JPH04168052A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- JPH04168052A JPH04168052A JP29484090A JP29484090A JPH04168052A JP H04168052 A JPH04168052 A JP H04168052A JP 29484090 A JP29484090 A JP 29484090A JP 29484090 A JP29484090 A JP 29484090A JP H04168052 A JPH04168052 A JP H04168052A
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Landscapes
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- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、インクジェットヘッドの製造方法に関する
。
。
［従来の技術］
従来、インクジェットヘッドのインク流路はガラス基板
をエツチングして形成し、その上にガラス板を上板とし
て熱溶着し、オンデマンド方式では、その上板の上に圧
電素子を固着している。
をエツチングして形成し、その上にガラス板を上板とし
て熱溶着し、オンデマンド方式では、その上板の上に圧
電素子を固着している。
また、量産性、低コストを図るために、流路基板を射出
成形によるプラスチックで形成し、その上に上板を接着
剤等により固着する方法が考えられている。
成形によるプラスチックで形成し、その上に上板を接着
剤等により固着する方法が考えられている。
［解決しようとする課題］
しかしながら、インク流路をガラス基板にエツチングに
より形成する場合は、エツチング工程に長時間を要する
ために、製造コストが上昇し、またエツチング工程は高
度の技術を要するという問題点、及びインクジェットヘ
ッドの本体となる流路基板がガラスで形成されているの
で外形加工工程等において脆くこわれやすいという問題
点があった。
より形成する場合は、エツチング工程に長時間を要する
ために、製造コストが上昇し、またエツチング工程は高
度の技術を要するという問題点、及びインクジェットヘ
ッドの本体となる流路基板がガラスで形成されているの
で外形加工工程等において脆くこわれやすいという問題
点があった。
また流路基板を射出成形によるプラスチックで形成する
場合は、流路基板の製作は容易であるが、流路基板の上
面の平担性を得るのが難しく、上板を接着剤等により固
着する工程に非常に高度の技術か必要であり、またプラ
スチックの強度、剛性の不足により長期的な信頼性か確
保しにくいという問題点があった。
場合は、流路基板の製作は容易であるが、流路基板の上
面の平担性を得るのが難しく、上板を接着剤等により固
着する工程に非常に高度の技術か必要であり、またプラ
スチックの強度、剛性の不足により長期的な信頼性か確
保しにくいという問題点があった。
また圧電素子は流路基板と振動板とを接合した後に、接
着剤等で振動板に固着しており、そのだめの別個の作業
時間が必要であり、インクジェットヘッドを完成するの
に非常に長い時間を要するという問題点があった。
着剤等で振動板に固着しており、そのだめの別個の作業
時間が必要であり、インクジェットヘッドを完成するの
に非常に長い時間を要するという問題点があった。
そこで本発明の目的は、低コストで製造が容易でありか
つ長期的な信頼性も高いインクジェットヘッドの製造方
法を提供することにある。
つ長期的な信頼性も高いインクジェットヘッドの製造方
法を提供することにある。
また他の目的は、圧電素子の接着を別工程とする必要が
ないインクジェットヘッドの製造方法を提供することに
ある。
ないインクジェットヘッドの製造方法を提供することに
ある。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明のインクジェットヘ
ッドの製造方法は、少なくとも流路基板を金属粉末を用
いて金属射出成形により成形し、振動板と流路基板とを
積層した状態で焼成を行なう。
ッドの製造方法は、少なくとも流路基板を金属粉末を用
いて金属射出成形により成形し、振動板と流路基板とを
積層した状態で焼成を行なう。
また上記において、振動板は金属射出成形により成形さ
れかつ凹部が設けられ、この凹部には圧電素子グリーン
シートか載置され、振動板と流路基板とを積層した状態
で焼成を行なうとより効果的である。
れかつ凹部が設けられ、この凹部には圧電素子グリーン
シートか載置され、振動板と流路基板とを積層した状態
で焼成を行なうとより効果的である。
［作用］
金属射出形成により形成した流路基板に振動板を積層し
た状態で、焼成を行うと、射出成形金属か焼成されると
同時に、流路基板と振動板とが熱溶着により一体化接合
する。
た状態で、焼成を行うと、射出成形金属か焼成されると
同時に、流路基板と振動板とが熱溶着により一体化接合
する。
圧電素子グリーンシートと金属射出成形により成形した
