JP2000036104A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JP2000036104A JP2000036104A JP10202991A JP20299198A JP2000036104A JP 2000036104 A JP2000036104 A JP 2000036104A JP 10202991 A JP10202991 A JP 10202991A JP 20299198 A JP20299198 A JP 20299198A JP 2000036104 A JP2000036104 A JP 2000036104A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 金属磁性膜を用いた磁気ヘッドにおいて、磁
気コア接合に使用される封着用ガラスはある作業温度を
有するものに制約されると共に、ガラスは機械的強度に
劣り、加工負荷によってガラスクラックが発生するなど
信頼性に欠ける。 【解決手段】 摺動面６側及びバック５側に封着される
ガラスＡ，Ｂを加圧しながら熱処理することで、作業温
度よりも低い温度でガラスを充填することができる。従
って同じ熱処理温度でもより作業温度が高く機械的強度
の大きいガラスを選択することが可能となり、コア接合
強度を向上させた高信頼性の磁気ヘッドを得ることがで
きる。また、後工程でこの磁気ヘッドチップをガラスモ
ールドする必要がある場合でも、信頼性の高い高融点の
モールドガラスを選択することができる。
気コア接合に使用される封着用ガラスはある作業温度を
有するものに制約されると共に、ガラスは機械的強度に
劣り、加工負荷によってガラスクラックが発生するなど
信頼性に欠ける。 【解決手段】 摺動面６側及びバック５側に封着される
ガラスＡ，Ｂを加圧しながら熱処理することで、作業温
度よりも低い温度でガラスを充填することができる。従
って同じ熱処理温度でもより作業温度が高く機械的強度
の大きいガラスを選択することが可能となり、コア接合
強度を向上させた高信頼性の磁気ヘッドを得ることがで
きる。また、後工程でこの磁気ヘッドチップをガラスモ
ールドする必要がある場合でも、信頼性の高い高融点の
モールドガラスを選択することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＶＴＲやＦＤＤ、
データストリーマなどの磁気記録再生装置に使用される
磁気ヘッド及びその製造方法に関するものである。
データストリーマなどの磁気記録再生装置に使用される
磁気ヘッド及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ディジタル機器は業務用のみなら
ず家庭用としても身近に普及してきており、大量の情報
を取り扱うシステム、デバイスの開発が盛んである。磁
気記録の分野においても、例えばディジタルＶＴＲのよ
うにより高密度な記録を実現するため蒸着テープなどの
高抗磁力を有する記録媒体の開発が行われ、磁気ヘッド
としてはこのような高抗磁力媒体に対して充分な書き込
みができるよう、飽和磁束密度の高い金属磁性膜を用い
たものが一般に使われるようになっている。そのような
磁気ヘッドの代表例としては、従来から広く用いられて
いるフェライトのような酸化物磁性体からなる磁気コア
のギャップ近傍にのみ高飽和磁束密度の金属磁性膜を形
成した、いわゆるＭＩＧヘッドがある。
ず家庭用としても身近に普及してきており、大量の情報
を取り扱うシステム、デバイスの開発が盛んである。磁
気記録の分野においても、例えばディジタルＶＴＲのよ
うにより高密度な記録を実現するため蒸着テープなどの
高抗磁力を有する記録媒体の開発が行われ、磁気ヘッド
としてはこのような高抗磁力媒体に対して充分な書き込
みができるよう、飽和磁束密度の高い金属磁性膜を用い
たものが一般に使われるようになっている。そのような
磁気ヘッドの代表例としては、従来から広く用いられて
いるフェライトのような酸化物磁性体からなる磁気コア
のギャップ近傍にのみ高飽和磁束密度の金属磁性膜を形
成した、いわゆるＭＩＧヘッドがある。
【０００３】このように金属磁性膜を磁気ヘッドに用い
る場合、金属磁性膜の磁気特性が劣化するのを避けるた
