JP2673143B2 - マルチトラック薄膜磁気ヘッド用の上部コアの製造方法 - Google Patents
マルチトラック薄膜磁気ヘッド用の上部コアの製造方法Info
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- JP2673143B2 JP2673143B2 JP26133591A JP26133591A JP2673143B2 JP 2673143 B2 JP2673143 B2 JP 2673143B2 JP 26133591 A JP26133591 A JP 26133591A JP 26133591 A JP26133591 A JP 26133591A JP 2673143 B2 JP2673143 B2 JP 2673143B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＤＡＴやコンピュータ
等の磁気記録装置に用いられるマルチトラック薄膜磁気
ヘッド用の上部コアの製造方法に関するもので、特に、
上部コアに形成されたトラック溝並びにコア分離溝内へ
のガラスの充填方法の改良に関する。
等の磁気記録装置に用いられるマルチトラック薄膜磁気
ヘッド用の上部コアの製造方法に関するもので、特に、
上部コアに形成されたトラック溝並びにコア分離溝内へ
のガラスの充填方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来のマルチトラック薄膜磁気ヘ
ッドの製造方法の一例を示している。同図（Ａ）に示す
ように、まず、平板状のＮｉ−Ｚｎフェライト基板１の
上面に横方向に延びる多数のトラック溝２を平行に切削
形成すると共に、そのトラック溝２と直交する方向に延
びるコア分離溝３を所定間隔毎に切削形成する。そし
て、コア分離溝３の上方に上部拡開状態のＶ型溝４を切
削形成する。
ッドの製造方法の一例を示している。同図（Ａ）に示す
ように、まず、平板状のＮｉ−Ｚｎフェライト基板１の
上面に横方向に延びる多数のトラック溝２を平行に切削
形成すると共に、そのトラック溝２と直交する方向に延
びるコア分離溝３を所定間隔毎に切削形成する。そし
て、コア分離溝３の上方に上部拡開状態のＶ型溝４を切
削形成する。
【０００３】次いで、同図（Ｂ）に示すようにＶ型溝４
上にガラス棒５を載置させ、この状態で大気圧中におい
て約８５０度で加熱する。するとガラス棒５は溶融して
その下方に位置するコア分離溝３内に充填されると共
に、Ｖ型溝４の表面に開口されているトラック溝２の端
部から溶融したガラスが入り込みトラック溝２内にもガ
ラス５′が充填される。
上にガラス棒５を載置させ、この状態で大気圧中におい
て約８５０度で加熱する。するとガラス棒５は溶融して
その下方に位置するコア分離溝３内に充填されると共
に、Ｖ型溝４の表面に開口されているトラック溝２の端
部から溶融したガラスが入り込みトラック溝２内にもガ
ラス５′が充填される。
【０００４】その後、フェライト基板１の所定部位、す
なわち、Ｖ型溝４を切除するようにフェライト基板１の
上方部分を切断するとともに、そのフェライト基板１を
縦方向に所定間隔の格子状面で切断して矩形状の素体を
製造し、その素体の側面所定位置に、コア分離溝３の下
端に連通する凹溝を切削加工することにより、同図
（Ｃ）に示すように、背面溝６を有する１ピース分の上
部コア７が製造される。そして、同図（Ｄ）に示すよう
にその製造された上部コア７をコイル等のパターン面８
が形成された平板状の下部コア９と接着することにより
マルチトラック薄膜磁気ヘッドが製造される。
なわち、Ｖ型溝４を切除するようにフェライト基板１の
上方部分を切断するとともに、そのフェライト基板１を
縦方向に所定間隔の格子状面で切断して矩形状の素体を
製造し、その素体の側面所定位置に、コア分離溝３の下
端に連通する凹溝を切削加工することにより、同図
（Ｃ）に示すように、背面溝６を有する１ピース分の上
部コア７が製造される。そして、同図（Ｄ）に示すよう
にその製造された上部コア７をコイル等のパターン面８
が形成された平板状の下部コア９と接着することにより
