CN108349814B - 铁氧体片的制造方法及使用其的铁氧体片 - Google Patents

Abstract

根据本发明的铁氧体片的制造方法包括：步骤(1)，制备堆叠的铁氧体片成形体，在堆叠的各个所述铁氧体片成形体之间具有气体排出通道；及步骤(2)，对堆叠的所述铁氧体片成形体进行烧结。根据本发明，可以提高生产率，降低制造成本，并且可以通过使用在一个方向上反复的凹凸之间的气体排放通道来排放在燃烧粘合剂时产生的气体，从而可以防止在铁氧体片周边出现褶皱或起皱现象。并且，适用所述铁氧体片的电磁屏蔽材料的产品的耐久性和可靠性可以得到提高，因此能够应用于各种电子产品。

Description

铁氧体片的制造方法及使用其的铁氧体片

技术领域

本发明涉及一种铁氧体片的制造方法及使用其的铁氧体片，更详细地，涉及通过在表面上包括沿着一个方向重复设置的凹凸来能够提供气体的移动通道的铁氧体片的制造方法及使用其的铁氧体片。

背景技术

近年来，电子产品已经变得多功能、小型化、高速化以提高便携性和便利性等。这种趋势使电子电路结构变得更复杂，并且为了处理大量的数据而信号频率越来越高。电子产品的复杂化和高频率化成为产生电磁波的原因，并且所产生的电磁波导致外围电子部件的故障和损坏。并且，电磁波对人体有不良影响，因此在国际上限制其发生量。

因此，为了防止由于在电子产品产生的电磁波和外部电磁波引起的电子产品的故障而使用电磁屏蔽材料。作为所述电磁屏蔽材料，主要使用铁氧体片，铁氧体片是通过将铁氧体粉末与粘合剂等混合以成形为铁氧体片成形体，然后对所述铁氧体片成形体进行烧结来制成的。与此有关的现有技术是下述现有技术文献1公开的电磁波吸收材料、其制造方法以及使用其的用途。

所述铁氧体片以在两面分别粘合有保护膜和粘合带的形式用作电磁屏蔽材料。以往，在烧结铁氧体片时，为了确保生产率而以将铁氧体片成形体堆叠并烧结的方式制造铁氧体片。通过所述堆叠和烧结制造的铁氧体片被手分离，此时，经常发生烧结的铁氧体片破裂的问题。并且，通过上述铁氧体片的制造方法制成的铁氧体片不能在整个表面上均匀地受热，因此品质可能降低。

尤其，在堆叠铁氧体片成形体之后，无法容易地排放在烧结工序时产生的粘合剂燃烧气体，从而出现铁氧体片的褶皱或起皱现象，导致铁氧体片的品质差异。因此，迫切需要开发一种能够克服上述问题的技术。

发明内容

技术问题

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供可以防止由于在燃烧粘合剂时产生的气体而在铁氧体片出现褶皱或起皱现象并在铁氧体片的分离过程中可以使破损最小化的铁氧体片的制造方法及铁氧体片制造用转印基材。

并且，本发明的另一目的在于提供可以提高通过使用以所述方法制造的铁氧体片来制成的电磁屏蔽材料的产品耐久性和可靠性的铁氧体片。

解决问题的方案

为了达到上述目的，本发明提供一种铁氧体片的制造方法，其特征在于，包括：步骤(1)，制备堆叠有多个铁氧体片成形体并且在相邻的铁氧体片成形体之间具有气体排出通道的铁氧体层叠体；及步骤(2)，对堆叠的所述铁氧体片成形体进行烧结。

并且，根据本发明的一实施例，所述步骤(1)可以包括：步骤(1-1)，准备铁氧体片成形体；步骤(1-2)，在使所述铁氧体片成形体与在表面上包括沿着一个方向重复设置的凹凸的转印基材相接触之后，进行加压，从而将所述凹凸的反像转印到铁氧体片成形体的表面以形成气体排出通道；步骤(1-3)，堆叠多个所述铁氧体片成形体以准备铁氧体层叠体。

并且，在所述凹凸的反像中，从铁氧体片成形体的一个棱角处可以沿着与所述一个棱角相对的棱角的方向交替地形成峰部和谷部，所述峰部和谷部可以沿着剩下的两个棱角相对的方向连续。

并且，所述铁氧体片成形体在被加压的一面的相对面上还可包括载体材料。

并且，所述载体材料可以是将涂有选自由聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚乙烯、聚丙烯及聚碳酸酯组成的组中的至少一种聚合物的膜制成卷状的。