めガラスを溶融させ磁気コア半体を接合する熱処理工程
での作業温度が制約を受ける。例えば一般に非晶質合金
においては５００〜６００℃の熱処理で結晶化し磁気特
性が劣化してしまうために、磁気コア接合用ガラスとし
ても従来のフェライトヘッドに用いてきた高融点ガラス
とは異なり、軟化点がせいぜい５００℃以下程度の低融
点ガラスを用いる必要がある。
る場合、金属磁性膜の磁気特性が劣化するのを避けるた
めガラスを溶融させ磁気コア半体を接合する熱処理工程
での作業温度が制約を受ける。例えば一般に非晶質合金
においては５００〜６００℃の熱処理で結晶化し磁気特
性が劣化してしまうために、磁気コア接合用ガラスとし
ても従来のフェライトヘッドに用いてきた高融点ガラス
とは異なり、軟化点がせいぜい５００℃以下程度の低融
点ガラスを用いる必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような低融点ガラ
スは機械的強度に劣り、磁気コア接合以降の機械加工負
荷によりガラスクラックが発生して歩留まりを低下させ
てしまう。そこで低融点ガラスの中でも可能な限り高
い、すなわち金属磁性膜の磁気特性が劣化しない温度域
上限付近に作業温度を有するガラスがＭＩＧヘッドにお
ける磁気コア接合用として選択される。ここで作業温度
とは、ガラスの粘度が１０３〜１０４ポアズになる温度
である。特に摺動面側に封着されるガラスについては機
械的強度の確保はもちろんのこと、磁性膜との反応や偏
磨耗によるインターフェイス上の問題を起こさないよう
に、より信頼性の高いガラスを用いる必要がある。これ
を可能にするため特公平６−１５０２３０号公報では、
摺動面側に封着されるガラスを加圧しながら熱処理をす
れば、本来ガラスが流動する温度よりも低い熱処理温度
でガラスを封着できると報告されており、この手法を用
いれば同じ熱処理温度でもより作業温度の高い、高信頼
性のガラスを選択することができる。しかしながら、磁
気ヘッドとしての信頼性を評価するとき、そのコア接合
強度は体積からしてコアのバック側に封着されるガラス
の機械的強度に大きく依存しており、これをより高融点
のガラスにすることが重要である。加えて、高密度フロ
ッピーディスク用磁気ヘッドなどにおいては磁気ヘッド
チップをスライダーにガラスモールドする工程があり、
このモールドガラスについても当然ながら高信頼性が要
求されることから、可能な限り高い作業温度を有するモ
ールドガラスを選択する必要があるが、磁気コアのバッ
ク側ガラスの作業温度に近い温度でガラスモールドを行
うとバック側ガラスが軟化し、磁気コアのバックギャッ
プが開いてしまうということが発生する。
スは機械的強度に劣り、磁気コア接合以降の機械加工負
荷によりガラスクラックが発生して歩留まりを低下させ
てしまう。そこで低融点ガラスの中でも可能な限り高
い、すなわち金属磁性膜の磁気特性が劣化しない温度域
上限付近に作業温度を有するガラスがＭＩＧヘッドにお
ける磁気コア接合用として選択される。ここで作業温度
とは、ガラスの粘度が１０３〜１０４ポアズになる温度
である。特に摺動面側に封着されるガラスについては機
械的強度の確保はもちろんのこと、磁性膜との反応や偏
磨耗によるインターフェイス上の問題を起こさないよう
に、より信頼性の高いガラスを用いる必要がある。これ
を可能にするため特公平６−１５０２３０号公報では、
摺動面側に封着されるガラスを加圧しながら熱処理をす
れば、本来ガラスが流動する温度よりも低い熱処理温度
でガラスを封着できると報告されており、この手法を用
いれば同じ熱処理温度でもより作業温度の高い、高信頼
性のガラスを選択することができる。しかしながら、磁
気ヘッドとしての信頼性を評価するとき、そのコア接合
強度は体積からしてコアのバック側に封着されるガラス
の機械的強度に大きく依存しており、これをより高融点
のガラスにすることが重要である。加えて、高密度フロ
ッピーディスク用磁気ヘッドなどにおいては磁気ヘッド
チップをスライダーにガラスモールドする工程があり、
このモールドガラスについても当然ながら高信頼性が要
求されることから、可能な限り高い作業温度を有するモ
ールドガラスを選択する必要があるが、磁気コアのバッ
ク側ガラスの作業温度に近い温度でガラスモールドを行
うとバック側ガラスが軟化し、磁気コアのバックギャッ