マルチトラック薄膜磁気ヘッドが製造される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
の製造方法では、ガラス棒５を加熱溶融して各溝２，３
内にガラス５′を充填する際に、周囲の雰囲気ガス（空
気）を巻き込んだり、ガラス棒５とフェライト基板２と
の反応により生じるガス等のために、流し込んだガラス
内に気泡が発生する。この気泡は、特にトラック溝２と
コア分離溝３との交点部分に多く発生する。そして、こ
の気泡が表面部分に位置すると、気泡のエッジ部分が記
録媒体に接触した際に、それを傷付けるおそれがある。
また、本発明者らが知得したことによると、ガラス棒５
は、フェライト（Ｖ型溝）との接触部位から解け出すこ
とが判っており、従って、上記反応ガスも長時間接触し
反応し続けている上記接触部位から多数発生する。
の製造方法では、ガラス棒５を加熱溶融して各溝２，３
内にガラス５′を充填する際に、周囲の雰囲気ガス（空
気）を巻き込んだり、ガラス棒５とフェライト基板２と
の反応により生じるガス等のために、流し込んだガラス
内に気泡が発生する。この気泡は、特にトラック溝２と
コア分離溝３との交点部分に多く発生する。そして、こ
の気泡が表面部分に位置すると、気泡のエッジ部分が記
録媒体に接触した際に、それを傷付けるおそれがある。
また、本発明者らが知得したことによると、ガラス棒５
は、フェライト（Ｖ型溝）との接触部位から解け出すこ
とが判っており、従って、上記反応ガスも長時間接触し
反応し続けている上記接触部位から多数発生する。
【０００６】この問題を解決するものとして、例えば特
開平２−２７３３０９号公報に開示された製造方法があ
る。すなわち、一対のフェライト板間にガラス板（この
部分が従来のコア分離溝に相当）を介在させることによ
り複合基板を製造し、この複合基板に対してガラス板と
直交する方向に平行に切削することによりトラック溝を
形成し、そのトラック溝内に溶融したガラスを充填する
ようにしている。
開平２−２７３３０９号公報に開示された製造方法があ
る。すなわち、一対のフェライト板間にガラス板（この
部分が従来のコア分離溝に相当）を介在させることによ
り複合基板を製造し、この複合基板に対してガラス板と
直交する方向に平行に切削することによりトラック溝を
形成し、そのトラック溝内に溶融したガラスを充填する
ようにしている。
【０００７】しかし、この方法では、トラック溝を製造
するために研削性の異なるガラス板とフェライト板に対
して同時に切削加工をしなければならず、しかもガラス
板の研削性が悪いため、切削作業がしにくく綺麗なトラ
ック溝の製造が困難となる。そして、切削に際しガラス
板が生じる切削屑がカッターの刃に入り込み目詰まりを
生じてしまうため、カッターを比較的頻繁に交換しなけ
ればならないという問題も生じる。さらには、製造工程
が従来のものと全く異なるため、新たなラインを形成し
なければならず、煩雑である。
するために研削性の異なるガラス板とフェライト板に対
して同時に切削加工をしなければならず、しかもガラス
板の研削性が悪いため、切削作業がしにくく綺麗なトラ
ック溝の製造が困難となる。そして、切削に際しガラス
板が生じる切削屑がカッターの刃に入り込み目詰まりを
生じてしまうため、カッターを比較的頻繁に交換しなけ
ればならないという問題も生じる。さらには、製造工程
が従来のものと全く異なるため、新たなラインを形成し
なければならず、煩雑である。
【０００８】本発明は、上記した背景に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、トラック溝並びにコ
ア分離溝内に対して溶融したガラスを充填すると言う従
来の製造方法の基本構成をとりつつ、気泡の発生量を可
及的に抑制することのできるマルチトラック薄膜磁気ヘ
ッド用の上部コアの製造方法を提供することにある。
もので、その目的とするところは、トラック溝並びにコ
ア分離溝内に対して溶融したガラスを充填すると言う従
来の製造方法の基本構成をとりつつ、気泡の発生量を可
及的に抑制することのできるマルチトラック薄膜磁気ヘ