并且，所述转印基材可以是在一面上设置有凹凸的平板或在外面上设置有凹凸的辊。

并且，所述凹凸可被设置成使得转印到铁氧体片的所述凹凸的反像的垂直截面形状是多边形或弓形。

并且，在所述转印基材为在一面上设置有凹凸的平板时，可在使铁氧体片的上部一面和所述转印基材接触之后，在垂直于所述铁氧体片和所述转印基材的方向进行加压，以将凹凸的反像转印到铁氧体片的表面上。

并且，在所述转印基材为在外面上设置有凹凸的辊时，可在使铁氧体片的上部一面和所述转印基材接触之后，进行滚压，以在铁氧体片的表面上形成凹凸的反像。

并且，所述凹凸的截面宽度和高度之比率可以为1:0.2～1。

并且，所述凹凸的平均宽度可以为0.5～500μm，且平均高度可以为0.5～100μm。

并且，所述加压可以以10～100Mpa的压力进行。

并且，本发明的另一实施例提供一种铁氧体片，其特征在于，在至少一面包括凹凸，所述凹凸的垂直截面形状呈多边形或弓形，以便提供气体的排出通道，所述凹凸的截面宽度和高度之比率为1:0.2～1，平均宽度为0.5～500μm，平均高度为0.5～100μm。

并且，所述铁氧体片的平均粗糙度可以为0.8～20μm。

并且，本发明提供一种铁氧体片制造用转印基材，其特征在于，包括凹凸，所述凹凸从所述转印基材的一个棱角处沿着与所述一个棱角相对的棱角的方向交替地设置峰部和谷部而形成，所述峰部和谷部沿着剩下的两个棱角相对的方向连续。

并且，所述凹凸的截面宽度和高度之比率可以为1:0.2～1。

并且，所述凹凸的平均宽度可以为0.5～500μm，且平均高度为0.5～100μm。

发明的效果

根据本发明，可以通过简化铁氧体片的制造方法来提高生产率，降低制造成本，并且可以通过使用在一个方向上反复的凹凸之间的气体排放通道来排放在烧过粘合剂时产生的气体，从而可以防止在铁氧体片周边出现褶皱或起皱现象。并且，适用所述铁氧体片的电磁屏蔽材料的产品的耐久性和可靠性可以得到提高，因此能够应用于各种电子产品。

附图说明

图1为根据本发明的一实施例的使用在一面上设置有凹凸的平板作为转印基材的铁氧体片的制造方法的示意图。

图2为根据本发明的一实施例的使用在外面上设置有凹凸的辊作为转印基材的铁氧体片的制造方法的示意图。

图3为根据本发明的一实施例的凹凸的垂直断面图。

图4为根据本发明的一实施例的基于凹凸的垂直断面形状的转印基材的示意图。

图5为示出根据本发明的一实施例的基于凹凸的大小的铁氧体片的制造收率的图表。

图6为观察根据本发明的一实施例的设置有凹凸的铁氧体片的上部一面的扫描电子显微镜图像。

图7为观察根据本发明的一实施例的设置有凹凸的铁氧体片的截面的扫描电子显微镜图像。

图8为观察根据本发明的一实施例的基于转印基材的再使用的铁氧体片的截面的扫描电子显微镜图像。

图9为示出根据本发明的一实施例的铁氧体片层叠体的包括气体排出通道的侧部的示意图。

图10为示出铁氧体片的附图，即，图10a为示出具有在本发明的数值范围之外的数值的铁氧体片的附图，图10b为示出具有在本发明的数值范围之内的数值的铁氧体片的附图。

图11是通过光学显微镜分析铁氧体片的图表，即，图11a为示出具有在本发明的数值范围之外的数值的铁氧体片的附图，图11b为示出具有在本发明的数值范围之内的数值的铁氧体片的附图。

具体实施方式

在下文中，参考附图，会对本发明的实施方式进行详细描述，使得本发明可被本领域技术人员容易地实施。但是，应当注意的是，本发明并不限于这些实施方式，而可以多种其它方式实施。为了说明的简洁，在附图中，与描述无关的部件被省略，且纵贯全文，相同的参考数字表示相同的部件。

根据本发明的铁氧体片的制造方法包括：步骤(1)，制备堆叠有多个铁氧体片成形体并且在相邻的铁氧体片成形体之间具有气体排出通道的铁氧体层叠体；及步骤(2)，对堆叠所述铁氧体片成形体进行烧结。