プが開いてしまうということが発生する。
【０００５】本発明は、このような課題を解決し高密度
磁気記録を実現する磁気ヘッドの製造工程における歩留
まり及び信頼性の向上を図る磁気ヘッド及びその製造方
法を提供することを目的とする。
磁気記録を実現する磁気ヘッドの製造工程における歩留
まり及び信頼性の向上を図る磁気ヘッド及びその製造方
法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】磁気ヘッドの製造工程に
おいて一対の磁気コア半体を接合するとき、一般にバッ
ク側に形成されたガラス溝及び巻線溝の中にガラスファ
イバーを挿入し、これらのガラスの作業温度前後で熱処
理しガラスを溶融させることでトラック幅規制溝内にガ
ラスを自重で流し込み磁気コア半体を接合する。これに
対し本発明では、摺動面側及びバック側からガラスファ
イバーを加圧しながらガラスの作業温度よりも低い温度
で熱処理を行い、トラック幅規制溝内にガラスを圧入す
る。この方法によると、従来から用いてきた磁気コア接
合用ガラスより更に高融点で機械的強度の大きいガラス
を摺動面側及びバック側に封着することができるため磁
気ヘッドのコア接合強度が向上し、ガラスクラックなど
による歩留まりの低下を防ぐことができ、金属磁性膜を
用いた磁気ヘッドであっても信頼性の高い、高品質なも
のにすることができる。またこの工法を用いれば、従来
と比較して熱処理する温度、雰囲気の微少なバラツキや
ガラスの熱収縮から生じる、ガラス充填量のバラツキが
抑制される利点もある。更に、高密度フロッピーディス
ク用磁気ヘッドなどの製造においては、磁気ヘッドチッ
プをスライダにモールドするときに使用するガラスの作
業温度についても従来より高く設定でき、高信頼性スラ
イダチップを得ることができる。なお、ＭＩＧヘッドの
他にフェライトヘッドにおいても、熱処理温度を高く設
定すると封着ガラスがフェライトを浸食してトラック幅
やギャップ長精度を劣化させることがあるが、本発明の
手法を用いれば、ガラス材料は同じでも温度を下げて封
着できるため、磁気ヘッドの信頼性を下げることなく浸
食のような問題は解消される。
おいて一対の磁気コア半体を接合するとき、一般にバッ
ク側に形成されたガラス溝及び巻線溝の中にガラスファ
イバーを挿入し、これらのガラスの作業温度前後で熱処
理しガラスを溶融させることでトラック幅規制溝内にガ
ラスを自重で流し込み磁気コア半体を接合する。これに
対し本発明では、摺動面側及びバック側からガラスファ
イバーを加圧しながらガラスの作業温度よりも低い温度
で熱処理を行い、トラック幅規制溝内にガラスを圧入す
る。この方法によると、従来から用いてきた磁気コア接
合用ガラスより更に高融点で機械的強度の大きいガラス
を摺動面側及びバック側に封着することができるため磁
気ヘッドのコア接合強度が向上し、ガラスクラックなど
による歩留まりの低下を防ぐことができ、金属磁性膜を
用いた磁気ヘッドであっても信頼性の高い、高品質なも
のにすることができる。またこの工法を用いれば、従来
と比較して熱処理する温度、雰囲気の微少なバラツキや
ガラスの熱収縮から生じる、ガラス充填量のバラツキが
抑制される利点もある。更に、高密度フロッピーディス
ク用磁気ヘッドなどの製造においては、磁気ヘッドチッ
プをスライダにモールドするときに使用するガラスの作
業温度についても従来より高く設定でき、高信頼性スラ
イダチップを得ることができる。なお、ＭＩＧヘッドの
他にフェライトヘッドにおいても、熱処理温度を高く設
定すると封着ガラスがフェライトを浸食してトラック幅
やギャップ長精度を劣化させることがあるが、本発明の
手法を用いれば、ガラス材料は同じでも温度を下げて封
着できるため、磁気ヘッドの信頼性を下げることなく浸
食のような問題は解消される。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、酸化物磁性体からなる磁気コアのギャップ近傍に強
磁性非晶質合金膜を形成した磁気ヘッドにおいて、摺動
面側に封着されるガラスＡ及びバック側に封着されるガ
ラスＢの作業温度が、上記非晶質合金の結晶化温度より
も高いことを特徴とする磁気ヘッドであり、機械的強度
の高いガラスを用いた高信頼性と非晶質合金の優れた磁
気特性を併せ持つ、高密度磁気記録用磁気ヘッドとして