ッド用の上部コアの製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明に係るマルチトラック薄膜磁気ヘッド用の
上部コアの製造方法では、マルチトラック薄膜磁気ヘッ
ド用の上部コアの所定面に形成されたトラック溝並びに
コア分離溝内に溶融ガラス材を充填するに際し、不活性
ガス雰囲気中の加圧下で加熱するようにした。
ため、本発明に係るマルチトラック薄膜磁気ヘッド用の
上部コアの製造方法では、マルチトラック薄膜磁気ヘッ
ド用の上部コアの所定面に形成されたトラック溝並びに
コア分離溝内に溶融ガラス材を充填するに際し、不活性
ガス雰囲気中の加圧下で加熱するようにした。
【００１０】そして、好ましくは、前記トラック溝並び
に前記コア分離溝の少なくとも一方の上方に上部拡開し
たＶ型溝を形成し、そのＶ型溝の表面に金属膜を形成
し、その金属膜に接触状態で前記溶融ガラス材を載置
し、次いで、その溶融ガラス材を不活性ガス雰囲気中の
加圧下で加熱して前記両溝内に充填し、その後前記Ｖ型
溝部分を含むコア部位を切除することである。
に前記コア分離溝の少なくとも一方の上方に上部拡開し
たＶ型溝を形成し、そのＶ型溝の表面に金属膜を形成
し、その金属膜に接触状態で前記溶融ガラス材を載置
し、次いで、その溶融ガラス材を不活性ガス雰囲気中の
加圧下で加熱して前記両溝内に充填し、その後前記Ｖ型
溝部分を含むコア部位を切除することである。
【００１１】
【作用】不活性ガス雰囲気中でしかも加圧下でガラス材
に対する加熱処理をする。すると溶融したガラスが加圧
力によりフェライト基板上に形成されたトラック溝並び
にコア分離溝内にスムーズに押し込まれ、それにともな
い両溝内に存在してしたガスが外部に押し出される。ま
た、その様に押し込まれる結果、比較的短時間で充填作
業が終了し、ガラス材とフェライトとの接触時間が短縮
され、両者間で発生する反応ガスの量も減少する。しか
も、加圧したことにより作業温度を低くしてもガラスを
充填することができるようになり、その温度低下にとも
ないガラス材とフェライトとの反応が抑えられ、それに
よっても反応ガスの発生が抑制される。すなわち、気泡
の発生原因であったフェライトとガラス材との間に生じ
る反応ガス並びにガラスの充填時のガス（空気）の巻き
込みの両者が共に低減される。
に対する加熱処理をする。すると溶融したガラスが加圧
力によりフェライト基板上に形成されたトラック溝並び
にコア分離溝内にスムーズに押し込まれ、それにともな
い両溝内に存在してしたガスが外部に押し出される。ま
た、その様に押し込まれる結果、比較的短時間で充填作
業が終了し、ガラス材とフェライトとの接触時間が短縮
され、両者間で発生する反応ガスの量も減少する。しか
も、加圧したことにより作業温度を低くしてもガラスを
充填することができるようになり、その温度低下にとも
ないガラス材とフェライトとの反応が抑えられ、それに
よっても反応ガスの発生が抑制される。すなわち、気泡
の発生原因であったフェライトとガラス材との間に生じ
る反応ガス並びにガラスの充填時のガス（空気）の巻き
込みの両者が共に低減される。
【００１２】一方、Ｖ型溝の表面に金属膜を形成した
後、その金属膜に接触するようにしてガラス材を載置
し、加熱処理をした場合には、フェライトとガラス材と
の間に金属膜が存在しするのでガラス材とフェライトと
が直接接触するのが抑制されるため、フェライトとガラ
ス材との反応に伴い生じるガスの発生量がより減少す
る。そして、金属膜とガラス材との濡れ性はフェライト
とガラス材とのそれに比し悪いため、溶融したガラスは
金属膜から弾けるようにしてスムーズに下降移動し両溝
内に流れ込むので、作業時間がより短縮され、気泡の発
生も低減される。
後、その金属膜に接触するようにしてガラス材を載置
し、加熱処理をした場合には、フェライトとガラス材と
の間に金属膜が存在しするのでガラス材とフェライトと
が直接接触するのが抑制されるため、フェライトとガラ
ス材との反応に伴い生じるガスの発生量がより減少す
る。そして、金属膜とガラス材との濡れ性はフェライト
とガラス材とのそれに比し悪いため、溶融したガラスは
金属膜から弾けるようにしてスムーズに下降移動し両溝
内に流れ込むので、作業時間がより短縮され、気泡の発