另一方面，为了提高铁氧体片的制造收率和生产率，进行在堆叠铁氧体片成形体之后烧结的工序而不单独烧结铁氧体片成形体。在所述烧结工序中，由于粘合剂被燃烧而必须产生粘合剂燃烧气体。此时，由于所述粘合剂燃烧气体不容易从紧密堆积的铁氧体片成形体中排出，因此在堆叠的铁氧体片成形体之间的空间内以气体状态残留，从而在烧结工序后可能成为引起铁氧体片的褶皱和起皱现象的原因。

换句话说，与为了提高铁氧体片的制造收率和生产率而进行堆叠和烧结工序的初始目的不同地，由于在堆叠和烧结工序中产生的粘合剂燃烧气体的排放不良问题而无法期待所需的收率，可能反而出现降低生产率的工艺问题。

对此，在本发明中进行如下的铁氧体片的制造方法，即，在使铁氧体片成形体与在表面上包括沿着一个方向重复设置的凹凸的转印基材相接触之后，进行加压，从而将所述凹凸的反像转印到铁氧体片成形体的表面以形成气体排出通道，然后堆叠形成有所述气体排出通道的多个所述铁氧体片成形体，从而，可以解决在随后的烧结工序中粘结剂燃烧气体的排放不良问题。

所述步骤(1)可以包括：步骤(1-1)，准备铁氧体片成形体；步骤(1-2)，在使所述铁氧体片成形体与在表面上包括沿着一个方向重复设置的凹凸的转印基材相接触之后，进行加压，从而将所述凹凸的反像转印到铁氧体片成形体的表面以形成气体排出通道；及步骤(1-3)，堆叠多个所述铁氧体片成形体以准备铁氧体层叠体。

在所述步骤(1-1)中的堆叠的铁氧体片成形体处于在堆叠并烧结铁氧体片成形体之前的状态，并且，为了在铁氧体片成形体的表面上容易形成凹凸，可以在不影响所述铁氧体的磁性的范围内不受限制地进行公知的预处理工序。

其次，步骤(1-2)是通过在所述铁氧体片成形体形成凹凸来设置气体排出通道的步骤。用于在所述铁氧体片成形体形成凹凸的转印基材可以具有在一面上设置有凹凸的平板或在外面上设置有凹凸的辊的形式，在所述凹凸中，在铁氧体片成形体的一个棱角处可以沿着与所述一个棱角相对的棱角的方向交替地形成峰部和谷部，且所述峰部和谷部可以沿着剩下的两个棱角相对的方向连续。如图9所示，在包括如上所述形成的凹凸的铁氧体层叠体中，在烧结工序中产生的粘合剂燃烧通过在设置于一个铁氧体片成形体的凹凸和其上部的铁氧体片成形体之间形成的间隙(A区域)容易排放，因此能够预防如上所述的褶皱或起皱现象等工序问题。

此时，所述凹凸可被设置成使得转印到铁氧体片成形体的所述凹凸的反像的垂直截面形状是多边形或弓形。所述多边形可以包括三角形、梯形和矩形，并且所述弓形可以包括半圆形(参见图4)。

参照图1，在所述转印基材为在一面上设置有凹凸的平板时，可在使铁氧体片成形体的上部一面和所述转印基材接触之后，在垂直于所述铁氧体片成形体和所述转印基材的方向进行加压，以将在一个方向重复的凹凸形成在铁氧体片成形体的表面上。此时，具有所述凹凸的平板可重复使用20次以上，即使重复多次使用，也可获得同样的效果，因此可提高工序迅速性和经济性。并且，当重复设置相同形状的凹凸并将其转印时，可以在铁氧体片成形体的表面上形成重复的图案的凹凸。

并且，参照图2，在所述转印基材为在外面上设置有凹凸的辊时，可在使铁氧体片的上部一面和所述转印基材接触之后，进行滚压，以在铁氧体片成形体的表面上形成凹凸。此时，所述辊可以在外面包括用由热固性树脂材料形成的光学膜制成的凹凸。

此时，通过所述图1和图2形成的凹凸的截面宽度和高度之比率可以为1:0.2～1，优选为1:0.4～1。若所述凹凸的宽度和高度之比率小于1:0.2，由于通过所述凹凸形成的空间狭窄而难以充分发挥气体移动通道的作用，并且由于在燃烧粘合剂时产生的气体不能排放而出现铁氧体片的褶皱或起皱现象，从而可能降低片材成形性和产品收率。并且，若所述凹凸的宽度和高度之比率大于1:1，则在工序上存在难以形成凹凸的问题，即使形成凹凸，凹凸也在烧结铁氧体堆叠之后分离的过程中容易破损，由于破碎的异物而工序可靠性可能会降低。