適したものである。
は、酸化物磁性体からなる磁気コアのギャップ近傍に強
磁性非晶質合金膜を形成した磁気ヘッドにおいて、摺動
面側に封着されるガラスＡ及びバック側に封着されるガ
ラスＢの作業温度が、上記非晶質合金の結晶化温度より
も高いことを特徴とする磁気ヘッドであり、機械的強度
の高いガラスを用いた高信頼性と非晶質合金の優れた磁
気特性を併せ持つ、高密度磁気記録用磁気ヘッドとして
適したものである。
【０００８】請求項２に記載の発明は、酸化物磁性体か
らなる磁気コアのギャップ近傍に金属磁性膜を形成した
磁気ヘッドにおいて、摺動面側に封着されるガラスＡ及
びバック側に封着されるガラスＢをそれぞれ加圧しなが
ら封着ガラスＡ及びＢの作業温度よりも低い温度で熱処
理し、一対の磁気コアブロックを接合することを特徴と
する磁気ヘッドの製造方法であり、このようにガラスを
加圧して熱処理することで、金属磁性膜の磁気特性を考
慮して磁気コア接合温度が制約を受ける場合において
も、より高融点で機械的強度の大きいガラスを用いるこ
とが可能となり、コア接合強度を向上させた高信頼性の
磁気ヘッドを得ることができる。なおガラスＡとＢは同
一のものでも全く差し支えない。
らなる磁気コアのギャップ近傍に金属磁性膜を形成した
磁気ヘッドにおいて、摺動面側に封着されるガラスＡ及
びバック側に封着されるガラスＢをそれぞれ加圧しなが
ら封着ガラスＡ及びＢの作業温度よりも低い温度で熱処
理し、一対の磁気コアブロックを接合することを特徴と
する磁気ヘッドの製造方法であり、このようにガラスを
加圧して熱処理することで、金属磁性膜の磁気特性を考
慮して磁気コア接合温度が制約を受ける場合において
も、より高融点で機械的強度の大きいガラスを用いるこ
とが可能となり、コア接合強度を向上させた高信頼性の
磁気ヘッドを得ることができる。なおガラスＡとＢは同
一のものでも全く差し支えない。
【０００９】請求項３に記載の発明は、酸化物磁性体か
らなる磁気コアのギャップ近傍に金属磁性膜を形成した
磁気ヘッドにおいて、摺動面側に封着されるガラスＡ及
びバック側に封着されるガラスＢを熱膨張係数の大きな
物質で同時に加圧しながら封着ガラスＡ及びＢの作業温
度よりも低い温度で熱処理し、一対の磁気コアプレート
を接合することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法であ
り、このように合理化の一手法である、プレート接合工
法においてガラスを加圧して熱処理することで、金属磁
性膜の磁気特性を考慮して磁気コア接合温度が制約を受
ける場合においても、より高融点で機械的強度の大きい
ガラスを用いることが可能となり、コア接合強度を向上
させた高信頼性の磁気ヘッドを得ることができる。
らなる磁気コアのギャップ近傍に金属磁性膜を形成した
磁気ヘッドにおいて、摺動面側に封着されるガラスＡ及
びバック側に封着されるガラスＢを熱膨張係数の大きな
物質で同時に加圧しながら封着ガラスＡ及びＢの作業温
度よりも低い温度で熱処理し、一対の磁気コアプレート
を接合することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法であ
り、このように合理化の一手法である、プレート接合工
法においてガラスを加圧して熱処理することで、金属磁
性膜の磁気特性を考慮して磁気コア接合温度が制約を受
ける場合においても、より高融点で機械的強度の大きい
ガラスを用いることが可能となり、コア接合強度を向上
させた高信頼性の磁気ヘッドを得ることができる。
【００１０】請求項４に記載の発明は、摺動面側に封着
されるガラスＡ及びバック側に封着されるガラスＢの軟
化点より高い温度で熱処理することを特徴とする請求項
２または請求項３記載の磁気ヘッドの製造方法であり、
このように軟化点以上の温度範囲でガラスＡ及びガラス
Ｂに適切な荷重を選択し熱処理することで、ガラス中に
残留歪みを残さずガラス本来の機械的強度を確保した高
信頼性の磁気ヘッドを得ることができる。ここで軟化点
とは、ガラスの粘度が４．５×１０７ポアズになる温度
である。
されるガラスＡ及びバック側に封着されるガラスＢの軟
化点より高い温度で熱処理することを特徴とする請求項
２または請求項３記載の磁気ヘッドの製造方法であり、
このように軟化点以上の温度範囲でガラスＡ及びガラス