生も低減される。
【００１３】
【実施例】以下、本発明に係るマルチトラック薄膜磁気
ヘッド用の上部コアの製造方法の好適な一実施例を添付
図面に基づいて詳細に説明する。本発明の第１実施例で
は、図２に示す従来の製造方法と同様に平板状のフェラ
イト基板１の上面を適宜切削加工することにより、多数
の平行なトラック溝２，そのトラック溝２に直交方向に
それより深く切削されたコア分離溝３並びにコア分離溝
３に連続するＶ型溝４が形成され、そのＶ型溝４上にガ
ラス材たるガラス棒５を載置する。ここまでの工程は従
来と全く同一に行うことができ、製造ライン等は従来の
ものをそのまま使用できる。
ヘッド用の上部コアの製造方法の好適な一実施例を添付
図面に基づいて詳細に説明する。本発明の第１実施例で
は、図２に示す従来の製造方法と同様に平板状のフェラ
イト基板１の上面を適宜切削加工することにより、多数
の平行なトラック溝２，そのトラック溝２に直交方向に
それより深く切削されたコア分離溝３並びにコア分離溝
３に連続するＶ型溝４が形成され、そのＶ型溝４上にガ
ラス材たるガラス棒５を載置する。ここまでの工程は従
来と全く同一に行うことができ、製造ライン等は従来の
ものをそのまま使用できる。
【００１４】ここで、本発明では、フェライト基板１並
びにガラス棒５を不活性ガス雰囲気中に配置すると共
に、所定の圧力で加圧させた状態で加熱させ、ガラス棒
５を溶融させて各溝２，３内に流し込むようにしてい
る。前記、不活性ガスとしてはＮ2 ガス或いはＡｒガス
等を用いることができる。そして、充填したガラス材が
冷却固化されたなら、それを取り出し従来と同様にフェ
ライト基板１の所定位置を切断することより、１ピース
毎の上部コアが製造される。
びにガラス棒５を不活性ガス雰囲気中に配置すると共
に、所定の圧力で加圧させた状態で加熱させ、ガラス棒
５を溶融させて各溝２，３内に流し込むようにしてい
る。前記、不活性ガスとしてはＮ2 ガス或いはＡｒガス
等を用いることができる。そして、充填したガラス材が
冷却固化されたなら、それを取り出し従来と同様にフェ
ライト基板１の所定位置を切断することより、１ピース
毎の上部コアが製造される。
【００１５】＜実験結果＞次ぎに上記した第１実施例の
効果を確認するための実験を行ったので、その結果を以
下に示す。まず、従来の方法に従い、ガラス棒を常圧の
空気中で８５０度６０分間加熱溶融させて上部コアを製
造した。その中から３個をピックアップし各上部コアに
発生した気泡を数えたら、その平均発生数は３．７個で
あった（比較例）。これに対し本願発明では、不活性ガ
スとしてＮ2 を用い、９ｋｇｆ／ｃｍ2 に加圧したＮ2
雰囲気中にガラス棒並びにフェライト基板を挿入した状
態で８５０度６０分間加熱溶融させた。そして製造され
た３個の上部コアに生じた気泡の平均数は１．７個であ
り、上記比較例のものに比べ１／２程度に減少した。
効果を確認するための実験を行ったので、その結果を以
下に示す。まず、従来の方法に従い、ガラス棒を常圧の
空気中で８５０度６０分間加熱溶融させて上部コアを製
造した。その中から３個をピックアップし各上部コアに
発生した気泡を数えたら、その平均発生数は３．７個で
あった（比較例）。これに対し本願発明では、不活性ガ
スとしてＮ2 を用い、９ｋｇｆ／ｃｍ2 に加圧したＮ2
雰囲気中にガラス棒並びにフェライト基板を挿入した状
態で８５０度６０分間加熱溶融させた。そして製造され
た３個の上部コアに生じた気泡の平均数は１．７個であ
り、上記比較例のものに比べ１／２程度に減少した。
【００１６】また、加圧することにより作業温度（加熱
温度）を低下させてもガラス棒を溶融充填することが可
能となる。具体的には、常圧で８５０度の時におけるガ
ラス材の濡れ性と等しい状態となるのは９ｋｇｆ／ｃｍ
2 では約７９０度である。そこで、上記の実験おける作
業温度を７９０度／６０分に替え、それ以外を同一条件
にして実験を行った。するとその時の気泡の平均発生数
は、０．７に激減し、これは従来の方法により製造され
た比較例のものに比べると１／５以下に減少したことに
なる。
温度）を低下させてもガラス棒を溶融充填することが可
