逆像は、フェライトシート成形体の一つの角から前記一つの角と向かい合う角方向に山部と谷部が交互に形成され、前記山部と谷部は残りの二つの角が向かい合う方向に連続され得る。
また、前記フェライトシート成形体は、加圧される一面の反対面に移送材（ｃａｒｒｉｅｒ ｍａｔｅｒｉａｌ）をさらに具備することができる。
また、前記移送材は、紙物またはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）およびポリカーボネート（ＰＣ）からなる群から選択される１種以上の高分子でコーティングされたフィルムをロール状に製造したものであり得る。
また、前記転写基材は、一面に凹凸が備えられる平板または外部面に凹凸が備えられるローラーであり得る。
また、前記凹凸は、フェライトシートに転写される前記凹凸の逆像に対する垂直断面の形状が多角形または弧形となるように備えられ得る。
また、前記転写基材が一面に凹凸が備えられる平板である場合、フェライトシートの上部の一面に前記転写基材を接触させた後、前記フェライトシートおよび前記転写基材に垂直な方向に加圧してフェライトシートの表面に凹凸の逆像を転写させることができる。
また、前記転写基材が外部面に凹凸が備えられるローラーである場合、フェライトシートの上部の一面に前記転写基材を接触させた後、これをローリングさせてフェライトシートの表面に凹凸の逆像を形成させることができる。
また、前記凹凸は、断面の幅：高さの長さ比が１：０．２〜１であり得る。
また、前記凹凸は、平均幅が０．５〜５００μｍであり、平均高さが０．５〜１００μｍであり得る。
また、前記加圧は１０〜１００Ｍｐａで遂行され得る。
また、本発明の他の態様は、ガスの移動通路を提供するために、少なくとも一面に垂直断面が多角形または弧状を有する凹凸を具備し、前記凹凸の垂直断面の幅：高さの長さ比が１：０．２〜１であり、平均幅が０．５〜５００μｍであり、平均高さが０．５〜１００μｍであるフェライトシートを提供する。
また、前記フェライトシートは、平均粗さが０．８μｍ〜２０μｍであり得る。
また、本発明は一つの角から前記一つの角と向かい合う角方向に山部と谷部を有するように交互に形成される凹凸を含み、前記山部と谷部は残りの二つの角が向かい合う方向に連続したフェライトシート製造用転写基材を提供する。
また、前記凹凸の断面の幅および高さの比率は１：０．２〜１であり得る。
また、前記凹凸の平均幅は０．５〜５００μｍであり、平均高さは０．５〜１００μｍであり得る。
本発明はフェライトシートの製造方法を単純化することによって、生産性を増大させ、製造費用を節減することはもちろん一方向に繰り返される凹凸間のガスの排出通路を利用してバインダーの燃焼時に発生するガスを排出させることができるため、フェライトシートの周辺部にシワまたはしわくちゃ現象が発生することを防止することができる。また、前記フェライトシートが適用された電磁波遮蔽材の製品の耐久性および信頼度を向上させることができるため多様な電子製品への応用が可能である。
以下、添付した図面を参照して本発明の実施例について、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。本発明は、様々な異なる形態で具現され得、ここで説明する実施例に限定されない。図面で本発明を明確に説明するために、説明と関係のない部分は省略したのであり、明細書全体を通じて同一または類似する構成要素については同じ参照符号を付加する。
本発明に係るフェライトシートの製造方法は、（１）多数個のフェライトシート成形体が積層され、隣接したフェライトシート成形体間にガスの排出通路を具備したフェライト積層体を準備する段階および（２）前記積層されたフェライトシート成形体を焼結する段階を含んで遂行される。
一方、フェライトシートの製造収率および生産性を増大させるために、フェライトシート成形体を個別的に焼結せず、積層させた後に焼結する工程を進行し、前記焼結工程ではバインダーが燃焼してバインダーの燃焼ガスが必須的に発生する。この時、前記バインダーの燃焼ガスはぎっしりと積層されたフェライト成形体から排出が容易でないため、積層されたフェライト成形体内部の間の空間にガスの形態で残るようになり、焼結工程後のフェライトシートのシワやしわくちゃ現象発生の原因となる恐れがある。