Ｂに適切な荷重を選択し熱処理することで、ガラス中に
残留歪みを残さずガラス本来の機械的強度を確保した高
信頼性の磁気ヘッドを得ることができる。ここで軟化点
とは、ガラスの粘度が４．５×１０７ポアズになる温度
である。
【００１１】以下、本発明の実施の形態について、図面
を用いて説明する。 （実施の形態１）図１から図６は、実際に作製した磁気
ヘッドの製造工程を示すものである。なお、今回の実施
例ではガラスファイバーＡ及びＢは全く同一組成のもの
を使用しており、作業温度は共に約５５０℃である。
を用いて説明する。 （実施の形態１）図１から図６は、実際に作製した磁気
ヘッドの製造工程を示すものである。なお、今回の実施
例ではガラスファイバーＡ及びＢは全く同一組成のもの
を使用しており、作業温度は共に約５５０℃である。
【００１２】まず図１において、一対の酸化物磁性体１
ａ、１ｂのギャップ対向面２ａ、２ｂを研磨して所定の
面粗さに仕上げた後、ギャップ対向面２ａ、２ｂ上にト
ラック幅規制溝３、巻線溝４、バック側ガラス溝５、摺
動面側ガラス設置溝６を形成する。次に図２において、
ギャップ対向面２ａ、２ｂ上に結晶化温度が約５２０℃
のＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒ−Ｔａ非晶質合金膜７及びギャップ
形成酸化膜８をスパッタリング法により順次形成し、図
３においてギャップ対向面２ａ、２ｂ同士を突き合わせ
てコア側面から加圧し固定する。次にガラスファイバー
Ａを摺動面側ガラス設置溝６に設置した後、弾性治具９
ａを前記ガラスファイバーＡ上に設置して約１５０ｇの
荷重を与える。同様に図４において、一対の磁気コアを
上下逆にし、同様にガラスファイバーＢをバックガラス
溝５に設置した後、弾性治具９ｂを前記ガラスファイバ
ーＢ上に設置して約１５０ｇの荷重を与える。ここでガ
ラスに与える荷重については、大きすぎると熱処理後の
ガラス内部に残留する歪みが増大し、逆にガラスの機械
的強度を極度に低下させてしまうことがあるので、使用
するガラスの物性によって荷重の最適化が必要となる。
続いてこれを５００℃にて熱処理することでガラスファ
イバーＡ及びＢを軟化させ、トラック幅規制溝内に充填
して一対のコア半体を接合する。
ａ、１ｂのギャップ対向面２ａ、２ｂを研磨して所定の
面粗さに仕上げた後、ギャップ対向面２ａ、２ｂ上にト
ラック幅規制溝３、巻線溝４、バック側ガラス溝５、摺
動面側ガラス設置溝６を形成する。次に図２において、
ギャップ対向面２ａ、２ｂ上に結晶化温度が約５２０℃
のＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒ−Ｔａ非晶質合金膜７及びギャップ
形成酸化膜８をスパッタリング法により順次形成し、図
３においてギャップ対向面２ａ、２ｂ同士を突き合わせ
てコア側面から加圧し固定する。次にガラスファイバー
Ａを摺動面側ガラス設置溝６に設置した後、弾性治具９
ａを前記ガラスファイバーＡ上に設置して約１５０ｇの
荷重を与える。同様に図４において、一対の磁気コアを
上下逆にし、同様にガラスファイバーＢをバックガラス
溝５に設置した後、弾性治具９ｂを前記ガラスファイバ
ーＢ上に設置して約１５０ｇの荷重を与える。ここでガ
ラスに与える荷重については、大きすぎると熱処理後の
ガラス内部に残留する歪みが増大し、逆にガラスの機械
的強度を極度に低下させてしまうことがあるので、使用
するガラスの物性によって荷重の最適化が必要となる。
続いてこれを５００℃にて熱処理することでガラスファ
イバーＡ及びＢを軟化させ、トラック幅規制溝内に充填
して一対のコア半体を接合する。
【００１３】その後、図５において前記コアを所定のチ
ップ形状に加工した後、アジマス角をつけて切断する。
このようにして図６に示すような、酸化物磁性体コア半
体１ａ、１ｂ、金属磁性膜７、ギャップ形成酸化物８、
摺動面側ガラスＡ及びバック側ガラスＢより構成される
磁気ヘッドチップを得ることができた。
ップ形状に加工した後、アジマス角をつけて切断する。
このようにして図６に示すような、酸化物磁性体コア半
体１ａ、１ｂ、金属磁性膜７、ギャップ形成酸化物８、
摺動面側ガラスＡ及びバック側ガラスＢより構成される
磁気ヘッドチップを得ることができた。