并且，所述凹凸的平均宽度可以为0.5～500μm，平均高度可以为0.5～100μm，优选地，平均宽度可以为0.5～30μm，平均高度可以为0.5～15μm。更优选地，平均宽度可以为2～20μm，平均高度可以为0.5～10μm。若所述凹凸的平均宽度小于0.5μm，则可能存在铁氧体片的制造工序上收率显著降低的问题，若所述凹凸的平均宽度大于500μm，则由于形成凹凸的效果很小，因此存在在装载大量的铁氧体片来进行烧成时铁氧体片相互粘接而难以分离铁氧体片的问题。并且，若平均高度小于0.5μm，则存在铁氧体片的制造工序上收率显著降低的问题，若平均高度大于100μm，则铁氧体片的高度大于铁氧体片的厚度，因此可能对铁氧体片带来损伤。

在根据本发明的一实施例的铁氧体片的制造方法中，所述加压可以以10～100Mpa的压力进行，优选地，以30～80Mpa的压力进行。若以小于10Mpa的压力进行所述加压，则表面上的凹凸部分不被转印到铁氧体片成形体，或者，即使被转印到铁氧体片成形体，也转印得甚微，因此存在形成凹凸的效果降低的问题。若以大于100Mpa的压力进行所述加压，则由于过高的压力而凹凸被过度转印到铁氧体片成形体的表面上，因此可能存在损伤铁氧体片成形体的问题。

此时，作为一例，在所述步骤(1-2)中，所述铁氧体片成形体在被加压的一面的相对面上还可包括载体材料。例如，铁氧体片成形体可以设置在载体材料的上部。所述载体材料可以是将涂有纸类或选自由聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚乙烯、聚丙烯及聚碳酸酯组成的组中的至少一种聚合物的膜制成卷状的。当所述载体材料在与铁氧体片相同的平面上移动并对转印基材表面上的凹凸进行加压来将所述凹凸转印到铁氧体片上部一面时，所述载体材料可以用作持续转移所述铁氧体片的工具。

其次，进行堆叠多个所述铁氧体片成形体以准备铁氧体层叠体的步骤(1-3)。所述步骤(1-3)是将在步骤(1-2)中形成凹凸而包括气体排出通道的多个铁氧体片成形体堆叠来准备铁氧体层叠体的步骤。此时，通过将所述气体排出通道布置在各个铁氧体片成形体之间，从而可以有效地排出在后续的烧结步骤中产生的粘合剂燃烧气体，以能够有效地防止铁氧体片的褶皱或起皱现象。

其次，进行对所述堆叠的铁氧体片成形体进行烧结的步骤(2)。

在所述烧结工序中烧成可以在900～1300℃的温度下进行约1～5小时，此时的气氛可以是大气气氛或具有比大气更高的氧分压的气氛。在烧结所制造的铁氧体片后的烧结体的密度例如可以为5.0～5.3g/cm³。

并且，在本发明中实现为了在燃烧粘合剂时产生的气体的移动通道而在至少一面包括垂直断面呈多边形或弓形的凹凸的铁氧体片。根据本发明的铁氧体片可以根据上面记载的制造方法制成，对铁氧体片的说明与上述内容相同，因此将省略说明。

此时，所述凹凸的截面宽度和高度之比率可以为1:0.2～1，优选为1:0.4～1。若所述凹凸的宽度和高度之比率小于1:0.2，由于通过所述凹凸形成的空间狭窄而难以充分发挥气体移动通道的作用，若所述凹凸的宽度和高度之比率大于1:1，则在工序上存在难以形成凹凸的问题，并且在分离过程中由于凹凸的过高高度而可能发生破损。

并且，所述凹凸的平均宽度可以为0.5～500μm，平均高度可以为0.5～100μm，优选地，平均宽度可以为0.5～30μm，平均高度可以为0.5～15μm。更优选地，平均宽度可以为2～20μm，平均高度可以为0.5～10μm。若所述凹凸的平均宽度小于0.5μm，则可能存在铁氧体片的制造工序上收率显著降低的问题，若所述凹凸的平均宽度大于500μm，则由于形成凹凸的效果很小，因此存在在装载大量的铁氧体片来进行烧成时铁氧体片相互粘接而难以分离铁氧体片的问题。并且，若平均高度小于0.5μm，则存在铁氧体片的制造工序上收率显著降低的问题，若平均高度大于100μm，则铁氧体片的高度大于铁氧体片的厚度，因此可能对铁氧体片带来损伤。