すなわち、フェライトシートの製造収率および生産性を増大させるために積層焼結工程を遂行する本来の趣旨とは異なり、積層焼結工程で発生するバインダーの燃焼ガスの排出不良問題によって目的とするだけの収率を期待し難く、かえって生産性を低下させる工程上のイシューが発生する可能性がある。
そこで、本発明はフェライトシート成形体を、表面に一方向に繰り返される凹凸が備えられた転写基材と接触させた後、加圧してフェライトシート成形体の表面に前記凹凸の逆像を転写させてガスの排出通路を形成させた後、前記ガスの排出通路が形成されたフェライトシート成形体を積層させることによって、その後の焼結工程におけるバインダーの燃焼ガスの排出不良を解決できるフェライトシートの製造方法を遂行する。
前記（１）段階は、（１−１）フェライトシート成形体を準備する段階、（１−２）前記フェライトシート成形体を、表面に一方向に繰り返される凹凸が備えられた転写基材と接触させた後、加圧してフェライトシート成形体の表面に前記凹凸の逆像を転写させてガスの排出通路を形成させる段階および（１−３）前記多数個のフェライトシート成形体を積層してフェライト積層体を準備する段階を含むことができる
前記（１−１）段階の積層されたフェライトシート成形体は、フェライトシート成形体が積層および焼結される前の状態であり、フェライトシート成形体の表面に凹凸を容易に形成するために、前記フェライトの磁性特性に影響を及ぼさない範囲で公知された前処理工程を制限なく遂行できる。
次に、（１−２）段階は、前記フェライトシート成形体に凹凸を形成させてガスの排出通路を具備させる段階である。前記フェライトシート成形体に凹凸を形成させる転写基材は、一面に凹凸が備えられる平板または外部面に凹凸が備えられるローラーの形態であり得、前記凹凸はフェライトシート成形体の一つの角から前記一つの角と向かい合う角方向に山部と谷部が交互に形成され、前記山部と谷部は残りの二つの角が向かい合う方向に連続され得る。このように形成された凹凸を含むフェライト積層体は、図９に図示されたように、一つのフェライトシート成形体に備えられた凹凸と上部に備えられたフェライトシート成形体との間に形成された隙間（Ａ領域）を通じて、焼結工程時に発生するバインダーの燃焼ガスを容易に排出することができるため、前述したシワやしわくちゃ現象のような工程上のイシューを予防することができる。
この時、前記凹凸は、フェライトシート成形体に転写される前記凹凸の逆像に対する垂直断面の形状が多角形または弧形となるように備えられ得る。前記多角形は、三角形、台形、四角形を含むことができ、前記弧形は半円形を含むことができる（下記の図４参照）。
図１を参照すると、前記転写基材が一面に凹凸が備えられる平板である場合、フェライトシート成形体の上部の一面に前記転写基材を接触させた後、前記フェライトシート成形体および前記転写基材に垂直な方向に加圧してフェライトシート成形体の表面に一方向に繰り返される凹凸を形成することができる。この時、前記凹凸が備えられる平板は２０回以上再使用が可能であり、多数回繰り返し使用される場合にも同じ効果を達成することができるため、工程の迅速性および経済性を向上させることができる。また、同一形態の凹凸を繰り返し具備してこれを転写する場合、繰り返されるパターンの凹凸がフェライトシート成形体の表面に形成され得る。
また、図２を参照すると、万一、前記転写基材が外部面に凹凸が備えられるローラーである場合、フェライトシートの上部の一面に前記転写基材を接触させた後、これをローリングしてフェライトシート成形体の表面に凹凸を形成することができる。この時、前記ローラーは、外部面に熱硬化性樹脂素材からなる光学フィルムで製造される凹凸を含むことができる。