振動板及び流路基板とを積層した状態で、焼成を行った
場合も同様に、これらが焼成されると同時に、流路基板
、振動板及び圧電素子グリーンシートが熱溶着により一
体化接合する。
振動板及び流路基板とを積層した状態で、焼成を行った
場合も同様に、これらが焼成されると同時に、流路基板
、振動板及び圧電素子グリーンシートが熱溶着により一
体化接合する。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
。
まず第１実施例を説明する。
金属射出成形の材料として、アトマイズ溶解によるステ
ンレス粉を分級しく粒径３〜５μｍ）、バインダーとし
て例えばポリスチレン等の熱可塑性樹脂を約４０体積％
の割合で添加してペレット化した成形材料を用意する。
ンレス粉を分級しく粒径３〜５μｍ）、バインダーとし
て例えばポリスチレン等の熱可塑性樹脂を約４０体積％
の割合で添加してペレット化した成形材料を用意する。
そして、後述する脱バインダー処理などの工程により約
１５〜２０％の収縮を生じることを考慮して、圧電素子
位置決め凹部１ａを有する振動板１及びインク流路２ａ
を有する流路基板２を、最終形状寸法より約１５〜２０
％大きい形に射出成形機により射出成形する。なお、量
産性、及び低コスト化を図るために多数掴取りにする（
第１図。
１５〜２０％の収縮を生じることを考慮して、圧電素子
位置決め凹部１ａを有する振動板１及びインク流路２ａ
を有する流路基板２を、最終形状寸法より約１５〜２０
％大きい形に射出成形機により射出成形する。なお、量
産性、及び低コスト化を図るために多数掴取りにする（
第１図。
第２図）。
そしてランナ一部３，４を取り除いて、流路基板２と振
動板１とを積層し、アルゴン雰囲気中で約２００℃で脱
バインダー処理を行い、続いて真空炉により約１１００
℃で焼成する。すると焼成時の熱により流路基板２と振
動板１とが熱溶着し、一体化接合する（第３図）。
動板１とを積層し、アルゴン雰囲気中で約２００℃で脱
バインダー処理を行い、続いて真空炉により約１１００
℃で焼成する。すると焼成時の熱により流路基板２と振
動板１とが熱溶着し、一体化接合する（第３図）。
そして流路基板２及び振動板１のソリ、変形を取り除く
ために、サイジング型で矯正を行い、また必要に応じて
ヘッドの端面の研磨等を行い、振動板１の圧電素子位置
決め凹部１ａに圧電素子を接着固定し、圧電素子の上面
にリード電極（図示せず。）を配して、インクジェット
ヘッドが完成する。
ために、サイジング型で矯正を行い、また必要に応じて
ヘッドの端面の研磨等を行い、振動板１の圧電素子位置
決め凹部１ａに圧電素子を接着固定し、圧電素子の上面
にリード電極（図示せず。）を配して、インクジェット
ヘッドが完成する。
振動板１を金属射出成形により形成しているため、射出
成形の際に圧電素子位置決め凹部１ａを同時に形成する
ことか可能であり、この圧電素子位置決め凹部１ａによ
り圧電素子の位置決めが容易になる。また振動板１は金
属粉の射出成形により得られたものであるため、導通性
があり、振動板１を圧電素子の下面側の共通電極パター
ンとして、圧電素子の下面側の電極パターンを省略する
ことができる。
成形の際に圧電素子位置決め凹部１ａを同時に形成する
ことか可能であり、この圧電素子位置決め凹部１ａによ
り圧電素子の位置決めが容易になる。また振動板１は金
属粉の射出成形により得られたものであるため、導通性
があり、振動板１を圧電素子の下面側の共通電極パター
ンとして、圧電素子の下面側の電極パターンを省略する
ことができる。
なお本実施例では振動板１も金属射出成形により形成し
たが、振動板は流路基板の金属射出成形に用いた材料と
同じ種類の金属からなる圧延板等を用いてもよい。また
振動板は焼成の際に流路基板等と熱溶着か可能な他の部
材であればよく、例えばガラス板等を用いてもよい。
たが、振動板は流路基板の金属射出成形に用いた材料と
同じ種類の金属からなる圧延板等を用いてもよい。また
振動板は焼成の際に流路基板等と熱溶着か可能な他の部
材であればよく、例えばガラス板等を用いてもよい。
次に本発明の第２実施例を説明する。
第１実施例と同様に金属射出成形により、振動板１およ
び流路基板２を成形する（第１図、第２図）。
び流路基板２を成形する（第１図、第２図）。
次にＰＺＴセラミックス粉末を用いスリップキャスティ
ング法により圧電素子グリーンシートを形成する。それ
からグリーンシート５上にＡｇ−Ｐｄ系電極を厚膜印刷
し、これを切断して、所定の大きさを有するチップ状に
する。
ング法により圧電素子グリーンシートを形成する。それ
からグリーンシート５上にＡｇ−Ｐｄ系電極を厚膜印刷
し、これを切断して、所定の大きさを有するチップ状に
する。
そしてこのチップ状の圧電素子グリーンシート５を振動
板１の圧電素子位置決め凹部１ａに挿入して積層し、ま
た振動板１を流路基板２に積層して、アルゴン雰囲気中
で約２００℃で脱バインダー処理を行い、続いて真空炉
により約１１００℃で焼成する。すると焼成時の熱によ
り流路基板２と振動板１とが熱溶着し、またチップ５と