并且，铁氧体片的平均粗糙度可以为1～20μm，更优选地，铁氧体片可以具有1～10μm的平均粗糙度。若所述铁氧体片的平均粗糙度小于1μm，则多张堆叠的铁氧体片的接触面积相对增加，从而在进行烧结后不容易分离，且由于在分离的过程中破损而导致收率降低。并且，若所述铁氧体片的平均粗糙度大于20μm，则反而根据表面粗糙度的电特性降低，从而适用铁氧体片的电子产品的可靠性可能降低。

并且，在本发明中实现一种铁氧体片制造用转印基材，其特征在于，包括凹凸，所述凹凸从转印基材的一个棱角处沿着与所述一个棱角相对的棱角的方向交替地设置峰部和谷部而形成，所述峰部和谷部沿着剩下的两个棱角相对的方向连续。所述转印基材可以用由热固性树脂材料形成的光学膜制成，所述转印基材可以是在表面上具有微单位的凹凸的光学膜。所述凹凸的截面宽度和高度之比率可以为1:0.2～1，所述凹凸的平均宽度可以为0.5～500μm，平均高度可以为0.5～100μm。

在下文中，将参照以下实施例更详细地描述本发明。但以下实施例仅为了本发明的示例而提出，而本发明的范围不受以下实施例的限制。

[实施例]

实施例1.铁氧体片成形体的制造

将铁氧体溶液涂布到PET膜的上部，然后干燥以制备铁氧体片成形体。之后，在所述铁氧体片成形体的上部一面上接触包括具有三角形垂直横截面、平均宽度为10μm且平均高度为3μm的重复设置的凹凸的薄膜形状的转印基材，然后使用等方向的静压计施加38MPa的压力来转印凹凸，由此制造具有气体排出通道的铁氧体片成形体。

实施例2～4.铁氧体片成形体的制造

除了在所述实施例1中使用具有与下表1中相同形状的凹凸的转印基材之外，与所述实施例1相同的方法制造铁氧体片成形体。

比较例1～4.铁氧体片成形体的制造

除了在所述实施例1中使用具有与下表1中相同形状的凹凸的转印基材之外，与所述实施例1相同的方法制造铁氧体片成形体。

[实验例1]

实验例1.分离收率测量

将在所述实施例和比较例中制备的铁氧体片成形体从转印基材上用手分离并切割成预定尺寸，然后同时堆叠30张，在1000℃的温度下烧结3小时，然后测量堆叠。

至于所述分离收率，用肉眼观察铁氧体片的外观，当出现裂纹或如产生孔等缺陷时，判定为不合格品，而当相对于铁氧体片的宽度和长度产生10％以上的皱纹时，判定为由于粘合剂气体燃烧不良的不合格品。根据下面的式1测量满足无缺陷产品标准的铁氧体片的最终数量，结果显示于下表1和图5中。

[式1]

分离收率(％)＝铁氧体片的最终数量/铁氧体片初始投入数量*100

【表1】

参照上表1和图5，可知铁氧体片成形体的凹凸的平均宽度、平均高度及其间之比率包括在本发明的数值范围内的实施例1～4呈现显著优异的分离收率。

与此相反，可知铁氧体片成形体的凹凸的平均宽度、平均高度及其间之比率具有在本发明的数值范围之外的数值的比较例1和2的情况下，分离产率显着降低。对此，参照图10a和图10b可以确认，在相当于比较例1的图10a的情况下，与相当于实施例1的图10b相比，细皱纹的数量显著大以至于用肉眼可判别皱纹，因此在烧结工序中粘合剂燃烧气体不能顺利排放，皱纹在铁氧体层叠体内部残留，从而良品判定率仅为8.3％。

并且，可知在由具有不规则形状的凹凸的转印基材制成的比较例3和4的情况下，即使满足本发明的平均粗糙度范围，分离收率也显着降低。即，如图11a和图11b所示，可知由于铁氧体片的表面形状的不规则性，在分离过程中片材被破坏，或粘合剂燃烧气体不能顺利排出。

结果，可知当用凹凸的形状具有根据本发明的数值范围的宽度、高度和宽度和高度之比率的转印基材制成铁氧体片时，能够容易分离铁氧体片，并且即使铁氧体片具有根据本发明的平均粗糙度，也如果凹凸的形状不符合本发明的数值范围，就不能获得所需的收率。