この時、前記図１および図２を通じて形成された凹凸は、断面の幅：高さの長さ比が１：０．２〜１であり得、好ましくは１：０．４〜１であり得る。万一、前記凹凸の幅および高さの長さ比が１：０．２未満の場合、前記凹凸によって形成される空間が狭いためガスの移動通路としての役割を十分に遂行することが難しく、バインダーの燃焼時に発生するガスが排出されないことによって、フェライトシートのシワやしわくちゃ現象が発生してシートの形成性および製品収率が低下され得る。また、万一、前記凹凸の幅および高さの長さ比が１：１を超過する場合、工程上凹凸を形成し難い問題点があり、凹凸が形成されるとしてもフェライトの積層焼結後の分離過程で凹凸が簡単に破損する恐れがあり、破損した異物による工程信頼性の低下が発生する可能性がある。
また、前記凹凸は平均幅が０．５〜５００μｍであり、平均高さが０．５〜１００μｍであり得、好ましくは平均幅が０．５〜３０μｍであり得、平均高さが０．５〜１５μｍであり得る。さらに好ましくは、平均幅が２〜２０μｍであり得、平均高さが０．５〜１０μｍであり得る。前記凹凸の平均幅が０．５μｍ未満である場合、フェライトシートの製造工程上、収率が顕著に低下され得る問題点があり、５００μｍを超過する場合、凹凸の形成効果が殆どないため、多量積載して焼成を進行する時にフェライトシート同士が付着して分離し難い問題点がある。また、平均高さが０．５μｍ未満である場合、フェライトシートの製造工程上、収率が顕著に低下され得る問題点があり、１００μｍを超過する場合、フェライトシートの厚さよりも高さが高くなってフェライトシートに損傷を与え得る問題点がある。
本発明の一実施例に係るフェライトシートの製造方法において、前記加圧は１０〜１００Ｍｐａで遂行され得、好ましくは３０〜８０Ｍｐａで遂行され得る。前記加圧を１０Ｍｐａ未満で遂行する場合、表面の凹凸部分がフェライトシート成形体に転写されないか、転写されるとしてもわずかにしか転写されないため凹凸形成の効果が低下する問題点があり、１００Ｍｐａを超過する場合、過度に強い圧力によりフェライトシート成形体に表面の凹凸が過度に転写されてフェライトシート成形体に損傷を与え得る問題点がある。
この時、一例として。前記（１−２）段階で前記フェライトシート成形体は加圧される一面の反対面に移送材（ｃａｒｒｉｅｒ ｍａｔｅｒｉａｌ）をさらに具備することができ、例えば、フェライトシート成形体は移送材（ｃａｒｒｉｅｒ ｍａｔｅｒｉａｌ）の上部に備えられ得る。前記移送材は、紙物またはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）およびポリカーボネート（ＰＣ）からなる群から選択される１種以上の高分子でコーティングされたフィルムをロール状に製造したものであり得る。前記移送材は、フェライトシートと同一の面で移動しながら転写基材の表面の凹凸を加圧してフェライトシートの上部の一面に転写させる時、前記フェライトシートの持続的な移送のための道具として使用され得る。
次に、前記多数個のフェライトシート成形体を積層してフェライト積層体を準備する（１−３）段階を遂行する。前記（１−３）段階は、（１−２）段階で凹凸を形成することによって、ガスの排出通路が備えられた複数個のフェライトシート成形体を積層してフェライト積層体を準備する段階である。この時、前記ガスの排出通路は、各フェライトシート成形体の間間に配置されることによって、以降に遂行する焼結段階で発生するバインダーの燃焼ガスを効率的に排出するため、フェライトシートのシワおよびしわくちゃ現象を効果的に防止することができる。
次に、前記積層されたフェライトシート成形体を焼結する（２）段階を遂行する。
前記焼結工程は前記焼成は好ましくは９００〜１３００℃の温度であり、１〜５時間程度実施することができ、この時の雰囲気は大気雰囲気または大気より酸素分圧が高い雰囲気で実施してもよい。製造されたフェライトシートを焼結した後の焼結体の密度は、一例として５．０〜５．３ｇ／ｃｍ３であり得る。
また、本発明はバインダーの燃焼時に発生するガスの移動通路を提供するために、少なくとも一面に垂直断面が多角形または弧状を有する凹凸を具備したフェライトシートを具現する。本発明に係るフェライトシートは前記記載された製造方法により製造され得、フェライトシートについての説明は前述した内容と同じであるため省略する。
