JPS61117152A - セラミツク部品及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はセラミック部品及びその製造方法に関する。

〈従来の技術〉 従来、セラミック部品例えば電子部品としての圧電素子
は第１図に示すように、ＢａＴｉ−０ａ　、　ＰｂＴｉ
０ｎ　、　Ｐ！ｂＺｒｏｓ等を主成分とするセラミック
焼結体１と、このセラミック焼結体１の表裏面に被着、
形成された銀から成る電極３、とから構成されている。

この従来の圧電素子は、通常、生産性を上げるためにプ
レス成型法によって形成されたセラミック成型体を複数
枚段積して１０００〜１３００℃の温度で一度に焼成し
各々のセラミック成型体を焼結一体化、させた後、その
表裏両面に電極３を被着することにより形成されて堰り
、各セラミック成型体の両主面はセラミック成型体を複
数枚段積して焼成する際セラミック成型体同志が固着す
るのを防止するため粗面状に形成されている（例えば、
実開昭５８−７０５１９号公報参照）。

〈発明が解決しようとする問題点〉 しかし乍ら、この従来のセラミック部品はセラミック成
型体の両主面を粗面状に成してはいるものの、その表面
凹凸部の間隔が極めて狭いことから複数枚段積した場合
セラミック成型体同志は路面接触状態となり接触部分は
今だ多く、したがって焼成する際にセラミック成型体同
志が固着することを完全には解消し得なかった。そのた
め、焼成した後に固着したセラミック焼結体を強制的に
分離すると客セラミック焼結体に応力印加によるワレや
欠けを生じたり、あるいは完全に分離できないものが生
じたりして製造歩留りを著しく低下させるという欠点を
有していた。

また、この従来のセラミック部品の製造方法では、セラ
ミック粉末をプレス成型恢で押圧することによりセラミ
ック成型体を形成していることから、焼結後の厚み寸法
にバラツキを生じる。そのため、特に数百μｍ程度の極
めて薄い圧電素子を形成しようとする場合、あらかじめ
所望厚みより厚く成型して焼成した後にセラミック焼結
体１の表面を研磨して所望厚みに成形しなければならず
、この研磨作業に多大な時間と労力を必要とするという
欠点を有していた。

〈発明の目的〉 本発明は上記欠点に鑑み案出されたものであり、その目
的は複数枚段積して焼成する際にセラミック成型体同志
が固着するのを解消し製造歩留りが高いセラミック部品
を提供するとともに、セラミック成型体を焼結一体化し
た後に表面を研磨する必要のないセラミック部品の製造
方法を提供することにある。

〈問題点を解決するための手段〉 本発明のセラミック部品は、少なくとも一主面上に凸状
線又は凹状線を形成したセラミック焼結体から成ること
を特徴とする。

また、本発明のセラミック部品の製造方法は、セラミッ
クグリーンシートの少なくとも一生面に凸状線又は凹状
線を形成し、次に前記セラミックグリーンシートを複数
枚段積するとともに焼成し、セラミックグリーンシート
を各々焼結一体化させてセラミック焼結体を得、しかる
後各々のセラミック焼結体に分離することを特徴とする
。

以下、本発明を添付の第１図乃至第３図に基づき詳細に
説明する。

第１図（ａ）　（’ｂ）は本発明のセラミック部品を電
子部品としての圧電素子に適用した場合の平面図及び断
ＩＩｆ図テア’）、１１　ハＢａＴｉ、Ｏａ　、　Ｐｂ
’ｆｉＯａ　、　ＰｂＺ：Ｏａ等から成るセラミック焼
結体、　１３は銀等の導電材料から成る電極である。

前εセラミック焼結体１１の両主面には凸状線１２が複
数本平行に゛−影形成れている。

前記セラミツ゛り焼結体１１は、セラミック粉末を仮焼
して粉砕し、適当なバインダー、可塑剤及び分散媒を加
えてシート状と為したものに圧延ロール方法又はプレス
方法により表面に凸状８１２を形成し、しかる後これを
複数枚段積するとともに約１２００℃の温度で焼成し焼
結一体化させてセラミック焼結体と為した後、水中に詔
いて超音波振動を付与し各々のセラミック焼結体に分離
することにより形成される。