能となる。具体的には、常圧で８５０度の時におけるガ
ラス材の濡れ性と等しい状態となるのは９ｋｇｆ／ｃｍ
2 では約７９０度である。そこで、上記の実験おける作
業温度を７９０度／６０分に替え、それ以外を同一条件
にして実験を行った。するとその時の気泡の平均発生数
は、０．７に激減し、これは従来の方法により製造され
た比較例のものに比べると１／５以下に減少したことに
なる。
【００１７】さらに、加圧力をパラメーターとして気泡
の発生数の関係を調べた。この実験に際し、ガラス材の
濡れ性が等しくなるように作業温度をその都度調整変更
させた（圧力が高くなるにつれて作業温度を低下させ
た）以外は上記と同一条件で行った。すると、気泡の発
生するは圧力を高くするにつれて減少することが判っ
た。尚、装置の関係上加圧力の上限は９．９ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 までしか測定できなかったが、９．９ｋｇｆ／ｃｍ
2 では気泡発生数の減少度合いの飽和の徴候は見られな
かった。但し、製品の規格上、９ｋｇｆ／ｃｍ2 以上と
するのが好ましい。
の発生数の関係を調べた。この実験に際し、ガラス材の
濡れ性が等しくなるように作業温度をその都度調整変更
させた（圧力が高くなるにつれて作業温度を低下させ
た）以外は上記と同一条件で行った。すると、気泡の発
生するは圧力を高くするにつれて減少することが判っ
た。尚、装置の関係上加圧力の上限は９．９ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 までしか測定できなかったが、９．９ｋｇｆ／ｃｍ
2 では気泡発生数の減少度合いの飽和の徴候は見られな
かった。但し、製品の規格上、９ｋｇｆ／ｃｍ2 以上と
するのが好ましい。
【００１８】次ぎに、不活性ガスとしてＡｒを用いて上
記と同様の実験を行った。このＡｒを用いた場合の気泡
発生の抑制効果は、常圧の比較例に比べると気泡の発生
数は低減するが、いずれもＮ2 の場合に比し半分程度と
なる。
記と同様の実験を行った。このＡｒを用いた場合の気泡
発生の抑制効果は、常圧の比較例に比べると気泡の発生
数は低減するが、いずれもＮ2 の場合に比し半分程度と
なる。
【００１９】図１は本発明の第２実施例を示している。
本例では上記した第１実施例と相違して、フェライト基
板１のコア分離溝３の上方に形成したＶ型溝４の表面に
金属膜１２を形成し（同図（Ａ）参照）、その金属膜１
２にガラス棒５が接触するようにしてＶ型溝４内にガラ
ス棒５を載置する（同図（Ｂ）参照）。その状態で上記
第１実施例と同様にＮ2 等の不活性ガス雰囲気中に置
き、所定の加圧下（例えば９ｋｇｆ／ｃｍ）で加熱する
（同図（Ｃ）参照）。するとガラス棒５が溶融して各溝
２，３内にガラス５′が充填される（同図（Ｄ）参
照）。その後同図（Ｄ）に二点鎖線で示すように所定部
位で切断することにより、背面溝付きの上部コアが製造
される。そして、この切断により、金属膜１２が形成さ
れたＶ型溝部分が切除されるため、最終的な製品に上記
金属膜１２が悪影響を与えることがない。尚、その他の
構成並びに作用・効果は上記第１実施例と同様である。
本例では上記した第１実施例と相違して、フェライト基
板１のコア分離溝３の上方に形成したＶ型溝４の表面に
金属膜１２を形成し（同図（Ａ）参照）、その金属膜１
２にガラス棒５が接触するようにしてＶ型溝４内にガラ
ス棒５を載置する（同図（Ｂ）参照）。その状態で上記
第１実施例と同様にＮ2 等の不活性ガス雰囲気中に置
き、所定の加圧下（例えば９ｋｇｆ／ｃｍ）で加熱する
（同図（Ｃ）参照）。するとガラス棒５が溶融して各溝
２，３内にガラス５′が充填される（同図（Ｄ）参
照）。その後同図（Ｄ）に二点鎖線で示すように所定部
位で切断することにより、背面溝付きの上部コアが製造
される。そして、この切断により、金属膜１２が形成さ
れたＶ型溝部分が切除されるため、最終的な製品に上記
金属膜１２が悪影響を与えることがない。尚、その他の
構成並びに作用・効果は上記第１実施例と同様である。
【００２０】＜実験結果＞次ぎに上記した第２実施例の
効果を確認するための実験を行ったので、その結果を以