振動板１とか熱溶着し、チップ５．振動板１及び流路基
板２か、一体化接合する（第４図）。
板１の圧電素子位置決め凹部１ａに挿入して積層し、ま
た振動板１を流路基板２に積層して、アルゴン雰囲気中
で約２００℃で脱バインダー処理を行い、続いて真空炉
により約１１００℃で焼成する。すると焼成時の熱によ
り流路基板２と振動板１とが熱溶着し、またチップ５と
振動板１とか熱溶着し、チップ５．振動板１及び流路基
板２か、一体化接合する（第４図）。
そして所定のサイジング型での矯正等を行った後、チッ
プ５の上面に外部電極付けを行い、６０に■／ｃｍの電
界て分極を行うと、圧電効果を有する圧電素子５が形成
される。なお本実施例においても、振動板１を圧電素子
の下面側の共通電極パターンとして、圧電素子の下面側
の電極パターンを省略することができる。
プ５の上面に外部電極付けを行い、６０に■／ｃｍの電
界て分極を行うと、圧電効果を有する圧電素子５が形成
される。なお本実施例においても、振動板１を圧電素子
の下面側の共通電極パターンとして、圧電素子の下面側
の電極パターンを省略することができる。
上記第１，２実施例では金属射出成形の材料としてステ
ンレス粉を用いたが、Ｆｅ−Ｎｉの合金粉等１種々の金
属粉を用いることができる。
ンレス粉を用いたが、Ｆｅ−Ｎｉの合金粉等１種々の金
属粉を用いることができる。
また上記第１．２実施例では構成部材を積層した後に脱
バインダー処理及び焼成を行ったが、脱バインダー処理
を行った後に構成部材を積層して、焼成を行ってもよい
。
バインダー処理及び焼成を行ったが、脱バインダー処理
を行った後に構成部材を積層して、焼成を行ってもよい
。
更に、上記第１．２実施例では振動板、流路基板をラン
ナーより取り外して、それらを積層したか、振動板及び
流路基板をランナーに固定されたまま多数個、同時に積
層するようにしてもよい。
ナーより取り外して、それらを積層したか、振動板及び
流路基板をランナーに固定されたまま多数個、同時に積
層するようにしてもよい。
なおこの際には振動板の圧電素子位置決め凹部の位置と
流路基板の加圧室の位置とが一致するように、１つのラ
ンナーで多数個取りされる振動板及び流路基板の位置を
設定する。
流路基板の加圧室の位置とが一致するように、１つのラ
ンナーで多数個取りされる振動板及び流路基板の位置を
設定する。
更にまた上記第１，２実施例ては流路基板の一方の面に
インク流路が形成されその上に振動板が接合されたか、
本発明は流路基板の両面にインク流路を形成し、その外
側に２枚の振動板を接合する場合等にも適用可能である
。
インク流路が形成されその上に振動板が接合されたか、
本発明は流路基板の両面にインク流路を形成し、その外
側に２枚の振動板を接合する場合等にも適用可能である
。
［効果］
本発明では、振動板と金属射出成形により得たインク流
路を有する流路基板とを積層して焼成することにより、
それらの部材の熱溶着を同時に行うため、ガラス板のエ
ツチングに伴う従来の問題点が生じず、またプラスチッ
クを用いる場合と異なり流路基板の上面が平坦であるた
め振動板が接合しやすく、低コストで容易にインクジェ
ットヘッドを製造することが可能となる。
路を有する流路基板とを積層して焼成することにより、
それらの部材の熱溶着を同時に行うため、ガラス板のエ
ツチングに伴う従来の問題点が生じず、またプラスチッ
クを用いる場合と異なり流路基板の上面が平坦であるた
め振動板が接合しやすく、低コストで容易にインクジェ
ットヘッドを製造することが可能となる。
また、流路基板は金属射出成形により形成するため、ガ
ラス等の場合のように外形加工工程等において脆くこわ
れやすいという欠点が解消し歩留まりが高くなり、また
プラスチックの場合のように長期的な信頼性か確保しに
くいという欠点も解消する。
ラス等の場合のように外形加工工程等において脆くこわ
れやすいという欠点が解消し歩留まりが高くなり、また
プラスチックの場合のように長期的な信頼性か確保しに
くいという欠点も解消する。
更に流路基板を金属射出成形により形成するため、イン
ク流路の形状を、例えば深さ方向にテーパー付けする等
、種々の形状にすることができ、また多数個取り成形が
可能であり、量産化を図ることが可能である。
ク流路の形状を、例えば深さ方向にテーパー付けする等
、種々の形状にすることができ、また多数個取り成形が
可能であり、量産化を図ることが可能である。
更にまた圧電素子グリーンシートを振動板に積層して同
時に焼成すると、圧電素子の形成及び振動板への固着を
同時に行え、インクジェットヘッドの製造工程をより簡
単にすることができる。
時に焼成すると、圧電素子の形成及び振動板への固着を
同時に行え、インクジェットヘッドの製造工程をより簡
単にすることができる。
第１図はグリーンシート状態の振動板の斜視図、第２図
はグリーンシート状態の流路基板の斜視図、第３図は焼
成により振動板と流路基板とが接合したインクジェット
ヘッドの斜視図、第４図は本発明の第２実施例のインク
ジェットヘッドの斜視図である。 １・・・振動板、 １ａ・・・凹部、 ２・・・流路基板、 ５・・・圧電素子（圧電素子グリーンシート）。 以 上