このようにセラミック成型体１１の両主面に複数本の平
行な凸状線１２を形成して焼結一体化すると、第２図に
示すようにセラミック成型体を複数枚段積してもそれぞ
れのセラミック成型体１１ａ〜ｌｌｎは凸状線ｎの各頂
面のみで線接触又は点接触することとなり、接合面積が
少ないことから焼成の際にセラミック成型体１１ａ〜ｌ
ｌｎのそれぞれが付着することは皆無となる。また、本
発明のセラミック部品の製造方法ではセラミック粉末を
グリーンシート状に加工して所定形状に切断した後焼成
することから厚みの極めて薄いセラミック成型体でも焼
成後の厚み寸法、にバラツキを生じることは一切なく、
シたがって所定厚みのセラミック成型体を焼成した後に
セラミック焼結体の表面を研磨する必要はない。

尚、前起凸状線１２は、複数本の平行線に限らず、格子
状線又はジグザグ状線あるいは第３図に示すようにこれ
らを所定間隔を有する凸状部で形成したものであっても
よい。

また、前記凸状！１ｍ　１２は凹状線と為してもよく、
さらにこれら凸状線又凹状線はセラミック成型体の少な
くとも一主面上に形成されていればよい。

前記セラミック焼結体１１の両面には銀等の導電材料か
ら電極が被着される。

〈実施例〉 Ｑ、２Ｐｂ　（Ｎｂｏ、ａｕ　Ｓ’ｂｃｇｇｓ　Ｚｎｏ
、ｇ６ｏ　）Ｏａ　−０，４ＰｂＴｉ０ａ−０，４Ｐｂ
Ｚｒ０ａから成る原料粉末を６００〜９００℃の温度で
仮焼して粉砕した後メチルセルロースを主成分とするバ
インダーを加えて充分混合し、しかる後押出成型法によ
り厚さ２００μｍのセラミックグリーンシートを形成し
た。次に、このセラミックグリーンシート上面Ｋ　３５
０メツシユの型を２５０ｋｇ／−の圧力で押圧し深さ８
μｍの凹状線を形成するとともに２０５φの金型で２０
０枚打抜き、これを２０枚ごとに段積して１１７０℃〜
１２４０℃の温度で焼成してセラミック焼結体を得た。

最後に前記段積したセラミック焼結体を水中に浸漬して
６００Ｗの超音波処理を１分間施こし、セラミック焼結
体の分離状況を観察した。その結果、分離しないセラミ
ック焼結体は皆無であり、分離率は１００％であった。

く比較例〉 上記実施例のグリーンシート上面に凹状線を形成するこ
とに代えて、中心線平均粗さくＲａ）で８μｍの粗面を
形成したこと以外は、上記実施例と同様の条件でセラミ
ック焼結体を得て、その分離状況を観察した。その結果
、各々のセラミック焼結体に分離したものは２００個中
１Ｂ３個であり、分離率は９１．５％であった。

〈発明の効果〉 ′　王妃実施例及び比較例から明らかなように、本発明
のセラミック製電子部品によればセラミック成型体の表
面に凸状線又は凹状線を形成して焼成したことから、セ
ラミック焼結体同志が固着することは皆無となり、もっ
て歩留りの高い安価なセラミック部品を提供することが
できる。

また、本発明のセラミック部品の製造方法によれば、セ
ラミックグリーンシート上に凸状線又は凹状線を形成し
て焼成することから、セラミック焼結体の厚み寸法のバ
ラツキは一切なく、これによりセラミック焼結体表面は
研磨することが一切不要で、簡略にセラミック部品を製
造することができる。

尚、本発明は上記実施例に限定されるものではな（、本
発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能
である。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａｌは本発明のセラミック部品を示す平面図、
ｇＪ１図（１）ｌは本発明のセラミック部品を示す断面
図、第２図は本発明の一製造工程を示す断面図、第３図
は本発明の他の実施例を示す平面図、第４図は従来のセ
ラミック部品を示す断面図である。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも一主面上に凸状線又は凹状線を形成し
   たセラミック焼結体から成るセラミック部品。
2. （２）前記凸状線又は凹状線が複数本の平行線、格子状
   線又はジグザグ状線のうちの少なくとも一種から成るこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のセラミッ
   ク部品。
3. （３）セラミックグリーンシートの少なくとも一主面に
   凸状線又は凹状線を形成し、次に前記セラミックグリー
   ンシートを複数枚段積するとともに焼成し、セラミック
   グリーンシートを各々焼結一体化させてセラミック焼結
   体を得、しかる後各々のセラミック焼結体に分離するこ
   とを特徴とするセラミック部品の製造方法。