この時、前記凹凸は断面の幅および高さの長さ比は１：０．２〜１であり得、好ましくは１：０．４〜１であり得る。万一、前記凹凸の幅および高さの長さ比が１：０．２未満の場合、前記凹凸によって形成される空間が狭いたねガスの移動通路としての役割を十分に遂行し難い問題点があり、万一、前記凹凸の幅および高さの長さ比が１：１を超過する場合、工程上凹凸を形成し難い問題点があり、分離過程で凹凸の過度な高さによる破損が発生し得る。
また、前記凹凸は平均幅が０．５〜５００μｍであり、平均高さが０．５〜１００μｍであり得、好ましくは平均幅が０．５〜３０μｍであり、平均高さが０．５〜１５μｍであり得る。さらに好ましくは平均幅が２〜２０μｍであり、平均高さが０．５〜１０μｍであり得る。前記凹凸の平均幅が０．５μｍ未満である場合、フェライトシートの製造工程上収率が顕著に低下され得る問題点があり、５００μｍを超過する場合、凹凸形成の効果が殆どないため多量積載して焼成を進行させる時にフェライトシート同士が付着して分離し難い問題点がある。また、平均高さが０．５μｍ未満である場合、フェライトシートの製造工程上収率が顕著に低下され得る問題点があり、１００μｍを超過する場合、フェライトシートの厚さより高さが高くなってフェライトシートに損傷を与え得る問題点がある。
また、フェライトシートは平均粗さが１μｍ〜２０μｍであり得、より好ましくは１μｍ〜１０μｍの平均粗さを有し得る。万一、前記フェライトシートの平均粗さが１μｍ未満の場合、複数枚積層されたフェライトシートの接触面積が相対的に増加して焼結進行後の分離が難しく、分離する中に破損して収率が低下され得る。また、万一、前記フェライトシートの平均粗さが２０μｍを超過する場合、表面粗さによる電気的特性がかえって低下して、フェライトシートが使用される電気部品の信頼性が低下され得る。
また、本発明は一つの角から前記一つの角と向かい合う角方向に山部と谷部を有するように交互に形成される凹凸を含み、前記山部と谷部は残りの二つの角が向かい合う方向に連続するフェライトシート製造用転写基材を具現する。前記転写基材は熱硬化性樹脂素材からなる光学フィルムで製造され得、前記転写基材はマイクロ単位の凹凸を表面に具備する光学フィルムであり得る。前記凹凸の断面の幅および高さの比は１：０．２〜１であり得、前記凹凸の平均幅は０．５〜５００μｍであり、平均高さは０．５〜１００μｍであり得る。
以下、本発明を下記の実施例を通じてより詳細に説明する。下記の実施例は本発明を例示するために提示されたものに過ぎず、本発明の権利範囲は下記の実施例によって限定されるものではない。
［実施例］
実施例１．フェライトシート成形体の製造
ＰＥＴフィルムの上部にフェライト溶液を塗布した後、乾燥させてフェライトシート成形体を準備した。その後、前記フェライトシート成形体の上部の一面に、垂直断面が三角形であり、平均幅が１０μｍ、平均高さが３μｍである凹凸を繰り返して含む薄膜形態の転写基材を接触させた後、等方向静水圧機を利用して３８Ｍｐａで加圧して凹凸を転写させることによって、ガスの排出通路を具備したフェライトシート成形体を製造した。
ＰＥＴフィルムの上部にフェライト溶液を塗布した後、乾燥させてフェライトシート成形体を準備した。その後、前記フェライトシート成形体の上部の一面に、垂直断面が三角形であり、平均幅が１０μｍ、平均高さが３μｍである凹凸を繰り返して含む薄膜形態の転写基材を接触させた後、等方向静水圧機を利用して３８Ｍｐａで加圧して凹凸を転写させることによって、ガスの排出通路を具備したフェライトシート成形体を製造した。
実施例２〜４．フェライトシート成形体の製造
前記実施例１で下記の表１と同じ形態の凹凸を含む転写基材を使ったことを除いては前記実施例１と同じ方法でフェライトシート成形体を製造した。
前記実施例１で下記の表１と同じ形態の凹凸を含む転写基材を使ったことを除いては前記実施例１と同じ方法でフェライトシート成形体を製造した。
比較例１〜４．フェライトシート成形体の製造