【００１４】（表１）に上記の製造方法により得られた
磁気ヘッドのコア接合強度及び、従来の製造方法と摺動
面側ガラスのみ加圧する特公平６−１５０２３０号公報
に記載された製造方法により得られた磁気ヘッドのコア
接合強度の値を示す。（表１）において、従来の製造方
法と同じ熱処理温度であるにもかかわらず、より高融点
のガラスを摺動面側及びバック側に充填しているため、
コア接合強度は飛躍的に向上していることがわかる。磁
気ヘッドの機械加工中に発生するガラスクラックも抑制
されて歩留まりが向上し、高い信頼性を持つ磁気ヘッド
を得ることができた。
磁気ヘッドのコア接合強度及び、従来の製造方法と摺動
面側ガラスのみ加圧する特公平６−１５０２３０号公報
に記載された製造方法により得られた磁気ヘッドのコア
接合強度の値を示す。（表１）において、従来の製造方
法と同じ熱処理温度であるにもかかわらず、より高融点
のガラスを摺動面側及びバック側に充填しているため、
コア接合強度は飛躍的に向上していることがわかる。磁
気ヘッドの機械加工中に発生するガラスクラックも抑制
されて歩留まりが向上し、高い信頼性を持つ磁気ヘッド
を得ることができた。
【００１５】
【表１】 （実施の形態２）図７から図８は、プレート形状の磁気
コアから磁気ヘッドを作製する製造工程を示すものであ
る。なお、ここでもガラスファイバーＡ及びＢは全く同
一組成のものを使用しており、作業温度は共に約５５０
℃である。
コアから磁気ヘッドを作製する製造工程を示すものであ
る。なお、ここでもガラスファイバーＡ及びＢは全く同
一組成のものを使用しており、作業温度は共に約５５０
℃である。
【００１６】まず図７において、酸化物磁性体からなる
１対の磁気コアプレート１０ａ、１０ｂのギャップ対向
面１１ａ、１１ｂを研磨して所定の面粗さに仕上げた
後、ギャップ対向面１１ａ、１１ｂ上にトラック幅規制
溝３、巻線溝４、及びバック側ガラス溝と摺動面側ガラ
ス設置溝を兼用した形状を有するガラス溝１２を複数本
形成する。次に前記実施の形態１と同様のスパッタリン
グ工程を経て、対向面同士を突き合わせて磁気コアプレ
ート側面から加圧し固定する。
１対の磁気コアプレート１０ａ、１０ｂのギャップ対向
面１１ａ、１１ｂを研磨して所定の面粗さに仕上げた
後、ギャップ対向面１１ａ、１１ｂ上にトラック幅規制
溝３、巻線溝４、及びバック側ガラス溝と摺動面側ガラ
ス設置溝を兼用した形状を有するガラス溝１２を複数本
形成する。次に前記実施の形態１と同様のスパッタリン
グ工程を経て、対向面同士を突き合わせて磁気コアプレ
ート側面から加圧し固定する。
【００１７】次に図８において、ガラスファイバーＡ及
びＢを前記ガラス溝１２内に、４８０℃付近で相変態を
起こし形状記憶効果を有する合金から成る角材１３を介
して設置した後、これを５００℃にて熱処理することで
前記角材１３が垂直方向に変形を起こすことで前記ガラ
スファイバーＡ及びＢが同時に加圧され、トラック幅規
制溝内にガラスが封着されるとともに、磁気コアプレー
トを接合する。このプレートから複数本の磁気コアブロ
ックが切り出され、実施の形態１と同様の工程を経て高
信頼性かつ合理化プレート工法によりコストダウンを推
進した磁気ヘッドを得ることができた。
びＢを前記ガラス溝１２内に、４８０℃付近で相変態を
起こし形状記憶効果を有する合金から成る角材１３を介
して設置した後、これを５００℃にて熱処理することで
前記角材１３が垂直方向に変形を起こすことで前記ガラ
スファイバーＡ及びＢが同時に加圧され、トラック幅規
制溝内にガラスが封着されるとともに、磁気コアプレー
トを接合する。このプレートから複数本の磁気コアブロ
ックが切り出され、実施の形態１と同様の工程を経て高
信頼性かつ合理化プレート工法によりコストダウンを推
進した磁気ヘッドを得ることができた。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、摺動面側
及びバック側に封着される磁気コア接合用ガラスを加圧
しながらガラスの作業温度より低い温度で熱処理し充填
する手法によって従来よりも高融点のガラスを選択する
ことが可能となる。その結果、金属磁性膜を用いた磁気
ヘッドにおいて、磁気ヘッド加工中に発生するガラスク
ラック不良率を低減し、かつコア接合強度を高めた高信