下に示す。まず、前実験として、金属膜とガラスの濡れ
性を調べた。すなわち、鏡面仕上げしたフェライト板の
上面にＮｉをスパッタにて０．１μｍの膜厚で形成し、
そのＮｉ表面に溶融ガラスを滴下した。そして、その時
の接触角を測定したら約５０度であった。また、Ｎｉの
変わりにＣｒを用いて同様の実験を行ったら、接触角は
約４０度であった。一方、金属膜を形成せずフェライト
板の上に直接溶融ガラスを滴下した場合の接触角を測定
したら、約２７度であった。このことから、金属膜を形
成した方がガラスとの濡れ性が悪く、金属膜をＶ型溝表
面に形成した場合には、溶融したガラスは弾けるように
してスムーズに下方に移動し、ガラスとフェライトとが
接触する時間が短くなり反応に伴う気泡の発生が抑制さ
れるものと推測できる。
効果を確認するための実験を行ったので、その結果を以
下に示す。まず、前実験として、金属膜とガラスの濡れ
性を調べた。すなわち、鏡面仕上げしたフェライト板の
上面にＮｉをスパッタにて０．１μｍの膜厚で形成し、
そのＮｉ表面に溶融ガラスを滴下した。そして、その時
の接触角を測定したら約５０度であった。また、Ｎｉの
変わりにＣｒを用いて同様の実験を行ったら、接触角は
約４０度であった。一方、金属膜を形成せずフェライト
板の上に直接溶融ガラスを滴下した場合の接触角を測定
したら、約２７度であった。このことから、金属膜を形
成した方がガラスとの濡れ性が悪く、金属膜をＶ型溝表
面に形成した場合には、溶融したガラスは弾けるように
してスムーズに下方に移動し、ガラスとフェライトとが
接触する時間が短くなり反応に伴う気泡の発生が抑制さ
れるものと推測できる。
【００２１】上記の推測を実証するために、フェライト
基板１のＶ型溝４の表面にＮｉをスパッタして０．１μ
ｍの金属膜１２を形成し、そのＶ型溝４上にガラス棒５
を載置し、それに対しＮ2 雰囲気中で９ｋｇｆ／ｃｍ2
の加圧下で７９０度６０分間加熱した。そして、そのよ
うにして製造された上部コアを３個ピックアップして気
泡の発生数を測定して平均値をとると、常圧大気中で製
造したものに比し１／２０以下に減少しており、これは
上記した第１実施例における不活性ガス並びに加圧の効
果（１／５に減少）に加え、金属膜１２を設けた効果が
顕著に現れていると判断できる。また、Ｖ型溝の表面に
Ｃｒをスパッタした場合における気泡の発生数は、Ｎｉ
に比較すると多いものの、金属膜のないものに比較する
と充分に減少していた。
基板１のＶ型溝４の表面にＮｉをスパッタして０．１μ
ｍの金属膜１２を形成し、そのＶ型溝４上にガラス棒５
を載置し、それに対しＮ2 雰囲気中で９ｋｇｆ／ｃｍ2
の加圧下で７９０度６０分間加熱した。そして、そのよ
うにして製造された上部コアを３個ピックアップして気
泡の発生数を測定して平均値をとると、常圧大気中で製
造したものに比し１／２０以下に減少しており、これは
上記した第１実施例における不活性ガス並びに加圧の効
果（１／５に減少）に加え、金属膜１２を設けた効果が
顕著に現れていると判断できる。また、Ｖ型溝の表面に
Ｃｒをスパッタした場合における気泡の発生数は、Ｎｉ
に比較すると多いものの、金属膜のないものに比較する
と充分に減少していた。
【００２２】尚、上記した実施例では不活性ガスとして
Ｎ2 ，Ａｒを、また、金属膜としてＮｉ，Ｃｒを用いた
例について説明したが、本発明はこれに限ることなく、
任意の不活性ガス並びに金属を用いることができ、しか
も金属膜の形成手段として上記したスパッタに限定され
ないのは言うまでもない。
Ｎ2 ，Ａｒを、また、金属膜としてＮｉ，Ｃｒを用いた
例について説明したが、本発明はこれに限ることなく、
任意の不活性ガス並びに金属を用いることができ、しか
も金属膜の形成手段として上記したスパッタに限定され
ないのは言うまでもない。
【００２３】また、上記した実施例ではガラス材として
ガラス棒を用いた例について説明したが、その形状は問
わないのはもちろんであり、また、第１実施例のように
金属膜を形成しない場合には、例えば従来例で示した特
開平２−２７３３０９に示されるようにＶ型溝を設ける
ことなく上部コアを製造することもできる等種々変更実