前記実施例１で下記の表１と同じ形態の凹凸を含む転写基材を使ったことを除いては前記実施例１と同じ方法でフェライトシートを製造した。
前記実施例１で下記の表１と同じ形態の凹凸を含む転写基材を使ったことを除いては前記実施例１と同じ方法でフェライトシートを製造した。
［実験例１］
実験例１．分離収率測定。
前記実施例および比較例で製造したフェライトシート成形体を転写基材から手で分離して一定の大きさに切断した後、３０枚を同時に積層して１０００℃の温度で３時間の間焼結を進めた後、分離収率を測定した。
前記実施例および比較例で製造したフェライトシート成形体を転写基材から手で分離して一定の大きさに切断した後、３０枚を同時に積層して１０００℃の温度で３時間の間焼結を進めた後、分離収率を測定した。
前記分離収率は、フェライトシートの外観を肉眼で観察して、クラック発生の有無およびホール（ｈｏｌｅ）が生成される不良が発生した場合に不良品と判定したのであり、フェライトシートの幅および長さ対比１０％以上のシワが発生した場合にバインダーのガス燃焼不良による不良品と判定した。不良品ではない良品基準を満足するフェライトシートの最終数量を下記の式１により測定し、その結果を下記の表１および図５に示した。
［式１］
分離収率（％）＝フェライトシートの最終数量／フェライトシートの初期投入数＊１００
分離収率（％）＝フェライトシートの最終数量／フェライトシートの初期投入数＊１００
表１および図５を参照すると、フェライトシート成形体の凹凸の平均横幅、平均高さおよびこれらの比率が本発明の数値範囲に含まれる実施例１〜４の場合、分離収率が顕著に優れていることが分かる。
これに反して、フェライトシート成形体の凹凸の平均横幅、平均高さおよびこれらの比率が本発明の数値範囲外の値を有する比較例１および２の場合、分離収率が顕著に低下したことが分かる。これと関連して図１０ａおよび図１０ｂを参照すると、比較例１に該当する図１０ａの場合、実施例１に該当する図１０ｂと比較して小ジワが肉眼で判別できるほど顕著に多く発生して、焼結工程でバインダーの燃焼ガスが円滑に排出されず、フェライト積層体の内部にシワとして残存するようになり、良品判定が僅か８．３％であることを確認することができる。
また、不規則な形状の凹凸を有する転写基材で製造した比較例３および４の場合、本発明の平均粗さ範囲を満足するにも関わらず、分離収率が顕著に低下することが分かる。すなわち、図１１ａおよび図１１ｂに図示されたように、フェライトシートの表面の形状が不規則であることによって、分離過程でシートが破損したり、バインダーの燃焼ガスの円滑な排出が行われなかったことが分かる。
その結果、凹凸の形状が本発明の数値範囲による幅、高さおよびこれらの比率を有する転写基材でフェライトシートを製造した時、分離が容易であることが分かり、たとえ本発明に係る平均粗さを有するとしても、凹凸の形状が本発明の数値範囲を満足しない場合、目的とする収率を得ることができないことが分かる。
実施例５〜８．フェライトシート成形体の製造．
前記実施例１で転写基材を下記の表２のような回数で再使用したことを除いては前記実施例１と同じ方法でフェライトシートを製造した。
前記実施例１で転写基材を下記の表２のような回数で再使用したことを除いては前記実施例１と同じ方法でフェライトシートを製造した。
実験例２．フェライトシートに備えられた凹凸の微細構造の観察
前記実施例１および５〜８で製造したフェライトシート成形体の微細構造を走査電子顕微鏡で観察したのであり、その結果を下記の図６〜８に示した。この時、下記の図６は実施例１のフェライトシート成形体の上部の一面を走査電子顕微鏡で観察したイメージであり、図７は実施例１のフェライトシートの垂直断面を走査電子顕微鏡で観察したイメージである。図８は転写基材の再使用回数によるフェライトシート成形体の凹凸の垂直断面を観察したイメージである。また、それによる凹凸の大きさを下記の表２に示した。