はグリーンシート状態の流路基板の斜視図、第３図は焼
成により振動板と流路基板とが接合したインクジェット
ヘッドの斜視図、第４図は本発明の第２実施例のインク
ジェットヘッドの斜視図である。 １・・・振動板、 １ａ・・・凹部、 ２・・・流路基板、 ５・・・圧電素子（圧電素子グリーンシート）。 以 上
Claims (2)
- （１）少なくとも流路基板を金属粉末を用いて金属射出
成形により成形し、振動板と上記流路基板とを積層した
状態で焼成を行なう ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - （２）請求項１において、 上記振動板は金属射出成形により成形されかつ凹部が設
けられ、上記凹部には圧電素子グリーンシートが載置さ
れ、上記振動板と上記流路基板とを積層した状態で焼成
を行なう ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29484090A JPH04168052A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29484090A JPH04168052A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04168052A true JPH04168052A (ja) | 1992-06-16 |
Family
ID=17812935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29484090A Pending JPH04168052A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04168052A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0600748A2 (en) * | 1992-12-03 | 1994-06-08 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | An ink jet print head and method of producing the same |
| EP0858894A3 (en) * | 1997-01-31 | 1999-10-13 | Kyocera Corporation | Member having ultrafine groove, member for passage, method of manufacturing the same, ink jet printer head using the same, and ink jet printer head |
| JP2006201705A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Yamaha Corp | 楽器用発音体及びその製造方法 |
-
1990
- 1990-10-31 JP JP29484090A patent/JPH04168052A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0600748A2 (en) * | 1992-12-03 | 1994-06-08 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | An ink jet print head and method of producing the same |
| US5650810A (en) * | 1992-12-03 | 1997-07-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet print head having a manifold wall portion and method of producing the same by injection molding |
| EP0858894A3 (en) * | 1997-01-31 | 1999-10-13 | Kyocera Corporation | Member having ultrafine groove, member for passage, method of manufacturing the same, ink jet printer head using the same, and ink jet printer head |
| JP2006201705A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Yamaha Corp | 楽器用発音体及びその製造方法 |
| JP4617896B2 (ja) * | 2005-01-24 | 2011-01-26 | ヤマハ株式会社 | 楽器用発音体及びその製造方法 |
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