施が可能である。
ガラス棒を用いた例について説明したが、その形状は問
わないのはもちろんであり、また、第１実施例のように
金属膜を形成しない場合には、例えば従来例で示した特
開平２−２７３３０９に示されるようにＶ型溝を設ける
ことなく上部コアを製造することもできる等種々変更実
施が可能である。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明によるマルチトラ
ック薄膜磁気ヘッド用の上部コアの製造方法では、ガラ
ス材を加熱溶融する工程を不活性ガス雰囲気中で所定の
加圧下で行うようにしただけであるため、フェライト基
板に対する切削加工並びに切断加工や、ガラス材を加熱
溶融させてトラック溝内並びにコア分離溝内に流し込む
といった従来から行われている製造工程をそのまま使用
することができる。 そして、不活性ガス雰囲気中でし
かも加圧下で加熱処理をしたため、溶融したガラスが加
圧力により溝内にスムーズに押し込まれるため、それに
ともない溝内に存在してしたガスが外部に押し出され、
内部にとどまることが少なくなるとともに、流れ込み時
のガスの巻き込みも低減される。また、その様に押し込
まれる結果、比較的短時間で充填作業が終了するため、
ガラス材とフェライトとの接触時間が短縮され、両者間
で発生する反応ガスの量も減少する。しかも、加圧した
ことにより作業温度を低くしてもガラスを充填すること
ができるようになったため、その温度低下にともないガ
ラス材とフェライトとの反応が抑えられ、それによって
も反応ガスの発生が抑制される。その結果、気泡の発生
を可及的に抑制された上部コアを製造することができ
る。
ック薄膜磁気ヘッド用の上部コアの製造方法では、ガラ
ス材を加熱溶融する工程を不活性ガス雰囲気中で所定の
加圧下で行うようにしただけであるため、フェライト基
板に対する切削加工並びに切断加工や、ガラス材を加熱
溶融させてトラック溝内並びにコア分離溝内に流し込む
といった従来から行われている製造工程をそのまま使用
することができる。 そして、不活性ガス雰囲気中でし
かも加圧下で加熱処理をしたため、溶融したガラスが加
圧力により溝内にスムーズに押し込まれるため、それに
ともない溝内に存在してしたガスが外部に押し出され、
内部にとどまることが少なくなるとともに、流れ込み時
のガスの巻き込みも低減される。また、その様に押し込
まれる結果、比較的短時間で充填作業が終了するため、
ガラス材とフェライトとの接触時間が短縮され、両者間
で発生する反応ガスの量も減少する。しかも、加圧した
ことにより作業温度を低くしてもガラスを充填すること
ができるようになったため、その温度低下にともないガ
ラス材とフェライトとの反応が抑えられ、それによって
も反応ガスの発生が抑制される。その結果、気泡の発生
を可及的に抑制された上部コアを製造することができ
る。
【００２５】また、Ｖ型溝に金属膜を形成した後、その
金属膜に接触するようにしてガラス材を載置し、加熱処
理をした場合には、金属膜によりガラス材とフェライト
とが直接接触するのが抑制されるため、フェライトとガ
ラス材との反応に伴い生じるガスの発生量を抑えること
ができる。さらに、金属膜とガラス材との濡れ性はフェ
ライトとガラス材とのそれに比し悪いため、溶融したガ
ラスは金属膜から弾けるようにして下降移動し溝内に流
れ込むことになり、上記した効果がより顕著に現れる。
金属膜に接触するようにしてガラス材を載置し、加熱処
理をした場合には、金属膜によりガラス材とフェライト
とが直接接触するのが抑制されるため、フェライトとガ
ラス材との反応に伴い生じるガスの発生量を抑えること
ができる。さらに、金属膜とガラス材との濡れ性はフェ
ライトとガラス材とのそれに比し悪いため、溶融したガ
ラスは金属膜から弾けるようにして下降移動し溝内に流
れ込むことになり、上記した効果がより顕著に現れる。
【図１】本発明に係るマルチトラック薄膜磁気ヘッド用
の上部コアの製造方法の第２実施例を示す作業工程図で
ある。
の上部コアの製造方法の第２実施例を示す作業工程図で
ある。
【図２】従来のマルチトラック薄膜磁気ヘッドの製造方
法の一例を示す作業工程図である。