前記実施例１および５〜８で製造したフェライトシート成形体の微細構造を走査電子顕微鏡で観察したのであり、その結果を下記の図６〜８に示した。この時、下記の図６は実施例１のフェライトシート成形体の上部の一面を走査電子顕微鏡で観察したイメージであり、図７は実施例１のフェライトシートの垂直断面を走査電子顕微鏡で観察したイメージである。図８は転写基材の再使用回数によるフェライトシート成形体の凹凸の垂直断面を観察したイメージである。また、それによる凹凸の大きさを下記の表２に示した。
表２および図８によると、本発明に係る転写基材を多数回繰り返し使用しても、生成される凹凸の大きさに影響が少ないことを確認することができ、２０回まで再使用しても大きさの変動が少ないことを確認することができた。
Claims (11)
- （１）凹凸が備えられた転写基材を通じて前記凹凸の逆像が転写された多数個のフェライトシート成形体が積層され、隣接したフェライトシート成形体間にフェライトシートに形成された前記凹凸の逆像の間の空間であるガスの排出通路を具備したフェライト積層体を準備する段階；
（２）前記フェライト積層体を焼結する段階；を含み、前記凹凸の逆像は一つの角と向かい合う角方向に山部と谷部が交互に形成され、残りの二つの角が向かい合う方向に前記山部と谷部が連続され、前記凹凸及び前記凹凸の逆像は垂直断面状が三角形であり、前記凹凸の逆像の断面の幅および高さの比率が１：０．２〜１であり、平均幅が０．５〜５００μｍであり、平均高さが０．５〜１００μｍである、フェライトシートの製造方法。 - 前記（１）段階で、
前記凹凸の逆像は備えられたフェライトシート成形体の一面に前記転写基材を接続させた後、加圧してフェライトシート成形体に転写される、請求項１に記載のフェライトシートの製造方法。 - 前記フェライトシート成形体は、加圧される一面の反対面に移送材（ｃａｒｒｉｅｒ ｍａｔｅｒｉａｌ）をさらに具備する、請求項２に記載のフェライトシートの製造方法。
- 前記移送材は、紙物またはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）およびポリカーボネート（ＰＣ）からなる群から選択される１種以上の高分子でコーティングされたフィルムをロール状に製造したものである、請求項３に記載のフェライトシートの製造方法。
- 前記転写基材は、一面に凹凸が備えられる平板または外部面に凹凸が備えられるローラーである、請求項１に記載のフェライトシートの製造方法。
- 前記転写基材が一面に凹凸が備えられる平板である場合、
フェライトシートの上部の一面に前記転写基材を接触させた後、前記フェライトシートおよび前記転写基材に垂直な方向に加圧してフェライトシートの表面に凹凸の逆像を転写させる、請求項５に記載のフェライトシートの製造方法。 - 前記転写基材が外部面に凹凸が備えられるローラーである場合、
フェライトシートの上部の一面に前記転写基材を接触させた後、これをローリングさせてフェライトシートの表面に凹凸の逆像を形成させる、請求項５に記載のフェライトシートの製造方法。 - 前記加圧は、１０〜１００Ｍｐａで遂行される、請求項２に記載のフェライトシートの製造方法。
- ガスの排出通路を提供するために、凹凸の逆像を少なくとも一面に具備し、前記凹凸の逆像はフェライトシートの一つの角と向かい合う角方向に山部と谷部が交互に形成され、残りの二つの角が向かい合う方向に前記山部と谷部が連続され、前記凹凸及び前記凹凸の逆像は垂直断面状が三角形であり、
前記凹凸の逆像は断面の幅および高さの比率が１：０．２〜１であり、平均幅が０．５〜５００μｍであり、平均高さが０．５〜１００μｍである、フェライトシート。 - 前記フェライトシートは、平均粗さが０．８μｍ〜２０μｍである、請求項９に記載のフェライトシート。
- 一つの角から前記一つの角と向かい合う角方向に山部と谷部が交互に形成され、残りの二つの角が向かい合う方向に連続した凹凸を含み、
前記凹凸及び前記凹凸の逆像は垂直断面状が三角形であり、前記凹凸の逆像は断面の幅および高さの比率が１：０．２〜１であり、平均幅が０．５〜５００μｍであり、平均高さが０．５〜１００μｍである、フェライトシート製造用転写基材。
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