頼性の磁気ヘッドを得ることができる。
及びバック側に封着される磁気コア接合用ガラスを加圧
しながらガラスの作業温度より低い温度で熱処理し充填
する手法によって従来よりも高融点のガラスを選択する
ことが可能となる。その結果、金属磁性膜を用いた磁気
ヘッドにおいて、磁気ヘッド加工中に発生するガラスク
ラック不良率を低減し、かつコア接合強度を高めた高信
頼性の磁気ヘッドを得ることができる。
【図１】本発明の実施の形態１による磁気ヘッドの製造
方法を示す斜視図
方法を示す斜視図
【図２】本発明の実施の形態１による磁気ヘッドの製造
方法を示す斜視図
方法を示す斜視図
【図３】本発明の実施の形態１による磁気ヘッドの製造
方法を示す斜視図
方法を示す斜視図
【図４】本発明の実施の形態１による磁気ヘッドの製造
方法を示す斜視図
方法を示す斜視図
【図５】本発明の実施の形態１による磁気ヘッドの製造
方法を示す斜視図
方法を示す斜視図
【図６】本発明の実施の形態１による磁気ヘッドの製造
方法を示す斜視図
方法を示す斜視図
【図７】本発明の実施の形態２による磁気ヘッドの製造
方法を示す斜視図
方法を示す斜視図
【図８】本発明の実施の形態２による磁気ヘッドの製造
方法を示す斜視図
方法を示す斜視図
１ａ、１ｂ 酸化物磁性体コアブロック ２ａ、２ｂ ギャップ対向面 ３ トラック幅規制溝 ４ 巻線溝 ５ バック側ガラス溝 ６ 摺動面側ガラス設置溝 ７ 金属磁性膜 ８ ギャップ形成酸化物 ９ａ、９ｂ 弾性治具 １０ａ、１０ｂ 酸化物磁性体コアプレート １１ａ、１１ｂ ギャップ対向面 １２ ガラス溝 １３ 形状記憶合金
Claims (4)
- 【請求項１】 酸化物磁性体からなる磁気コアのギャッ
プ近傍に強磁性非晶質合金膜を形成した磁気ヘッドにお
いて、摺動面側に封着されるガラスＡ及びバック側に封
着されるガラスＢの作業温度が、上記非晶質合金の結晶
化温度よりも高いことを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 酸化物磁性体からなる磁気コアのギャッ
プ近傍に金属磁性膜を形成した磁気ヘッドにおいて、摺
動面側に封着されるガラスＡ及びバック側に封着される
ガラスＢをそれぞれ加圧しながら封着ガラスＡ及びＢの
作業温度よりも低い温度で熱処理し、一対の磁気コアブ
ロックを接合することを特徴とする磁気ヘッドの製造方
法。 - 【請求項３】 酸化物磁性体からなる磁気コアのギャッ
プ近傍に金属磁性膜を形成した磁気ヘッドにおいて、摺
動面側に封着されるガラスＡ及びバック側に封着される
ガラスＢを熱膨張係数の大きな物質で同時に加圧しなが
ら封着ガラスＡ及びＢの作業温度よりも低い温度で熱処
理し、一対の磁気コアプレートを接合することを特徴と
する磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 摺動面側に封着されるガラスＡ及びバッ
ク側に封着されるガラスＢの軟化点より高い温度で熱処
理することを特徴とする請求項２または請求項３記載の
磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10202991A JP2000036104A (ja) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10202991A JP2000036104A (ja) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000036104A true JP2000036104A (ja) | 2000-02-02 |
Family
ID=16466530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10202991A Pending JP2000036104A (ja) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000036104A (ja) |
-
1998
- 1998-07-17 JP JP10202991A patent/JP2000036104A/ja active Pending
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