法の一例を示す作業工程図である。
１ フェライト基板 ２ トラック溝 ３ コア分離溝 ４ Ｖ型溝 ５ ガラス棒（ガラス材） ７ 上部コア １２ 金属膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中野 尊之 東京都港区新橋５丁目36番11号 富士電 気化学株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−166310（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−127307（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−73847（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】 マルチトラック薄膜磁気ヘッド用の上部
コアの所定面に形成されたトラック溝並びにコア分離溝
内にガラス材を溶融充填するに際し、不活性ガス雰囲気
中の加圧下で加熱することを特徴とするマルチ薄膜磁気
ヘッド用の上部コアの製造方法。 - 【請求項２】前記トラック溝並びに前記コア分離溝の少
なくとも一方の上方に上部拡開したＶ型溝を形成し、そ
のＶ型溝の表面に金属膜を形成し、その金属膜に接触状
態で前記ガラス材を載置し、次いで、そのガラス材を不
活性ガス雰囲気中の加圧下で加熱して前記両溝内に溶融
充填し、その後前記Ｖ型溝部分を含むコア部位を切除す
ることを特徴とする請求項１に記載のマルチ薄膜磁気ヘ
ッド用の上部コアの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26133591A JP2673143B2 (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | マルチトラック薄膜磁気ヘッド用の上部コアの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26133591A JP2673143B2 (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | マルチトラック薄膜磁気ヘッド用の上部コアの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0644532A JPH0644532A (ja) | 1994-02-18 |
| JP2673143B2 true JP2673143B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=17360394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26133591A Expired - Lifetime JP2673143B2 (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | マルチトラック薄膜磁気ヘッド用の上部コアの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2673143B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3497276B2 (ja) * | 1994-07-20 | 2004-02-16 | 松下電器産業株式会社 | インダクタンス素子とその製造方法 |
| WO2017082662A1 (ko) * | 2015-11-11 | 2017-05-18 | 주식회사 아모텍 | 페라이트 시트의 제조방법 및 이를 이용한 페라이트 시트 |
-
1991
- 1991-09-13 JP JP26133591A patent/JP2673143B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0644532A (ja) | 1994-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970304 |