实施例5～8.铁氧体片成形体的制造

除了在所述实施例1中以如下表2所示的次数重复使用转印基材之外，以与所述实施例1相同的方式制造铁氧体片。

实验例2.铁氧体片的凹凸的微细结构观察

用扫描电子显微镜观察在所述实施例1、5～8中制造的铁氧体片成形体的微细结构，其结果显示在下图6～8。此时，下面的图6为用扫描电子显微镜观察实施例1的铁氧体片成形体的上部一面的图像，图7为用扫描电子显微镜观察实施例1的铁氧体片的垂直断面的图像。图8为观察根据转印基材的再使用次数的铁氧体片成形体的凹凸的垂直断面的图像。并且，据此的凹凸的大小显示在下表2。

【表2】

参照表2和图8，可以确认即使多次重复使用根据本发明的转印基材，对所产生的凹凸的尺寸的影响也很小，并且甚至当转印基材被再使用达20次时，尺寸变化也很小。

Claims (10)

1.一种铁氧体片的制造方法，其特征在于，包括：

步骤(1)，制备堆叠有多个铁氧体片成形体并且在相邻的铁氧体片成形体之间具有气体排出通道的铁氧体层叠体，铁氧体片成形体中的凹凸的反像通过设置有凹凸的转印基材转印，所述气体排出通道是在铁氧体片成形体中形成的凹凸之间的空间；及

步骤(2)，对所述铁氧体层叠体进行烧结；

其中形成在铁氧体片上的凹凸具有三边形的峰部和谷部，所述峰部和谷部在从铁氧体片的一个棱角处沿着与所述一个棱角相对的棱角的方向上交替地形成，并且每个峰部和谷部沿着剩下的两个棱角相对的方向连续，其中所述凹凸的截面宽度和高度之比率为1:0.2～1，所述凹凸的平均宽度为0.5～500μm，且所述凹凸的平均高度为0.5～100μm。

2.根据权利要求1所述的铁氧体片的制造方法，其特征在于，

所述步骤(1)包括：

步骤(1-1)，准备铁氧体片成形体；

步骤(1-2)，在使所述铁氧体片成形体与在表面上包括沿着一个方向重复设置的凹凸的转印基材相接触之后，进行加压，从而将所述凹凸的反像转印到铁氧体片成形体的表面以形成气体排出通道；

步骤(1-3)，堆叠多个所述铁氧体片成形体以准备铁氧体层叠体。

3.根据权利要求2所述的铁氧体片的制造方法，其特征在于，在所述步骤(1-2)中，所述铁氧体片成形体在被加压的一面的相对面上还包括载体材料。

4.根据权利要求3所述的铁氧体片的制造方法，其特征在于，所述载体材料是将涂有选自由聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚乙烯、聚丙烯及聚碳酸酯组成的组中的至少一种聚合物的膜制成卷状的。

5.根据权利要求2所述的铁氧体片的制造方法，其特征在于，所述转印基材是在一面上设置有凹凸的平板或在外面上设置有凹凸的辊。

6.根据权利要求5所述的铁氧体片的制造方法，其特征在于，

在所述转印基材为在一面上设置有凹凸的平板时，

在使铁氧体片成形体的上部一面和所述转印基材接触之后，在垂直于所述铁氧体片成形体和所述转印基材的方向进行加压，以将凹凸的反像转印到铁氧体片成形体的表面上。

7.根据权利要求5所述的铁氧体片的制造方法，其特征在于，

在所述转印基材为在外面上设置有凹凸的辊时，

在使铁氧体片成形体的上部一面和所述转印基材接触之后，进行滚压，以在铁氧体片成形体的表面上形成凹凸的反像。

8.根据权利要求2所述的铁氧体片的制造方法，其特征在于，所述加压以10～100MPa的压力进行。

9.一种铁氧体片，其特征在于，在至少一面包括凹凸，以便提供气体的排出通道，所述凹凸具有三边形的峰部和谷部，所述峰部和谷部从铁氧体片的一个棱角处沿着与所述一个棱角相对的棱角的方向交替地形成，并且每个峰部和谷部沿着剩下的两个棱角相对的方向连续；

所述凹凸的截面宽度和高度之比率为1:0.2～1，平均宽度为0.5～500μm，平均高度为0.5～100μm。

10.根据权利要求9所述的铁氧体片，其特征在于，所述铁氧体片的平均粗糙度为0.8～20μm。

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